CN101780661B

CN101780661B - 可导电的抛光垫及其制造方法

Info

Publication number: CN101780661B
Application number: CN2009100001893A
Authority: CN
Inventors: 冯崇智; 姚伊蓬; 洪永璋; 王俊达
Original assignee: BEDA ADVANCED MATERIAL Co Ltd
Current assignee: BEDA ADVANCED MATERIAL Co Ltd; BESTAC ADVANCED MATERIAL Co Ltd
Priority date: 2009-01-15
Filing date: 2009-01-15
Publication date: 2012-05-23
Anticipated expiration: 2029-01-15
Also published as: CN101780661A

Abstract

本发明涉及一种可导电的抛光垫及其制造方法。所述可导电的抛光垫包括底层、导电薄膜和抛光层。所述底层包括第一高分子体和纤维基材。所述第一高分子体包覆所述纤维基材，且具有多个第一孔洞。所述导电薄膜位于所述底层上。所述抛光层位于所述导电薄膜上，包括第二高分子体。所述第二高分子体具有多个第二孔洞。借此，即便所述底层和所述抛光层是不良导体，所述导电薄膜也可提升其导电性，使所述抛光垫具有良好导电性。其次，所述抛光垫具有弹性表面，在进行抛光时不易使待抛光工件的表面产生刮伤。

Description

可导电的抛光垫及其制造方法

技术领域

本发明涉及一种抛光垫及其制造方法，明确地说涉及一种可导电的抛光垫及其制造方法。

背景技术

参考图1，其显示第200505632号中国台湾专利公开案所揭示的常规可导电的抛光垫的应用示意图。所述可导电的抛光垫1包括底层11和抛光层12。所述底层11具有布线网络111。所述抛光层12具有抛光面121，所述抛光面121具有至少一阳极122和至少一阴极123，所述阳极122和所述阴极123利用所述布线网络111和电连接器21分别连接到电源22的正极端子221和负极端子222。

进行抛光时，将所述可导电的抛光垫1固定于抛光盘23，并将衬底24固定于衬底载架25，所述衬底24具有金属层241，且位于所述抛光面121的上方，另有抛光液26位于所述衬底24与所述抛光面121之间。当电源22提供电流、且抛光液26、阳极122、阴极123和衬底24的金属层241接触时，就形成电路。首先，金属层241的金属原子进行电荷转移，从而形成金属离子(M→M⁺+e^-)，且在衬底24的表面上聚积。接着，受体(所述抛光液26中的复合剂)扩散到所述金属层241的表面，且在所述受体与所述金属离子间形成复合物。最后，所述复合物从所述金属层241的表面扩散入所述抛光液26中。所述复合物的扩散速率在所述衬底24的表面的凸出区域与凹下区域之间具有差别。在凸出区域，所述复合物比在凹下区域扩散得更快，最终形成光滑的衬底24表面。

所述常规可导电的抛光垫1的缺点如下。由于所述阳极122和所述阴极123是金属，其硬度高，所以抛光时所述衬底24的表面易产生刮伤。此外，所述阳极122和所述阴极123经电化学机械抛光后会有所损耗，致使所述抛光面121凹凸不平，而影响良率。

因此，有必要提供一种创新且具进步性的可导电抛光垫及其制造方法，以解决上述问题。

发明内容

本发明提供一种可导电的抛光垫，其包括底层、导电薄膜和抛光层。所述底层包括第一高分子体和纤维基材。所述第一高分子体包覆所述纤维基材，且具有多个第一孔洞。所述导电薄膜位于所述底层上。所述抛光层位于所述导电薄膜上，包括第二高分子体。所述第二高分子体具有多个第二孔洞。

本发明另提供一种可导电抛光垫的制造方法，包括以下步骤：(a)提供纤维基材；(b)将所述纤维基材浸置于第一高分子溶液中，使所述第一高分子溶液包覆所述纤维基材，所述第一高分子溶液包括第一高分子体和第一溶剂；(c)固化所述第一高分子溶液，以形成底层，所述底层具有多个第一孔洞；(d)在所述底层上形成导电薄膜；(e)在所述导电薄膜上形成第二高分子溶液，其中所述第二高分子溶液包括第二高分子体和第二溶剂；和(f)固化所述第二高分子溶液，以形成抛光层，所述抛光层具有多个第二孔洞。

