CN101872529A - 用于晶圆加工设备的晶圆突片告警系统 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种用于晶圆加工设备的晶圆突片告警系统，包括一晶圆经过检测器、一个或多个晶圆突片检测器，所述各晶圆突片检测器分别安装于各装载平台；当有晶圆经过时，所述晶圆经过检测器输出晶圆经过信号；当所述晶圆经过检测器输出晶圆经过信号时，所述晶圆突片检测器进行工作，当装载于一装载平台的一片盒中有突出的晶圆时，安装于该装载平台的一晶圆突片检测器输出晶圆突片存在信号。采用该系统能避免加工后的晶圆由机械手放回片盒时同片盒内突出晶圆发生碰撞。
Description
技术领域
本发明涉及晶圆加工设备，特别涉及一种用于晶圆加工设备的晶圆突片告警系统。
背景技术
在晶圆的加工的工艺过程中，常见的晶圆加工设备，如WJ 1000H(Watkins Johnson公司的一种晶圆加工设备产品名称)，晶圆在该设备的传输路径是：晶圆放置到片盒内，被装载到装载平台上，然后机械手去取晶圆，将取到的晶圆送进设备内部晶圆传送带上，进行加工，加工后的晶圆被传送带送达设备尾部，被机械手系统取出，放回片盒。晶圆被机械手从片盒取出放到设备内部，到加工工艺完成到达返回平台，机械手取走放回片盒，在这过程中，晶圆在片盒中的前后的位置是由机械手系统取放的动作保证的，如果机械手传送误差，会造成晶圆送回片盒时位置偏移的，也就是晶圆返回时，有可能偏离先前的位置，这样会导致晶圆在片盒内有突出的现象。
由于机械手每次从片盒取放晶圆时总是从下往上的位置顺序进行移动，所以如果存在晶圆放回后在片盒突出，该晶圆突出的距离阻碍到下一片晶圆返回时从下往上的行程路径，就会发生下一片晶圆在存在晶圆突出位置与该突出晶圆相撞，造成严重后果。如图1所示，有多片晶圆20放置在片盒30中，其中晶圆21突出，突出的晶圆21阻碍到机械手10上的晶圆22返回时从下往上的行程路径，突出的晶圆21会同返回的晶圆22发生碰撞。
发明内容
本发明要解决的技术问题是提供一种用于晶圆加工设备的晶圆突片告警系统，采用该系统能避免加工后的晶圆由机械手放回片盒时同片盒内突出晶圆发生碰撞。
为解决上述技术问题，本发明的用于晶圆加工设备的晶圆突片告警系统，所述晶圆加工设备，包括一个或多个装载平台，工艺腔，返回平台，机械手，控制系统，装载平台用于装载片盒，片盒用于放置晶圆，其特征在于，所述用于晶圆加工设备的晶圆突片警系统包括一晶圆经过检测器、一个或多个晶圆突片检测器，所述各晶圆突片检测器分别安装于各装载平台；当有晶圆经过时，所述晶圆经过检测器输出晶圆经过信号；当所述晶圆经过检测器输出晶圆经过信号时，所述晶圆突片检测器进行工作，当装载于一装载平台的一片盒中有突出的晶圆时，安装于该装载平台的一晶圆突片检测器输出晶圆突片存在信号。
从工艺腔返回的晶圆依次顺序经过返回平台，所述晶圆经过检测器可以安装在所述返回平台上，当晶圆经过返回平台时，所述晶圆经过检测器输出晶圆经过信号。
所述晶圆经过检测器可以安装在机械手从所述返回平台到各装载平台的移动路径上，当机械手从返回平台抓取一晶圆向一装载平台移动时，所述晶圆经过检测器输出晶圆经过信号。
可以包括一个或多个片盒存在检测器，所述各片盒存在检测器分别安装于各装载平台，当一装载平台上未装载片盒时，安装于该装载平台的一片盒存在检测器输出片盒不存在信号。
可以包括一个晶圆经过开关、一个或多个晶圆突片开关、一个或多个晶圆突片报警常闭开关、一个或多个片盒存在开关；当所述晶圆经过检测器输出晶圆经过信号时，所述晶圆经过开关动作，所述晶圆经过开关动作后，所述晶圆突片检测器进行工作；当安装于一装载平台的一晶圆突片检测器输出晶圆突片存在信号，该晶圆突片检测器输出的晶圆突片存在信号控制一晶圆突片开关动作，该晶圆突片开关动作后控制一个晶圆突片报警常闭开关断开；当安装于一装载平台的一片盒存在检测器输出片盒不存在信号时，该片盒存在检测器输出的片盒不存在信号控制一个片盒存在开关断开；安装在一装载平台的晶圆突片检测器所控制的晶圆突片开关控制的一晶圆突片报警常闭开关与安装在同一装载平台的片盒存在检测器所控制的一片盒存在开关串联于一告警信号输出回路，同一告警信号输出回路中的晶圆突片报警常闭开关和/或片盒存在开关断开时该告警信号输出回路输出告警信号。
