CN102468119B - 在晶圆上快速选取失效晶粒的薄膜及使用方法 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种在晶圆上快速选取失效晶粒的薄膜及使用方法，该薄膜是由绝缘材料制成的具有透明性质的薄膜，其中，该薄膜上标示有坐标系，该坐标系与晶圆上的测试坐标系对应。该薄膜的使用方法，包括步骤：1)根据晶圆上测试出的失效晶粒坐标，在薄膜上的相应坐标处标注记号；2)利用薄膜上存在的坐标系和对准标记，与晶圆对准后，将薄膜贴在晶圆上；3)揭去薄膜后，薄膜上的相应坐标处的记号就转移到了晶圆上。利用本发明可以准确、省时地在晶圆上找到失效晶粒，给选取失效晶粒工作带来极大便利。

Description

在晶圆上快速选取失效晶粒的薄膜及使用方法
技术领域
本发明涉及一种薄膜及使用方法，特别是涉及一种在晶圆(wafer)上快速选取失效晶粒(die)的薄膜及使用方法。
背景技术
在工厂(FAB)集成电路失效分析过程中，关键的一步就是如何从晶圆上按照测试坐标选取失效晶粒。然而，在实际应用中会遇到如下问题：
第一，对于二次筛选(CP2)失效的晶圆，已经打过点的，可以采用对点的办法找取失效晶粒，但是打点只有一种颜色，如果失效晶粒分布比较密集，找出目标晶粒就会比较困难。
对于一次筛选(CP1)失效严重的晶圆，不再测试二次筛选，也不会打点，找出目标晶粒更是困难。如果专门去借用测试仪打点，不仅浪费时间，而且占用量产机时。
第二，不管晶粒面积比较大还是比较小，在整枚晶圆上选取失效晶粒，都要经历数坐标、标注并确认的过程。这个过程比较费时，而且晶圆上如果有几千或者几万个晶粒，选取其中的一个失效晶粒需要耗费大量时间和人力；
第三，精确度不能保证，在数的过程中，所有的晶粒都是重复的，很容易数差行、差列，在数错的失效晶粒上进行失效分析，会浪费大量的宝贵资源和人力。
发明内容
本发明要解决的技术问题是提供一种在晶圆上快速选取失效晶粒的薄膜及使用方法。利用该薄膜可以准确、省时地在晶圆上找到失效晶粒，给选取失效晶粒工作带来极大便利。
为解决上述技术问题，本发明的在晶圆上快速选取失效晶粒的薄膜，是由绝缘材料制成的具有透明性质的薄膜。其中，该薄膜上标示有坐标系，该坐标系与晶圆上的测试坐标系对应。薄膜上的坐标格子大小可随实际晶粒的大小而变。
所述薄膜还有用于与晶圆对准的对准标记，包括：缺口(notch)标记、左右边界标记。
所述绝缘材料包括塑料类材料或者其它，有透明、绝缘的特点；其中，塑料类材料包括：常用的PVC(聚氯乙烯)材料，PET(聚酯)材料。
所述薄膜的形状可以为四方形或者做成可以持续使用的长卷，大小可随晶圆大小而变；薄膜的厚度以不起卷而且透明为原则，太薄容易起卷，太厚则透视度不好，比如可采用1mm以下的厚度。
另外，本发明的在晶圆上快速选取失效晶粒的薄膜的使用方法，包括步骤：
(1)根据晶圆上测试出的失效晶粒坐标，在薄膜上的相应坐标处标注记号；
(2)利用薄膜上存在的坐标系和对准标记，与晶圆对准后，将薄膜贴在晶圆上；
(3)揭去薄膜后，薄膜上的相应坐标处的记号就转移到了晶圆上。
所述步骤(1)中的记号，是不易大面积扩散的记号，如可以为用马克(mark)笔或圆珠笔标注的记号。
本发明的有益效果如下：
(1)不管是打过墨点的晶圆还是没有打过墨点的晶圆，均可以使用此方法；
(2)不管是晶粒面积比较大还是比较小，均可以使用此方法，区别在于坐标系的密集与否；
(3)相比于过去的方法：在数的过程中，所有的晶粒都是重复的，很容易数差行、差列，在数错的失效晶粒上进行失效分析，不仅精确度不能保证，而且浪费了宝贵的资源和人力；而本发明方便操作，即学即用，精确有效；
(4)本发明的薄膜还能重复使用，节省成本。
附图说明
下面结合附图与具体实施方式对本发明作进一步详细的说明：
图1是实施例中的薄膜示意图；
图2是实施例中的将薄膜贴在晶圆上的示意图；
图3是实施例中的薄膜上的记号转移到晶圆上后的示意图。
具体实施方式
本实施例中的在晶圆上快速选取失效晶粒的薄膜，是一种由PVC(聚氯乙烯)制成的具有透明性质的薄膜，厚度为0.1～1mm。
由于本实施例中采用的晶圆是8英寸晶圆，因此，采用200mm×200mm的四方形薄膜。
该薄膜上标示有坐标系，如图1所示，该坐标系与晶圆上的测试坐标系对应，其中，晶圆上的晶粒大小为1mm×1mm，薄膜上的坐标格子大小就设计为1mm×1mm。另外，该薄膜上还有用于与晶圆对准的对准标记，如图1中所示的notch标记mark1，左右边界标记mark2。
下面以晶圆上测试出来的失效晶粒坐标(x＝12，y＝14)为例，来说明使用上述薄膜的方法。该方法的具体包括步骤：
(1)在薄膜上用mark笔在点(x＝12，y＝14)做记号，如图1所示；
(2)利用薄膜上存在的坐标系和对准标记(mark1、mark2)，与晶圆对准后，将薄膜贴在晶圆上，如图2所示；
(3)揭去薄膜后，薄膜上的记号(x＝12，y＝14)就转移到晶圆上(即印在晶圆上)，如图3所示。
按照上述步骤进行操作，可以非常简单地找到失效晶粒位置，省去了在晶圆上直接数坐标所耗费的人力和时间，减少了出错的概率，而且本实施例的薄膜还能重复使用，节省成本。

