CN102028357B - 毛刷清洗装置及其使用方法 - Google Patents
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Abstract
本发明涉及掩模版清洗领域，具体为一种毛刷清洗装置，用于掩模版清洗生产中的毛刷清洗及其使用方法，解决在其工作中出现的造成掩模版表面划伤，清洗不干净等问题。该装置设有清洗液喷嘴、DI水喷嘴、毛刷，毛刷与掩模板表面相对应，在毛刷侧面设有清洗液喷嘴和DI水喷嘴。通过采用毛刷自旋转和掩模版旋转之间的摩擦实现清洗，在毛刷清洗过程中，通过清洗液喷嘴对毛刷喷洒清洗液，通过DI水喷嘴对毛刷喷洒DI水。在毛刷扫描和清洗过程中，通过清洗液喷嘴对毛刷喷洒清洗液，通过DI水喷嘴对毛刷喷洒DI水，实现对于0.5微米以上的污染物的去除率达到百分之九十七以上，同时避免了掩模版表面的划伤缺陷。
Description
技术领域
本发明涉及掩模版清洗领域，具体为一种毛刷清洗装置，用于掩模版清洗生产中的毛刷清洗及其使用方法。
背景技术
众所周知，在清洗过程中，掩模版在自旋转的同时，毛刷也在自旋转，这样二者之间将产生摩擦，毛刷清洗主要是利用毛刷与被清洗掩模版表面摩擦的方式，去除掩模版表面的污染物。然而在这个过程中，传统的清洗方式容易造成掩模版表面划伤，清洗不干净等问题。另外，针对一些掩模版污染物，需要采用相应的清洗液才能清洗干净。
发明内容
本发明的目的在于提供一种毛刷清洗装置及其使用方法，解决在其工作中出现的造成掩模版表面划伤，清洗不干净等问题。
本发明的技术方案是：
一种毛刷清洗装置，该装置设有清洗液喷嘴、DI水喷嘴、毛刷，毛刷与掩模板表面相对应，在毛刷侧面设有清洗液喷嘴和DI水喷嘴。
所述的毛刷清洗装置，还设有同步带、毛刷自旋转电机、主轴、联轴器、扫描马达、毛刷手臂，扫描马达的输出端通过联轴器连接主轴，主轴上安装毛刷自旋转电机和毛刷手臂，毛刷设置于毛刷手臂上，毛刷自旋转电机通过同步带连接毛刷。
所述的毛刷清洗装置的使用方法，通过采用毛刷自旋转和掩模版旋转之间的摩擦实现清洗，在毛刷清洗过程中，通过清洗液喷嘴对毛刷喷洒清洗液，通过DI水喷嘴对毛刷喷洒DI水。
所述的毛刷清洗装置的使用方法，扫描马达通过联轴器带动整个清洗装置围绕其主轴做扫描运动；与此同时，毛刷自旋转电机带动毛刷自旋转；掩模版此时做反向的旋转运动，这样通过毛刷与掩模版的相对摩擦运动实现清洗。
所述的毛刷清洗装置的使用方法，在毛刷扫描和清洗过程中，通过清洗液喷嘴对毛刷喷洒清洗液，通过DI水喷嘴对毛刷喷洒DI水。
所述的毛刷清洗装置的使用方法，清洗液与DI水交替使用。
所述的毛刷清洗装置的使用方法，在喷洒清洗液时，掩模版的转速为50-1000rpm，毛刷的转速为30-200rpm。
所述的毛刷清洗装置的使用方法，在毛刷扫描和清洗的同时，DI水喷嘴同时喷洒DI水。
所述的毛刷清洗装置的使用方法，针对难以去除的污染物，采用清洗液喷嘴喷洒相应清洗液。
本发明的有益效果是：
1.本发明毛刷清洗装置由毛刷装置、DI水喷嘴和清洗液喷嘴组成，马达带动毛刷自旋转，通过采用毛刷自旋转和掩模版旋转之间的摩擦实现清洗，在毛刷扫描和清洗过程中，通过清洗液喷嘴对毛刷喷洒清洗液，通过DI水喷嘴对毛刷喷洒DI水，实现对于0.5微米以上的污染物的去除率达到百分之九十七以上，同时避免了掩模版表面的划伤缺陷。
2.本发明毛刷清洗装置在毛刷与掩模版摩擦清洗时，对于某些污染物的去除，需采用相应的清洗液。为避免其划伤，采用毛刷旋转配合清洗液及DI水针对掩模版清洗。
3.本发明毛刷清洗装置在清洗液喷洒时，掩模版的转速不应过快，这样可保证清洗液与掩模版表面充分接触。
