CN101655646A - 显示装置及其制造方法 - Google Patents

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Abstract

本发明涉及显示装置及其制造方法。可以应用于显示装置的显示面板包括第一基板、第二基板和显示元件层。第一基板具有经由第一导电层堆叠在绝缘基板上的器件层。器件层至少具有连接到像素开关的像素电极和布线。第二基板包括第二导电层，所述第二导电层被设置成面对在上述第一基板上布置的像素电极。显示元件层介于上述第一基板和上述第二基板之间。

Description

显示装置及其制造方法
相关申请的交叉引用
本申请基于并且要求于2008年8月18日提交的日本专利申请No.2008-210095的优先权的权益，其全部公开通过引用结合于此。
技术领域
本发明涉及一种诸如电子纸显示装置等的具有存储性能的显示器及其制造方法。
背景技术
近年来，作为具有存储性能的显示装置的电子纸显示装置已经被开发为使得能够毫无困难地实现“阅读”诸如电子书、电子报纸等的显示装置。这里，“具有存储性能的显示装置”意指具有两个或更多不同稳定状态的显示装置，并且该显示装置的两个或更多不同稳定状态可以被电切换，并且那些状态具有不同的光特性。这样的显示装置也被称为“双稳态显示装置”。在双稳态显示装置中的图像显示状态包括其中写入更新图像的图像更新状态和没有写入更新图像的图像非更新状态。这里，因为在当双稳态显示装置处于图像非更新状态时，双稳态显示装置可以在不供应电功率的情况下保持显示在图像显示装置上的图像，所以可以减少其功率消耗。
特别地，上述电子纸显示装置具有存储性能，该存储性能是上述双稳态显示装置的特征，并且另外，要求它是薄的、重量轻的、耐开裂以及像印刷纸一样易于阅读。另外并且可优选地，期望电子纸显示装置的显示面板是柔性的(可弯曲的)并且可以执行彩色显示。作为具有存储性能的显示装置的示例，已知由美国公司(E Ink-公司)开发的微胶囊型电泳显示装置。
针对这样的电泳显示装置，在例如美国专利申请号为2005/0078099(下文中，被称为专利文献1)的专利文献中公开了一种由切换元件来驱动微胶囊型电泳显示元件的结构。在专利文献1中公开的电泳显示装置包括柔性基础基板、非线性切换元件、连接到切换元件的像素电极、微胶囊型电泳显示元件和公共电极。
这里，柔性基础基板由诸如不锈钢或金属箔、聚酰亚胺等的材料制成，并且可以弯曲。非线性切换元件设置在上述基础基板的一个表面侧上。像素电极经由平坦化膜被连接到切换元件。微胶囊型电泳显示元件被布置在基础基板的一个表面侧上。公共电极被设置成经由微胶囊型电泳显示元件而面对像素电极。
在例如日本专利申请特开No.2004-219551(下文中，被称为专利文献2)和日本专利申请特开No.2005-292420(下文中，被称为专利文献3)中公开了一种用于以这样的面板结构在柔性基板上形成非线性元件的方法。在专利文献2中公开了一种方法，使用该方法在玻璃层的一个表面侧上形成非线性元件，该玻璃层的另一表面侧(背面)被减薄地蚀刻，使得该玻璃层的厚度变得小于或等于200μm并且柔性膜粘贴在所蚀刻玻璃层的所述另一表面侧上。
在专利文献3中公开了一种方法，使用该方法将光元件和薄膜晶体管器件转移并堆叠在通过卷到卷工艺由有机树脂制成的长薄膜上。
诸如不同于上述不锈钢和金属箔的聚酰亚胺、聚对苯二甲酸乙二酯(PET)等的塑料基板可以用于在专利文献1至3中公开的柔性基板。这里，塑料基板与诸如不锈钢、金属箔等的导电基板相比具有通过静电等很容易发生表面的充电(带电)的特征。
