CN202097624U - 一种石英陶瓷坩埚数控平面磨床 - Google Patents
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Abstract
本实用新型提供了一种石英陶瓷坩埚数控平面磨床,可以使平面磨削与倒角处理在同一台磨床加工,其使得石英陶瓷坩埚的磨削效率提高,其包括床身、工作台,其特征在于:所述床身的两侧固定安装有导轨座,底座通过直线导轨分别安装在所述两侧的导轨座上,所述两侧的导轨座上分别设置有齿条,传动轴两端固定有齿轮,所述齿轮分别与所述齿条啮合,所述传动轴上活动套装有支架,横梁连接所述支架并固定在两侧的底座上,所述横梁两侧分别通过直线导轨和滚珠丝杠安装有十字拖板,所述十字拖板分别通过直线导轨和滚珠丝杠安装有垂直拖板,平面磨头、倒角磨头分别安装在所述的垂直拖板上。
Description
技术领域
本实用新型涉及数控机床的结构领域,具体为一种石英陶瓷坩埚数控平面磨床。
背景技术
伴随着多晶硅行业的发展,现在制造多晶硅所需要的石英陶瓷坩埚行业也迅速发展,优质的石英陶瓷坩埚能确保多晶硅的质量,但是制造优质的石英陶瓷坩埚需要造型平整、壁厚要均匀,为了达到上述要求,提高成品率,需要对石英陶瓷坩埚底面以及四周倒角进行磨削处理,现有的磨床只能单独对石英陶瓷坩埚进行平面磨削或倒角处理,需要把石英陶瓷坩埚分别放入不同的磨床中进行磨削,其磨削效率低。
发明内容
针对上述问题,本实用新型提供了一种石英陶瓷坩埚数控平面磨床,可以使平面磨削与倒角处理在同一台磨床加工,其使得石英陶瓷坩埚的磨削效率提高。
其技术方案是这样的:一种石英陶瓷坩埚数控平面磨床,其包括床身、工作台,其特征在于:所述床身的两侧固定安装有导轨座,底座通过直线导轨分别安装在所述两侧的导轨座上,所述两侧的导轨座上分别设置有齿条,传动轴两端固定有齿轮,所述齿轮分别与所述齿条啮合,所述传动轴上活动套装有支架,横梁连接所述支架并固定在两侧的底座上,所述横梁两侧分别通过直线导轨和滚珠丝杠安装有十字拖板,所述十字拖板分别通过直线导轨和滚珠丝杠安装有垂直拖板,平面磨头、倒角磨头分别安装在所述的垂直拖板上。
其进一步特征在于:所述滚珠丝杆分别与伺服电机连接;所述平面磨头包括砂轮架、砂轮主轴和金刚石平面砂轮,所述砂轮主轴通过皮带和皮带轮与电机轴连接,所述倒角磨头包括砂轮架、砂轮主轴和金刚石倒角砂轮,所述砂轮主轴通过皮带和皮带轮与电机轴连接;所述传动轴为通过联轴器连接的两根传动轴。
本实用新型的上述结构,由于磨床上同时安装有倒角磨头和平面磨头,通过拖板的移动分别实现石英陶瓷坩埚平面磨削和倒角磨削,可以使平面磨削与倒角磨削在同一台磨床加工,其使得石英陶瓷坩埚的磨削效率高。
附图说明
图1为本实用新型石英玻璃陶瓷坩埚数控平面磨床的主视图结构示意图;
图2为本实用新型石英玻璃陶瓷坩埚数控平面磨床的左视图结构示意图。
具体实施方式
见图1、图2,一种石英陶瓷坩埚数控平面磨床,其包括床身1、工作台2,床身的两侧固定安装有导轨座3、6,底座5、7通过导轨4-1、4-2分别安装在两侧的导轨座3、6上,两侧的导轨座3、6上分别设置有齿条14-1、14-2,传动轴由两根传动轴12-1、12-2通过联轴器11连接而成,传动轴两端固定有齿轮13-1、13-2,齿轮13-1、13-2分别与齿条14-1、14-2啮合,传动轴上活动套装有支架33,横梁8连接支架33并固定在两侧的底座5、7上,横梁两侧分别通过直线导轨16-1、16-2和滚珠丝杠17-1、17-2安装有十字拖板15和24,十字拖板15和24分别通过19-1、19-2和19-3、19-4,滚珠丝杠20-1和20-2安装有垂直拖板21和25,平面磨头31、倒角磨头32分别安装在垂直拖板21、25上。
