CN102034682B - 激光照射系统及激光照射方法 - Google Patents

Abstract

本发明公开激光照射系统及激光照射方法。该激光照射系统包括：激光束发生器，用于产生激光束；激光束照射器，用于将所述激光束发射到所述目标上；激光束导向装置，用于探测是否有激光束中的一束被反射回所述激光束照射器；探测器，用于将反射激光束转换为电信号数据；以及控制器，用于基于所述电信号数据控制所述激光束发生器的输出。

Description

激光照射系统及激光照射方法

技术领域

所描述的技术一般涉及激光照射系统和激光照射方法。

背景技术

激光照射系统在显示面板的制造中可以用于多种目的。一般而言，显示面板包括使用密封剂粘合并密封在一起的一对基板。激光照射系统还用在硬化密封剂的过程中，以将构成显示面板的一对基板粘合并密封在一起。也就是说，激光照射系统通过将光发射到介于基板之间的密封剂上来硬化密封剂。然而，问题在于激光束不仅发射到密封剂上，还会发射到显示面板的其它区域上，从而损伤显示面板。为此，在显示面板上布置激光掩膜，使得激光束仅发射在密封剂上，从而防止对显示面板造成损伤。

然而，由于激光掩膜布置在激光束照射器与显示面板之间，因此激光束可能会被激光掩膜反射回激光束照射器。如果激光照射系统的总体设置有缺陷，就可能会发生激光掩膜对激光束的反射。这样，激光掩膜反射的激光束可能损伤激光束照射器，从而导致巨大的损失。

背景部分中公开的上述信息仅用于加强对所描述技术的背景的理解，因此可能包括并不构成现有技术的信息。

发明内容

一方面提供一种能够防止设备受激光束损伤的激光照射系统。

一方面提供一种使用上述激光照射系统的激光照射方法。

根据示例性实施例的激光照射系统，包括：激光束发生器，用于产生激光束；激光束照射器，用于将所述激光束发射到目标上；激光束导向装置，用于捕获向所述激光束照射器反射回的激光束中的至少一束；探测器，用于将所捕获的激光束转换为电信号数据；以及控制器，用于基于所述探测器所提供的电信号数据来控制所述激光束发生器。

根据某些方面，如果所接收的电信号数据大于预设数值，则所述控制器可以中断所述激光束发生器的输出。

根据某些方面，所述预设数值可以表示足以损伤所述激光束照射器的光束强度。

根据某些方面，所述激光束导向装置可以被布置为与所述激光束照射器相邻。

根据某些方面，用作所述激光束照射器的多条光纤和用作所述激光束导向装置的一条或多条光纤可以形成为纤束。

根据某些方面，所述激光照射系统可以进一步包括：工作台，用于支撑所述目标；以及激光掩膜，布置在所述目标与所述激光束照射器和所述激光束导向装置之间。

根据某些方面，所述激光掩膜可以具有阻挡区域和透射区域。

根据某些方面，所述激光束导向装置可以检测从所述激光掩膜的阻挡区域反射的激光束。

根据某些方面，所述激光照射系统可以进一步包括传送单元，该传送单元用于相对于所述激光束掩膜传送所述激光束照射器和所述激光束导向装置。

根据某些方面，所述目标可以是包括一对基板和用于粘合并密封所述一对基板的密封剂的显示面板。

根据某些方面，所述激光束可以硬化所述密封剂。

根据示例性实施例的激光照射方法，包括：在包括工作台、激光掩膜、激光束发生器、激光束照射器和激光束导向装置的激光照射系统的工作台上安装目标；将所述激光掩膜与所述目标对准；使用激光束照射器通过透射区域用所述激光束发生器产生的激光束照射所述目标；使用激光束导向装置捕获所述激光掩膜向所述激光束照射器反射的激光束；如果所捕获的激光束具有至少预设能量水平的能量水平，则中断所述激光束发生器的输出；以及在所述激光束发生器被中断的情况下，修正所述激光照射系统的设置中的任何缺陷。

根据某些方面，所述预设能量水平可以是足以损伤所述激光束照射器的能量水平。

根据某些方面，所述激光照射系统可以进一步包括探测器和控制器，其中所述探测器可以将所述激光束导向装置捕获的激光束转换为电信号数据；并且所述控制器可以基于所述探测器提供的电信号数据控制所述激光束发生器的输出。

