CN101909663A - 用于液体物质的雾化装置 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种用于液体物质的雾化元件(1),该雾化元件可结合至液体获取机构(5),比如充满待散发液体的多孔元件。该雾化元件包括:具有带微孔区域(11)的至少一片膜(9);至少一个压电元件(10),所述压电元件连接至电子回路(20)并且与膜(9)结合以使膜振动;至少一个第一支承部件(6)和一个第二支承部件(7),它们可彼此放在另一个上方以在内部限定出用于容纳膜(9)和压电元件(10)的隔室(8);和形成在膜(9)下方的用于待雾化液体的有限尺寸的空间。第二支承部件(7)具有定位成与膜(9)的带孔区域(11)相对应的用于已雾化液体出口的开口(12)。雾化元件(1)还包括:至少一个集液器(13),液体自身通过毛细作用从多孔元件(5)流入集液器(13);用于引入待雾化液体的至少一个毛细开口(14)和允许空气循环的至少一个出口开口(15)。
Description
技术领域
本发明涉及一种用于液体物质的雾化装置,和包含雾化元件的用于分配液体的喷射器装置(emanator device)。
背景技术
目前出售的用于将带香味的香气、杀虫剂、药剂或芳香疗法油散布到环境中的装置优选使用发出超声波的喷射系统。
使用这类装置可将一定量的已雾化的产品发散到环境中,而不会改变产品的化学成分,而且在电力方面的成本有限。
这些装置通常包括:用于容纳待雾化物质的储液器;部分浸入储液器内部的多孔元件或吸液芯;和雾化元件,多孔元件将待散布的液体传输至该雾化元件。雾化元件包括带微孔膜,使该带微孔膜通过相关联的压电元件以合适的振荡频率振动。压电元件又连接至电子回路,当该电子回路从外部电源(例如电池)供给电力,导致所述压电元件的尺寸发生变化。
优选地,膜和压电元件必须例如使用合适的连接器或将压电元件直接结合到膜中而结合起来,以使得压电材料尺寸变化引起的运动完全传递至膜。压电元件的存在必须绝对不干涉膜的振动。
膜的振动将液体物质雾化到环境中,而不会改变物质的化学性质。
膜还可连接至容器旁边的一个或多个振荡传感器,这些传感器调节膜的振荡频率。
超声波雾化的有效性与不同因素相关,例如,液体的物理和化学性质、膜中孔的类型和尺寸和膜的振荡频率。膜的振动频率特性具有重要影响,不仅取决于膜的特性(材料、厚度等)而且取决于膜周围的阻尼元件(例如,支承元件或者连接至装置的其它部分的元件)。
甚至于多孔元件与雾化元件的抵触将改变膜质量的分布和/或引起系统共振的移频,从而阻止膜在最佳频率下振动,或者阻止膜在任何情形下以很少受很难控制的外部因素影响的恒定频率振动,所述外部因素例如是多孔元件的长度。如果系统不在其共振频率下操作,膜的振幅会变化,这可能导致非最优雾化或无效雾化。
事实上,一旦膜中孔的最大尺寸已经确定,因此待散布的液体微粒的尺寸也就确定了,膜的振荡越强,越多的机械能被传递给发射到环境中的液体微粒,液体被雾化得越远。
一些装置通过将多孔部段放置成相对膜轴线偏置已经部分地克服了多孔元件和膜之间相抵触所产生的问题。然而,该方案尚未完全解决这个问题,首先是关于在结合雾化和多孔元件时遇到的困难。
这种无效结合的直接结果是降低雾化系统的灵活性和缺乏雾化效率。
因此,申请人已经发现已知技术中采用的方案可既从结构上又从操作、总体尺寸、灵活性和有效雾化方面进行改进。
发明内容
本发明的目的是提供一种雾化液体物质的元件,该元件能够消除上文中描述的问题。
具体地,本发明的目的是提供一种用于液体物质的雾化元件,该雾化元件能够稳固地结合至液体获取机构(比如,多孔元件),而不会改变整个雾化系统的振动频率。
而且,本发明的目的是形成一种用于液体物质的雾化元件,该雾化元件允许将液体物质有效且恒定地散布到环境中。
最后,本发明的目的是形成一种用于液体物质的雾化元件,该雾化元件结构简单,尺寸小并且易于工业化。这种雾化元件必须具有有限的成本并且可很容易地适用于各种类型的喷射器装置。
