CN102114605B - 一种用于石英陶瓷坩埚加工的数控平面磨床 - Google Patents

一种用于石英陶瓷坩埚加工的数控平面磨床 Download PDF

Info

Publication number
CN102114605B
CN102114605B CN201010599784.6A CN201010599784A CN102114605B CN 102114605 B CN102114605 B CN 102114605B CN 201010599784 A CN201010599784 A CN 201010599784A CN 102114605 B CN102114605 B CN 102114605B
Authority
CN
China
Prior art keywords
grinding
sides
power transmission
line slideway
base
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
CN201010599784.6A
Other languages
English (en)
Other versions
CN102114605A (zh
Inventor
杨建良
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
HONGYUAN NEW MATERIALS WUXI CO Ltd
Original Assignee
HONGYUAN NEW MATERIALS WUXI CO Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by HONGYUAN NEW MATERIALS WUXI CO Ltd filed Critical HONGYUAN NEW MATERIALS WUXI CO Ltd
Priority to CN201010599784.6A priority Critical patent/CN102114605B/zh
Publication of CN102114605A publication Critical patent/CN102114605A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN102114605B publication Critical patent/CN102114605B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Abstract

本发明提供了一种用于石英陶瓷坩埚加工的数控平面磨床，可以使平面磨削与倒角处理在同一台磨床加工，其使得石英坩埚的磨削效率提高，其包括床身、工作台，其特征在于：所述床身的两侧固定安装有导轨座，底座通过直线导轨分别安装在所述两侧的导轨座上，所述两侧的导轨座上分别设置有齿条，传动轴两端固定有齿轮，所述齿轮分别与所述齿条啮合，所述传动轴上活动套装有支架，横梁连接所述支架并固定在两侧的底座上，所述横梁两侧分别通过直线导轨和滚珠丝杠安装有十字拖板，所述十字拖板分别通过直线导轨和滚珠丝杠安装有垂直拖板，平面磨头、倒角磨头分别安装在所述的垂直拖板上。

