CN114146955A - 一种led晶粒的排列方法、成品方片 - Google Patents
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Abstract
本申请公开了一种LED晶粒的排列方法、成品方片，所述排列方法包括：设定坐标文档，所述坐标文档包括虚拟坐标信息；设定图形文档，所述图形文档包括原点信息和移动距离信息；将坐标文档和图形文档合并，获得排列图形文档；根据所述坐标文档和排列图形文档得到排列坐标文档；根据所述排列坐标文档将LED晶粒进行排列，排列完成后的LED晶粒为成品晶粒，所述成品晶粒排列成圆形图案。本申请排列方法获得的成品方片蓝膜利用率大幅提高，有效降低蓝膜成本、设备成本和人力成本。
Description
技术领域
本申请涉及发光二极管技术领域，尤其涉及一种LED晶粒的排列方法、成品方片。
背景技术
LED晶圆在完成光电性能测试后，分选设备将光电性能符合要求的LED晶粒进行分类和重新排列至新蓝膜上，以确保同一张蓝膜上的LED晶粒的光电性能是同一个等级。
由于受制于分选设备的摆臂移动长度以及客户的使用条件，LED晶粒一般排列成M行N列的矩阵，M和N为正整数。LED晶粒进行排列时，会先将LED晶粒从左往右排满第一行，然后从右往左排满第二行，以此类推，奇数行按照从左往右的方式依次排列，偶数行按照从右往左的方式依次排列，直到LED晶粒全部排布完成；或者，还可以按照奇数行从右往左，偶数行从左往右的方式进行排列；或者，LED晶粒沿列的方向排列，LED晶粒从上往下排满第一列，然后从下往上排满第二列，即奇数列按照从上往下的方式依次排列，偶数列按照从下往上的方式依次排列，直到LED晶粒全部排布完成；或者，还可以按照奇数列从下往上，偶数列从上往下的方式进行排列。
参见图1，LED晶粒1按矩形排列在蓝膜2上，由于一般分选设备的摆臂移动长度最大为11cm，客户使用条件要求的最大移动距离为10cm，因此LED晶粒1排列形成的矩形的对角线最大对角线只能为10cm，即分选排列可辐射的范围最大为10cm，而对应矩形的长和宽最大只能为8cm和6cm。
上述的排列方式对蓝膜的空间利用不足，只使用了蓝膜64％的面积(蓝膜的面积是固定的)，因此现有LED晶粒在蓝膜上的排列方式造成了蓝膜的浪费，从而增加了蓝膜的用量，以及增加了蓝膜后续入库和出库等的工作量。
发明内容
本申请所要解决的技术问题在于，提供一种LED晶粒的排列方法，提高蓝膜的利用率，减少蓝膜的用量，降低成本。
本申请还要解决的技术问题在于，提供一种LED晶粒的排列方法，提高蓝膜的利用率，减少蓝膜的用量，降低成本，同时便于不同蓝膜的识别，提高效率。
本申请所要解决的技术问题在于，提供一种成品方片，蓝膜的利用率高，便于识别。
为了解决上述技术问题，本申请提供了一种LED晶粒的排列方法，包括：
设定坐标文档，所述坐标文档包括虚拟坐标信息；
设定图形文档，所述图形文档包括原点信息和移动距离信息；
将坐标文档和图形文档合并，获得排列图形文档，所述排列图形文档包括排列图形的形状信息、尺寸信息和位置信息，所述排列图形的形状信息通过预先录入获得，所述排列图形的尺寸信息通过移动距离信息获得，所述排列图形的位置信息通过原点信息和尺寸信息获得；
根据所述坐标文档和排列图形文档得到排列坐标文档；
根据所述排列坐标文档将LED晶粒进行排列，排列完成后的LED晶粒为成品晶粒，所述成品晶粒排列成圆形图案。
作为上述方案的改进，所述排列坐标文档包括排列坐标信息，所述LED晶粒根据所述排列坐标信息进行排列；
根据所述坐标文档和排列图形文档得到排列坐标文档的方法包括：
根据所述虚拟坐标信息、原点信息和移动距离信息，在虚拟坐标上设置原点和直径；
以所述原点为中心，将所述排列图形设置在所述虚拟坐标上；