因此，已知的是，在诸如电子纸显示装置的具有存储性能的显示装置中，当在处于上述图像非更新状态下的塑料基板的表面上产生静电时，由该静电引起的电场造成图像的干扰或图像质量的降低。这是因为电泳粒子通过由静电引起的电场在微胶囊中移动，并且图像根据处于刚刚完成了显示操作的状态下的图像(在图像非更新状态的开始)而改变。
在例如日本专利申请特开No.2005-208348(在下文中，被称为专利文献4)中公开了一种用于防止对塑料基板的表面进行充电的方法。在专利文献4中公开了以下一种结构：在电子纸显示装置中，经由微胶囊将在第一基板上形成的透明电极膜(第一导电膜)电连接到与第一基板相对的第二基板上的电极膜(第二导电膜)。这里，将第一基板设置在由显示元件显示信息的一侧(也就是，观看侧)。通过使用这样的结构，可以防止对用于第一和第二基板的塑料基板的表面进行充电，并且可以解决在图像非更新状态时图像的干扰或图像质量的降低的问题。
发明内容
鉴于上述情况，本发明的示例性目的是解决在背景技术中描述的问题。即，本发明的示例性目的是提供一种具有存储性能和极好可靠性的有源矩阵型显示装置及其制造方法，其中，即使当通过使用具有柔性的绝缘基板来构造显示面板时，在图像非更新状态时也不会发生图像的干扰或图像质量的降低。
本发明的示例性方面的显示装置包括第一基板，该第一基板具有经由第一导电层堆叠在绝缘基板上的器件层，并且在第一基板上将连接到像素开关的像素电极和布线布置成与多个显示像素相对应；第二基板，其中第二导电层被设置成面对在第一基板上布置的像素电极；以及显示元件层，所述显示元件层设置在第一基板和第二基板之间，其中在图像非更新时将特定电位施加到所述第一导电层和所述第二导电层。
一种用于制造本发明的第一显示装置的方法包括：在玻璃基板的一个表面侧上形成的器件层上设置膜；蚀刻玻璃基板的另一表面侧；通过使用导电粘合材料，在蚀刻的玻璃基板的另一表面侧上设置绝缘基板；以及从器件层剥离所述膜。
一种用于制造本发明的示例性方面的第二显示装置的方法包括：经由蚀刻停止层和导电层，在玻璃基板的一个表面侧上形成的器件层上设置膜；通过蚀刻完全去除玻璃基板，以使蚀刻停止层暴露；通过蚀刻完全去除蚀刻停止层，以使导电层暴露；通过使用导电粘合材料，在暴露的导电层的表面上设置绝缘基板；以及从器件层剥离所述膜。
一种用于制造本发明的示例性方面的第三显示装置的方法包括：形成器件层，所述器件层经由蚀刻停止层形成在玻璃基板的一个表面侧中；在所述器件层上形成导电层；通过使用导电粘合材料，在所述导电层的表面上形成绝缘基板；以及通过蚀刻完全去除所述玻璃基板，以使蚀刻停止层暴露。
一种用于制造本发明的示例性方面的第四显示装置的方法包括：在玻璃基板的一个表面侧上所形成的器件层上设置膜；蚀刻玻璃基板的另一表面侧；通过使用导电粘合材料，在蚀刻的玻璃基板的另一表面侧上设置滤色器和绝缘基板；以及从所述器件层剥离所述膜。
附图说明
从下面结合附图进行的详细描述，本发明的示例性特征和优点将变得显而易见。在附图中：
图1是根据本发明的显示装置的第一示例性实施例的示意横截面图。
图2是示出根据第二示例性实施例的显示面板的第一结构示例的示意横截面图。
图3是示出根据第二示例性实施例的显示面板的第二结构示例的示意横截面图。
图4A是图示用于制造根据第二示例性实施例的显示面板的方法的第一步骤示例的横截面图。