Description

一种用于石英陶瓷坩埚加工的数控平面磨床
技术领域
本发明涉及数控机床的结构领域，具体为一种用于石英坩埚加工的数控平面磨床。
背景技术
伴随着多晶硅行业的发展，现在制造多晶硅所需要的石英坩埚行业也迅速发展，优质的石英坩埚能确保多晶硅的质量，但是制造优质的石英坩埚需要造型平整、壁厚要均匀，为了达到上述要求，提高成品率，需要对石英坩埚底面以及四周倒角进行磨削处理，现有的磨床只能单独对坩埚进行平面磨削或倒角处理，需要把石英坩埚分别放入不同的磨床中进行磨削，其磨削效率低。
发明内容
针对上述问题，本发明提供了一种数控坩埚平面磨床，可以使平面磨削与倒角处理在同一台磨床加工，其使得石英坩埚的磨削效率提高。
其技术方案是这样的：一种数控坩埚平面磨床，其包括床身、工作台，其特征在于：所述床身的两侧固定安装有导轨座，底座通过直线导轨分别安装在所述两侧的导轨座上，所述两侧的导轨座上分别设置有齿条，传动轴两端固定有齿轮，所述齿轮分别与所述齿条啮合，所述传动轴上活动套装有支架，横梁连接所述支架并固定在两侧的底座上，所述横梁两侧分别通过直线导轨和滚珠丝杠安装有十字拖板，所述十字拖板分别通过直线导轨和滚珠丝杠安装有垂直拖板，平面磨头、倒角磨头分别安装在所述的垂直拖板上。
其进一步特征在于：所述滚珠丝杆分别与伺服电机连接；所述平面磨头包括砂轮架、砂轮主轴和金刚石平面砂轮，所述砂轮主轴通过皮带和皮带轮与电机轴连接，所述倒角磨头包括砂轮架、砂轮主轴和金刚石倒角砂轮，所述砂轮主轴通过皮带和皮带轮与电机轴连接；所述传动轴为通过联轴器连接的两根传动轴。
本发明的上述结构，由于磨床上同时安装有倒角磨头和平面磨头，通过拖板的移动分别实现石英坩埚平面磨削和倒角磨削，可以使平面磨削与倒角磨削在同一台磨床加工，其使得石英坩埚的磨削效率高。
附图说明
图1为本发明数控坩埚平面磨床的主视图结构示意图；
图2为本发明数控坩埚平面磨床的左视图结构示意图。
具体实施方式
见图1、图2，一种数控坩埚平面磨床，其包括床身1、工作台2，床身的两侧固定安装有导轨座3、6，底座5、7通过导轨4-1、4-2分别安装在两侧的导轨座3、6上，两侧的导轨座3、6上分别设置有齿条14-1、14-2，传动轴由两根传动轴12-1、12-2通过联轴器11连接而成，传动轴两端固定有齿轮13-1、13-2，齿轮13-1、13-2分别与齿条14-1、14-2啮合，传动轴上活动套装有支架33，横梁8连接支架33并固定在两侧的底座5、7上，横梁两侧分别通过直线导轨16-1、16-2和滚珠丝杠17-1、17-2安装有十字拖板15和24，十字拖板15和24分别通过19-1、19-2和19-3、19-4，滚珠丝杠20-1和20-2安装有垂直拖板21和25，平面磨头31、倒角磨头32分别安装在垂直拖板21、25上。
平面磨头31包括砂轮架26-1、砂轮主轴27-1和金刚石平面砂轮28，砂轮主轴27-1通过皮带34-1和皮带轮35-1、36-1与电机轴37-1连接、倒角磨头32包括砂轮架26-2、砂轮主轴27-2和金刚石倒角砂轮29，砂轮主轴27-2通过皮带34-2和皮带轮35-2、36-2与电机轴37-2连接。
横梁8连接在两侧的底座5、7上，伺服电机9通过减速机10驱动传动轴上的齿轮13-1、13-2在两侧导轨座上的齿条14-1、14-2上滚动，带动底座沿直线导轨4-1、4-2运动，从而使连接在两侧底座上的横梁8在Z向移动，在横梁8上左侧的十字拖板15通过直线导轨16-1，滚珠丝杠17-1由伺服电机18-1驱动在X1向移动，左侧的垂直拖板21通过直线导轨19-1和滚珠丝杠20-1由伺服电机22-1驱动在Y1向移动，在横梁上右侧的十字拖板24通过直线导轨16-2，滚珠丝杠17-2由伺服电机18-2驱动在X2向移动，右侧的垂直拖板25通过直线导轨19-2和滚珠丝杠20-2由伺服电机22-2驱动在Y2向移动。
由于平面磨头、倒角磨头通过垂直拖板和十字拖板安装在同一块横梁上，可以实现平面磨头、倒角磨头在X1、X2、Y1、Y2方向移动，两侧底座分别通过齿条、齿轮和直线导轨带动横梁在Z向移动，实现了平面磨头、倒角磨头在X1、X2、Y1、Y2和Z向的运动，在同一磨床上实现了对固定在工作台上的石英坩埚30的平面磨削和倒角磨头削。
本发明采用进口三菱控制系统，使磨头在X1、X2、Y1、Y2和Z向的运行精准、平稳，且操作简便，实现数控三维运动，可以实现石英坩埚平面磨削与倒角磨削在同一台磨床精确、稳定地完成，其使得石英坩埚的磨削效率高。

Claims (2)

1.一种用于石英陶瓷坩埚加工的数控平面磨床，其包括床身、工作台，其特征在于：所述床身的两侧固定安装有导轨座，底座通过直线导轨分别安装在所述两侧的导轨座上，所述两侧的导轨座上分别设置有齿条，传动轴两端固定有齿轮，所述齿轮分别与所述齿条啮合，所述传动轴上活动套装有支架，横梁连接所述支架并固定在两侧的底座上，所述横梁两侧分别通过直线导轨和滚珠丝杠安装有十字拖板，所述十字拖板分别通过直线导轨和滚珠丝杠安装有垂直拖板，平面磨头、倒角磨头分别安装在所述的垂直拖板上；所述平面磨头包括砂轮架、砂轮主轴和金刚石平面砂轮，所述砂轮主轴通过皮带和皮带轮与电机轴连接，所述倒角磨头包括砂轮架、砂轮主轴和金刚石倒角砂轮，所述砂轮主轴通过皮带和皮带轮与电机轴连接；所述传动轴为通过联轴器连接的两根传动轴。
2.根据权利要求1所述一种用于石英陶瓷坩埚加工的数控平面磨床，其特征在于：所述滚珠丝杆分别与伺服电机连接。
CN201010599784.6A 2010-12-22 2010-12-22 一种用于石英陶瓷坩埚加工的数控平面磨床 Active CN102114605B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201010599784.6A CN102114605B (zh) 2010-12-22 2010-12-22 一种用于石英陶瓷坩埚加工的数控平面磨床