将所述排列图形之外的虚拟坐标删除，以获得所述排列坐标信息；
其中，保留在排列图形内的虚拟坐标为排列坐标。
作为上述方案的改进，所述LED晶粒来自至少一个晶圆，且所述LED晶粒的光电等级相同；
位于圆形图案直径上的成品晶粒包括来自任一所述晶圆的至少一个LED晶粒。
作为上述方案的改进，虚拟坐标信息中的虚拟坐标按XY轴方向建立，并根据LED晶粒的大小和LED晶粒之间的间距来设定。
作为上述方案的改进，所述原点信息根据蓝膜的中心点获得，所述移动距离信息根据分选设备的摆臂可移动最大长度和使用成品晶粒的设备参数获得。
相应地，本申请还提供了另一种LED晶粒的排列方法，包括：
设定坐标文档，所述坐标文档包括虚拟坐标信息；
设定图形文档，所述图形文档包括原点信息、移动距离信息和标识信息；
将坐标文档和图形文档合并，获得排列图形文档，所述排列图形文档包括排列图形的形状信息、尺寸信息和位置信息，以及标识图形的形状信息和位置信息，所述排列图形的形状信息通过预先录入获得，所述排列图形的尺寸信息通过移动距离信息获得，所述排列图形的位置信息通过原点信息和尺寸信息获得，所述标识图形的形状信息和位置信息通过预先录入获得；
根据所述坐标文档和排列图形文档得到排列坐标文档；
根据所述排列坐标文档将LED晶粒进行排列，排列完成后的LED晶粒为成品晶粒，所述成品晶粒排列成具有标识的圆形图案。
作为上述方案的改进，所述排列坐标文档包括排列坐标信息，所述LED晶粒根据所述排列坐标信息进行排列；
根据所述坐标文档和排列图形文档得到排列坐标文档的方法包括：
根据所述虚拟坐标信息、原点信息和移动距离信息，在虚拟坐标上设置原点和直径；
以所述原点为中心，将所述排列图形和标识图形设置在所述虚拟坐标上，其中，所述标识图形位于所述排列图形内；
将所述排列图形之外的虚拟坐标和识别图形内的坐标删除，以获得所述排列坐标信息；
其中，保留在排列图形内的虚拟坐标为排列坐标。
作为上述方案的改进，所述LED晶粒来自至少一个晶圆，且所述LED晶粒的光电等级相同；
位于圆形图案直径上的成品晶粒包括来自任一所述晶圆的至少一个LED晶粒；
虚拟坐标信息中的虚拟坐标按XY轴方向建立，并根据LED晶粒的大小和LED晶粒之间的间距来设定；
所述原点信息根据蓝膜的中心点获得，所述移动距离信息根据分选设备的摆臂可移动最大长度和使用成品晶粒的设备参数获得。
相应地，本申请还提供了一种成品方片，包括基材和LED晶粒，所述LED晶粒排列在所述基材上，所述LED晶粒的排列图形为圆形，所述圆形的原点为所述基材的中心点，所述圆形的直径小于等于分选设备的摆臂可移动最大长度。
作为上述方案的改进，排列在所述基材上的LED晶粒所形成的排列图形具有标识，所述标识处没有排列所述LED晶粒，所述标识的形状为数字形状或字母形状。
实施本申请，具有如下有益效果：
本申请LED晶粒的排列方法打破惯性思维的方形矩阵排列，采用全新的排列逻辑，以分选设备可排列的最大辐射范围作为直径，排列形成圆形，蓝膜利用率大幅提高，有效降低蓝膜成本、设备成本和人力成本。
此外，本申请在LED晶粒的排列过程中，自动空出标识图形设定坐标的位置，不摆放LED晶粒，以形成特定形状的识别图形。最终形成的成品方片具有数字或字母标识，其中，不同的数字或字母代表成品晶粒的光电等级，这样在后续入库和出库中，可以被快速识别，且可以实现100％可识别，0％异常流出，有效提高生产效率。
本申请成品方片的蓝膜利用率大幅提高，有效降低蓝膜成本、设备成本和人力成本。此外，本申请成品方片具有数字或字母标识，其中，不同的数字或字母代表成品晶粒的光电等级，这样在后续入库和出库中，可以被快速识别，且可以实现100％可识别，0％异常流出，有效提高生产效率。
附图说明
图1是现有成品方片上LED晶粒的排列方式的示意图；
图2是本申请实施例1中在蓝膜上设定虚拟坐标的示意图；