4.本发明毛刷清洗装置，清洗液与DI水交替使用，可实现清洗效果最佳。
附图说明
图1为本发明的结构示意图。
图中，1、掩模板；2、清洗液喷嘴；3、DI水(去离子水)喷嘴；4、毛刷；5、同步带；6、毛刷自旋转电机；7、主轴；8、联轴器；9、扫描马达；10、毛刷手臂。
具体实施方式
如图1所示，本发明毛刷清洗装置主要包括：掩模板1、清洗液喷嘴2、DI水(去离子水)喷嘴3、毛刷4、同步带5、毛刷自旋转电机6、主轴7、联轴器8、扫描马达9、毛刷手臂10等，具体结构如下：
扫描马达9的输出端通过联轴器8连接主轴7，主轴7上安装毛刷自旋转电机6和毛刷手臂10，毛刷4设置于毛刷手臂10上，毛刷自旋转电机6通过同步带5连接毛刷4，毛刷4与掩模板1表面相对应，在毛刷4侧面设有清洗液喷嘴2和DI水(去离子水)喷嘴3。
本发明中，扫描马达9通过联轴器8带动整个清洗装置围绕其主轴7做扫描运动。与此同时，毛刷自旋转电机6带动毛刷4自旋转。掩模版1此时也在做反向的旋转运动，这样就实现了毛刷与掩模版的相对摩擦运动。同时，在扫描和清洗过程中，清洗液和DI水根据需要开放。
由于在扫描和清洗过程中，如果没有DI水同时喷洒润湿毛刷，很有可能造成掩模版表面发生划伤现象。因此，在毛刷扫描的同时，DI水(去离子水)喷嘴3也要同时喷洒DI水。
针对一些较为难以去除的污染物，需采用清洗液喷嘴2喷洒相应清洗液。这样，在喷洒DI水之前，应先打开清洗液的阀门喷洒一定量的清洗液。由于清洗液是粘度和水差不多的液体，因此也能起到润湿毛刷的作用，而不会造成掩模版表面划伤。
因为清洗液对于污染物的去除作用主要体现在浸泡上，故在喷洒清洗液时，掩模版的转速不宜过快，掩模版的转速一般为50-1000rpm。如果掩模版的转数过快，将导致清洗液很快被离心力刷开，这样很浪费清洗液。在喷洒清洗液时，掩模版应采用低转速。但毛刷的转数不必过低，毛刷的转速一般为30-200rpm，这么做的目的是保证充分摩擦。
Claims (7)
1.一种毛刷清洗装置，其特征在于：该装置设有清洗液喷嘴、DI水喷嘴、毛刷，毛刷与掩模板表面相对应，在毛刷侧面设有清洗液喷嘴和DI水喷嘴；还设有同步带、毛刷自旋转电机、主轴、联轴器、扫描马达、毛刷手臂，扫描马达的输出端通过联轴器连接主轴，主轴上安装毛刷自旋转电机和毛刷手臂，毛刷设置于毛刷手臂上，毛刷自旋转电机通过同步带连接毛刷。
2.一种权利要求1所述的毛刷清洗装置的使用方法，其特征在于：通过采用毛刷自旋转和掩模版旋转之间的摩擦实现清洗，在毛刷清洗过程中，通过清洗液喷嘴对毛刷喷洒清洗液，通过DI水喷嘴对毛刷喷洒DI水；扫描马达通过联轴器带动整个清洗装置围绕其主轴做扫描运动；与此同时，毛刷自旋转电机带动毛刷自旋转；掩模版此时做反向的旋转运动，这样通过毛刷与掩模版的相对摩擦运动实现清洗。
3.按照权利要求2所述的毛刷清洗装置的使用方法，其特征在于：在毛刷扫描和清洗过程中，通过清洗液喷嘴对毛刷喷洒清洗液，通过DI水喷嘴对毛刷喷洒DI水。
4.按照权利要求3所述的毛刷清洗装置的使用方法，其特征在于：清洗液与DI水交替使用。
5.按照权利要求3所述的毛刷清洗装置的使用方法，其特征在于：在喷洒清洗液时，掩模版的转速为50-1000rpm，毛刷的转速为30-200rpm。
6.按照权利要求3所述的毛刷清洗装置的使用方法，其特征在于：在毛刷扫描和清洗的同时，DI水喷嘴同时喷洒DI水。
7.按照权利要求3所述的毛刷清洗装置的使用方法，其特征在于：针对难以去除的污染物，采用清洗液喷嘴喷洒相应清洗液。
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