图4B是图示用于制造根据第二示例性实施例的显示面板的方法的第二步骤示例的横截面图。
图4C是图示用于制造根据第二示例性实施例的显示面板的方法的第三步骤示例的横截面图。
图4D是图示用于制造根据第二示例性实施例的显示面板的方法的第四步骤示例的横截面图。
图4E是图示用于制造根据第二示例性实施例的显示面板的方法的第五步骤示例的横截面图。
图5是示出根据第二示例性实施例的显示面板的第三结构示例的示意横截面图。
图6是示出可以应用于根据本发明的显示装置的显示面板的第三示例性实施例的示意横截面图。
图7是示出根据第四示例性实施例的显示面板的第一结构示例的示意横截面图。
图8A是图示用于制造根据可以应用于第一结构示例的第四示例性实施例的显示面板的方法的第一步骤示例的横截面图。
图8B是图示用于制造根据可以应用于第一结构示例的第四示例性实施例的显示面板的方法的第二步骤示例的横截面图。
图8C是图示用于制造根据可以应用于第一结构示例的第四示例性实施例的显示面板的方法的第三步骤示例的横截面图。
图8D是图示用于制造根据可以应用于第一结构示例的第四示例性实施例的显示面板的方法的第四步骤示例的横截面图。
图8E是图示用于制造根据可以应用于第一结构示例的第四示例性实施例的显示面板的方法的第五步骤示例的横截面图。
图8F是图示用于制造根据可以应用于第一结构示例的第四示例性实施例的显示面板的方法的第六步骤示例的横截面图。
图9是示出根据第四示例性实施例的显示面板的第二结构示例的示意横截面图。
图10A是图示用于制造根据可以应用于第二结构示例的第四示例性实施例的显示面板的方法的第一步骤示例的横截面图。
图10B是图示用于制造根据可以应用于第二结构示例的第四示例性实施例的显示面板的方法的第二步骤示例的横截面图。
图10C是图示用于制造根据可以应用于第二结构示例的第四示例性实施例的显示面板的方法的第三步骤示例的横截面图。
图10D是图示用于制造根据可以应用于第二结构示例的第四示例性实施例的显示面板的方法的第四步骤示例的横截面图。
图11是示出从根据第二示例性实施例用于单色显示的显示面板修改的用于彩色显示的显示面板的结构示例的示意横截面图。
图12是示出根据第五示例性实施例的显示面板的第一结构示例的示意横截面图。
图13是示出根据第五示例性实施例的显示面板的第二结构示例的示意横截面图。
图14A是图示用于制造根据第五示例性实施例的显示面板的方法的第一步骤示例的横截面图。
图14B是图示用于制造根据第五示例性实施例的显示面板的方法的第二步骤示例的横截面图。
图14C是图示用于制造根据第五示例性实施例的显示面板的方法的第三步骤示例的横截面图。
图14D是图示用于制造根据第五示例性实施例的显示面板的方法的第四步骤示例的横截面图。
图15是示出应用了根据本发明的显示装置的实践应用的示例的示意横截面图。
具体实施方式
<在图像非更新时具有存储性能的有源矩阵型显示装置的图像劣化现象的分析>
首先，本申请的发明人已经分析和验证了在图像非更新状态时发生的电子纸显示装置(具有存储性能的有源矩阵型显示装置)的所显示图像劣化现象，并且下面将描述分析和验证的结果。
用于分析的电子纸显示装置具有电泳型显示面板，其包括TFT基板，在所述TFT基板上设置了薄膜晶体管(在下文中，被称为“TFT”)；对基板，面对TFT基板；以及电泳显示元件，其插入在TFT基板和对基板之间。
