CN101656224A - 基板夹持机构 - Google Patents

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Abstract

本发明的基板夹持机构，包括驱动装置、夹紧装置和固定导向装置，驱动装置包括动力源、设有两个弧形导槽的凸轮及一端连接动力源、另一端连接凸轮的传动轴；夹紧装置包括上、下压板及上、下压条，上、下压板的相应侧面上各安装有安装于两个弧形导槽内的呈圆形的滚子从动件，上压板与下压板之间形成夹持区域，上压条安装于上压板上及下压条安装于下压板上且上、下压条正对设置且分别伸入所述夹持区域内；固定导向装置包括导轨、滑块及安装板，安装板设置于夹持区域外，导轨与滑块可滑动的卡合连接且连接于安装板与上压板和下压板之间，导轨与滑块的滑动方向与上、下压板垂直。基板夹持机构具有传送和翻转基板时操作稳定、结构简单、操作方便等优点。

Description

基板夹持机构
技术领域
本发明涉及一种夹持机构，尤其涉及一种有机发光显示器件的基板夹持机构。
背景技术
随着经济的不断发展、科技的不断进步和世界能源的日益减少，人们在生产中越来越重视能源的节约及利用效率，使得人与自然和谐发展以满足中国新型的工业化道路要求。
例如，在数码产品的显示产业中，企业为了节约能源、降低生产成本，都加大投资研发力度，不断地追求节能的新产品。其中，OLED显示屏就是数码产品中的一种新产品，OLED即有机发光二极管(Organic Light-Emitting Diode)，因为具备轻薄、省电等特性，因此在数码产品的显示屏上得到了广泛应用，并且具有较大的市场潜力，目前世界上对OLED的应用都聚焦在平板显示器上，因为OLED是唯一在应用上能和TFT-LCD相提并论的技术，且是目前所有显示技术中，唯一可制作大尺寸、高亮度、高分辨率软屏的显示技术，可以做成和纸张一样的厚度；但OLED显示屏(有机发光显示屏)与传统的TFT-LCD显示屏(液晶显示屏)并不同，其无需背光灯，采用非常薄的有机材料涂层和玻璃基片，当有电流通过时，这些有机材料就会发光，而且OLED显示屏可以做得更轻更薄，可视角度更大，并且能够显著节省电能；相应地，制造OLED显示屏的所有设备必须要保证OLED显示屏的精度要求。
在制造OLED显示屏的过程中需要使用夹持机构来夹持、传送和翻转OLED显示屏的基板等器件。目前国内外的基板夹持机构多为台阶式支撑机构，这个技术主要体现在公开号为CN1901155A的中国发明专利中，该专利公开了一种具有多个台阶支撑板的夹持器，该夹持器是利用边缘约束基板的位置，从而实现对基板的夹持，该夹持器可同时夹持多个基板，但是所述夹持器只能够实现基板的平面传送，不能实现基板的翻转等动作，且所述台阶式支撑机构为多个台阶式结构，此结构较为复杂，对基板进行夹持工作时的操作较为繁琐。此外，目前还有一种机械手抓取式机构，所述机械手抓取式机构是利用真空盘吸附基板进行传送，由于利用真空吸附具有不稳定因素，如真空吸嘴破损、真空不足等会使基板与夹持机构之间出现相对滑动，因此利用所述机械手抓取式机构进行基板的夹持工作容易出现故障，严重时甚至会导致基板破损。
因此，急需一种在基板的传送或翻转过程中能够保持基板的稳定，且结构简单、操作方便、可实现对基板的全方位的夹持、传送和翻转的夹持机构。
发明内容
本发明的目的在于提供一种在基板的传送或翻转过程中能够保持基板的稳定，且结构简单、操作方便、可实现对基板的全方位的夹持、传送和翻转的夹持机构。
为了实现上述目的，本发明提供一种基板夹持机构，所述基板夹持机构包括：驱动装置，所述驱动装置包括传动轴、凸轮及提供动力源的驱动机构，所述凸轮对称开设有两个弧形导槽，所述传动轴的一端固定连接所述驱动机构，另一端固定连接所述凸轮，所述驱动装置提供夹紧或松开基板时的动力；夹紧装置，所述夹紧装置包括上、下压板及至少一对压条组，所述压条组包括上、下压条，所述上、下压板的相应侧面上各安装有呈圆形的滚子从动件，所述滚子从动件分别可滑动的安装于所述凸轮的两个弧形导槽内，所述上压板与所述下压板之间形成夹持区域，所述上压条安装于所述上压板上且伸入所述夹持区域内，所述下压条安装于所述下压板上且伸入所述夹持区域内，并且所述上压条与所述下压条正对设置，所述基板夹持于所述上压条与所述下压条之间，所述驱动装置驱动所述夹紧装置夹紧或松开所述基板；固定导向装置，所述固定导向装置包括导轨、滑块及安装板，所述安装板设置于所述夹持区域外，所述导轨与所述滑块可滑动的卡合连接，并且所述导轨与所述滑块连接于所述安装板与所述上压板和下压板之间，所述导轨与所述滑块的滑动方向与所述上、下压板垂直，所述固定导向装置固定所述上、下压板并控制所述上、下压板始终沿直线运动。
较佳地，所述导轨包括第一上导轨及第一下导轨，所述第一上导轨与所述上压板固定连接，所述第一下导轨与所述下压板固定连接，且所述第一下导轨与所述第一上导轨相互平行，所述滑块包括与所述安装板固定连接的第一上滑块及第一下滑块，所述第一上滑块与所述第一上导轨可滑动的卡合连接，所述一下滑块与所述第一下导轨可滑动的卡合连接。通过所述第一上导轨与所述第一上滑块及所述第一下导轨与所述第一下滑块的相对滑动，可以带动与所述第一上、下导轨固定连接的所述上、下压板接近或者分开，从而使得所述夹紧装置对所述基板进行夹紧或松开操作。
