CN201561785U

CN201561785U - 用于化学品存储罐的液位计

Info

Publication number: CN201561785U
Application number: CN2009202132832U
Authority: CN
Inventors: 王经宇
Original assignee: Semiconductor Manufacturing International Shanghai Corp
Current assignee: Semiconductor Manufacturing International Beijing Corp
Priority date: 2009-12-17
Filing date: 2009-12-17
Publication date: 2010-08-25
Anticipated expiration: 2019-12-17

Abstract

本实用新型揭示了一种用于化学品存储罐的液位计，所述液位计包括浮球以及浮杆，所述浮球设置于所述化学品存储罐内，所述浮杆的一端与所述浮球固定连接，所述浮杆的另一端自由伸出到所述化学品存储罐外，所述浮杆表面划分为若干段，其中每一段具有一种或多种颜色，通过所述颜色来判断存储在所述化学品存储罐内的化学品的液位。本实用新型结构简单，成本低廉，可为操作人员检查液位提供便利，并可确保操作人员的人身安全和化学品的洁净度。

Description

用于化学品存储罐的液位计

技术领域

本实用新型涉及一种液位计，特别是涉及一种用于化学品存储罐的液位计。

背景技术

在集成电路制造领域，在某些工艺步骤后，通常会在晶圆表面留下污染物，所述污染物包括有机化合物、金属杂质或颗粒等，这些污染物对于产品后续工艺的影响非常大。例如，颗粒的附着会影响光刻工艺图案转移的真实性，甚至会造成电路结构的短路。因此，在半导体器件制造过程中，除了要排除外界的污染源外，还需要频繁的进行晶圆清洗工作，所述晶圆清洗工作是在不破坏晶圆表面特性及电特性的前提下，有效地使用化学溶液或气体清除残留在晶圆上的污染物，避免这些污染物影响后续制程的进行，并防止清洗机台与其它晶圆受到这些污染物的污染。

在晶圆清洗过程中，需要经常使用去离子水，所述去离子水的pH值必须确保在合格范围内，以确保晶圆的清洗效果。因此，在利用纯水设备处理去离子水的过程中，需要向去离子水内添加浓硫酸，以调节去离子水的pH值。一般的，所述浓硫酸是被存储于硫酸存储罐中，为了确保硫酸存储罐内的硫酸量符合要求，需要定期查看硫酸的液位。目前，硫酸存储罐被放置在半导体生产厂的化学品区内，为了确保安全性，该化学品区通常用塑料门帘与其它区域隔离，因此该化学品区的光线比较差，并且硫酸存储罐并没有设置液位计，导致工作人员每次检查硫酸存储罐的液位时，必须带上笨重的防护面具，再打开硫酸存储罐的盖子，借助手电筒的光亮，来查看硫酸存储罐内的硫酸液位。

然而，这种查看硫酸液位的方式不仅非常费时费力，给工作人员人员检查硫酸液位带来了不便，且操作人员需要打开硫酸储管的盖子，具有强腐蚀性和刺鼻的味道的硫酸极有可能溅射到操作人员身上，威胁操作人员的人身安全，此外，操作人员在打开硫酸存储罐时也有可能将其身体上的金属离子带入到硫酸存储罐内，使得硫酸被污染。

为了解决上述问题，业界曾尝试在硫酸存储罐上安装几种常见的液位计，如超声波液位计或压力式液位计，但是这两种液位计的成本很高，不适用于小型的化学品存储罐，例如上述提到的硫酸存储罐；为了降低液位计的成本，业界也曾考虑在硫酸存储罐上安装浮球式液位计或联通液位管式液位计，然而，这两种液位计的成本虽然较低，但是却不耐酸碱腐蚀，并不适用于高浓度的化学品存储罐。

实用新型内容

本实用新型提供一种用于化学品存储罐的液位计，该液位计成本低，可为操作人员检查液位提供便利，并可确保操作人员的人身安全和化学品的洁净度。

为解决上述技术问题，本实用新型提供一种用于化学品存储罐的液位计，包括：浮球，设置于所述化学品存储罐内；浮杆，其一端与所述浮球固定连接，其另一端自由伸出到所述化学品存储罐外；其中，所述浮杆表面划分为若干段，其中每一段具有一种或多种颜色，通过所述颜色来判断存储在所述化学品存储罐内的化学品的液位。

