CN101879484A

CN101879484A - 一种狭缝喷嘴

Info

Publication number: CN101879484A
Application number: CN2010101940980A
Authority: CN
Inventors: 陈新豪; 陈枝汶; 陈冠宇; 罗信翔; 夏玮俊; 高乃智; 吴文群; 纪伯儒
Original assignee: AU Optronics Corp
Current assignee: AU Optronics Corp
Priority date: 2010-05-28
Filing date: 2010-05-28
Publication date: 2010-11-10

Abstract

本发明提供一种狭缝喷嘴，适用于在被处理物表面涂布液体，狭缝喷嘴包含一间隔片，其两侧面分别具有一凹陷，其包含二导流孔，分设于间隔片两端处，一第一喷嘴基体，设于间隔片一侧，一第二喷嘴基体，相对第一喷嘴基体设于间隔片另一侧，其中凹陷分别与第一喷嘴基体和第二喷嘴基体与间隔片的接合面各形成一狭缝，这样就形成了双狭缝喷嘴。此外也可使用二间隔片，以形成三狭缝喷嘴。使用本发明可以有效提升喷嘴的液体吐出量，改善涂布作业时间，减少产品变异，提高产品缺陷检测能力。

Description

一种狭缝喷嘴

技术领域

本发明是有关于一种喷嘴，且特别是有关于一种用于涂布液体的狭缝喷嘴。

背景技术

在现有技术中，对基板等产品的制程包含在其上均匀涂布液体，如显影液。通常使用狭缝喷嘴进行显影液涂布作业时，利用化工泵(Chemical Pump)转速加压，将显影液从狭缝喷嘴的刀口吐出，同时移动狭缝喷嘴，使显影液均匀涂布。目前对于显影液涂布制程来说，狭缝喷嘴的显影液吐出量不足，搭配显影液涂布作业的喷嘴速度过低，导致基版显影下刀处与显影收刀处产品片内显影时间差异过大，当产品规格紧缩时，则无法达到要求规格进行生产。

因此，如何提高狭缝喷嘴的显影液吐出量，成为业界亟待解决的问题。

发明内容

有鉴于此，本发明的一个方面在于提供一种狭缝喷嘴，适用于在被处理物表面涂布液体，狭缝喷嘴包含一间隔片，其两侧面分别具有一凹陷，其包含二导流孔，分设于间隔片两端处，一第一喷嘴基体，设于间隔片一侧，一第二喷嘴基体，相对第一喷嘴基体设于间隔片另一侧，其中凹陷分别与第一喷嘴基体和第二喷嘴基体与间隔片的接合面各形成一狭缝。

依据本发明一实施例，间隔片的厚度约为3毫米，其更包含多个螺丝固定孔，设于间隔片上除凹陷以外的部分。

依据本发明另一实施例，第二喷嘴基体具有一凹槽，其与二导流孔形成一液体通路。

依据本发明又一实施例，第二喷嘴基体更包含一液体输入孔，与液体通路连通，一液体输出孔，与液体通路连通。

本发明的另一方面是在于提供一种狭缝喷嘴，适用于在被处理物表面涂布液体，包含一第一间隔片，一侧面具有一第一凹陷，其包含二第一导流孔，分设于第一间隔片两端处，一第二间隔片，与第一间隔片组合在一起，其与第一间隔片的接合面具有一第二凹陷，第一凹陷与第二凹陷形成一第一狭缝，第二间隔片包含二第二导流孔，分设于第二间隔片两端处，分别与二第一导流孔对应，一第一喷嘴基体，设于第一间隔片相对于第一凹陷的另一侧，其与第一间隔片的接合面具有一第三凹陷，以及一第二喷嘴基体，设于第二间隔片相对于第二凹陷的另一侧，其与第二间隔片的接合面具有一第四凹陷，其中第三凹陷与第一间隔片的接合面形成一第二狭缝，第四凹陷与第二间隔片的接合面形成一第三狭缝。

依据本发明一实施例，第一间隔片及第二间隔片分别包含多个螺丝固定孔，设于除第一凹陷及第二凹陷以外的部分。

依据本发明另一实施例，第一喷嘴基体具有一第一凹槽，第二喷嘴基体具有一第二凹槽，其与第一凹槽及二第一导流孔和二第二导流孔形成一液体通路。

依据本发明又一实施例，第二喷嘴基体更包含一液体输入孔，与液体通路连通，以及一液体输出孔，与液体通路连通。

应用本发明的优点在于：改善单位时间内喷嘴显影液吐出量过低的问题，提升显影液吐出量约10％；提升单位流量，可增加喷嘴显影液涂布作业速度；刀口宽度增加减少显影液涂布不良的风险；改善产品线宽片内变异；片内光阻变异降低，改善自动光学缺陷检查发生检测失效；片内光阻变异降低，改善有机光阻与金属层介面附着性不良的问题。