根据某些方面，所述激光掩膜可以被划分为阻挡区域和透射区域。

根据某些方面，所述激光束导向装置可以捕获由所述激光掩膜的所述阻挡区域反射的激光束。

根据某些方面，所述目标可以包括显示面板，所述显示面板包括一对基板和用于将所述一对基板粘合并密封在一起的密封剂。

根据某些方面，所述激光束可以硬化所述密封剂。

根据示例性实施例，一种激光照射方法，包括：使用激光束发生器和激光束照射器通过激光掩膜用激光束照射目标；探测所述激光束中是否有激光束从所述激光掩膜被反射向所述激光束照射器；如果反射激光束具有至少预设能量水平，则中断所述激光束发生器的输出；以及当所述激光束发生器的输出被中断时，探测所述激光掩膜与所述激光束照射器的相对位置中的缺陷。

根据示例性实施例，所述激光照射系统和所述激光照射方法可以防止设备由于反射激光束而受到损伤。

本公开内容的其它方面和/或优点将部分地记载在以下的描述中，并且部分地从以下描述中显而易见，或者可以通过本教导的实践而被获知。

附图说明

本公开内容的这些和/或其它方面和优点将从以下结合附图对示例性实施例的描述中变得明显并且更易于理解，附图中：

图1和图2是根据一个示例性实施例的激光照射系统的框图；

图3是示出图1的激光束照射器和激光探测器的截面的截面图；并且

图4是示出根据一个示例性实施例的激光照射方法的步骤顺序的流程图。

具体实施方式

下文中，将参考附图具体描述本教导的示例性实施例，以使本领域技术人员能够容易地实施本教导。本领域技术人员将认识到，可以在不超出本发明的精神或范围的情况下以各种方式修改所描述的示例性实施例。为了清楚地描述示例性实施例，省略了与本描述不相关的内容，并且相同的附图标记始终表示相同的构成元件。

在附图中，部件的尺寸和厚度仅为了方便解释而示出，因此本发明不一定限于这里所描述和示出的图示。在附图中，厚度被放大，以清楚地表示各层和区域。在附图中，为了方便解释，某些层和区域的厚度被夸大。可以理解，当诸如层、膜、区域或基板之类的元件被描述为位于另一元件“上”时，该元件可以直接位于另一元件上，或者也可以存在中间元件。

参见图1至图3描述根据示例性实施例的激光照射系统100。如图1所示，激光照射系统100包括激光装置30、工作台50、激光掩膜40和传送单元70。激光装置30包括激光束发生器33、激光束照射器31、激光束导向装置32、探测器34和控制器35。

工作台50支撑用于接收从激光装置30照射的激光束LB的目标10。在所示的示例性实施例中，目标是包括一对基板11和12以及用于粘合并密封这对基板11和12的密封剂19的显示面板10。此外，在所示的示例性实施例中，显示面板10包括有机发光元件15，然而本教导不限于此。

激光束发生器33产生激光束LB。激光束照射器31接收从激光束发生器33产生的激光束LB，并将其发射至显示面板10。为了方便描述，激光束LB被称为单束。然而，应当理解，激光束LB在从激光束发生器33产生时可以包括多个独立的激光束LB，或者是单束。激光束照射器31向显示面板10的密封剂19发射激光束LB。于是，显示面板10的密封剂19被激光束LB硬化。如图所示，激光束LB在从激光束照射器31经过时具有多束LB，这多束LB可以是激光束发生器33所产生的单激光束LB的部分。

如图2所示，激光束导向装置32捕获激光束照射器31发出的激光束LB中被反射回激光束照射器31的激光束LB。具体地，如果激光照射系统100的总体设置有缺陷，则从激光束照射器31发出的激光束LB会被激光掩膜40反射，并向回指向激光束照射器31。然后，激光束导向装置32捕获到反射激光束LB，并将其导向激光束探测器34。此外，激光束导向装置32被布置为与激光束照射器31相邻，以有效地引导反射回激光束照射器31的反射激光束。

如图3所示，激光束照射器31由多条光纤制成，并且激光束导向装置32由一条或多条光纤制成。具体地，用作激光束照射器31的多条光纤和用作激光束导向装置32的一条或多条光纤被形成为纤束310。此外，光纤311产生瞄准束，并被布置在激光束照射器31的中心，以指示激光束LB的照射点。然而，激光束照射器31和激光束导向装置32不限于具有图3所示的结构，而是可以具有多种结构，这对本领域技术人员来说是很明显的。

再次参见图2，探测器34将激光束导向装置32捕获的激光束LB转换为电信号数据。进一步地，控制器35基于探测器34提供的电信号数据控制激光束发生器33的输出。尽管不需要，但控制器35可以是计算机和/或使用存储在计算机可读介质上的软件或固件的一个或多个处理器。