可选的，所述化学品存储罐是硫酸存储罐，所述化学品存储罐上设置有与所述浮杆尺寸匹配的开口，所述浮杆的另一端经所述开口自由伸出到所述化学品存储罐外。

可选的，所述浮球表面涂有聚四氟乙烯膜。

可选的，所述浮杆表面涂有聚四氟乙烯膜。

可选的，所述浮杆表面划分为三段。

与现有技术相比，本实用新型所提供的用于化学品存储罐的液位计仅包括浮球以及浮杆两部分，结构简单，成本低廉，其中，所述浮杆的一端与浮球固定连接，所述浮杆的另一端则自由伸出到化学品存储罐外，所述浮杆表面划分为若干段，其中每一段具有一种或多种颜色，因此，操作人员无需打开化学品存储罐的盖子，仅通过观察伸出到化学品存储罐外的浮杆的颜色，即可判断存储在化学品存储罐内的化学品的液位，非常省时省力，为操作人员检查液位提供便利，并确保操作人员的人身安全和化学品的洁净度。

附图说明

图1为本实用新型实施例提供的用于化学品存储罐的液位计的示意图；

图2为本实用新型实施例提供的用于化学品存储罐的液位计的使用示意图。

具体实施方式

下面将结合示意图对本实用新型进行更详细的描述，其中表示了本实用新型的优选实施例，应该理解本领域技术人员可以修改在此描述的本实用新型，而仍然实现本实用新型的有利效果。因此，下列描述应当被理解为对于本领域技术人员的广泛知道，而并不作为对本实用新型的限制。

为了清楚，不描述实际实施例的全部特征。在下列描述中，不详细描述公知的功能和结构，因为它们会使本实用新型由于不必要的细节而混乱。应当认为在任何实际实施例的开发中，必须做出大量实施细节以实现开发者的特定目标，例如按照有关系统或有关商业的限制，由一个实施例改变为另一个实施例。另外，应当认为这种开发工作可能是复杂和耗费时间的，但是对于本领域技术人员来说仅仅是常规工作。

在下列段落中参照附图以举例方式更具体地描述本实用新型。根据下面说明和权利要求书，本实用新型的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本实用新型实施例的目的。

本实用新型的核心思想在于，提供一种成本较低的液位计，用于安装在化学品存储罐上，为操作人员检查液位提供便利，并确保操作人员的人身安全和化学品的洁净度。

请参考图1和图2，其中，图1为本实用新型实施例提供的用于化学品存储罐的液位计的示意图，图2为本实用新型实施例提供的用于化学品存储罐的液位计的使用示意图，用于化学品存储罐的液位计100包括：浮球110以及浮杆120，其中，浮球110设置于化学品存储罐200内，浮杆120的一端与浮球110固定连接，浮杆120的另一端自由伸出到化学品存储罐200外，浮杆120表面划分为若干段，其中每一段具有一种或多种颜色，通过所述颜色即可判断化学品存储罐200内存储的化学品的液位。该用于化学品存储罐的液位计100仅包括浮球110以及浮杆120两部分，结构简单，成本低廉，可为操作人员检查液位提供便利，并可确保操作人员的人身安全和化学品的洁净度。

在本实用新型的一个具体实施例中，化学品存储罐200是硫酸存储罐，具体的说，化学品存储罐200是用于存储浓度为96％的硫酸，所述化学品存储罐200的容积可以为400L，其中，化学品存储罐200上设置有与浮杆120的尺寸匹配的开口210。

在本实用新型的一个具体实施例中，化学品存储罐200与第一输液管路310和第二输液管路320连通，第一输液管路310和第二输液管路320与总管路330连通，总管路330则与纯水设备400连通，第一输液管路310上设置有第一计量泵311，第二输液管路320上设置有第二计量泵321，以使化学品存储罐200内存储的化学品选择性地经第一输液管路310和总管路330输入到纯水设备400内，或使化学品经第二输液管路320和总管路330输入到纯水设备400内，以调节去离子水的pH值。