附图说明

为让本发明的上述和其它目的、特征、优点与实施例能更明显易懂，所附附图的详细说明如下：

图1其绘示现有技术中使用的狭缝喷嘴的示意图；

图2其绘示现有技术中使用的狭缝喷嘴的剖视图；

图3其绘示依照本发明一实施例的狭缝喷嘴的剖视图；

图4其绘示依照本发明一实施例的狭缝喷嘴的间隔片的示意图；以及

图5其绘示依照本发明另一实施例的狭缝喷嘴的剖视图。

具体实施方式

以下将以附图及详细说明来清楚阐释本发明的精神，任何本领域的普通技术人员在了解本发明的较佳实施例后，当可由本发明所揭露的技术，加以改变及修饰，且并不脱离本发明的精神与范围。此外，本发明说明可能在不同实施例重复编号及/或字母。此重复使用是为简化及清楚的目的，并非指定其在讨论的不同实施例及/或结构间的关系。

请参照图1，其绘示现有技术中使用的狭缝喷嘴的示意图。为简化及清楚说明，图中省略内部结构视图。如图中所示，喷嘴100由第一喷嘴基体102与第二喷嘴基体104组合而成。在喷嘴100的刀口处具有一狭缝112。在第二喷嘴基体104中，设置有液体输入孔106、液体输出孔108及与之相连通的作为液体通路的凹槽110(未绘示)。当喷嘴100工作时，由化工泵将液体，如显影液由液体输入孔106输入凹槽110中，当提高液体压力使液流速度增加并大于喷嘴100的液体表面张力时，液体便从喷嘴100的狭缝112中喷出。当降低液体压力使液流速度减低并小于喷嘴100的液体表面张力时，液体便停止从喷嘴100的狭缝112中喷出。液体的流向即如图中箭头所示。

为了进一步说明现有技术中喷嘴100的结构，将喷嘴100沿图1中的剖面线A切开，其剖视图如图2所示。第一喷嘴基体102与第二喷嘴基体104组合成仅具有一个狭缝112的喷嘴100。在第二喷嘴基体104中，设置有液体输入孔106、液体输出孔108及与之相连通的作为液体通路的凹槽110。由于从剖面线A生成的剖视图中液体输入孔106与液体输出孔108处于同一位置，故图中虚线所示的液体输入孔106同时也代表液体输出孔108。使用时，将用于涂布的液体如显影液通过液体输入孔106输入凹槽110中，由于液压的作用一部分显影液便从狭缝112中溢出，另一部分显影液从液体输出孔108流出并循环。随着喷嘴100被驱动为沿垂直于狭缝112的方向做匀速水平平行移动，显影液便被均匀涂布于被处理物表面，如基板。然而，根据这样的设计，狭缝喷嘴的显影液吐出量不足，搭配显影液涂布作业的喷嘴速度过低，导致基版显影下刀处与显影收刀处产品片内显影时间差异过大，当产品规格紧缩时，则无法达到要求规格进行生产。

接着请参照图3，其绘示依照本发明一实施例的狭缝喷嘴的剖视图。第一喷嘴基体102与第二喷嘴基体104分设于间隔片300两侧，间隔片300两侧面分别具有一凹陷304。间隔片300两侧面的凹陷304分别与第一喷嘴基体102和第二喷嘴基体104与间隔片300的接合面各形成一狭缝112。间隔片300上具有二导流孔302，分设于间隔片300两端处。第二喷嘴基体104具有一凹槽110，凹槽110及二导流孔302形成液体通路。第二喷嘴基体104中，设置有与液体通路相连通的液体输入孔106、液体输出孔108。由于在剖视图中液体输入孔106与液体输出孔108处于同一位置，故图中虚线所示的液体输入孔106同时也代表液体输出孔108。

为了进一步说明本发明所提供的狭缝喷嘴的结构，此时请参照图4，其绘示依照本发明一实施例的狭缝喷嘴的间隔片的示意图。如图中所示，间隔片300的厚度约为3毫米，在除连续梯形凹陷304以外的部分分布有多个用于将第一喷嘴基体102、第二喷嘴基体104间隔片300组合固定的螺丝固定孔400。二导流孔302为弧形，设置于间隔片300的两端处。

