CN101670942A - 基片运载装置 - Google Patents
基片运载装置 Download PDFInfo
- Publication number
- CN101670942A CN101670942A CN200910192036A CN200910192036A CN101670942A CN 101670942 A CN101670942 A CN 101670942A CN 200910192036 A CN200910192036 A CN 200910192036A CN 200910192036 A CN200910192036 A CN 200910192036A CN 101670942 A CN101670942 A CN 101670942A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- substrate
- substrate holder
- gear
- substrate carrier
- roller
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 title claims abstract description 162
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims abstract description 38
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 18
- 238000005096 rolling process Methods 0.000 abstract 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 5
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 3
- 238000013461 design Methods 0.000 description 2
- 238000011161 development Methods 0.000 description 2
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 2
- 230000001771 impaired effect Effects 0.000 description 2
- 230000033001 locomotion Effects 0.000 description 2
- 239000011368 organic material Substances 0.000 description 2
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 2
- 238000012797 qualification Methods 0.000 description 2
- 230000003749 cleanliness Effects 0.000 description 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000009977 dual effect Effects 0.000 description 1
- 238000005401 electroluminescence Methods 0.000 description 1
- 238000004134 energy conservation Methods 0.000 description 1
- 230000006355 external stress Effects 0.000 description 1
- 238000005188 flotation Methods 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 230000001360 synchronised effect Effects 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
Description
Claims (8)
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN2009101920363A CN101670942B (zh) | 2009-09-03 | 2009-09-03 | 基片运载装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN2009101920363A CN101670942B (zh) | 2009-09-03 | 2009-09-03 | 基片运载装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN101670942A true CN101670942A (zh) | 2010-03-17 |
CN101670942B CN101670942B (zh) | 2012-02-29 |
Family
ID=42018408
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN2009101920363A Expired - Fee Related CN101670942B (zh) | 2009-09-03 | 2009-09-03 | 基片运载装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN101670942B (zh) |
Cited By (19)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN101823622A (zh) * | 2010-03-30 | 2010-09-08 | 东莞宏威数码机械有限公司 | 自动传输装置 |
CN101823623A (zh) * | 2010-03-30 | 2010-09-08 | 东莞宏威数码机械有限公司 | 双层传输装置 |
CN102034725A (zh) * | 2010-09-30 | 2011-04-27 | 东莞宏威数码机械有限公司 | 基片自动对位上载装置 |
CN101814451B (zh) * | 2009-12-01 | 2012-07-25 | 东莞宏威数码机械有限公司 | 同步传输装置及具有该装置的直线传输系统和控制方法 |
CN102700915A (zh) * | 2012-05-18 | 2012-10-03 | 吕彬 | 用于板材加工系统的传输装置 |
CN103046017A (zh) * | 2012-12-29 | 2013-04-17 | 中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司 | 一种应用于真空镀膜领域的链传输机构 |
