CN110459499A - 一种全新的晶圆位置侦测系统 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种全新的晶圆位置侦测系统，包括CCD模块、系统处理模块、电源模块和CHB智能控制显示仪，其特征在于，所述CHB智能控制显示仪包括CHB Cooling N2气动阀开关和“CHB Cover open”interlock回路，且CHB Cooling N2气动阀开关和系统处理模块之间电性连接。本发明安装于AMAT Endura上的CHB，用于侦测CHB中wafer的位置是否有偏移，如果位置有偏移系统会输出一个alarm信号，通过CCD模块对Wafer的位置拍摄Wafer notch图像，对比标准图像，可保证一些8英寸和更高制程的晶圆侦测，逻辑清晰，侦测误差率较低。

Description

一种全新的晶圆位置侦测系统
技术领域
本发明涉及晶圆检测技术领域，尤其涉及一种全新的晶圆位置侦测系统。
背景技术
晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆；在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构，而成为有特定电性功能之IC产品。晶圆的原始材料是硅，而地壳表面有用之不竭的二氧化硅。二氧化硅矿石经由电弧炉提炼，盐酸氯化，并经蒸馏后，制成了高纯度的多晶硅，其纯度高达99.999999999％。
以前的AMAT Endura机器中没有晶圆位置侦测系统，如果晶圆位置偏移，机器无法侦测到，影响制程的质量。
发明内容
基于背景技术存在的技术问题，本发明提出了一种全新的晶圆位置侦测系统。
本发明提出的一种全新的晶圆位置侦测系统，包括CCD模块、系统处理模块、电源模块和CHB智能控制显示仪，其特征在于，所述CHB智能控制显示仪包括CHB Cooling N2气动阀开关和“CHB Cover open”interlock回路，且CHB Cooling N2气动阀开关和系统处理模块之间电性连接，所述“CHB Cover open”interlock回路集成在系统处理模块上，所述CCD模块通过电性和CHB Cooling N2气动阀开关相连接，且CCD模块和系统处理模块之间通过电性相连接，所述CCD模块、系统处理模块和CHB智能控制显示仪均通过电源模块形成闭合作业回路。
优选的，所述CHB智能控制显示仪中有12个指示灯，且12个指示灯指示单位定义分别为报警1、报警2、稳定、零点、总值、净值、峰值、谷值、t、kg、g和kN。
优选的，所述CHB智能控制显示仪设置于AMAT Endura设备，且CHB智能控制显示仪的作用为侦测wafer的位置是否有偏移，其侦测wafer最小偏移量为0.1mm。
优选的，所述CHB智能控制显示仪侦测位置较标准图像有偏移，系统处理模块产生alarm信号至“CHB Cover open”interlock回路。
本发明中的有益效果为：此系统安装于AMAT Endura上的CHB，用于侦测CHB中wafer的位置是否有偏移(最小偏移量0.1mm)，如果位置有偏移系统会输出一个alarm信号，通过CCD模块对Wafer的位置拍摄Wafer notch图像，对比标准图像，可保证一些8英寸和更高制程的晶圆侦测，逻辑清晰，侦测误差率较低。
附图说明
图1为本发明提出的一种全新的晶圆位置侦测系统的系统结构示意图；
图2为本发明提出的一种全新的晶圆位置侦测系统的系统侦测流程图。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。
参照图1-2，一种全新的晶圆位置侦测系统，包括CCD模块、系统处理模块、电源模块和CHB智能控制显示仪，其特征在于，所述CHB智能控制显示仪包括CHB Cooling N2气动阀开关和“CHB Cover open”interlock回路，且CHB Cooling N2气动阀开关和系统处理模块之间电性连接，所述“CHB Cover open”interlock回路集成在系统处理模块上，所述CCD模块通过电性和CHB Cooling N2气动阀开关相连接，且CCD模块和系统处理模块之间通过电性相连接，所述CCD模块、系统处理模块和CHB智能控制显示仪均通过电源模块形成闭合作业回路，CHB智能控制显示仪中有12个指示灯，且12个指示灯指示单位定义分别为报警1、报警2、稳定、零点、总值、净值、峰值、谷值、t、kg、g和kN，CHB智能控制显示仪设置于AMATEndura设备，且CHB智能控制显示仪的作用为侦测wafer的位置是否有偏移，其侦测wafer最小偏移量为0.1mm，CHB智能控制显示仪侦测位置较标准图像有偏移，系统处理模块产生alarm信号至“CHB Cover open”interlock回路。
本晶圆位置侦测系统安装于AMAT Endura设备上，其设备上CHB智能控制显示仪，用于侦测设备wafer的位置是否有偏移(最小偏移量0.1mm)，Wafer进入CHB智能控制显示仪中，Cool Down recipe开始执行，通过清晰逻辑对Wafer的位置通过CCD模块拍摄Wafernotch图像，对比标准图像，位置有偏移系统会输出一个alarm信号，无偏移直接通过，系统进行下个晶圆侦测，本侦测系统可保证一些8英寸和更高制程的晶圆侦测，逻辑清晰，侦测误差率较低。
以上所述，仅为本发明较佳的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，根据本发明的技术方案及其发明构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本发明的保护范围之内。

Claims (4)

1.一种全新的晶圆位置侦测系统，包括CCD模块、系统处理模块、电源模块和CHB智能控制显示仪，其特征在于，所述CHB智能控制显示仪包括CHB Cooling N2气动阀开关和“CHBCover open”interlock回路，且CHB Cooling N2气动阀开关和系统处理模块之间电性连接，所述“CHB Cover open”interlock回路集成在系统处理模块上，所述CCD模块通过电性和CHB Cooling N2气动阀开关相连接，且CCD模块和系统处理模块之间通过电性相连接，所述CCD模块、系统处理模块和CHB智能控制显示仪均通过电源模块形成闭合作业回路。
2.根据权利要求1所述的一种全新的晶圆位置侦测系统，其特征在于，所述CHB智能控制显示仪中有12个指示灯，且12个指示灯指示单位定义分别为报警1、报警2、稳定、零点、总值、净值、峰值、谷值、t、kg、g和kN。
3.根据权利要求1所述的一种全新的晶圆位置侦测系统，其特征在于，所述CHB智能控制显示仪设置于AMAT Endura设备，且CHB智能控制显示仪的作用为侦测wafer的位置是否有偏移，其侦测wafer最小偏移量为0.1mm。
4.根据权利要求1所述的一种全新的晶圆位置侦测系统，其特征在于，所述CHB智能控制显示仪侦测位置较标准图像有偏移，系统处理模块产生alarm信号至“CHB Cover open”interlock回路。
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