CN102087474A - 光罩传送方法及装置 - Google Patents
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Abstract
本发明涉及一种光罩传送方法，包括如下步骤：取板抓手沿光罩锁轮凹槽方向行进，安全顶针前端伸进光罩锁轮的凹槽中；检测安全顶针前端与光罩锁轮凹槽是否接触；检测安全顶针前端与光罩锁轮凹槽没有接触时传送光罩，接触时停止传送并发出警报。本发明在取板抓手的安全顶针前端安装传感器，探测安全顶针与光罩锁轮凹槽之间接触状况，在安全顶针与光罩锁轮凹槽接触时停止传送并发出警报，解决了安全顶针与光罩锁轮凹槽接触发生摩擦产生铁屑的问题，有效地避免了光罩传送时铁屑对光罩的污染，减少了废品的产生，极大的节约了成本。
Description
【技术领域】
本发明涉及一种半导体制造工艺，尤其涉及一种半导体制造工艺中光罩的传送方法及装置
【背景技术】
曝光机在对晶圆曝光时需要晶圆和光罩，光罩的传送主要依靠机械手臂(ARMS)来完成。
机械手臂主要有三个光罩台(Library)以及高低两个取板抓手(Gripper)组成。光罩台用来升降光罩仓(INDEX)以便于取板抓手进入光罩仓取走光罩，将光罩从光罩台传送到曝光时光罩所在的位置。光罩台具有一个光罩锁轮(Locking disk)，用来调整光罩仓升降的高度。
图1是取板抓手结构示意图。取板抓手包括安全顶针10、支架12以及光罩支撑14。安全顶针10用来探测取板抓手进入光罩仓的位置。
图2是光罩锁轮结构示意图。光罩锁轮上有六个大小一样的凹槽20，用来限定取板抓手进入光罩仓夹取光罩的位置，保护光罩不被划伤。
取板抓手取走光罩时，沿着光罩锁轮凹槽20方向进入光罩仓，安全顶针10垂直伸进凹槽20中。
机械手臂传送光罩时，光罩锁轮是可以调整的，它的限位螺丝不是固定不动的。光罩台不停升降过程中，光罩锁轮也在不停地转动。随着曝光机使用时间的增长，曝光机位置将发生偏移，从而导致光罩锁轮跟着发生偏移。正常情况下，安全顶针与光罩锁轮的凹槽之间空隙很小，两者贴得很紧。当光罩锁轮位置发生偏移时，安全顶针将与光罩锁轮的凹槽接触在一起，发生摩擦产生铁屑，掉落堆积在光罩锁轮附近。当机械手臂夹取光罩时，铁屑掉落在光罩上，污染光罩，导致曝光时晶圆产生缺陷，产生废品，造成大量浪费和成本的增加。
【发明内容】
有鉴于此，有必要针对上述曝光机机械手臂传送光罩时安全顶针与光罩锁轮的凹槽发生摩擦产生铁屑污染光罩的问题，提出一种光罩传送方法。
此外，还有必要针对上述曝光机机械手臂传送光罩时安全顶针与光罩锁轮的凹槽发生摩擦产生铁屑污染光罩的问题，提出一种光罩传送装置。
一种光罩传送方法，包括如下步骤：
取板抓手沿光罩锁轮凹槽方向行进，安全顶针前端伸进光罩锁轮的凹槽中；
检测安全顶针前端与光罩锁轮凹槽是否接触；
在安全顶针与光罩锁轮凹槽没有接触时传送光罩，接触时停止传送并发出警报。
优选的，所述检测安全顶针前端与光罩锁轮凹槽是否接触的步骤通过在机械手臂取板抓手的安全顶针前端安装传感器来实现。
优选的，所述传感器为压力传感器。
优选的，所述压力传感器探测到有压力时表明安全顶针与光罩锁轮凹槽接触，探测不到压力时表明安全顶针与光罩锁轮凹槽不接触。
优选的，还包括增大光罩锁轮凹槽宽度的步骤。
一种光罩传送装置，包括光罩锁轮以及取板抓手；所述光罩锁轮用来调整光罩升降的高低，所述光罩锁轮上设有限定所述取板抓手夹取光罩的位置的凹槽；所述取板抓手包括安全顶针，所述取板抓手夹取光罩时，所述安全顶针沿着所述光罩锁轮凹槽方向伸进所述光罩锁轮的凹槽中，其特征在于：所述光罩传送装置还包括报警模块及与所述报警模块连接的探测传送光罩时所述安全顶针与所述光罩锁轮凹槽之间接触状况的传感器，所述报警模块在所述传感器探测到所述安全顶针与所述光罩锁轮凹槽之间接触时发出警报。
优选的，所述传感器设置在所述安全顶针前端。
优选的，所述传感器为压力传感器。
优选的，所述压力传感器探测到有压力时表明所述安全顶针与所述光罩锁轮凹槽接触，探测不到压力时表明所述安全顶针与所述光罩锁轮凹槽不接触。
优选的，所述凹槽宽度大于30mm。