根据本发明,用于液体物质的雾化元件被制成为具有存在于后附权利要求中的一项或多项中所述的特征。
附图说明
将参照附图对本发明进行描述,附图示出了非限定性的实施例,附图中:
图1示出了根据本发明的用于液体物质的雾化元件的第一配置的分解视图;
图2示出了根据本发明的用于液体物质的雾化元件的第二配置的分解视图;
图3-7示出了图1所示的雾化元件的不同实施例变型;
图8示出了属于本发明主题的雾化元件的后透视图;
图9a示出了图3所示的雾化元件与多孔元件结合的第一配置;
图9b示出了图4所示的雾化元件与多孔元件结合的第二配置;
图9c-9e示出了雾化元件和多孔元件之间的其它结合配置;
图10示出了图2所示的雾化元件可与两个不同的多孔元件结合;
图11示出了用于喷射液体物质的装置的第一实施例的分解透视图,该装置包括属于本发明主题的雾化元件;
图12示出了喷射液体物质的装置的第二实施例的分解透视图,该装置包括属于本发明主题的雾化元件;
图13a和13b分别示出了属于本发明主题的雾化元件的另外两个替代实施例的局部侧剖视图;
图14示出了与弹性元件相关联的雾化元件的另一个实施例。
具体实施方式
参照附图,1用来总体表示属于本发明主题的用于液体物质的雾化元件。
有利的是,雾化元件1至少包括第一支承部件6和第二支承部件7,它们可彼此放在另一个之上,而且在它们内部限定出容纳室8。
在容纳室8内,雾化元件1包括结合至压电元件10的至少一片膜9,而该压电元件10又连接至电子回路20。
该电子回路可电连接至电源(比如电池22),电子回路使压电元件10改变尺寸。压电元件10内的这些受控变形使膜9振动。膜9和压电元件10之间的这种特殊结合使膜9沿轴线9a振动,该轴线9a垂直于膜9所搁置的表面。
电子回路20需要根据强度、持续时间、形式和频率确保将合适的脉冲供给压电材料,从而激发形成压电元件10的材料的适当激励。
雾化元件1可连接至容纳在储液器4内部的液体获取机构5,例如充满待扩散液体的多孔元件。
为了简便起见,在继续进行描述时,将参照多孔元件5而不是参照液体获取机构进行描述。多孔元件5优选由纤维、玻璃纤维、多孔塑料或类似材料制成,孔隙率大约在30%到80%之间,优选为50%。
流体在雾化元件1和多孔元件5之间形成通道;换句话说,来自多孔元件5的液体经由毛细作用流入雾化元件1,直至液体到达膜9附近。
如从图1和图2可清楚地看到,膜9包括(优选在中心位置)至少一个由很多个小通孔构成的区域11。
这些孔优选具有圆形或正方形截面,这些孔的比如边长或直径的最大横截面尺寸优选在5至20毫微米(mμ)之间,其中在孔的直径为10毫微米的情况下,孔的密度例如为50目/平方毫米。膜9优选由金属、塑料制成或甚至更好地由硅、石英或玻璃制成,并且可具有在10至100毫微米之间、优选在30至70毫微米之间的非常小的厚度。在膜9由硅制成的情况下,最好是通过由钝化作用在膜的外表面覆盖有一层氮化硅或氧化硅,或者覆盖有这些物质的层状组合,之后,通过光刻和接下来的化学侵蚀(浸在碱溶液中进行各向异性刻蚀)或物理侵蚀(活性离子深刻蚀,活性离子刻蚀)从而在膜中形成孔。接下来进一步的化学和物理侵蚀会使薄基片更薄,直至获得所需厚度的膜9。
有益的是,第二支承部件7优选在中心位置具有开口12,当雾化元件1被完全组装好时,该开口放置成与膜9的带孔区域11平齐,以便喷射出已雾化的液体。这个开口12可具有如图3-8所示的平行侧面,或者相互倾斜的侧面(优选如图13a和图13b所示向外展开的侧面),以有助于喷射微粒并且防止形成凝结。
如图1和图2所示,雾化元件1因此优选通过依次将下列元件中一个放在另一个之上而形成:第一支承部件6;膜9;压电元件10和第二支承部件7。
为了有助于组装进程,如可从图1和图2中看到的,压电元件10至少环绕边缘进行适当成形。对于压电元件10来说,优选具有带中空中心部分10a的环形形状,通过将压电元件放置在膜9的带孔中心区域11上方来进行结合。