Claims (5)

1.一种在晶圆上快速选取失效晶粒的薄膜，是由绝缘材料制成的具有透明性质的薄膜，其特征在于：所述薄膜上标示有坐标系，该坐标系与晶圆上的测试坐标系对应；
所述绝缘材料包括塑料类材料；
所述薄膜上还有用于与晶圆对准的对准标记，包括：缺口标记、左右边界标记；
所述薄膜是具有以下使用方法的薄膜：
（1）根据晶圆上测试出的失效晶粒坐标，在薄膜上的相应坐标处标注记号；
（2）利用薄膜上存在的坐标系和对准标记，与晶圆对准后，将薄膜贴在晶圆上；
（3）揭去薄膜后，薄膜上的相应坐标处的记号就转移到了晶圆上。
2.如权利要求1所述的在晶圆上快速选取失效晶粒的薄膜，其特征在于：所述塑料类材料包括：聚氯乙烯材料、聚酯材料。
3.如权利要求1所述的在晶圆上快速选取失效晶粒的薄膜，其特征在于：所述薄膜的形状为四方形或者持续使用的长卷；薄膜的厚度为1mm以下。
4.如权利要求1-3任意一项所述的在晶圆上快速选取失效晶粒的薄膜的使用方法，包括步骤：
（1）根据晶圆上测试出的失效晶粒坐标，在薄膜上的相应坐标处标注记号；
（2）利用薄膜上存在的坐标系和对准标记，与晶圆对准后，将薄膜贴在晶圆上；
（3）揭去薄膜后，薄膜上的相应坐标处的记号就转移到了晶圆上。
5.如权利要求4所述的在晶圆上快速选取失效晶粒的薄膜的使用方法，其特征在于：所述步骤（1）中的记号是用马克笔或圆珠笔标注的记号。
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