较佳地，所述导轨包括与所述安装板固定连接的第二上导轨及第二下导轨，且所述第二上导轨及第二下导轨相互平行，所述滑块包括第二上滑块及第二下滑块，所述第二上滑块与所述上压板固定连接，所述第二下滑块与所述下压板固定连接，所述第二上滑块与所述第二上导轨可滑动的卡合连接，所述第二下滑块与所述第二下导轨可滑动的卡合连接。通过所述第二上导轨与所述第二上滑块及所述第二下导轨与所述第二下滑块的相对滑动，可以带动与所述第二上、下滑块固定连接的所述上、下压板接近或者分开，从而使得所述夹紧装置对所述基板进行夹紧或松开操作。
较佳地，所述夹紧装置还包括至少两弹簧，两所述弹簧分别抵触连接于所述上压条和所述上压板及所述下压条和所述下压板之间。
较佳地，所述上、下压板的表面上均开设有若干个空槽，且所述上、下压板的所述相应侧面均开设有凹槽，所述滚子从动件位于所述凹槽内，所述空槽和凹槽的设计很大的节约了所述上、下压板的材料，有利于降低生产成本。
较佳地，所述上、下压条分别具有相互配合的凸台和凹面。
较佳地，所述驱动机构为气缸式马达或电动马达。可选地，所述驱动机构可以由人手驱动来代替。
与现有技术相比，由于本发明的基板夹持机构包括驱动装置、夹紧装置和固定导向装置，所述夹紧装置包括上、下压条，所述上压条安装于所述上压板上且伸入所述夹持区域内及所述下压条安装于所述下压板上且伸入所述夹持区域内，当所述驱动装置的驱动机构带动所述传动轴及所述凸轮转动时，分别安装在所述上、下压板上的两个滚子从动件根据所述凸轮的转动而沿所述凸轮的两个弧形导槽的弧形轨迹面运动，同时带动所述上压板和上压条通过所述上导轨在所述上滑块中滑动及带动所述下压板和下压条通过所述下导轨在所述下滑块中滑动，从而控制所述夹紧装置的上、下压板接近或者分开，进而使得所述上压板上的上压条与所述下压板上的下压条对所述基板进行夹紧或者松开操作，因此，所述基板夹持机构可实现对基板全方位的夹持、传送和翻转，且在传送和翻转过程中能够保持基板的稳定；另，又由于所述基板夹持机构为上、下两层结构，因此结构较为简单，对基板进行夹紧或松开时的操作较为方便。
附图说明
图1是本发明基板夹持机构的立体图。
图2是本发明基板夹持机构的结构示意图。
图3是图2中A部分的放大图。
图4是本发明基板夹持机构的上、下压条夹紧基板时的状态示意图。
图5是本发明基板夹持机构的另一角度的结构示意图。
图6是本发明基板夹持机构一个具体实施例的结构示意图。
图7是本发明基板夹持机构另一个具体实施例的结构示意图。
具体实施方式
现在参考附图描述本发明的实施例，附图中类似的元件标号代表类似的元件。
参考图1-2，本发明的基板夹持机构包括驱动装置，所述驱动装置包括传动轴12、凸轮13及提供动力源的驱动机构11，所述凸轮13对称开设有两个弧形导槽131a、131b，所述传动轴12的一端固定连接所述驱动机构11，另一端固定连接所述凸轮13，所述驱动装置提供夹紧或松开基板100时的动力；夹紧装置，所述夹紧装置包括上、下压板21a、21b及至少一对压条组22，所述压条组22包括上、下压条22a、22b，所述上、下压板21a、21b的相应侧面210a、210b上各安装有呈圆形的滚子从动件23a、23b，所述滚子从动件23a、23b分别可滑动的安装于所述凸轮13的两个弧形导槽131a、131b内，所述上压板21a与所述下压板21b之间形成夹持区域24，所述上压条22a安装于所述上压板21a上且伸入所述夹持区域24内，所述下压条22b安装于所述下压板21b上且伸入所述夹持区域24内，并且所述上压条22a与所述下压条22b正对设置，所述基板100夹持于所述上压条22a与所述下压条22b之间，所述驱动装置驱动所述夹紧装置夹紧或松开所述基板100；固定导向装置，所述固定导向装置包括导轨31、滑块32及安装板33，所述安装板33设置于所述夹持区域24外，所述导轨31与所述滑块32可滑动的卡合连接，并且所述导轨31与所述滑块32连接于所述安装板3 3与所述上压板21a和下压板21b之间，所述导轨31与所述滑块32的滑动方向与所述上、下压板21a、21b垂直，所述固定导向装置固定所述上、下压板21a、21b并控制所述上、下压板21a、21b始终沿直线运动。
具体地，所述驱动机构11为气缸式马达或者电动马达，可选地，所述驱动机构11也可由手动驱动代替。
参考图3，所述夹紧装置还包括至少两弹簧25a、25b，两所述弹簧25a、25b分别抵触连接于所述上压条22a和所述上压板21a及所述下压条22b和所述下压板21b之间。具体地，所述弹簧25a、25b由分别穿过所述弹簧25a、25b的螺钉26a、26b固定，通过调节所述螺钉26a、26b旋紧程度可控制所述弹簧25a、25b的阻尼以及所述上、下压板21a、21b间的夹紧力和夹紧行程。
参考图3-4，所述上、下压条22a、22b分别具有相互配合的凸台221a、221b和凹面222a、222b。具体地，所述下压条22b的凹面222b用来承载所述基板100，当所述上、下压条22a、22b相互接近时，所述上、下压条的凸台221a、221b和凹面222a、222b相互配合，使所述基板100被夹持于所述上、下压条的凹面222a、222b之间。