图3是本申请实施例1中在虚拟坐标上形成排列图形的示意图；
图4是本申请实施例1中排列坐标的示意图；
图5是本申请实施例1中成品晶粒排列在蓝膜上的示意图；
图6是本申请实施例2中在蓝膜上设定虚拟坐标的示意图；
图7是本申请实施例2中在虚拟坐标上形成排列图形的示意图；
图8是本申请实施例2中排列坐标的示意图；
图9是本申请实施例2中成品晶粒排列在蓝膜上的示意图；
图10是本申请实施例3中成品方片上LED晶粒的排列方式的示意图。
具体实施方式
为使本申请的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图对本申请作进一步地详细描述。
实施例1
本申请提供的一种LED晶粒的排列方法，包括以下步骤：
S1、设定坐标文档，所述坐标文档包括虚拟坐标信息；
具体的，虚拟坐标信息中的虚拟坐标按XY轴方向建立，并根据LED晶粒的大小和LED晶粒之间的间距来设定。
例如：在图2中的蓝膜1上按XY轴方向建立虚拟坐标。
本申请除了按照XY轴方向的方式来建立虚拟坐标外，还可以通过现有的其他方式来建立虚拟坐标。
S2、设定图形文档，所述图形文档包括原点信息和移动距离信息；
为了保证排列后的LED晶粒能够集中在蓝膜1的中心，并保持蓝膜边缘空白位置的一致性，以便于蓝膜的取放，所述原点信息根据蓝膜的中心点获得。
为了保证分选设备和客户的设备可以正常使用，所述移动距离信息根据分选设备的摆臂可移动最大长度和使用成品晶粒的设备参数获得。
S3、将坐标文档和图形文档合并，获得排列图形文档；
其中，所述排列图形文档包括排列图形的形状信息、尺寸信息和位置信息，所述排列图形的形状信息通过预先录入获得，所述排列图形的尺寸信息通过移动距离信息获得，所述排列图形的位置信息通过原点信息和尺寸信息获得。
例如：参见图3，在蓝膜1上设定虚拟坐标，以蓝膜1的中心点为原点2，设定移动距离信息中的移动距离3(直径)为10cm，设定排列图形4的形状为圆形。
由于已预先设定了排列图形4的形状为圆形，所以通过移动距离3可以得出排列图形4的尺寸；此外，将蓝膜1的中心点作为圆形的原点2，并根据移动距离3可以得知排列图形4的位置信息。
S4、根据所述坐标文档和排列图形文档得到排列坐标文档；
具体的，根据所述坐标文档和排列图形文档得到排列坐标文档的方法包括：
根据所述虚拟坐标信息、原点信息和移动距离信息，在虚拟坐标上设置原点和直径；
以所述原点为中心，将所述排列图形设置在所述虚拟坐标上；
将所述排列图形之外的虚拟坐标删除，以获得所述排列坐标信息；
其中，保留在排列图形内的虚拟坐标为排列坐标。
例如：参见图3和图4，在蓝膜1上设定虚拟坐标，以蓝膜1的中心点为原点2，设定移动距离信息中的移动距离3(直径)为10cm，然后在蓝膜1的虚拟坐标上形成圆形的排列图形4；最后将排列图形4之外的虚拟坐标删除，以获得所述排列坐标信息；其中，保留在排列图形4内的虚拟坐标为排列坐标。
矩形的LED晶粒排列方式只需根据所述虚拟坐标就可以实现排列，但本申请需要将虚拟坐标转化成排列坐标才可以将LED晶粒排列成圆形，对于圆形的排列坐标，申请人通过大量的研究才发现，通过设置原点和移动距离来形成圆形的排列图案，然后将排列图案之外的虚拟坐标删除，才可以获得本申请的排列坐标。若本申请不将排列图案之外的虚拟坐标删除，分选设备容易出现错误，将LED晶粒排列在排列坐标以外的虚拟坐标上，从而影响LED晶粒排列成圆形。
S5、根据所述排列坐标文档将LED晶粒进行排列，排列完成后的LED晶粒为成品晶粒，所述成品晶粒排列成圆形图案。
具体的，所述排列坐标文档包括排列坐标信息，所述LED晶粒根据所述排列坐标信息进行排列。
参见图5，分选设备根据所述排列坐标信息并通过摆臂将所述LED晶粒抓取至蓝膜1上，排列完成后的LED晶粒为成品晶粒6，所述成品晶粒6排列成圆形图案。