在本实用新型的一个具体实施例中，浮杆120的另一端经开口210自由伸出到化学品存储罐200外，较佳的，开口210的尺寸略大于浮杆120的直径，便于浮杆120上下移动，又可避免由于开口210过大，而导致存储在化学品存储罐200内的化学品挥发到空气中。

在本实用新型的一个具体实施例中，浮球110表面涂有聚四氟乙烯膜，以避免浮球110被化学品腐蚀，然而应当认识到，浮球110表面也可以涂覆其它耐腐蚀的薄膜材料。

在本实用新型的一个具体实施例中，浮杆120表面涂有聚四氟乙烯膜。较佳的，在制作用于化学品存储罐的液位计100时，首先在浮杆120上涂上多种不同颜色的油漆，然后再在涂有油漆的浮杆120上涂覆聚四氟乙烯膜，避免各种颜色的油漆被化学品腐蚀掉。

在本实用新型的一个具体实施例中，浮杆120表面沿长度方向划分为三段，其中每一段具有一种颜色。例如，从浮杆120的一端到另一端依次涂覆上非常醒目的绿色、黄色以及红色，也就是说，浮杆120包括涂有绿色的绿色段121、涂有黄色的黄色段122以及涂有红色的红色段123。当只有红色段123暴露在化学品存储罐200外时，则代表化学品存储罐200内的化学品量非常低，需要向化学品存储罐200内补充化学品；当黄色段122的部分或者全部也暴露在化学品存储罐200外时，则代表化学品存储罐200内的化学品量比较低，需经常观察化学品存储罐200内的化学品液位；当绿色段121的部分或全部暴露在化学品存储罐200外时，则代表化学品存储罐200内的化学品量处于正常状态，可确保生产要求。

在本实用新型的一个具体实施例中，浮杆120的长度应与化学品存储罐200的高度相匹配，确保浮杆120的另一端可伸出到化学品存储罐200外，以使操作人员无需打开化学品存储罐200，即可观察到浮杆120上的颜色。

继续参考图2，并结合图1，本实用新型实施例提供的用于化学品存储罐的液位计100是这样工作的：浮球110设置于化学品存储罐200内，并漂浮在化学品的液面上，浮杆120的一端与浮球110固定连接，其另一端则自由伸出到化学品存储罐200外，由于浮杆120表面划分为三段，其中每一段具有一种颜色，因此，操作人员无需打开化学品存储罐200的盖子，即可通过伸出化学品存储罐200外的浮杆120上的颜色，来判断化学品存储罐200内存储的化学品的液位，非常省时省力，为操作人员检查液位提供便利，且可避免具有强腐蚀性和刺鼻的味道的化学品溅射到操作人员身上，确保操作人员的人身安全，此外，也可避免操作人员将其身体上的金属离子带入到化学品存储罐内，确保化学品的洁净度。

显然，本领域的技术人员可以对本实用新型进行各种改动和变型而不脱离本实用新型的精神和范围。这样，倘若本实用新型的这些修改和变型属于本实用新型权利要求及其等同技术的范围之内，则本实用新型也意图包含这些改动和变型在内。

Claims

1.一种用于化学品存储罐的液位计，其特征在于，包括：

浮球，设置于所述化学品存储罐内；

浮杆，其一端与所述浮球固定连接，其另一端自由伸出到所述化学品存储罐外；

其中，所述浮杆表面划分为若干段，其中每一段具有一种或多种颜色，通过所述颜色来判断存储在所述化学品存储罐内的化学品的液位。

2.如权利要求1所述的用于化学品存储罐的液位计，其特征在于，所述化学品存储罐是硫酸存储罐，所述化学品存储罐上设置有与所述浮杆尺寸匹配的开口。

3.如权利要求2所述的用于化学品存储罐的液位计，其特征在于，所述浮杆的另一端经所述开口自由伸出到所述化学品存储罐外。

4.如权利要求3所述的用于化学品存储罐的液位计，其特征在于，所述浮球表面涂有聚四氟乙烯膜。

5.如权利要求4所述的用于化学品存储罐的液位计，其特征在于，所述浮杆表面涂有聚四氟乙烯膜。

6.如权利要求1至5中任意一项所述的用于化学品存储罐的液位计，其特征在于，所述浮杆表面划分为三段。