WO2014000216A1 (zh) * | 2012-06-26 | 2014-01-03 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 一种玻璃基板传送装置及检测被传动轴转动同步性的方法 |
CN103935709A (zh) * | 2013-01-18 | 2014-07-23 | 赐福科技股份有限公司 | 运载装置 |
CN104465469A (zh) * | 2014-12-11 | 2015-03-25 | 合肥鑫晟光电科技有限公司 | 一种薄膜胶材的输送装置及输送方法 |
CN105352890A (zh) * | 2015-12-14 | 2016-02-24 | 重庆远创光电科技有限公司 | 适于芯片视觉检测的芯片载架机构 |
CN105388166A (zh) * | 2015-12-14 | 2016-03-09 | 重庆远创光电科技有限公司 | 一种适于芯片视觉检测的芯片载架机构 |
CN105514008A (zh) * | 2015-12-14 | 2016-04-20 | 重庆远创光电科技有限公司 | 带光源的芯片载运装置 |
CN105513992A (zh) * | 2015-12-14 | 2016-04-20 | 重庆远创光电科技有限公司 | 一种用于芯片视觉检测的芯片载运装置 |
CN106241243A (zh) * | 2016-09-26 | 2016-12-21 | 东莞市联洲知识产权运营管理有限公司 | 一种用于工作台之间的消防主机壳体搬运装置 |
CN106516619A (zh) * | 2016-12-22 | 2017-03-22 | 太仓美克斯机械设备有限公司 | 一种生产线用物料机相互送料设备 |
CN108489216A (zh) * | 2018-01-22 | 2018-09-04 | 东莞市联洲知识产权运营管理有限公司 | 一种可移动的橡胶晾晒支架 |
CN110191849A (zh) * | 2016-10-24 | 2019-08-30 | 马丁·卡伦巴赫 | 具有轨部分并具有线性驱动器的轨模块、用于轨模块的滑架和轨运输系统 |
WO2020165124A1 (de) * | 2019-02-11 | 2020-08-20 | Festo Se & Co. Kg | Positioniersystem zur positionierung eines positionierschlittens und verfahren zum betreiben eines schlittenträgers in einem positioniersystem |
CN112373884A (zh) * | 2020-11-05 | 2021-02-19 | 湖南常德牌水表制造有限公司 | 一种用于自动化流水线水表生产的治具托盘 |
-
2009
- 2009-09-03 CN CN2009101920363A patent/CN101670942B/zh not_active Expired - Fee Related
Cited By (23)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN101814451B (zh) * | 2009-12-01 | 2012-07-25 | 东莞宏威数码机械有限公司 | 同步传输装置及具有该装置的直线传输系统和控制方法 |
CN101823623A (zh) * | 2010-03-30 | 2010-09-08 | 东莞宏威数码机械有限公司 | 双层传输装置 |
CN101823622A (zh) * | 2010-03-30 | 2010-09-08 | 东莞宏威数码机械有限公司 | 自动传输装置 |
CN102034725A (zh) * | 2010-09-30 | 2011-04-27 | 东莞宏威数码机械有限公司 | 基片自动对位上载装置 |
CN102034725B (zh) * | 2010-09-30 | 2013-01-30 | 东莞宏威数码机械有限公司 | 基片自动对位上载装置 |
CN102700915A (zh) * | 2012-05-18 | 2012-10-03 | 吕彬 | 用于板材加工系统的传输装置 |
WO2014000216A1 (zh) * | 2012-06-26 | 2014-01-03 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 一种玻璃基板传送装置及检测被传动轴转动同步性的方法 |
CN103046017A (zh) * | 2012-12-29 | 2013-04-17 | 中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司 | 一种应用于真空镀膜领域的链传输机构 |
CN103935709A (zh) * | 2013-01-18 | 2014-07-23 | 赐福科技股份有限公司 | 运载装置 |
CN104465469B (zh) * | 2014-12-11 | 2017-05-24 | 合肥鑫晟光电科技有限公司 | 一种薄膜胶材的输送装置及输送方法 |
CN104465469A (zh) * | 2014-12-11 | 2015-03-25 | 合肥鑫晟光电科技有限公司 | 一种薄膜胶材的输送装置及输送方法 |
CN105352890A (zh) * | 2015-12-14 | 2016-02-24 | 重庆远创光电科技有限公司 | 适于芯片视觉检测的芯片载架机构 |
CN105514008A (zh) * | 2015-12-14 | 2016-04-20 | 重庆远创光电科技有限公司 | 带光源的芯片载运装置 |
CN105513992A (zh) * | 2015-12-14 | 2016-04-20 | 重庆远创光电科技有限公司 | 一种用于芯片视觉检测的芯片载运装置 |
CN105388166A (zh) * | 2015-12-14 | 2016-03-09 | 重庆远创光电科技有限公司 | 一种适于芯片视觉检测的芯片载架机构 |
CN106241243A (zh) * | 2016-09-26 | 2016-12-21 | 东莞市联洲知识产权运营管理有限公司 | 一种用于工作台之间的消防主机壳体搬运装置 |
CN110191849A (zh) * | 2016-10-24 | 2019-08-30 | 马丁·卡伦巴赫 | 具有轨部分并具有线性驱动器的轨模块、用于轨模块的滑架和轨运输系统 |
US10597233B2 (en) | 2016-10-24 | 2020-03-24 | Atl Systems Gmbh | Rail module having rail portions and having a linear drive, carriage for a rail module and rail transport system |