这里，TFT是用于驱动像素的开关(像素开关)。TFT基板通过利用非导电浆(粘合材料)将由聚对苯二甲酸乙二酯(PET)制成的塑料基板和在其一个表面侧上形成了TFT的玻璃基板粘帖在一起来形成。TFT基板由塑料基板和玻璃基板这两层组成。这是因为诸如软塑料基板、塑料基板等的缓冲层需要用于对玻璃基板有影响的震动吸收，因为在其上形成TFT的玻璃基板的厚度小，该厚度是0.1mm至0.7mm，并且玻璃基板易碎。在该分析中，为了抑制在塑料基板的表面上的静电，使用在塑料基板的表面上喷洒防静电剂的显示面板。
在这样的电子纸显示装置中，首先，执行电泳型显示面板的显示驱动，并且将显示面板设定成已经显示或写入了期望图像的图像更新状态。之后，将电泳型显示面板控制成非显示驱动状态，并且设定成保持或无法写入在显示面板中显示的图像的图像非更新状态。该图像分析的结果表明：当使用该驱动方法时，几乎不发生上述图像的干扰或图像质量的下降。
然而，当通过使用诸如在电子纸的屏幕上直接绘制图像的笔输入方法、用于输入操作的通过人体等直接触摸屏幕的触摸面板输入方法的输入方法来长时间段地持续执行用于图像更新的显示装置的显示时，在图像非更新状态时已经发生了图像的劣化。具体地，已经观察到在屏幕中显示的颜色从白色逐渐变化到灰色的现象。本申请的发明人认为这样的现象由以下原因造成。
TFT需要作为控制信号(或选择信号)的栅极信号用于驱动TFT。在应用到上述电泳型显示面板的TFT中，例如，将大约+25伏的正电压施加到栅极端子作为在“接通(ON)”操作(选择状态)时的栅极信号。另一方面，例如，将大约-25伏的负电压施加到栅极端子作为在“断开(OFF)”操作(非选择状态)时的栅极信号。这里，本申请的发明人已经验证了将上述电泳型显示面板应用于具有SVGA(超级视频图形阵列)分辨率(800×600像素)的显示装置的情况。
通常，在显示驱动控制中，上述“接通”时间(选择时段)大约是0.027ms，并且“断开”时间(非选择时段)被设定成大约16.6ms。因此，TFT的显示驱动循环的主要部分是“断开”时间，并且将在“断开”操作时是负电压的-25伏的电压连续施加到基本布置在TFT基板上的栅极布线。结果，将-25伏的直流(DC)电压连续施加到在其上形成TFT的玻璃基板和TFT基板的塑料基板。因此，在由在玻璃基板和塑料基板之间的边界面上存在的非导电浆形成的粘合层中发生了充电，并且在塑料基板内部也发生了充电。本申请的发明人认为由充电引起的电场对电泳显示元件的操作状态有影响。
如上所述，电子纸显示装置需要即使在图像非更新状态时也保持图像。然而，通过由本申请的发明人执行的分析已验证的是，在具有塑料基板的电子纸显示装置或具有塑料层的TFT基板中发生了图像的干扰或图像质量的下降的问题。本申请的发明人认为，该问题是由于对塑料基板或粘合层充电而引起的，该充电是通过不仅由于塑料基板的表面上的静电而且由于为了将TFT保持在“断开”状态中而施加到栅极布线的栅极信号(负电压)等产生的直流电场所造成的。
为了解决这样的问题，本申请的发明人已经进行了各种的研究，并且已经获得了以下结论。即，该结论是：上述图像的干扰或图像质量的下降可以通过在TFT基板上布置的布线和塑料基板或粘合层之间设置电场屏蔽层来防止。
下面将详细描述根据本发明的显示装置和用于制造该显示装置的方法的示例性实施例。
<第一示例性实施例>
图1是根据本发明的显示装置的第一示例性实施例的示意横截面图。这里，为了便于图示而省略了要在横截面中图示的一部分阴影线。
如图1所示，可以应用于根据第一示例性实施例的显示装置的显示面板包括第一基板100、第二基板200和显示元件层300。