压电元件10通过特定连接元件连接至膜9;例如,压电元件10可被胶粘、焊接或直接结合至膜9。电子回路20通过电连接器23连接至压电元件10,这些电连接器例如被直接焊接至压电元件10或经由分别在支承部件6和7之间获得的机械干涉而电连接至压电元件10。最后,膜9和压电元件10被封装在两个支承部件6和7之间。在第一支承部件6和膜9之间有集液器13,所述集液器用来收集由于毛细作用从多孔元件5流到集液器13自身的液体。更确切地说,集液器13形成在第一支承部件6上,特别是在第一支承部件的上表面上,集液器在顶部由膜9限定。集液器13是形成在膜9下方、在膜9自身和第一支承部件6之间的具有有限尺寸的区域。集液器的高度在5毫微米至150毫微米之间(优选在20毫微米至100毫微米之间),集液器的横向尺寸可以在3毫米至6毫米之间(优选在4毫米和5毫米之间)变化。无论如何,在任何情况下,集液器13的横向尺寸小于或者至多等于膜9的横向尺寸。
因此,液体集液器13的尺寸使得它们允许集液器13内部的液体获取唯一地通过毛细作用获得。
雾化元件1包括至少一个毛细开口14(可从图3-7中看到),以允许用于雾化的液体进入集液器13,该雾化元件还具有至少一个出口开口15,该出口开口可从图1、2和8中看到,以允许空气循环和排放,并有利于通过毛细作用的流体运动。
在图6和图7所示的第一个实施例中,用于引入液体的毛细开口14和空气出口开口15都定位成使得它们至少与集液器13的周边部分平齐。这意味着每个开口优选限定出集液器13的至少一侧。在这些配置中,多孔元件5占据靠着毛细开口14的位置,这使得多孔元件5表面上的液体直接进入集液器13变得更容易。
有利的是,在如图3、4、5和8所示形式所表示的优选配置中,雾化元件1包括毛细通道16,所述毛细通道从集液器13分支以使该集液器与多孔元件5流体连通。
毛细通道16包括与集液器13连通的第一端16a和与该第一端相对的第二端16b,所述第二端可结合至多孔元件5。在这种配置中,用于使液体进入雾化元件1的集液器13的毛细开口14定位成与毛细通道16的第二端16b平齐。
还在这种情况下,如图8所示,出口开口15可布置成与集液器13的外周侧平齐。用于引入液体的毛细开口14和空气出口开口15可沿同一轴线定位(如附图所示),或者定位成彼此不在一条直线上。两个开口14和15保持共面是优选的,无论它们是沿同一轴线定位还是不在一条直线上定位。
在第一配置中,图1和图2所示的毛细通道16至少部分地由第二支承部件7和第一支承部件6限定;具体地,在图1和图2中可清楚地看到,通道16形成在第一支承部件的顶表面中。
特别地,参照图3、4和8,第一支承部件6和第二支承部件7均包括多边形或圆形形状的主体6a、7a和从其主体6a、7a伸出的至少一个相应附加部6b、7b,并且所述相应附加部与主体共面。
毛细通道16通过第一支承部件6和第二支承部件7的结合好的附加部6b、7b限定而成。
替代地,如图5所示,仅第一支承部件6具有附加部6a,因此,在这种情况下,毛细通道16至少部分地由第一支承部件6和优选由金属制成的至少一块盖板17限定而成。
为了允许液体流动通过毛细通道16并因此流入集液器13内,毛细通道16,特别是其第二端16b非常近地与多孔元件5接触。换句话说,毛细通道16的第二端16b至少部分地搁靠在多孔元件5的结合表面上。
根据多孔元件5上的结合表面的形状,毛细通道16的第二端16b或者用于引入液体的毛细开口14被成形为适于所述形式。
如附图所示,毛细通道可具有不同形状,例如梯形(图14)或矩形(图4)。毛细通道16的第二端16b可不同地形成:例如,它可以是弓形的(图3和图5),以更好地符合圆柱形多孔元件5的侧表面;或可以是直的(图4和图14),以用于与具有弯曲的或直的结合表面的多孔元件一起使用。为了确保液体通过毛细作用流入集液器13,毛细开口14的至少一部分必须与多孔元件5的表面紧密接触。
在不存在毛细通道16的情况下(图6和图7),毛细开口14也可具有直的或弯曲的轮廓。