与矩形的LED晶粒排列方式相比，本申请的LED晶粒排列成圆形，在分选设备摆臂移动长度有限的情况下，可以最大程度地利用蓝膜面积，即在同一张蓝膜上排列更多的LED晶粒，从而减少蓝膜的数量，降低生成成本，以及降低蓝膜后续入库和出库等的工作量。
需要说明的是，所述LED晶粒来自至少一个晶圆，且所述LED晶粒的光电等级相同，即排列在同一张蓝膜上的LED晶粒，其光电等级相同。
本申请的LED晶粒在蓝膜上排列成圆形后，该蓝膜就作为成品方片进行后续流程。为了保证成品方片上的LED晶粒的光电等级相同，在入库之前，还需要对成品方片上的LED晶粒进行检测，其中可以对成品方片上的LED晶粒进行抽检或全检，但为了提高效率，一般对成品方片上的LED晶粒进行抽检。
由于成品方片上的LED晶粒来自不同的晶圆，为了保证来自不同晶圆的LED晶粒都可以被抽检到，本申请位于所述圆形图案直径上的成品晶粒6包括来自任一所述晶圆的至少一个LED晶粒。
实施例2
本申请提供的一种LED晶粒的排列方法，包括以下步骤：
S1、设定坐标文档，所述坐标文档包括虚拟坐标信息；
具体的，虚拟坐标信息中的虚拟坐标按XY轴方向建立，并根据LED晶粒的大小和LED晶粒之间的间距来设定。
例如：在图6中的蓝膜1上按XY轴方向建立虚拟坐标。
本申请除了按照XY轴方向的方式来建立虚拟坐标外，还可以通过现有的其他方式来建立虚拟坐标。
S2、设定图形文档，所述图形文档包括原点信息、移动距离信息和标识信息；
为了保证排列后的LED晶粒能够集中在蓝膜1的中心，并保持蓝膜边缘空白位置的一致性，以便于蓝膜的取放，所述原点信息根据蓝膜的中心点获得。
为了保证分选设备和客户的设备可以正常使用，所述移动距离信息根据分选设备的摆臂可移动最大长度和使用成品晶粒的设备参数获得。
与实施例1不同的是，本实施例图形文档还包括标识信息，所述标识信息中的标识的形状为数字形状或字母形状，但不限于此。
S3、将坐标文档和图形文档合并，获得排列图形文档；
其中，所述排列图形文档包括排列图形的形状信息、尺寸信息和位置信息，以及标识图形的形状信息和位置信息。
所述排列图形的形状信息通过预先录入获得，所述排列图形的尺寸信息通过移动距离信息获得，所述排列图形的位置信息通过原点信息和尺寸信息获得。
所述标识图形的形状信息和位置信息通过预先录入获得。
例如：参见图7，在蓝膜1上设定虚拟坐标，以蓝膜1的中心点为原点2，设定移动距离信息中的移动距离3(直径)为10cm，设定排列图形4的形状为圆形。
由于已预先设定了排列图形4的形状为圆形，所以通过移动距离3可以得出排列图形4的尺寸；此外，将蓝膜1的中心点作为圆形的原点2，并根据移动距离3可以得知排列图形4的位置信息。
此外，设定标识图形5的形状为字母“H”，设定其位置位于排列图形4内上部。
S4、根据所述坐标文档和排列图形文档得到排列坐标文档；
具体的，根据所述坐标文档和排列图形文档得到排列坐标文档的方法包括：
根据所述虚拟坐标信息、原点信息和移动距离信息，在虚拟坐标上设置原点和直径；
以所述原点为中心，将所述排列图形和标识图形设置在所述虚拟坐标上，其中，所述标识图形位于所述排列图形内；
将所述排列图形之外的虚拟坐标和识别图形内的坐标删除，以获得所述排列坐标信息；
其中，保留在排列图形内的虚拟坐标为排列坐标。
例如：参见图7和图8，在蓝膜1上设定虚拟坐标，以蓝膜1的中心点为原点2，设定移动距离信息中的移动距离3(直径)为10cm，然后在蓝膜1的虚拟坐标上形成圆形的排列图形4和识别图形5；最后将排列图形4之外的虚拟坐标和识别图形5内的虚拟坐标删除，以获得所述排列坐标信息；其中，保留在排列图形内的虚拟坐标为排列坐标。
S5、根据所述排列坐标文档将LED晶粒进行排列，排列完成后的LED晶粒为成品晶粒，所述成品晶粒排列成具有标识的圆形图案。
具体的，所述排列坐标文档包括排列坐标信息，所述LED晶粒根据所述排列坐标信息进行排列。