第一基板100具有经由第一导电层120将器件层130堆叠在绝缘基板110上的结构。器件层130包括至少连接到像素开关131的像素电极132和布线133。像素开关131、像素电极132和布线133被布置成与在显示面板上布置的多个显示像素中的每个相对应。
第二基板200包括第二导电层210，所述第二导电层210被设置成面对在上述第一基板100上布置的像素电极132。第二导电层210形成在绝缘基板上。
显示元件层300介于上述第一基板100和第二基板200之间。即，本发明具有以下结构：第一基板100侧的像素电极132经由显示元件层300面对第二基板200侧的第二导电层210。
在示例性实施例的显示装置中，至少在显示像素的图像非更新时将特定电位施加到具有上述结构的显示面板的第一导电层120和第二导电层210。这里，第一导电层120的电位和第二导电层210的电位被设定成相同的值(特定电位)，并且该特定电位可以是地电位。
即，在应用于该示例性实施例的显示面板中，至少在图像非更新状态时将第一导电层120的电位和第二导电层210的电位设定成特定电位(相同的电位或地电位)，使得在两个层之间不产生任何电位差。结果，在该示例性实施例中，可以屏蔽由在绝缘基板110的表面上产生的静电和来自布线133等的直流电场引起的电场。因此，因为可以抑制绝缘基板110的充电，所以根据示例性实施例的液晶显示装置具有在图像非更新状态时可以防止图像的干扰或图像质量的下降的优点。
<第二示例性实施例>
(第一结构示例)
图2是示出根据第二示例性实施例的显示面板的第一结构示例的示意横截面图。这里，为了便于图示而省略了要在横截面中图示的一部分阴影线。
如图2所示，可以应用于根据第二示例性实施例的显示装置(电子纸显示装置)的显示面板的第一结构示例具有包括电泳型显示面板的结构，其中顺序堆叠对基板3、电泳显示元件4和TFT基板6。其中堆叠了对基板3和电泳显示元件4的材料形成了电泳显示元件膜18。此外，该显示面板具有观察者经由对基板3观看电泳显示元件4的显示的结构，其中附图的上部是观看侧。这里，在该结构中，对基板3与本发明的第二基板相对应，电泳显示元件4与本发明的显示元件层相对应，并且TFT基板6与本发明的第一基板相对应。
在该结构示例中，对基板3具有在塑料基板1的一个表面侧(附图的下侧)上设置形成为例如单个平面电极的对电极2的结构。对电极2被设置在至少与在下述TFT基板6上布置了多个像素电极4的形成区域(它是显示区域)相对应的区域中。在该结构示例中，例如，可以将聚对苯二甲酸乙二酯(PET)、聚酯、聚醚砜(PES)、聚酰亚胺膜、聚碳酸酯(PC)等应用到用于对基板3的塑料基板1。这里，在该结构中，对电极2与本发明的第二导电层相对应。
电泳显示元件4是例如微胶囊型电泳显示元件，并且介于对基板3和TFT基板6之间。具体地，电泳显示元件4具有以下结构：例如，其直径是大约40μm的多个球形微胶囊9在由高分子材料(聚合物)制成的粘结剂(它是接合剂)中两维扩展，并且具有片状。
例如，诸如异丙醇(IPA)等的溶剂被封装在微胶囊9中。微胶囊9具有以下结构：作为纳米尺寸的颗粒的、使用例如带负电的氧化钛白色颜料的无限数目的白色粒子10以及使用例如带正电的碳黑色颜料的黑色粒子在上述溶剂中分离地悬浮。
TFT基板6具有以下结构：经由导电粘合层15在塑料基板8上堆叠在其上设置TFT层26的玻璃基板7。在其上设置TFT层26的玻璃基板7形成了图2所示的TFT玻璃基板27。这里，导电粘合层15与本发明的第一导电层相对应，TFT层26与本发明的器件层相对应，并且塑料基板8与本发明的绝缘基板相对应。