毛细通道16的第二端16b的至少一部分并且因此毛细开口14的至少一部分需要搁靠在多孔元件5上并对该多孔元件5施加轻微的压力,从而便于液体通过毛细作用输入通道16。
为此,雾化元件1有益地结合至弹性体19,该弹性体在图14中示意性地示出,例如由弹性框架或压力弹簧构成。这些弹性体19将雾化元件1靠着多孔元件5保持就位,从而长时间保证在毛细开口14和多孔元件5的结合表面之间的恒定接触。可根据需要改变雾化元件1相对于多孔元件5的相对位置。图9a-9e示出了结合配置的实例。如图9b所示,雾化元件1可竖向放置并结合至多孔元件5的顶表面,或者如图9a所示,雾化元件1可水平放置并结合至多孔元件5的侧表面。在该后一种配置中,雾化元件1与多孔元件5的轴线5a成直角。雾化元件1还具有其它配置,使得雾化元件相对于多孔元件5的轴线5a成角度,以形成锐角(图9d和图9e)或者钝角(图9c)。
在图13a和图13b中示出了两种另外的替代配置,在这两种配置中,毛细通道16的第二端16b被插入多孔元件5内部。为了形成这种类型的结合,毛细通道16的第二端16b优选具有尖。
对于这后两种配置,可不需要使用前面描述的压力弹性体19。
雾化元件1的尺寸是非常有限的,其中总侧面尺寸(包括长度和宽度)优选在6至15毫米之间变化,总高度优选在2-3毫米的范围内。毛细通道16具有可变的长度,优选在2-4毫米之间,而膜9具有在4毫米至6毫米之间的横向尺寸。
毛细通道16需要具有小于膜9的截面尺寸的截面尺寸。
膜9的中心带孔区域11优选具有可在1毫米至4毫米之间变化的直径。
假设减小的尺寸,要使用的最好材料(至少用于形成第一支承部件6)是石英,其允许用于非常精确的操作。替代地,可使用晶体材料、无定形材料、金属或者塑料。可使用MEMS技术、机械或者使用模制工艺来形成支承部件。不同的加工操作会影响可在物品上获得的公差。
在任何情况下,如果所使用的材料具有低的湿润张力,因此其可减缓液体的毛细作用运动,支承部件的表面,特别是与液体接触的表面,应该进行处理以获得足够的湿润张力。
图2、图7和图10示出了替代配置。这些配置需要雾化元件1是对称的并且能够选择性地若干个多孔元件5结合。在图2和图10所示的配置中,雾化元件1具有至少两个毛细通道16,而在图7所示的配置中,雾化元件1不具有毛细通道。在图2和图10所示的配置中,毛细通道16关于集液器13对称地定位。替代的方案也可包括两个以上的通道16,优选设置在相同的高度上并且不需要与集液器13对准或关于该集液器13对称。
每个毛细通道16被单独致动,以便能够将集液器13布置成在某时候与单个多孔元件5流体连通。毛细通道16通过使雾化元件1沿方向F物理运动被限制到雾化元件1自身的支承表面内而被致动。该过程对于根据图7配置的雾化元件1也是如此。
每个多孔元件5被部分地浸入相应的储液器4内,其中每个储液器含有不同特性(例如不同的香味)的物质。
对于可结合至一个以上的多孔元件5的雾化元件1,用于引入液体的毛细开口14与已启用的毛细通道16的第二端16b有时平齐,而空气出口开口15与还未被致动的毛细通道16的一个或多个第二端16b平齐。
以这种方式,无论雾化元件以及用于引入液体的开口和用于使已雾化液体发散的开口具有什么样的几何形状,总是具有还有助于集液器13内的空气循环的空气出口开口。
属于本发明主题的雾化元件1可连接至用于液体物质的喷射器装置2。
如图11和12所示,喷射器装置2包括:至少一个箱形容器3;至少一个储液器4,用于保持待扩散的液体,多孔元件5部分地浸入液体内部;电力源,比如电池22,其适当地固定到带有特定支承部件21的塑料部件上;和属于本发明主题的雾化元件1。
雾化元件1优选容纳在座18内部,所述座已经沿多孔元件5的竖向或水平方向放置。换句话说,座18被布置成允许雾化元件1搁置在平行于或者垂直于与雾化元件1连接的多孔元件5的展开轴线5a的表面上。