参见图9，分选设备根据所述排列坐标并通过摆臂将所述LED晶粒抓取至蓝膜1上，排列完成后的LED晶粒为成品晶粒6，所述成品晶粒6排列成具有标识的圆形图案。
与矩形的LED晶粒排列方式相比，本申请的LED晶粒排列成圆形，在分选设备摆臂移动长度有限的情况下，可以最大程度地利用蓝膜面积，即在同一张蓝膜上排列更多的LED晶粒，从而减少蓝膜的数量，降低生成成本，以及降低蓝膜后续入库和出库等的工作量。
需要说明的是，所述LED晶粒来自至少一个晶圆，且所述LED晶粒的光电等级相同，即排列在同一张蓝膜上的LED晶粒，其光电等级相同。
本申请的LED晶粒在蓝膜上排列成圆形后，该蓝膜就作为成品方片进行后续流程。为了保证成品方片上的LED晶粒的光电等级相同，在入库之前，还需要对成品方片上的LED晶粒进行检测，其中可以对成品方片上的LED晶粒进行抽检或全检，但为了提高效率，一般对成品方片上的LED晶粒进行抽检。
由于成品方片上的LED晶粒来自不同的晶圆，为了保证来自不同晶圆的LED晶粒都可以被抽检到，本申请位于所述圆形排列图形直径上的成品晶粒6包括来自任一所述晶圆的至少一个LED晶粒。
需要说明的是，LED晶粒在排列的过程中，自动空出标识图形设定坐标的位置，不摆放LED晶粒，以形成特定形状的识别图形。
本实施例最终形成的成品方片具有数字或字母标识，其中，不同的数字或字母代表成品晶粒的光电等级，这样在后续入库和出库中，可以被快速识别，且可以实现100％可识别，0％异常流出，有效提高生产效率。
实施例3
参见图10，本申请提供的一种成品方片，包括基材1和LED晶粒2，所述LED晶粒2排列在所述基材1上，所述LED晶粒2的排列图形为圆形，所述圆形的原点为所述基材1的中心点，所述圆形的直径小于等于分选设备的摆臂可移动最大长度。
优选的，排列在所述基材1上的LED晶粒2所形成的排列图形具有标识3，所述标识3处没有排列所述LED晶粒2，所述标识3的形状为数字形状或字母形状。
优选的，所述基材1为蓝膜，但不限于此。
本申请成品方片的蓝膜利用率大幅提高，有效降低蓝膜成本、设备成本和人力成本。
此外，本申请成品方片具有数字或字母标识，其中，不同的数字或字母代表成品晶粒的光电等级，这样在后续入库和出库中，可以被快速识别，且可以实现100％可识别，0％异常流出，有效提高生产效率。
以上所揭露的仅为本申请一种较佳实施例而已，当然不能以此来限定本申请之权利范围，因此依本申请权利要求所作的等同变化，仍属本申请所涵盖的范围。
Claims (10)
1.一种LED晶粒的排列方法，其特征在于，包括：
设定坐标文档，所述坐标文档包括虚拟坐标信息；
设定图形文档，所述图形文档包括原点信息和移动距离信息；
将坐标文档和图形文档合并，获得排列图形文档，所述排列图形文档包括排列图形的形状信息、尺寸信息和位置信息，所述排列图形的形状信息通过预先录入获得，所述排列图形的尺寸信息通过移动距离信息获得，所述排列图形的位置信息通过原点信息和尺寸信息获得；
根据所述坐标文档和排列图形文档得到排列坐标文档；
根据所述排列坐标文档将LED晶粒进行排列，排列完成后的LED晶粒为成品晶粒，所述成品晶粒排列成圆形图案。
2.如权利要求1所述的LED晶粒的排列方法，其特征在于，所述排列坐标文档包括排列坐标信息，所述LED晶粒根据所述排列坐标信息进行排列；
根据所述坐标文档和排列图形文档得到排列坐标文档的方法包括：
根据所述虚拟坐标信息、原点信息和移动距离信息，在虚拟坐标上设置原点和直径；
以所述原点为中心，将所述排列图形设置在所述虚拟坐标上；
将所述排列图形之外的虚拟坐标删除，以获得所述排列坐标信息；
其中，保留在排列图形内的虚拟坐标为排列坐标。
3.如权利要求1所述的LED晶粒的排列方法，其特征在于，所述LED晶粒来自至少一个晶圆，且所述LED晶粒的光电等级相同；