具体地，如果所接收的电信号数据大于预设数值，则控制器35中断激光束发生器33的输出。预设数值与足以损伤激光束照射器31的光束强度有关。也就是说，如果激光束导向装置32捕获到强到足以损伤激光束照射器31的反射激光束LB，则控制器35中断激光束发生器33的输出，以防止对激光束照射器31造成损伤。

激光掩膜40布置在激光束照射器31与作为目标的显示面板10之间，并且被划分为阻挡区域421和透射区域422。具体地，激光掩膜40包括基板41和形成在基板41上的掩膜图案42。掩膜图案42被划分为阻挡区域421和透射区域422。激光掩膜40允许从激光束照射器31发出的激光束LB仅照射显示面板10的密封剂19。也就是说，激光掩膜40防止显示面板10由于不必要的照射而受到损伤。

如图1所示，如果激光照射系统100的总体设置是可接受的，则从激光束照射器31照射的激光束LB通过激光掩膜40的透射区域422发射到密封剂19。如图1所示，整个激光束LB穿过透射区域422。

然而，如图2所示，如果激光照射系统100的总体设置有缺陷，则从激光束照射器31发射的某些或全部激光束LB照射激光掩膜40的阻挡区域421。这时，激光掩膜40的光阻挡区域421防止激光束LB不必要地照射密封剂19之外的部分，从而防止对显示面板10造成损伤。尽管激光掩膜40的光阻挡区域421阻挡了激光束LB，但是其不能完全吸收激光束LB，而是反射激光束LB。于是，反射激光束LB向回指向激光束照射器31。这样，如上所述，反射激光束LB被激光束导向装置32捕获。控制器35根据激光束导向装置32捕获的激光束LB的能量水平，中断激光束发生器33的输出，从而防止对激光束照射器31造成损伤。

传送单元70同时传送激光束照射器31和激光束导向装置32，使得激光束照射器31沿显示面板10的密封剂19发射激光束LB。然而，本公开内容不限于此。因此，传送单元70可以一起传送其上安装有显示面板10的工作台50和激光掩膜40，而不是传送激光束照射器31和激光束导向装置32。

使用此配置，激光照射系统100可以防止设备，如激光束照射器31由于反射激光束LB而受到损伤。此外，可以防止作为目标的显示面板10由于激光束LB的错误照射而受到损伤。也就是说，可以有效且稳定地防止激光照射系统100和显示面板10在制造过程中受到损伤。

参考图1、2和4描述根据一个示例性实施例的激光照射方法。首先，将作为目标的显示面板10安装在激光照射系统100的工作台50上(S 100)。然后，将激光掩膜40对准在显示面板上(S200)。此时，激光掩膜40被对准为使得激光掩膜40的透射区域422与显示面板10的密封剂19彼此重叠。

接下来，激光束照射器31将激光束发生器33产生的激光束LB通过激光掩膜40的透射区域422发射到显示面板10的密封剂19上(S300)。激光束导向装置32捕获激光掩膜40朝激光束照射器31反射的激光束LB(S400)。

然后，探测器34将激光束导向装置32捕获的激光束LB转换为电信号数据，并且控制器35基于从探测器34接收的电信号数据，确定激光束导向装置32捕获的激光束LB的能量水平是否高于或等于预设值(S500)。如果反射激光束LB具有比预设能量水平低的能量，则激光束照射器31继续照射显示面板10的密封剂19，从而硬化密封剂19(S600)。然而，如果反射激光束LB达到或超过预设能量水平，则控制器35中断激光束发生器33的输出(S520)。这里，预设能量水平是指会导致对激光束照射器31的损伤的能量水平(光束强度)。

如果激光束发生器33的输出被中断，则探测并修正激光照射系统100的总体设置中的缺陷(S540)。例如，探测激光掩膜与激光束照射器的相对位置中的缺陷。在通过消除缺陷的原因而修正了激光照射系统100的设置时，接着通过激光束照射器31发射激光束LB，从而硬化显示面板10的密封剂19(S300)。

如上所述，根据一个示例性实施例，激光照射系统100可以防止设备，如激光束照射器31由于反射激光束LB而受到损伤。此外，可以防止作为目标的显示面板10由于激光束LB的错误照射而受到损伤。也就是说，在制造过程中，可以有效且稳定地保护激光照射系统100和显示面板10不受损伤。

尽管已经结合目前所认为的实际的示例性实施例描述了本公开内容，但是应当理解，本发明不限于所公开的实施例，而是相反，本发明意在覆盖包括在所附权利要求的精神和范围内的各种修改和等同布置。

Claims (18)