TFT层26设置在玻璃基板7的一个表面侧(它是附图的上侧)上，并且包括作为用于驱动像素的开关(在下文中，被称为“像素开关”)的TFT 5、各种布线5z、钝化膜13和像素电极14。
这里，如图2所示，可以应用于像素开关的TFT 5具有薄膜晶体管结构，其中设置有栅电极5a、栅极绝缘膜13a、半导体层5b、漏电极5c和源电极5d。此外，诸如非晶硅(a-Si)、多晶硅(p-Si)等的无机半导体材料可以用于TFT 5的半导体层5b。诸如聚噻吩等的有机半导体材料可以用于半导体层5b。此外，诸如透明氧化锌(ZnO)等的半导体材料可以用于半导体层5b。
各种布线5z是用于驱动TFT 5的布线。具体地，那些是连接到TFT 5的各种布线，诸如栅极布线、数据布线等。
钝化膜13是覆盖和保护TFT 5和各种布线5z的单个层或多个层的绝缘膜。具体地，在该结构示例中，例如，诸如氮化硅(SiNx)膜等的无机绝缘膜、诸如丙烯酸树脂等的有机膜或那些材料的层压膜可以应用于钝化膜13。
像素电极14被形成为在钝化膜13上扩展，并且如图2所示经由在钝化膜13上设置的接触孔21连接到TFT 5的源电极5d。即，像素电极14被形成为经由上述的电泳显示元件4面对对基板3侧的对电极2。TFT 5和像素电极14两维地布置在玻璃基板7上，以便与在显示面板上布置的多个显示像素中的每个相对应。
用于TFT基板6的玻璃基板7是薄玻璃板，它的厚度被形成例如大于0(零)并且不大于300μm(不大于0.3mm)，并且具有柔性。在该结构示例中，可以将聚对苯二甲酸乙二酯(PET)、聚酯、聚醚砜(PES)、聚酰亚胺膜、聚碳酸酯(PC)等应用于与上述对基板3的塑料基板1类似的塑料基板8。
如图2所示，导电粘合层15是用于紧密接合玻璃基板7和塑料基板8的粘合层。导电粘合层15通过应用其中混合了例如导电性粒子(未示出)的浆或粘合材料而形成。此外，在该结构示例中，例如，石墨、金、镍电镀粒子等可以用于导电性粒子。在该结构示例中，例如，硅、丙烯酸树脂等可以用于浆或粘合材料。
期望导电粘合层15的表面电阻基于由静电引起的电场对电泳显示元件4没有影响的时间段来设定。具体地，期望将表面电阻设定成以下值：利用该值，例如在TFT基板6上产生的静电(电荷)可以在1至10秒内放电。根据本申请的发明人执行的实验结果，期望表面电阻不大干3×109Ω/□。
在该示例性实施例中，如图2示意性地示出，当至少显示装置(它是在显示面板上布置的每个显示像素)处于图像非更新状态时，执行控制，利用该控制，导电粘合层15电连接到对基板3的对电极2或地线。结果，在导电粘合层15及其邻近基板上产生的静电(电荷)通过对电位或地电位(0V)来放电。即，导电粘合层15防止由施加到TFT层26的各种布线5z(具体地，栅极布线)的电压引起的电场泄漏到塑料基板8侧。此外，导电粘合层15防止在塑料基板8的表面上由静电造成的充电。因此，导电粘合层15用作电场屏蔽层。
(第二结构示例)
图3是示出根据第二示例性实施例的显示面板的第二结构示例的示意横截面图。这里，在附图中，相同的附图标记用于与上述第一结构示例中所示的面板结构(参考图2)相同的结构，并且将简化或省略对其的描述。
在上述第一结构示例中，将其中混合了导电性粒子的、由浆或粘合材料形成的导电粘合层15(在下文中，出于方便将其称为“导电浆”)的面板结构用作电场屏蔽层。本发明不限于此。