图11示出了属于本发明主题的喷射器装置2的第一配置,其中雾化元件1设置在垂直于多孔元件5的轴线5a的表面上。在这种配置中,膜9的振动轴线9a平行于多孔元件5的轴线。毛细通道13与多孔元件5的侧表面相抵触。以这种方式,膜9的振荡一点不受存在多孔元件5的限制,由于膜9的振动平面与多孔元件5和毛细通道16之间的结合表面不同,更具体的是,它是垂直的。
图2示出了属于本发明主题的喷射器装置2的第二配置,其中雾化元件1设置在平行于多孔元件5的轴线5a的表面上。在这种配置中,膜9的振动轴线9a垂直于多孔元件5的轴线。毛细通道13与多孔元件5的上表面相抵触,即使是在这种情况下,也不会妨碍膜9的振动。
还在这种情况下,膜9的振动平面与多孔元件5和毛细通道16之间的结合表面不同,更具体的是,它是垂直的。
有利的是,座18容纳上面提到弹性体19,该弹性体保持雾化元件1与多孔元件5恒定接触。
弹性体19促进雾化元件1和装置2之间的脱开,以使其更好地抵制任何外界干扰,这些干扰可能会与膜9的振荡发生干涉,改变振动频率并且因此阻止进行有效率的雾化。
将雾化元件1装配在垂直于多孔元件5的轴线5a的表面上的喷射器装置2(按照上述的第一配置和在图11中所示出的)可变成具有多种填充物的喷射器装置。
对于多填充物装置,具有两个或更多个毛细通道16或若干个毛细开口14的雾化元件1被选择性地沿图10所示的方向F移动,以与浸泡在所需物质中的多孔元件5结合。
无论哪种配置用于喷射器装置2,第二支承部件7的开口总是面向外。
由于毛细作用,液体从多孔元件5流到集液器13内,在集液器中形成液体收集池。当装置2被启动时,压电元件振动并使膜9振动。在膜9的振荡期间,膜9被集液器13中的液体浸湿。毛细作用使液体通过膜9中的孔上升,并且形成的多个单独的液滴通过第二支承部件7中的开口12被发射和雾化到外部。
毛细通道16的功能之一是作为对儿童安全的系统。实际上,毛细通道16的存在使多孔元件5远离雾化区域,并因此远离第二支承部件7的开口12,该开口12必须是可见的并且露出以允许物质扩散出来。通过通道16,储液器4和多孔元件5可在儿童不能接触到的、完全封闭的位置处被隐藏在装置2内部,从而防止待散发的任何液体被意外吞入。
属于本发明主题的雾化元件具有显著的优点。
雾化元件和多孔元件之间的结合是稳固的并且不会改变膜的振动频率。
膜和多孔元件之间的偏置布局决不会使雾化元件的功能性操作无效;该偏置布局允许膜以有助于长时间有效且恒定地雾化的操作频率振动,而不会需要通过电子回路20进行频率扫描。以这种方式,装置能够以单一振荡频率操作。
多孔元件相对于膜的振动轴线偏置的位置意味着膜的特征操作频率仅由雾化元件结构的配置限定,而不是由不容易被限定的用于结合膜和多孔元件的特征来限定。
液体沿着通道流动,然后,由于雾化元件的特别有限的尺寸以及由于存在空气出口开口,唯一地通过毛细作用到达集液器。
实际上,存在空气出口开口允许空气在腔室内循环,便于通过毛细作用引起的液体运动以及便于液体在周围环境内的自然扩散。存在与使液体雾化到环境中的开口分隔开的空气出口开口意味着可减小将液体雾化到环境中所需的电力。
以这种方式构思的雾化元件是一种高度灵活的系统,由于它可以不同角度结合至多孔元件,使其可适用于不同形式的本发明主题的雾化元件可插入其中的雾化装置。
属于本发明主题的雾化元件结构简单、体积小、易于工业化且制造成本低。
Claims (21)
1.一种用于液体物质的雾化元件(1),所述雾化元件能结合至液体获取机构(5),该雾化元件包括:
具有带微孔区域(11)的至少一片膜(9);
至少一个压电元件(10),所述压电元件电连接至电力驱动的电子回路(20);所述压电元件(10)与所述膜(9)结合以使所述膜沿着垂直于所述膜(9)本身位置的轴线(9a)振动;
能彼此放在另一个上方以在内部限定出隔室(8)至少一个第一支承部件(6)和一个第二支承部件(7),所述隔室用于容纳所述膜(9)和压电元件(10);所述第二支承部件(7)具有开口(12),通过所述开口发射出已雾化的液体;
至少一个集液器(13),液体由于毛细作用从所述多孔元件(5)流到所述集液器(13);