1.一种激光照射系统，包括：

激光束发生器，用于产生第一激光束；

激光束照射器，包括用于产生并对应于作为所述第一激光束的部分的多束第二激光束的多条第一光纤，并且用于将所述多束第二激光束发射到目标上；

包括至少一条第二光纤的激光束导向装置，用于捕获向所述激光束照射器反射回的至少一束第三激光束；

探测器，用于将所捕获的第三激光束转换为电信号数据；以及

控制器，用于基于从所述探测器接收的所述电信号数据控制所述激光束发生器的输出，

其中所述第一光纤和所述第二光纤被布置成单个纤束，并且

其中所述单个纤束进一步包括位于所述单个纤束的中心的第三光纤，所述第三光纤用于产生瞄准束以指示所述第二激光束的照射点。

2.根据权利要求1所述的激光照射系统，其中在所接收的电信号数据大于预设数值时，所述控制器中断所述激光束发生器的输出。

3.根据权利要求2所述的激光照射系统，其中所述预设数值与足以损伤所述激光束照射器的激光强度有关。

4.根据权利要求1所述的激光照射系统，进一步包括：

工作台，用于支撑所述目标；以及

激光掩膜，布置在所述目标与所述激光束照射器和所述激光束导向装置的组合之间。

5.根据权利要求4所述的激光照射系统，其中所述激光掩膜具有阻挡区域和透射区域。

6.根据权利要求5所述的激光照射系统，其中所述激光束导向装置捕获从所述激光掩膜的阻挡区域反射的所述第三激光束。

7.根据权利要求4所述的激光照射系统，进一步包括传送单元，该传送单元用于相对于所述工作台传送所述激光束照射器和所述激光束导向装置。

8.根据权利要求5所述的激光照射系统，其中所述目标是包括一对基板和用于粘合并密封所述一对基板的密封剂的显示面板。

9.根据权利要求8所述的激光照射系统，其中所述第二激光束硬化所述密封剂。

10.根据权利要求1所述的激光照射系统，其中所述激光束导向装置包括将反射激光束导向所述激光束探测器的光纤。

11.一种激光照射方法，包括：

将目标安装在激光照射系统的工作台上；

将激光掩膜与所述目标对准；

使用激光束发生器和激光束照射器通过所述激光掩膜的透射区域用激光束照射所述目标，其中所述激光束发生器产生第一激光束，并且其中所述激光束照射器包括用于产生并对应于作为所述第一激光束的部分的多束第二激光束的多条第一光纤，并且将所述多束第二激光束发射到目标上；

使用包括至少一条第二光纤的激光束导向装置捕获向所述激光束照射器反射回的至少一束第三激光束；

如果反射的所述第三激光束具有至少预设能量水平，则中断所述激光束发生器的输出；以及

当所述激光束发生器的输出被中断时，探测并修正所述激光照射系统的设置中的缺陷，

其中所述第一光纤和所述第二光纤被布置成单个纤束，并且

其中所述单个纤束进一步包括位于所述单个纤束的中心的第三光纤，所述第三光纤用于产生瞄准束以指示所述第二激光束的照射点。

12.根据权利要求11所述的激光照射方法，其中所述预设能量水平是足以损伤所述激光束照射器的能量水平。

13.根据权利要求11所述的激光照射方法，其中

反射的所述第三激光束被引导至探测器，然后由所述探测器转换为电信号数据；并且

所述电信号数据被输出至用于控制所述激光束发生器的输出的控制器。

14.根据权利要求11所述的激光照射方法，其中所述激光掩膜具有阻挡区域和透射区域。

15.根据权利要求14所述的激光照射方法，其中反射的所述第三激光束由所述激光掩膜的所述阻挡区域反射。

16.根据权利要求11所述的激光照射方法，其中所述目标是包括一对基板和用于将所述一对基板粘合并密封在一起的密封剂的显示面板。

17.根据权利要求16所述的激光照射方法，其中所述第二激光束硬化所述密封剂。

18.一种激光照射方法，包括：

使用激光束发生器和激光束照射器通过激光掩膜用激光束照射目标，其中所述激光束发生器产生第一激光束，并且其中所述激光束照射器包括用于产生并对应于作为所述第一激光束的部分的多束第二激光束的多条第一光纤，并且将所述多束第二激光束发射到目标上；

使用包括至少一条第二光纤的激光束导向装置捕获向所述激光束照射器反射回的至少一束第三激光束；

如果反射的所述第三激光束具有至少预设能量水平，则中断所述激光束发生器的输出；以及

当所述激光束发生器的输出被中断时，探测所述激光掩膜与所述激光束照射器的相对位置中的缺陷，

其中所述第一光纤和所述第二光纤被布置成单个纤束，并且

其中所述单个纤束进一步包括位于所述单个纤束的中心的第三光纤，所述第三光纤用于产生瞄准束以指示所述第二激光束的照射点。