CN110191849B (zh) * | 2016-10-24 | 2021-02-09 | 马丁·卡伦巴赫 | 具有轨部分并具有线性驱动器的轨模块、用于轨模块的滑架和轨运输系统 |
CN106516619A (zh) * | 2016-12-22 | 2017-03-22 | 太仓美克斯机械设备有限公司 | 一种生产线用物料机相互送料设备 |
CN108489216A (zh) * | 2018-01-22 | 2018-09-04 | 东莞市联洲知识产权运营管理有限公司 | 一种可移动的橡胶晾晒支架 |
WO2020165124A1 (de) * | 2019-02-11 | 2020-08-20 | Festo Se & Co. Kg | Positioniersystem zur positionierung eines positionierschlittens und verfahren zum betreiben eines schlittenträgers in einem positioniersystem |
CN112373884A (zh) * | 2020-11-05 | 2021-02-19 | 湖南常德牌水表制造有限公司 | 一种用于自动化流水线水表生产的治具托盘 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN101670942B (zh) | 2012-02-29 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN101670942B (zh) | 基片运载装置 | |
CN201506634U (zh) | 基片传输装置 | |
CN101958264B (zh) | 无尘式真空动力传送装置 | |
CN101580179A (zh) | 基片传输机构 | |
CN201825560U (zh) | 锁定式升降平移传输装置 | |
CN102001525A (zh) | 锁定式升降平移传输设备 | |
CN205555403U (zh) | 一种自动翻板机 | |
CN201825559U (zh) | 旋转式平台传输设备 | |
CN106391369B (zh) | 一种液晶显示屏玻璃板流水线式自动化表面处理设备 | |
CN101823623A (zh) | 双层传输装置 | |
CN101823622A (zh) | 自动传输装置 | |
CN107792609A (zh) | 一种用于直轨或圆弧轨道的电动小车 | |
CN201923628U (zh) | 一种具有防跑偏功能的皮带运输机 | |
CN201647655U (zh) | 自动传输机构 | |
CN202575407U (zh) | 一种定位传输装置 | |
CN201647656U (zh) | 双层传输机构 | |
CN205633315U (zh) | 一种直线立式圆瓶不干胶贴标装置 | |
CN205290669U (zh) | 玻璃磨边用输送机构 | |
CN201529595U (zh) | 一种门喷涂生产线驱动装置 | |
CN103964133A (zh) | 差速驱动单元、应用该差速驱动单元的输送机及输送方法 | |
CN107032114A (zh) | 一种掰片装置 | |
CN201732774U (zh) | 真空动力传送装置 | |
CN212197110U (zh) | 一种稳定性好的电子板件输送机构 | |
CN214793006U (zh) | 一种用于亚克力板材成品的厚度测量装置 | |
CN113200434A (zh) | 一种无源自动式平移机构 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
C06 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
C10 | Entry into substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
C14 | Grant of patent or utility model | ||
GR01 | Patent grant | ||
PP01 | Preservation of patent right |
Effective date of registration: 20131205 Granted publication date: 20120229 |
|
RINS | Preservation of patent right or utility model and its discharge | ||
PD01 | Discharge of preservation of patent |
Date of cancellation: 20140905 Granted publication date: 20120229 |
|
PP01 | Preservation of patent right |
Effective date of registration: 20140905 Granted publication date: 20120229 |
|
RINS | Preservation of patent right or utility model and its discharge | ||
PD01 | Discharge of preservation of patent |
Date of cancellation: 20150905 Granted publication date: 20120229 |
|
PP01 | Preservation of patent right |
Effective date of registration: 20150905 Granted publication date: 20120229 |
|
RINS | Preservation of patent right or utility model and its discharge | ||
PD01 | Discharge of preservation of patent |
Date of cancellation: 20210905 Granted publication date: 20120229 |
|
PD01 | Discharge of preservation of patent | ||
CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee | ||
CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20120229 Termination date: 20130903 |