位于圆形图案直径上的成品晶粒包括来自任一所述晶圆的至少一个LED晶粒。
4.如权利要求1或2所述的LED晶粒的排列方法，其特征在于，虚拟坐标信息中的虚拟坐标按XY轴方向建立，并根据LED晶粒的大小和LED晶粒之间的间距来设定。
5.如权利要求1或4所述的LED晶粒的排列方法，其特征在于，所述原点信息根据蓝膜的中心点获得，所述移动距离信息根据分选设备的摆臂可移动最大长度和使用成品晶粒的设备参数获得。
6.一种LED晶粒的排列方法，其特征在于，包括：
设定坐标文档，所述坐标文档包括虚拟坐标信息；
设定图形文档，所述图形文档包括原点信息、移动距离信息和标识信息；
将坐标文档和图形文档合并，获得排列图形文档，所述排列图形文档包括排列图形的形状信息、尺寸信息和位置信息，以及标识图形的形状信息和位置信息，所述排列图形的形状信息通过预先录入获得，所述排列图形的尺寸信息通过移动距离信息获得，所述排列图形的位置信息通过原点信息和尺寸信息获得，所述标识图形的形状信息和位置信息通过预先录入获得；
根据所述坐标文档和排列图形文档得到排列坐标文档；
根据所述排列坐标文档将LED晶粒进行排列，排列完成后的LED晶粒为成品晶粒，所述成品晶粒排列成具有标识的圆形图案。
7.如权利要求6所述的LED晶粒的排列方法，其特征在于，所述排列坐标文档包括排列坐标信息，所述LED晶粒根据所述排列坐标信息进行排列；
根据所述坐标文档和排列图形文档得到排列坐标文档的方法包括：
根据所述虚拟坐标信息、原点信息和移动距离信息，在虚拟坐标上设置原点和直径；
以所述原点为中心，将所述排列图形和标识图形设置在所述虚拟坐标上，其中，所述标识图形位于所述排列图形内；
将所述排列图形之外的虚拟坐标和识别图形内的坐标删除，以获得所述排列坐标信息；
其中，保留在排列图形内的虚拟坐标为排列坐标。
8.如权利要求6所述的LED晶粒的排列方法，其特征在于，所述LED晶粒来自至少一个晶圆，且所述LED晶粒的光电等级相同；
位于圆形图案直径上的成品晶粒包括来自任一所述晶圆的至少一个LED晶粒；
虚拟坐标信息中的虚拟坐标按XY轴方向建立，并根据LED晶粒的大小和LED晶粒之间的间距来设定；
所述原点信息根据蓝膜的中心点获得，所述移动距离信息根据分选设备的摆臂可移动最大长度和使用成品晶粒的设备参数获得。
9.一种成品方片，其特征在于，包括基材和LED晶粒，所述LED晶粒排列在所述基材上，所述LED晶粒的排列图形为圆形，所述圆形的原点为所述基材的中心点，所述圆形的直径小于等于分选设备的摆臂可移动最大长度。
10.如权利要求9所述的成品方片，其特征在于，排列在所述基材上的LED晶粒所形成的排列图形具有标识，所述标识处没有排列所述LED晶粒，所述标识的形状为数字形状或字母形状。
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| CN114669496A (zh) * | 2022-04-24 | 2022-06-28 | 江西兆驰半导体有限公司 | 一种led芯片分选方法 |
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| JP2006148013A (ja) * | 2004-11-24 | 2006-06-08 | Nikon Corp | 位置合わせ方法及び露光方法 |
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2021
- 2021-10-15 CN CN202111202250.XA patent/CN114146955B/zh active Active
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