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201010599784.6A CN102114605B (zh) 2010-12-22 2010-12-22 一种用于石英陶瓷坩埚加工的数控平面磨床

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN102114605A CN102114605A (zh) 2011-07-06
CN102114605B true CN102114605B (zh) 2016-01-27

Family

ID=44213587

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201010599784.6A Active CN102114605B (zh) 2010-12-22 2010-12-22 一种用于石英陶瓷坩埚加工的数控平面磨床

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN102114605B (zh)

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN105201210B (zh) * 2015-09-14 2017-05-31 安徽省葛根生产力促进中心有限公司 一种用于加工建筑板材的手动自动多功能建筑设备
CN106112761A (zh) * 2016-08-12 2016-11-16 无锡尊宝电动车有限公司 一种机械零件的打磨装置
CN107855927A (zh) * 2017-12-13 2018-03-30 无锡上机数控股份有限公司 数控电动升降磨头

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4375738A (en) * 1977-12-31 1983-03-08 Bando Kiko Co., Ltd. Method for grinding glass plate and the like by numerical control and grinding machine therefor
CN2902570Y (zh) * 2005-11-03 2007-05-23 佛山市汉诺普机械有限公司 完全干式磨边机
CN101347913A (zh) * 2008-09-16 2009-01-21 杨建良 一种兼有磨面、倒角加工功能的磨头结构
CN202097624U (zh) * 2010-12-22 2012-01-04 弘元新材料无锡有限公司 一种石英陶瓷坩埚数控平面磨床

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH07276205A (ja) * 1994-12-19 1995-10-24 Bando Kiko Kk ガラス板の加工機械
JP3470057B2 (ja) * 1999-02-10 2003-11-25 株式会社白井▲鉄▼工所 板ガラスの研磨装置

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4375738A (en) * 1977-12-31 1983-03-08 Bando Kiko Co., Ltd. Method for grinding glass plate and the like by numerical control and grinding machine therefor
CN2902570Y (zh) * 2005-11-03 2007-05-23 佛山市汉诺普机械有限公司 完全干式磨边机
CN101347913A (zh) * 2008-09-16 2009-01-21 杨建良 一种兼有磨面、倒角加工功能的磨头结构
CN202097624U (zh) * 2010-12-22 2012-01-04 弘元新材料无锡有限公司 一种石英陶瓷坩埚数控平面磨床

Also Published As

Publication number Publication date
CN102114605A (zh) 2011-07-06

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN103317726A (zh) 3d打印机的喷头传动机构及具有该机构的3d打印机
CN201394752Y (zh) 台阶端面多用磨床
CN102114605B (zh) 一种用于石英陶瓷坩埚加工的数控平面磨床
CN203344320U (zh) 3d打印机的喷头传动机构及具有该机构的3d打印机
CN203804777U (zh) 一种首饰品自动化生产系统
CN202877881U (zh) 高效数控动梁龙门移动式车铣床
CN204220721U (zh) 多工位薄板冲压液压机
CN202097624U (zh) 一种石英陶瓷坩埚数控平面磨床
CN104858720A (zh) 正轴有五轴结构的走心式车铣机床
CN102166594B (zh) 一种立式旋压机的三轴联动伺服传动系统
CN101602174A (zh) 机械平旋盘
CN203696014U (zh) 弦杆专用钻孔机床
CN208499759U (zh) 齿轮传动玻璃吸盘机构
CN202438710U (zh) 一种数控电机座深孔镗床
CN204893634U (zh) 异型玻璃加工中心
CN205587961U (zh) 一种平床身直线导轨数控车床
CN108994730B (zh) 超大行程刀具进给机构
CN104400994B (zh) 婴儿拉拉裤腰围变速缓冲组件及浮动方法
CN209632315U (zh) 玻璃自动加工流水线
CN203600370U (zh) 木制楼梯扶手弯头数控专用加工机床
CN202951744U (zh) 弯管机管件助推装置
CN205438212U (zh) 一种数控立式平面成型磨床
CN204321014U (zh) 一种弯管机送料机构
CN202070548U (zh) 伺服电机直接驱动的金属丝线压延装置
CN206153985U (zh) 大型机床龙门装置

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
C14 Grant of patent or utility model
GR01 Patent grant