本发明另提供一种可导电的抛光垫，其包括导电薄膜、底层和抛光层。所述底层位于所述导电薄膜上，包括第一高分子体和纤维基材。所述第一高分子体包覆所述纤维基材，且具有多个第一孔洞。所述抛光层位于所述底层上，包括第二高分子体。所述第二高分子体具有多个第二孔洞。

本发明另提供一种可导电的抛光垫的制造方法，包括以下步骤：(a)提供纤维基材；(b)将所述纤维基材浸置于第一高分子溶液中，使所述第一高分子溶液包覆所述纤维基材，所述第一高分子溶液包括第一高分子体和第一溶剂；(c)在所述第一高分子溶液上形成第二高分子溶液，其中所述第二高分子溶液包括第二高分子体和第二溶剂；(d)同时固化所述第一高分子溶液和所述第二高分子溶液，以分别形成底层和抛光层，所述底层具有多个第一孔洞，所述抛光层具有多个第二孔洞；和(e)在所述底层上形成导电薄膜。

借此，即便所述底层和所述抛光层是不良导体，所述导电薄膜也可提升其导电性，使所述抛光垫具有良好导电性。其次，所述抛光垫具有弹性表面，在进行抛光时不易使待抛光工件的表面产生刮伤。此外，所述抛光垫不具有电极，且所述抛光垫的抛光面是均匀材质，可避免不同硬度的材质在抛光时因损耗率不同而致使所述抛光面凹凸不平的情况，进而提升良率。

附图说明

图1显示常规可导电抛光垫的应用示意图；

图2显示本发明可导电抛光垫的第一实施例的示意图；

图3显示本发明可导电抛光垫的第一实施例的制造方法的流程图；

图4显示本发明可导电抛光垫的第一实施例的应用示意图；

图5显示本发明可导电抛光垫的第二实施例的示意图；以及

图6显示本发明可导电抛光垫的第二实施例的制造方法的流程图。

具体实施方式

参考图2，其显示本发明可导电抛光垫的第一实施例的示意图。抛光垫3包括底层31、导电薄膜32和抛光层33。

底层31包括第一高分子体311和纤维基材312。第一高分子体311包覆纤维基材312，且具有多个第一孔洞313。在本实施例中，第一高分子体311的材质是聚丙烯(Polypropylene，PP)、聚对苯二甲酸乙二酯(Polyethylene Terephthalate，PET)、聚氨酯(Polyurethanes，PU)或高分子树脂，且纤维基材312是不织布。

导电薄膜32(由宽忆电子公司(QUAN YI ELECTRONICS CORP.)生产，其型号为QF400)位于底层31上。抛光层33位于导电薄膜32上，且其具有抛光面331。抛光层33包括第二高分子体332。第二高分子体332具有多个第二孔洞333。在本实施例中，第二高分子体332的材质是聚丙烯(Polypropylene，PP)、聚对苯二甲酸乙二酯(Polyethylene Terephthalate，PET)、聚氨酯(Polyurethanes，PU)或高分子树脂。

在其它应用中，抛光垫3进一步可包括强化材料(未图示)，位于第一高分子体311的第一孔洞313内和底层31的表面，强化材料是水性聚氨酯、水性压克力树脂、泼水处理剂或手感处理剂，其中水性聚氨酯和水性压克力树脂用以增加底层31的强度，泼水处理剂用以增加防水性，手感处理剂用以增加柔软度。优选地，抛光垫3的表面电阻低于1×10⁵Ω，体积电阻低于1×10⁶Ω·cm。

参考图3，其显示本发明可导电抛光垫的第一实施例的制造方法的流程图。配合参考图2，首先，参考步骤S31，其提供纤维基材312。在本实施例中，纤维基材312是不织布。接着，参考步骤S32，将纤维基材312浸置于第一高分子溶液(未图示)中，使第一高分子溶液包覆纤维基材312。第一高分子溶液包括第一高分子体311和第一溶剂。在本实施例中，第一高分子体311的材质是聚丙烯(Polypropylene，PP)、聚对苯二甲酸乙二酯(Polyethylene Terephthalate，PET)、聚氨酯(Polyurethanes，PU)或高分子树脂。优选地，所述第一高分子溶液进一步包括色料、界面剂和二甲基甲酰胺(Dimethylformamide，DMF)。