上述光罩传送装置及方法，在取板抓手的安全顶针前端安装传感器，探测安全顶针与光罩锁轮凹槽之间接触状况，在安全顶针与光罩锁轮凹槽接触时停止传送并发出警报，解决了安全顶针与光罩锁轮凹槽接触发生摩擦产生铁屑的问题，有效地避免了光罩传送时铁屑对光罩的污染，减少了废品的产生，极大的节约了成本。
【附图说明】
图1是传统取板抓手结构示意图。
图2是光罩锁轮结构示意图。
图3是本发明一实施例的取板抓手结构示意图。
【具体实施方式】
下面结合附图，通过对本发明的具体实施方式详细描述，将使本发明的技术方案及其他有益效果显而易见。
光罩传送装置进入光罩台的光罩仓取走光罩，将光罩从光罩台传送到曝光时光罩所在的位置。光罩传送装置包括光罩锁轮、取板抓手、报警模块及与报警模块连接的传感器。光罩锁轮上设有限定取板抓手夹取光罩的位置的凹槽。取板抓手包括安全顶针，取板抓手夹取光罩时，安全顶针沿着光罩锁轮凹槽方向伸进光罩锁轮的凹槽中。传感器探测传送光罩时安全顶针与光罩锁轮凹槽之间接触状况，报警模块在传感器探测到安全顶针与光罩锁轮凹槽之间接触时发出警报。
如图3所示，其为一实施例的取板抓手结构示意图。取板抓手包括支架32，光罩支撑34以及安全顶针36。传感器38设置在安全顶针36前端，在其他实施方式中，传感器38还可以设置在便于检测安全顶针36是否与光罩锁轮凹槽接触的其他位置。结合图2，取板抓手夹取光罩时，沿着光罩锁轮凹槽20方向进入光罩仓，安全顶针36伸进光罩锁轮的凹槽20中，用来探测取板抓手进入光罩仓的位置。传感器38安装在安全顶针36的前端用来探测安全顶针与光罩锁轮凹槽20之间接触状况，判断安全顶针36与光罩锁轮凹槽20之间是否接触。传感器38探测到安全顶针36与光罩锁轮凹槽20之间有接触时产生感应信号并将该感应信号发送到报警模块，报警模块收到该感应信号时发出报警信号，通知机组维护人员进行检修。该报警信号可以是控制灯光闪烁或者发出声音等。
传感器38可以采用简单的接触式开关电路或者压力传感器。接触式开关电路在安全顶针36与光罩锁轮凹槽20之间接触时导通产生感应信号并将该感应信号发送到报警模块。压力传感器感应灵敏，安全顶针36与光罩锁轮凹槽20不接触时没有压力产生，接触时会产生压力，压力传感器探测到有压力产生感应信号并将该感应信号发送到报警模块。传感器38还可以是光学距离传感器，发出出射光线并接收反射光线，通过测量接收到反射光线的时间或者计算光线传播距离，判断安全顶针36与光罩锁轮凹槽20是否接触，并进行安全提示。此外，在保证探测精度的前提下，传感器38还可以是声波传感器等其他探测器。
进一步地，为了降低安全顶针36与光罩锁轮凹槽20之间接触的可能性，可以增大凹槽20的宽度，使凹槽宽度大于30mm。
此外，还提供一种光罩传送方法，包括如下步骤：
取板抓手沿光罩锁轮凹槽方向行进，安全顶针前端伸进光罩锁轮的凹槽中。
检测安全顶针前端与光罩锁轮凹槽是否接触。
检测安全顶针前端与光罩锁轮凹槽是否接触通过在机械手臂取板抓手的安全顶针前端安装传感器来实现。传感器用来探测安全顶针与光罩锁轮凹槽之间接触状况，判断安全顶针与光罩锁轮凹槽之间是否接触。
传感器可以采用简单的接触式开关电路或者压力传感器。接触式开关电路在安全顶针与光罩锁轮凹槽之间接触时导通产生感应信号并将该感应信号发送到报警模块。压力传感器感应灵敏，安全顶针与光罩锁轮凹槽不接触时没有压力产生，接触时会产生压力，压力传感器探测到有压力产生感应信号并将该感应信号发送到报警模块。传感器还可以是光学距离传感器，发出出射光线并接收反射光线，通过测量接收到反射光线的时间或者计算光线传播距离，判断安全顶针与光罩锁轮凹槽是否接触，并进行安全提示。此外，在保证探测精度的前提下，传感器还可以是声波传感器等其他探测器。
安全顶针前端与光罩锁轮凹槽没有接触时传送光罩，接触时停止传送并发出警报。
根据传感器的探测结果做出决定。传感器探测到安全顶针与光罩锁轮凹槽之间没有接触时则传送光罩。传感器探测到安全顶针与光罩锁轮凹槽之间接触时停止传送光罩，并由报警模块发出报警信号通知机组维护人员进行检修。
同时，为了减低安全顶针与光罩锁轮凹槽之间接触的概率，凹槽的宽度大于30mm。