其特征在于,所述雾化元件包括用于引入待雾化液体的至少一个毛细开口(14)和用于允许空气循环的至少一个出口开口(15)。
2.根据前述权利要求之一所述的雾化元件,还包括依次将下述元件中的一个放置在另一个顶部:所述第一支承部件(6)、具有带微孔区域(11)的膜(9)、压电元件(10)和具有对应于膜(9)的带微孔区域(11)的开口(12)的第二支承部件(7)。
3.根据前述权利要求之一所述的雾化元件,其中所述集液器(13)形成在第一支承部件(6)上并且通过所述第一支承部件(6)和所述带微孔膜(9)来限定。
4.根据前述权利要求之一所述的雾化元件,其中所述集液器(13)包括用于引入待雾化液体的至少一个毛细开口(14)和允许空气在所述集液器(13)内部循环的至少一个出口开口(15)。
5.根据前述权利要求之一所述的雾化元件,其中存在将所述集液器(13)和多孔元件(5)置于彼此流体连通的至少一个毛细通道(16)。
6.根据权利要求5所述的雾化元件,其中所述毛细通道(16)包括与所述集液器(13)连通的第一端(16a)和与所述第一端相对的第二端(16b),所述第二端能与所述多孔元件(5)结合。
7.根据权利要求6所述的雾化元件,其中用于引入液体的所述毛细开口(14)与所述毛细通道(16)的第二端(16b)相一致。
8.根据权利要求5或6所述的雾化元件,其中所述毛细通道(16)至少部分地由所述第一支承部件(6)和所述第二支承部件(7)限定。
9.根据权利要求5或6所述的雾化元件,其中所述毛细通道(16)至少部分地由所述第一支承部件(6)和至少一块盖板(17)限定。
10.根据权利要求5至9中任一项所述的雾化元件,其中所述毛细通道(16)与多孔元件(5)相抵触以有助于液体通过毛细作用进入所述集液器(13)。
11.根据权利要求6和10所述的雾化元件,其中所述毛细通道(16)的第二端(16b)搁靠在所述多孔元件(5)的结合表面上;所述第二端(16b)具有与多孔元件(5)的结合表面互补的形状。
12.根据权利要求6和10所述的雾化元件,其中所述毛细通道(16)的第二端(16b)是尖的并且穿透所述多孔元件(5)。
13.根据权利要求5至11中任一项所述的雾化元件,所述雾化元件还包括至少两个毛细通道(16),所述至少两个毛细通道能与相应的多孔元件(5)选择性地结合;当每个毛细通道(16)被选择性地启动时,每个毛细通道(16)将集液器(13)与充满待雾化液体的多孔元件(5)流体连通。
14.根据权利要求6和13所述的雾化元件,其中当所述两个毛细通道(16)中的一个被选择性地启动时,有助于空气循环的出口开口(15)与至少一个未启动的毛细通道(16)的第二端(16b)相一致。
15.根据前述权利要求中任一项所述的雾化元件,还包括下述事实:所述雾化元件能与所述多孔元件(5)结合成使得所述膜(9)的振动轴线(9a)平行于所述多孔元件(5)的轴线(5a)。
16.根据权利要求1至15中任一项所述的雾化元件,还包括下述事实:所述雾化元件能与所述多孔元件(5)结合成使得所述膜(9)的振动轴线(9a)垂直于所述多孔元件(5)的轴线(5a)。
17.根据前述权利要求中任一项所述的雾化元件,还包括下述事实:所述集液器(13)的高度在5毫微米至150毫微米之间,优选在80毫微米至120毫微米之间。
18.根据前述权利要求中任一项所述的雾化元件,还包括下述事实:所述第一支承部件(6)由选自包括石英、金属或塑料的组的材料制成。
19.根据前述权利要求中任一项所述的雾化元件,其中所述膜(9)由选自包括金属、塑料、石英、硅或玻璃的组的材料制成。
20.根据前述权利要求中任一项所述的雾化元件,其中所述膜(9)的厚度在10毫微米至100毫微米之间,优选在30毫微米至70毫微米之间。
21.根据前述权利要求中任一项所述的雾化元件,其中所述膜(9)在相应所述带微孔区域(11)中包括大量横向尺寸在5毫微米至20毫微米之间的孔。
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