参考图5，所述上、下压板21a、21b的表面上均开设有空槽220，且所述上、下压板21a、21b的相应侧面均开设有凹槽230a、230b，所述滚子从动件23a、23b位于所述凹槽230a、230b内，可选地，所述空槽220的大小和个数可根据所述上、下压板21a、21b的面积大小而定。所述空槽220和凹槽230a、230b的设计大大的节约了所述上、下压板21a、21b的材料，有利于降低生产成本。
参考图6，在本发明的一个具体实施例中，所述导轨31包括第一上导轨31a及第一下导轨31b，所述第一上导轨31a与所述上压板21a固定连接，所述第一下导轨31b与所述下压板21b固定连接，且所述第一下导轨31b与所述第一上导轨31a相互平行，所述滑块32包括与所述安装板33固定连接的第一上滑块32a及第一下滑块32b，所述第一上滑块32a与所述第一上导轨31a可滑动的卡合连接，所述一下滑块32b与所述第一下导轨31b可滑动的卡合连接。通过所述第一上导轨31a与所述第一上滑块32a及所述第一下导轨31b与所述第一下滑块32b的相对滑动，可以带动与所述第一上、下导轨31a、31b固定连接的所述上、下压板21a、21b接近或者分开，从而使得所述夹紧装置对所述基板100进行夹紧或松开操作。
参考图7，在本发明的另一个具体实施例中，所述导轨31包括与所述安装板33固定连接的第二上导轨310a及第二下导轨310b，且所述第二上导轨310a及第二下导轨310b相互平行，所述滑块32包括第二上滑块320a及第二下滑块320b，所述第二上滑块320a与所述上压板21a固定连接，所述第二下滑块320b与所述下压板21b固定连接，所述第二上滑块320a与所述第二上导轨310a可滑动的卡合连接，所述二下滑块320b与所述第二下导轨310b可滑动的卡合连接。显而易见地，这种连接方式也能够实现所述夹紧装置对所述基板100进行夹紧或松开操作。
现结合图1至图6对本发明基板夹持机构的工作原理和过程作一下详细的说明：
本发明基板夹持机构处于初始状态时，所述上、下压板21a、21b为相互分开状态；当所述驱动装置的驱动机构11(这里用气缸马达来实现)带动传动轴12及凸轮13逆时针方向旋转时，分别固定在所述上、下压板21a、21b上的两个滚子从动件23a、23b分别沿所述凸轮13的两个弧形导槽131a、131b的弧形轨迹面下滑方向滚动，同时带动所述上压板21a和上压条22a通过所述第一上导轨31a在所述第一上滑块32a中滑动而往中间方向滑动，及带动所述下压板21b和下压条22b通过所述第一下导轨31b在所述第一下滑块32b中滑动而往中间方向滑动，从而实现所述第一上、下压条22a、22b对所述基板100的夹紧功能；夹紧所述基板100后，在对所述基板100进行加工处理的过程中，可对其进行翻转和传送；对所述基板100加工处理完毕后，驱动所述气缸带动传动轴12及凸轮13顺时针方向旋转，使分别固定在所述上、下压板21a、21b上的两个滚子从动件23a、23b分别沿所述凸轮13的两个弧形导槽131a、131b的弧形轨迹面上滑方向滚动，同时带动所述上压板21a和上压条22a通过所述第一上导轨31a在所述第一上滑块32a中滑动而往与中间相背的方向滑动，及带动所述下压板21b和下压条22b通过所述第一下导轨31b在所述第一下滑块32b中滑动而往与中间相背的方向滑动，从而实现所述第一上、下压条22a、22b对所述基板100的松开功能。
同理，本发明基板夹持机构的另一个具体实施例的工作原理也跟上述一样，由于上面已经详细描述过，这里不在阐述。
由上可知，由于本发明的基板夹持机构包括驱动装置、夹紧装置和固定导向装置，所述夹紧装置包括上、下压条22a、22b，所述上压条22a安装于所述上压板21a上且伸入所述夹持区域24内及所述下压条22b安装于所述下压板21b上且伸入所述夹持区域24内，当所述驱动装置的驱动机构11带动所述传动轴12及所述凸轮13转动时，分别安装在所述上、下压板21a、21b上的两个滚子从动件23a、23b根据所述凸轮13的转动而沿所述凸轮13的两个弧形导槽131a、131b的弧形轨迹面运动，同时带动所述上压板21a和上压条22a通过所述上导轨31a在所述上滑块32a中滑动及带动所述下压板21b和下压条22b通过所述下导轨31b在所述下滑块32b中滑动，从而控制所述夹紧装置的上、下压板21a、21b接近或者分开，进而使得所述上压板21a上的上压条22a与所述下压板21b上的下压条22b对所述基板100进行夹紧或者松开操作，因此，所述基板夹持机构可实现对所述基板100全方位的夹持、传送和翻转，且在传送和翻转过程中能够保持所述基板100的稳定；另，又由于所述基板夹持机构为上、下两层结构，因此结构较为简单，对所述基板100进行夹紧或松开时的操作较为方便。
以上所揭露的仅为本发明的优选实施例而已，当然不能以此来限定本发明之权利范围，因此依本发明申请专利范围所作的等同变化，仍属本发明所涵盖的范围。