接着，参考步骤S33，固化第一高分子溶液，以形成底层31，底层31具有多个第一孔洞313。在其它应用中，在步骤S33之后进一步包括于底层31的第一孔洞313内和底层31的表面形成强化材料(未图示)的步骤，所述强化材料是水性聚氨酯、水性压克力树脂、泼水处理剂或手感处理剂，且所述强化材料以浸置方式形成。

接着，参考步骤S34，在底层31上形成导电薄膜32(由宽忆电子公司(QUAN YIELECTRONICS CORP.)生产，其型号为QF400)。接着，参考步骤S35，在导电薄膜32上形成第二高分子溶液(未图示)，其中所述第二高分子溶液包括第二高分子体332和第二溶剂。在本实施例中，第二高分子体332的材质是聚丙烯(Polypropylene，PP)、聚对苯二甲酸乙二酯(Polyethylene Terephthalate，PET)、聚氨酯(Polyurethanes，PU)或高分子树脂。优选地，第二高分子溶液进一步包括色料、界面剂和二甲基甲酰胺(Dimethylformamide，DMF)。最后，参考步骤S36，固化所述第二高分子溶液，以形成抛光层33，抛光层33具有多个第二孔洞333和一抛光面331。

参考图4，其显示本发明可导电抛光垫的第一实施例的应用示意图。进行抛光时，首先，将抛光垫3固定于抛光盘41，并将待抛光工件(衬底42)固定于衬底载架43，衬底42位于抛光垫3的上方，另有抛光液44位于衬底42与抛光垫3之间。接着，将衬底42连接到电源的正极，且将抛光垫3连接到电源的负极。当衬底42、抛光液44和抛光垫3接触时，就形成电路，从而得以进行电化学机械抛光。

参考图5，其显示本发明可导电抛光垫的第二实施例的示意图。抛光垫5包括导电薄膜52(由宽忆电子公司(QUAN YI ELECTRONICS CORP.)生产，其型号为QF400)、底层51和抛光层53。底层51位于导电薄膜52上，包括第一高分子体511和纤维基材512。第一高分子体511包覆纤维基材512，且具有多个第一孔洞513。在本实施例中，第一高分子体511的材质是聚丙烯(Polypropylene，PP)、聚对苯二甲酸乙二酯(Polyethylene Terephthalate，PET)、聚氨酯(Polyurethanes，PU)或高分子树脂，且纤维基材512是不织布。

抛光层53位于底层51上，且其具有抛光面531。抛光层53包括第二高分子体532。在本实施例中，抛光层53涂布于底层51上，因此底层51和抛光层53不使用粘合剂而结合在一起。第二高分子体532具有多个第二孔洞533。在本实施例中，第二高分子体532的材质是聚丙烯(Polypropylene，PP)、聚对苯二甲酸乙二酯(PolyethyleneTerephthalate，PET)、聚氨酯(Polyurethanes，PU)或高分子树脂。

在其它应用中，抛光垫5进一步可包括强化材料(未图示)，位于第一高分子体511的第一孔洞513内和底层51的表面，所述强化材料是水性聚氨酯、水性压克力树脂、泼水处理剂或手感处理剂，其中水性聚氨酯和水性压克力树脂用以增加底层51的强度，泼水处理剂用以增加防水性，手感处理剂用以增加柔软度。优选地，抛光垫5的表面电阻低于1×10⁵Ω，体积电阻低于1×10⁶Ω·cm。

参考图6，其显示本发明可导电抛光垫的第二实施例的制造方法的流程图。配合参考图5，首先，参考步骤S61，提供纤维基材512。在本实施例中，纤维基材512是不织布。接着，参考步骤S62，将纤维基材512浸置于第一高分子溶液(未图示)中，使所述第一高分子溶液包覆纤维基材512，所述第一高分子溶液包括第一高分子体511和第一溶剂。在本实施例中，第一高分子体511的材质是聚丙烯(Polypropylene，PP)、聚对苯二甲酸乙二酯(Polyethylene Terephthalate，PET)、聚氨酯(Polyurethanes，PU)或高分子树脂。优选地，所述第一高分子溶液进一步包括色料、界面剂和二甲基甲酰胺(Dimethylformamide，DMF)。