上述光罩传送装置及方法，在取板抓手的安全顶针上安装传感器，探测安全顶针与光罩锁轮凹槽之间接触状况，在安全顶针与光罩锁轮凹槽接触时停止传送并发出警报，解决了安全顶针与光罩锁轮凹槽接触发生摩擦产生铁屑的问题，有效地避免了光罩传送时铁屑对光罩的污染，减少了废品的产生，极大的节约了成本。
以上所述实施例仅表达了本发明的实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对本发明专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本发明的保护范围。因此，本发明专利的保护范围应以所附权利要求为准。
Claims (10)
1.一种光罩传送方法，包括如下步骤：
取板抓手沿光罩锁轮凹槽方向行进，安全顶针前端伸进光罩锁轮的凹槽中；
检测安全顶针前端与光罩锁轮凹槽是否接触；
在安全顶针与光罩锁轮凹槽没有接触时传送光罩，接触时停止传送并发出警报。
2.根据权利要求1所述的光罩传送方法，其特征在于：所述检测安全顶针前端与光罩锁轮凹槽是否接触的步骤通过在机械手臂取板抓手的安全顶针前端安装传感器来实现。
3.根据权利要求2所述的光罩传送方法，其特征在于：所述传感器为压力传感器。
4.根据权利要求3所述的光罩传送方法，其特征在于：所述压力传感器探测到有压力时表明安全顶针与光罩锁轮凹槽接触，探测不到压力时表明安全顶针与光罩锁轮凹槽不接触。
5.根据权利要求1所述的光罩传送方法，其特征在于：还包括增大光罩锁轮凹槽宽度的步骤。
6.一种光罩传送装置，包括光罩锁轮以及取板抓手；所述光罩锁轮用来调整光罩升降的高低，所述光罩锁轮上设有限定所述取板抓手夹取光罩的位置的凹槽；所述取板抓手包括安全顶针，所述取板抓手夹取光罩时，所述安全顶针沿着所述光罩锁轮凹槽方向伸进所述光罩锁轮的凹槽中，其特征在于：所述光罩传送装置还包括报警模块及与所述报警模块连接的探测传送光罩时所述安全顶针与所述光罩锁轮凹槽之间接触状况的传感器，所述报警模块在所述传感器探测到所述安全顶针与所述光罩锁轮凹槽之间接触时发出警报。
7.根据权利要求6所述的光罩传送装置，其特征在于：所述传感器设置在所述安全顶针前端。
8.根据权利要求6或7所述的光罩传送装置，其特征在于：所述传感器为压力传感器。
9.根据权利要求8所述的光罩传送装置，其特征在于：所述压力传感器探测到有压力时表明所述安全顶针与所述光罩锁轮凹槽接触，探测不到压力时表明所述安全顶针与所述光罩锁轮凹槽不接触。
10.根据权利要求6所述的光罩传送装置，其特征在于：所述凹槽宽度大于30mm。
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| US8224607B2 (en) * | 2007-08-30 | 2012-07-17 | Applied Materials, Inc. | Method and apparatus for robot calibrations with a calibrating device |
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Cited By (4)
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|---|---|---|---|---|
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| CN103213133B (zh) * | 2012-01-24 | 2016-01-20 | 株式会社安川电机 | 机器人系统 |
| TWI689454B (zh) * | 2019-08-02 | 2020-04-01 | 樂華科技股份有限公司 | 光罩取用裝置 |
| CN114029785A (zh) * | 2021-11-19 | 2022-02-11 | 洛阳信成精密机械有限公司 | 一种工件缠屑检测装置及其使用方法 |
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