Claims (7)

1.一种基板夹持机构，其特征在于，包括：
驱动装置，所述驱动装置包括传动轴、凸轮及提供动力源的驱动机构，所述凸轮对称开设有两个弧形导槽，所述传动轴的一端固定连接所述驱动机构，另一端固定连接所述凸轮，所述驱动装置提供夹紧或松开基板时的动力；
夹紧装置，所述夹紧装置包括上、下压板及至少一对压条组，所述压条组包括上、下压条，所述上、下压板的相应侧面上各安装有呈圆形的滚子从动件，所述滚子从动件分别可滑动的安装于所述凸轮的两个弧形导槽内，所述上压板与所述下压板之间形成夹持区域，所述上压条安装于所述上压板上且伸入所述夹持区域内，所述下压条安装于所述下压板上且伸入所述夹持区域内，并且所述上压条与所述下压条正对设置，基板夹持于所述上压条与所述下压条之间，所述驱动装置驱动所述夹紧装置夹紧或松开基板；
固定导向装置，所述固定导向装置包括导轨、滑块及安装板，所述安装板设置于所述夹持区域外，所述导轨与所述滑块可滑动的卡合连接，并且所述导轨与所述滑块连接于所述安装板与所述上压板和下压板之间，所述导轨与所述滑块的滑动方向与所述上、下压板垂直，所述固定导向装置固定所述上、下压板并控制所述上、下压板始终沿直线运动。
2.如权利要求1所述的基板夹持机构，其特征在于，所述导轨包括第一上导轨及第一下导轨，所述第一上导轨与所述上压板固定连接，所述第一下导轨与所述下压板固定连接，且所述第一下导轨与所述第一上导轨相互平行，所述滑块包括与所述安装板固定连接的第一上滑块及第一下滑块，所述第一上滑块与所述第一上导轨可滑动的卡合连接，所述一下滑块与所述第一下导轨可滑动的卡合连接。
3.如权利要求1所述的基板夹持机构，其特征在于，所述导轨包括与所述安装板固定连接的第二上导轨及第二下导轨，且所述第二上导轨及第二下导轨相互平行，所述滑块包括第二上滑块及第二下滑块，所述第二上滑块与所述上压板固定连接，所述第二下滑块与所述下压板固定连接，所述第二上滑块与所述第二上导轨可滑动的卡合连接，所述第二下滑块与所述第二下导轨可滑动的卡合连接。
4.如权利要求2或3所述的基板夹持机构，其特征在于，所述夹紧装置还包括至少两弹簧，两所述弹簧分别抵触连接于所述上压条和所述上压板及所述下压条和所述下压板之间。
5.如权利要求1所述的基板夹持机构，其特征在于，所述上、下压板的表面上均开设有若干个空槽，且所述上、下压板的所述相应侧面均开设有凹槽，所述滚子从动件位于所述凹槽内。
6.如权利要求1所述的基板夹持机构，其特征在于，所述上、下压条分别具有相互配合的凸台和凹面。
7.如权利要求1所述的基板夹持机构，其特征在于，所述驱动机构为气缸式马达或电动马达。
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Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103187541A (zh) * 2011-12-28 2013-07-03 上海大学 Oled器件封装夹持装置
CN105833536A (zh) * 2016-04-28 2016-08-10 侯沐朗 一种发射机构及多级水火箭
CN110640324A (zh) * 2019-09-02 2020-01-03 中芯集成电路（宁波）有限公司 一种晶圆双面制作系统
CN114914186A (zh) * 2022-04-27 2022-08-16 智汇轩田智能系统(杭州)有限公司 一种dbc板夹紧定位机构
CN115026185A (zh) * 2022-08-09 2022-09-09 明日能源(苏州)有限公司 能源监测装置零件加工装置