接着，参考步骤S63，在所述第一高分子溶液上形成第二高分子溶液(未图示)，其中所述第二高分子溶液包括第二高分子体532和第二溶剂。在本实施例中，所述第二高分子溶液以涂布方式形成于所述第一高分子溶液上，第二高分子体532的材质是聚丙烯(Polypropylene，PP)、聚对苯二甲酸乙二酯(Polyethylene Terephthalate，PET)、聚氨酯(Polyurethanes，PU)或高分子树脂。优选地，所述第二高分子溶液进一步包括色料、界面剂和二甲基甲酰胺(Dimethylformamide，DMF)。

接着，参考步骤S64，同时固化所述第一高分子溶液和所述第二高分子溶液，以分别形成底层51和抛光层53，底层51具有多个第一孔洞513，抛光层53具有多个第二孔洞533和抛光面531。在本实施例中，底层51和抛光层53不使用粘合剂而结合在一起。在其它应用中，在步骤S64之后进一步包括在底层51的第一孔洞513内和底层51的表面形成强化材料(未图示)的步骤，所述强化材料是水性聚氨酯、水性压克力树脂、泼水处理剂或手感处理剂，且所述强化材料以浸置方式形成。最后，参考步骤S65，在底层51上形成导电薄膜52(由宽忆电子公司(QUAN YI ELECTRONICS CORP.)生产，其型号为QF400)。

借此，即便底层31、51和抛光层33、53是不良导体，导电薄膜32、52也可提升其导电性，使抛光垫3、5具有良好导电性。其次，抛光垫3、5具有弹性表面，在进行抛光时不易使待抛光工件(衬底42)的表面产生刮伤。此外，抛光垫3、5不具有电极，且抛光垫3、5的抛光面331、531是均匀材质，可避免不同硬度的材质在抛光时因损耗率不同而致使抛光面331、531凹凸不平的情况，进而提升良率。

现以下列实例详细说明本发明，但并不意味着本发明仅局限于这些实例所揭示的内容。

实例：

本实例的制造方法对应于上述第一实施例。参考图2，首先，提供纤维基材312，纤维基材312是不织布。接着，将所述纤维基材312浸置于第一高分子溶液中，使所述第一高分子溶液包覆纤维基材312，所述第一高分子溶液包括27.8重量％的第一高分子体311、10重量％的色料、0.9重量％的界面剂和61.3重量％的二甲基甲酰胺(DMF)溶剂，其中第一高分子体311的材质是聚氨酯(Polyurethanes，PU)。接着，固化所述第一高分子溶液，以形成底层31，底层31具有多个第一孔洞313。接着，制备强化材料，所述强化材料包括8重量％的水性聚氨酯和92重量％的水。将底层31浸置于所述强化材料中，使所述强化材料形成于底层31的第一孔洞313内。

接着，在底层31上形成导电薄膜32(由宽忆电子公司(QUAN YI ELECTRONICSCORP.)生产，其型号为QF400)。接着，在导电薄膜32上形成第二高分子溶液，其中所述第二高分子溶液包括59.4重量％的第二高分子体332、21.6重量％的色料、2.8重量％的界面剂和16.2重量％的二甲基甲酰胺(DMF)溶剂，其中第二高分子体332的材质是聚氨酯(Polyurethanes，PU)。最后，固化所述第二高分子溶液，以形成抛光层33，抛光层33具有多个第二孔洞333和一抛光面331。所述固化方式是使二甲基甲酰胺在凝固槽内进行交换凝固，再以70℃的水温进行水洗，并在110℃下烘干以形成抛光垫3。

然而上述实施例仅为了说明本发明的原理及其功效，而非用以限制本发明。因此，所属领域的技术人员在不脱离本发明精神的情况下可对上述实施例进行修改和改变。本发明的权利要求范围应如所附权利要求书所列。