本发明的用于晶圆加工设备的晶圆突片告警系统，包括一晶圆经过检测器、一个或多个晶圆突片检测器，在返回平台(从工艺腔返回的晶圆依次顺序经过返回平台)或在晶圆从返回平台放回装载在装载平台上的片盒中的移动路径上安装该晶圆经过检测器，在各装载平台分别安装所述各晶圆突片检测器；当有晶圆经过时，所述晶圆经过检测器输出晶圆经过信号，当所述晶圆经过检测器输出晶圆经过信号时，所述晶圆突片检测器进行工作，当装载于一装载平台的一片盒中有突出的晶圆时，安装于该装载平台的一晶圆突片检测器输出晶圆突片存在信号。从而晶圆加工设备的控制系统能利用输出的晶圆突片存在信号进行晶圆取放的相应操作处理，避免加工后的晶圆由机械手放回片盒时同片盒内突出的晶圆发生碰撞。
附图说明
图1是返回的晶圆同片盒内突出的晶圆发生碰撞示意图；
图2是本发明的用于晶圆加工设备的晶圆突片告警系统一实施方式示意图；
图3是本发明的用于晶圆加工设备的晶圆突片告警系统一实施方式的方框图；
图4是本发明的用于晶圆加工设备的晶圆突片告警系统的一实施例电路图。
具体实施方式
本发明的用于晶圆加工设备的晶圆突片告警系统一实施方式如图2所示，晶圆加工设备包括装载平台70，控制系统、机械手，晶圆传送带，工艺腔40，返回平台60。图中箭头表示晶圆的传送线路，晶圆放置到片盒30内，被装载到装载平台70上，然后机械手去取晶圆，将取到的晶圆送进设备内部工艺腔40中的晶圆传送带上，进行加工，加工后的晶圆被传送带依次顺序送达设备尾部的返回平台60，被机械手取出，放回装载平台70上的片盒30内。
所述用于晶圆加工设备的晶圆突片告警系统如图2、图3所示，包括一晶圆经过检测器51、一个晶圆经过开关、多个晶圆突片检测器52、多个晶圆突片开关、多个晶圆突片报警常闭开关、多个片盒存在检测器53、多个片盒存在开关。
所述晶圆经过检测器51安装在返回平台上，或者安装在机械手从返回平台60到装载平台70的移动路径上，这样当加工后的晶圆被传送带依次顺序送达设备尾部的返回平台60时，或机械手从返回平台60取下晶圆向装载于装在平台70的片盒30的移动过程中，晶圆经过检测器51会输出晶圆经过信号；所述各晶圆突片检测器52分别安装在各装载平台70上，安装在一装载平台70上的晶圆突片检测器52用于检测装载于该装载平台70的片盒30中有无突出的晶圆，当晶圆经过检测器51输出晶圆经过信号时，如果安装于一装载平台的一晶圆突片检测器52检测到装载于该装载平台的一片盒30中有突出的晶圆，就输出晶圆突片存在信号；当晶圆经过检测器51输出晶圆经过信号后，控制晶圆经过开关动作，从而控制各晶圆突片检测器(晶圆突片检测器一，晶圆突片检测器二，…)开始工作；当装载于一装载平台的晶圆突片检测器52输出晶圆突片存在信号，则控制一晶圆突片开关动作，从而控制一晶圆突片报警常闭开关断开，输出装载于该装载平台的片盒存在晶圆突片告警信号。晶圆加工设备的控制系统根据告警信号进行控制，如控制机械手停止对装载于该装载平台的片盒取放晶圆，进行声、光报警提示等，避免加工后的晶圆由机械手放回片盒时同片盒内突出晶圆发生碰撞。
所述各片盒存在检测器53分别安装在所述各装载平台70上，当一装载平台70没有装载片盒30时，安装在该装载平台上的一片盒存在检测器53就输出该装载平台片盒不存在信号，该片盒存在检测器输出的片盒不存在信号控制一个片盒存在开关断开，输出告警信号。晶圆加工设备的控制系统根据告警信号进行控制。