请参照图5，其绘示依照本发明另一实施例的狭缝喷嘴的剖视图。第一间隔片500一侧面具有一第一凹陷502，第二间隔片504一侧面具有一第二凹陷506，将第一间隔片500与第二间隔片504具有凹陷的侧面相接合，使第一凹陷502与第二凹陷506形成第一狭缝508。第一喷嘴基体102与第二喷嘴基体104分设于第一间隔片500与第二间隔片504的两侧，第一喷嘴基体102与第一间隔片500的接合面具有一第三凹陷510，其形成第二狭缝514，第二喷嘴基体104与第二间隔片504的接合面具有一第四凹陷512，其形成第三狭缝516。第一间隔片500上具有二第一导流孔518，分设于第一间隔片500两端处。第二间隔片504上具有二第二导流孔520，分设于第二间隔片504两端处，且分别与二第一导流孔518对应。第一喷嘴基体102具有一第一凹槽522，第二喷嘴基体104具有一第二凹槽524，第一凹槽522、第二凹槽524及二第一导流孔518、二第二导流孔520形成液体通路。第二喷嘴基体104中，设置有与液体通路相连通的液体输入孔106、液体输出孔108。由于在剖视图中液体输入孔106与液体输出孔108处于同一位置，故图中虚线所示的液体输入孔106同时也代表液体输出孔108。

当喷嘴100工作时，由化工泵将液体，如显影液由液体输入孔106输入液体通路中，并从液体输出孔108流出。当提高液体压力使液流速度增加并大于喷嘴100的液体表面张力时，液体便从喷嘴100的第一狭缝508、第二狭缝514与第三狭缝516中喷出。当降低液体压力使液流速度减低并小于喷嘴100的液体表面张力时，液体便停止喷出。

使用本发明提供的狭缝喷嘴具有诸多优点，现仅列举其中几例：

在不同化工泵的转速下显影液流量皆可提升约10％以上；

节省用于涂布的液体使用量；

提升光阻损失(Dark Erosion)均匀度(Uniformity)；

产品线宽片内变异改进约35％。

虽然本发明已以实施方式揭露如上，然其并非用以限定本发明，任何本领域的普通技术人员，在不脱离本发明的精神和范围内，当可作各种的更动与润饰，因此本发明的保护范围当视后附的申请专利范围所界定者为准。

Claims

1.一种狭缝喷嘴，适用于在被处理物表面涂布液体，其特征在于，所述狭缝喷嘴包含：

一间隔片，其两侧面分别具有一凹陷，所述间隔片包含：

二导流孔，分设于所述间隔片两端处；

一第一喷嘴基体，设于所述间隔片一侧；以及

一第二喷嘴基体，相对所述第一喷嘴基体设于所述间隔片另一侧，

其中所述凹陷分别与所述第一喷嘴基体和所述第二喷嘴基体与所述间隔片的接合面各形成一狭缝。

2.根据权利要求1所述的狭缝喷嘴，其特征在于，所述间隔片更包含：

多个螺丝固定孔，设于所述间隔片上除所述凹陷以外的部分。

3.根据权利要求1所述的狭缝喷嘴，其特征在于，所述间隔片的厚度约为3毫米。

4.根据权利要求3所述的狭缝喷嘴，其特征在于，所述第二喷嘴基体具有一凹槽，其与所述二导流孔形成一液体通路。

5.根据权利要求4所述的狭缝喷嘴，其特征在于，所述第二喷嘴基体更包含：

一液体输入孔，与所述液体通路连通；以及

一液体输出孔，与所述液体通路连通。

6.一种狭缝喷嘴，适用于在被处理物表面涂布液体，其特征在于，所述狭缝喷嘴包含：

一第一间隔片，一侧面具有一第一凹陷，其包含：

二第一导流孔，分设于所述第一间隔片两端处；

一第二间隔片，与所述第一间隔片组合在一起，其与所述第一间隔片的接合面具有一第二凹陷，所述第一凹陷与所述第二凹陷形成一第一狭缝，所述第二间隔片包含：

二第二导流孔，分设于所述第二间隔片两端处，分别与所述二第一导流孔对应；

一第一喷嘴基体，设于所述第一间隔片相对于所述第一凹陷的另一侧，其与所述第一间隔片的接合面具有一第三凹陷；以及

一第二喷嘴基体，设于所述第二间隔片相对于所述第二凹陷的另一侧，其与所述第二间隔片的接合面具有一第四凹陷，

其中所述第三凹陷与所述第一间隔片的接合面形成一第二狭缝，所述第四凹陷与所述第二间隔片的接合面形成一第三狭缝。

7.根据权利要求6所述的狭缝喷嘴，其特征在于，所述第一间隔片及所述第二间隔片分别包含：

多个螺丝固定孔，设于除所述第一凹陷及所述第二凹陷以外的部分。

8.根据权利要求6所述的狭缝喷嘴，其特征在于，所述第一喷嘴基体具有一第一凹槽。

9.根据权利要求8所述的狭缝喷嘴，其特征在于，所述第二喷嘴基体具有一第二凹槽，其与所述第一凹槽及所述二第一导流孔和所述二第二导流孔形成一液体通路。

10.根据权利要求9所述的狭缝喷嘴，其特征在于，所述第二喷嘴基体更包含：

一液体输入孔，与所述液体通路连通；以及

一液体输出孔，与所述液体通路连通。