Claims

1.一种可导电的抛光垫，其包括：

底层，其包括第一高分子体和纤维基材，所述第一高分子体包覆所述纤维基材，且第一高分子体具有多个第一孔洞；

导电薄膜，其位于所述底层上；

抛光层，其位于所述导电薄膜上，所述抛光层包括第二高分子体，所述第二高分子体具有多个第二孔洞；以及

强化材料，其位于所述第一高分子体的所述第一孔洞内，所述强化材料是水性聚氨酯、水性压克力树脂、泼水处理剂或手感处理剂，

其中所述纤维基材是不织布，所述第一高分子体的材质是高分子树脂，所述第二高分子体的材质是高分子树脂。

2.根据权利要求1所述的抛光垫，其中所述高分子树脂包括聚丙烯、聚对苯二甲酸乙二酯、聚氨酯。

3.一种可导电抛光垫的制造方法，其包括：

(a)提供纤维基材；

(b)将所述纤维基材浸置于第一高分子溶液中，使所述第一高分子溶液包覆所述纤维基材，所述第一高分子溶液包括第一高分子体和第一溶剂；

(c)固化所述第一高分子溶液，以形成底层，所述底层具有多个第一孔洞；

(d)在所述底层上形成导电薄膜；

(e)在所述导电薄膜上形成第二高分子溶液，其中所述第二高分子溶液包括第二高分子体和第二溶剂；以及

(f)固化所述第二高分子溶液，以形成抛光层，所述抛光层具有多个第二孔洞。

4.根据权利要求3所述的方法，其中在所述步骤(a)中，所述纤维基材是不织布，在所述步骤(b)中，所述第一高分子溶液进一步包括色料、界面剂和二甲基甲酰胺，所述第一高分子体的材质是高分子树脂，在所述步骤(e)中，所述第二高分子溶液以涂布方式形成于所述底层上，所述第二高分子溶液进一步包括色料、界面剂和二甲基甲酰胺，所述第二高分子体的材质是高分子树脂。

5.根据权利要求4所述的方法，其中所述高分子树脂包括聚丙烯、聚对苯二甲酸乙二酯、聚氨酯。

6.根据权利要求3所述的方法，其中在所述步骤(c)之后进一步包括在所述底层的所述第一孔洞内形成强化材料的步骤，所述强化材料是水性聚氨酯、水性压克力树脂、泼水处理剂或手感处理剂，其中所述强化材料以浸置方式形成。

7.一种可导电的抛光垫，其包括：

导电薄膜；

底层，其位于所述导电薄膜上，包括第一高分子体和纤维基材，所述第一高分子体包覆所述纤维基材，且第一高分子体具有多个第一孔洞；

抛光层，其位于所述底层上，所述抛光层包括第二高分子体，所述第二高分子体具有多个第二孔洞；以及

强化材料，其位于所述第一高分子体的所述第一孔洞内，所述强化材料是水性聚氨酯、水性压克力树脂、泼水处理剂或手感处理剂，且所述抛光层涂布于所述底层上，

8.根据权利要求7所述的抛光垫，其中所述高分子树脂包括聚丙烯、聚对苯二甲酸乙二酯、聚氨酯。

9.一种可导电的抛光垫的制造方法，其包括：

(a)提供纤维基材；

(c)在所述第一高分子溶液上形成第二高分子溶液，其中所述第二高分子溶液包括第二高分子体和第二溶剂；

(d)同时固化所述第一高分子溶液和所述第二高分子溶液，以分别形成底层和抛光层，所述底层具有多个第一孔洞，所述抛光层具有多个第二孔洞；以及

(e)在所述底层上形成导电薄膜。

10.根据权利要求9所述的方法，其中在所述步骤(a)中，所述纤维基材是不织布，在所述步骤(b)中，所述第一高分子溶液进一步包括色料、界面剂和二甲基甲酰胺，所述第一高分子体的材质是高分子树脂，在所述步骤(c)中，所述第二高分子溶液以涂布方式形成于所述第一高分子溶液上，所述第二高分子溶液进一步包括色料、界面剂和二甲基甲酰胺，所述第二高分子体的材质是高分子树脂，在所述步骤(d)中，所述底层和所述抛光层不使用粘合剂而结合在一起。

11.根据权利要求10所述的方法，其中所述高分子树脂包括聚丙烯、聚对苯二甲酸乙二酯、聚氨酯。

12.根据权利要求9所述的方法，其中在所述步骤(d)之后进一步包括在所述底层的所述第一孔洞内形成强化材料的步骤，其中所述强化材料是水性聚氨酯、水性压克力树脂、泼水处理剂或手感处理剂，且所述强化材料以浸置方式形成。