图4所示为本发明的晶圆加工设备的晶圆突片告警系统的一实施例，包括一晶圆经过检测器100、一个晶圆经过开关101、两个晶圆突片检测器110，210、两个晶圆突片开关111，211、两个片盒存在检测器、两个片盒存在开关131，231、两个电磁继电器，晶圆经过开关101及晶圆突片开关111，211为常开开关，两电磁继电器的线圈120，220分别与两晶圆突片开关111，211串接于一电源回路，两电磁继电器的常闭开关121，221分别同两片盒存在开关131，231串接于两告警信号输出回路中，晶圆经过开关101的一端接电源，另一端接两个晶圆突片开关111，211的一端及两个晶圆突片检测器110，210的电源端，当晶圆经过检测器100检测到有晶圆从返回平台或返回平台到装载平台的移动路径上经过，晶圆经过检测器100就输出晶圆经过信号，输出的晶圆经过信号控制常开的晶圆经过开关101闭合，从而为两个晶圆突片检测器110，210接通电源，两个晶圆突片检测器110，210进行工作，同时也为晶圆突片开关、电磁继电器线圈的串联回路供电，当一晶圆突片检测器检测到装载于同一装载平台的片盒中有晶圆突片存在，就输出晶圆突片存在信号，输出的晶圆突片存在信号控制一常开的晶圆突片开关闭合，从而使同该晶圆突片开关串联的一电磁继电器的线圈通电，从而控制该电磁继电器的常闭开关断开，使该电磁继电器的常闭开关所在的告警信号输出回路输出告警信号。当一装载平台上没有放置片盒时，安装在该装载平台上的一片盒存在检测器输出片盒不存在信号，输出的片盒不存在信号控制一片盒存在开关断开，该片盒存在开关所在的告警信号输出回路输出告警信号。
Claims (6)
1.一种用于晶圆加工设备的晶圆突片告警系统，所述晶圆加工设备，包括一个或多个装载平台，工艺腔，返回平台，机械手，控制系统，装载平台用于装载片盒，片盒用于放置晶圆，其特征在于，所述用于晶圆加工设备的晶圆突片警系统包括一晶圆经过检测器、一个或多个晶圆突片检测器，所述各晶圆突片检测器分别安装于各装载平台；当有晶圆经过时，所述晶圆经过检测器输出晶圆经过信号；当所述晶圆经过检测器输出晶圆经过信号时，所述晶圆突片检测器进行工作，当装载于一装载平台的一片盒中有突出的晶圆时，安装于该装载平台的一晶圆突片检测器输出晶圆突片存在信号。
2.根据权利要求1所述的用于晶圆加工设备的晶圆突片告警系统，其特征在于，从工艺腔返回的晶圆依次顺序经过返回平台，所述晶圆经过检测器安装在所述返回平台上，当晶圆经过返回平台时，所述晶圆经过检测器输出晶圆经过信号。
3.根据权利要求1所述的用于晶圆加工设备的晶圆突片告警系统，其特征在于，所述晶圆经过检测器安装在机械手从所述返回平台到各装载平台的移动路径上，当机械手从返回平台抓取一晶圆向一装载平台移动时，所述晶圆经过检测器输出晶圆经过信号。
4.根据权利要求1所述的用于晶圆加工设备的晶圆突片告警系统，其特征在于，还包括一个或多个片盒存在检测器，所述各片盒存在检测器分别安装于各装载平台，当一装载平台上未装载片盒时，安装于该装载平台的一片盒存在检测器输出片盒不存在信号。
5.根据权利要求1所述的用于晶圆加工设备的晶圆突片告警系统，其特征在于，还包括一个晶圆经过开关、一个或多个晶圆突片开关、一个或多个晶圆突片报警常闭开关、一个或多个片盒存在开关；当所述晶圆经过检测器输出晶圆经过信号时，所述晶圆经过开关动作，所述晶圆经过开关动作后，所述晶圆突片检测器进行工作；当安装于一装载平台的一晶圆突片检测器输出晶圆突片存在信号，该晶圆突片检测器输出的晶圆突片存在信号控制一晶圆突片开关动作，该晶圆突片开关动作后控制一个晶圆突片报警常闭开关断开；当安装于一装载平台的一片盒存在检测器输出片盒不存在信号时，该片盒存在检测器输出的片盒不存在信号控制一个片盒存在开关断开；安装在一装载平台的晶圆突片检测器所控制的晶圆突片开关控制的一晶圆突片报警常闭开关与安装在同一装载平台的片盒存在检测器所控制的一片盒存在开关串联于一告警信号输出回路，同一告警信号输出回路中的晶圆突片报警常闭开关和/或片盒存在开关断开时该告警信号输出回路输出告警信号。
6.根据权利要求5所述的晶圆加工设备，其特征在于，所述一晶圆突片报警常闭开关为一电磁继电器的常闭开关，所述一电磁继电器的线圈同一晶圆突片开关串接于一电源回路，所述晶圆突片开关为常开开关；当安装于一装载平台的一晶圆突片检测器输出晶圆突片存在信号，该晶圆突片检测器输出的晶圆突片存在信号控制一晶圆突片开关闭合，该晶圆突片开关所在的电源回路接通，同该晶圆突片开关串接的电磁继电器线圈通电，使串接于告警信号输出回路中的该电磁继电器的常闭开关断开。
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