平面磨头31包括砂轮架26-1、砂轮主轴27-1和金刚石平面砂轮28,砂轮主轴27-1通过皮带34-1和皮带轮35-1、36-1与电机轴37-1连接、倒角磨头32包括砂轮架26-2、砂轮主轴27-2和金刚石倒角砂轮29,砂轮主轴27-2通过皮带34-2和皮带轮35-2、36-2与电机轴37-2连接。
横梁8连接在两侧的底座5、7上,伺服电机9通过减速机10驱动传动轴上的齿轮13-1、13-2在两侧导轨座上的齿条14-1、14-2上滚动,带动底座5、7沿直线导轨4-1、4-2运动,从而使连接在两侧底座上的横梁8在Z向移动,在横梁8上左侧的十字拖板15通过直线导轨16-1、16-2,滚珠丝杠17-1由伺服电机18-1驱动在X1向移动,左侧的垂直拖板21通过直线导轨19-1、19-2和滚珠丝杠20-1由伺服电机22-1驱动在Y1向移动,在横梁上右侧的十字拖板24通过直线导轨16-1、16-2,滚珠丝杠17-2由伺服电机18-2驱动在X2向移动,右侧的垂直拖板25通过直线导轨19-3、19-4和滚珠丝杠20-2由伺服电机22-2驱动在Y2向移动。
由于平面磨头、倒角磨头通过垂直拖板和十字拖板安装在同一块横梁上,可以实现平面磨头、倒角磨头在X1、 X2、Y1、Y2方向移动,两侧底座分别通过齿条、齿轮和直线导轨带动横梁在Z向移动,实现了平面磨头、倒角磨头在X1、 X2、Y1、Y2和Z向的运动,在同一磨床上实现了对固定在工作台上的石英陶瓷坩埚30的平面磨削和倒角磨头削。
本实用新型采用进口三菱控制系统,使磨头在X1、 X2、Y1、Y2和Z向的运行精准、平稳,且操作简便,实现数控三维运动,可以实现石英陶瓷坩埚平面磨削与倒角磨削在同一台磨床精确、稳定地完成,其使得石英陶瓷坩埚的磨削效率高。
Claims (4)
1.一种石英陶瓷坩埚数控平面磨床,其包括床身、工作台,其特征在于:所述床身的两侧固定安装有导轨座,底座通过直线导轨分别安装在所述两侧的导轨座上,所述两侧的导轨座上分别设置有齿条,传动轴两端固定有齿轮,所述齿轮分别与所述齿条啮合,所述传动轴上活动套装有支架,横梁连接所述支架并固定在两侧的底座上,所述横梁两侧分别通过直线导轨和滚珠丝杠安装有十字拖板,所述十字拖板分别通过直线导轨和滚珠丝杠安装有垂直拖板,平面磨头、倒角磨头分别安装在所述的垂直拖板上。
2.根据权利要求1所述一种石英陶瓷坩埚数控平面磨床,其特征在于:所述滚珠丝杆分别与伺服电机连接。
3.根据权利要求1所述一种石英陶瓷坩埚数控平面磨床,其特征在于:所述平面磨头包括砂轮架、砂轮主轴和金刚石平面砂轮,所述砂轮主轴通过皮带和皮带轮与电机轴连接,所述倒角磨头包括砂轮架、砂轮主轴和金刚石倒角砂轮,所述砂轮主轴通过皮带和皮带轮与电机轴连接。
4.根据权利要求1所述一种石英陶瓷坩埚数控平面磨床,其特征在于:所述传动轴为通过联轴器连接的两根传动轴。
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