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH06143249A (ja) * 1992-11-06 1994-05-24 Toshiba Ceramics Co Ltd スライシングマシンにおけるブレードクランプ装置
US6753534B2 (en) * 2000-12-08 2004-06-22 Nikon Corporation Positioning stage with stationary and movable magnet tracks
US6415843B1 (en) * 2001-01-10 2002-07-09 Anadigics, Inc. Spatula for separation of thinned wafer from mounting carrier
CN2884528Y (zh) * 2005-12-19 2007-03-28 邓朝旭 用于生产发光二极管的夹具组

Cited By (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103187541A (zh) * 2011-12-28 2013-07-03 上海大学 Oled器件封装夹持装置
CN103187541B (zh) * 2011-12-28 2017-05-17 上海大学 Oled器件封装夹持装置
CN105833536A (zh) * 2016-04-28 2016-08-10 侯沐朗 一种发射机构及多级水火箭
CN105833536B (zh) * 2016-04-28 2018-07-03 侯沐朗 一种发射机构及多级水火箭
CN110640324A (zh) * 2019-09-02 2020-01-03 中芯集成电路（宁波）有限公司 一种晶圆双面制作系统
CN114914186A (zh) * 2022-04-27 2022-08-16 智汇轩田智能系统(杭州)有限公司 一种dbc板夹紧定位机构
CN114914186B (zh) * 2022-04-27 2024-01-05 智汇轩田智能系统(杭州)有限公司 一种dbc板夹紧定位机构
CN115026185A (zh) * 2022-08-09 2022-09-09 明日能源(苏州)有限公司 能源监测装置零件加工装置
CN115026185B (zh) * 2022-08-09 2022-11-08 明日能源(苏州)有限公司 能源监测装置零件加工装置

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