即，根据示例性实施例的显示面板的另一结构示例(第二结构示例)具有代替导电粘合层15而设置屏蔽电极的面板结构。具体地，如图3所示，显示面板的第二结构示例具有以下结构：由透明导电膜材料形成的屏蔽电极16介于组成TFT基板6的玻璃基板7和塑料基板8之间。在该结构示例中，铟锡氧化物(在下文中，被称为“ITO”)等可以用于透明导电膜材料。这里，屏蔽电极16可以通过使用绝缘(非导电)浆或粘合材料而粘贴到玻璃基板7和塑料基板8。组成屏蔽电极16的ITO膜可以形成在玻璃基板7侧上或在塑料基板8侧上。这里，在该结构示例中的屏蔽电极16与本发明的第一导电层或导电薄膜电极相对应。
在该示例性实施例中，如图3示意所示，当至少显示装置(它是每个显示像素)处于图像非更新状态时，执行了控制，利用该控制，将屏蔽电极16电连接到对基板3的对电极2或地线，使得它们具有相同的电位。即，屏蔽电极16用作电场屏蔽层，该电场屏蔽层将在屏蔽电极16及其邻近基板上产生的静电通过对电位或地电位放电。
因此，在根据该示例性实施例的每个面板结构中，当至少显示装置处于图像非更新状态时，屏蔽由在塑料基板8的表面上生成的静电引起的电场和来自TFT层26的栅极布线等的直流电场。这里，电场屏蔽层是上述导电粘合层15或屏蔽电极16。因此，根据该示例性实施例的显示装置具有以下优点：可以防止在非显示驱动(图像非更新状态)时所显示图像的劣化(图像的干扰或图像质量的下降)，并且可以实现具有极好可靠性的电子纸显示装置。
(制造方法)
接着，将参考附图描述用于制造具有在上述第一结构示例中所示的面板结构的显示面板的方法。
图4A至4E是图示用于制造根据第二示例性实施例的显示面板的方法的步骤的示例的横截面图。这里，将参考正确示出第一结构示例的图2来描述该制造方法。
在用于制造具有上述第一结构示例的显示面板的方法中，首先，如图4A所示，TFT层26形成在玻璃基板7的一个表面侧(它是附图的上侧；器件形成表面侧)上。具体地，如图2所示，在栅电极5a和包括连接到栅电极5a的栅极布线的各种布线5z形成在玻璃基板7的一个表面侧中之后，形成用于覆盖栅电极5a和各种布线5z的栅极绝缘膜13a。在图4A中，没有示出栅电极5a和栅极绝缘膜13a。接着，半导体层5b、漏电极5c、源电极5d和包括连接到漏电极5c的数据布线的各种布线(在图4A中省略了附图标记)形成在与栅电极5a相对应的栅极绝缘膜13a上。接着，在栅极绝缘膜13a上形成覆盖半导体层5b、漏电极5c、源电极5d以及包括数据布线的各种布线的钝化膜13之后，在钝化膜13上形成接触孔21。另外，形成像素电极14，所述像素电极14电连接到在接触孔21中暴露的源电极5d并且在钝化膜13上延伸。结果，完成了TFT玻璃基板27，所述TFT玻璃基板包括在其上TFT 5和像素电极14被布置在玻璃基板7的一个表面侧上的TFT层26，以便与显示面板的每个显示像素相对应。
接着，如图4B所示，保护膜17被粘贴成与在TFT玻璃基板27的一个表面侧(它是附图的上侧)上形成的每个像素电极14相接触。
接着，如图4C所示，通过将TFT玻璃基板27放置在蚀刻溶液中，从在其上没有形成TFT层26的玻璃基板7的另一个表面侧(它是图的下侧；玻璃表面侧)蚀刻玻璃基板7。在该蚀刻步骤中，基于事先测量的玻璃基板7的蚀刻速率来执行蚀刻工艺，直到获得期望的膜厚度，并且当获得期望的膜厚度时，从蚀刻溶液中取出TFT玻璃基板27，并且结束(停止)蚀刻工艺。这里，执行蚀刻工艺，使得玻璃基板7的厚度变成例如大于0(零)并且不大于300μm。此外，本申请的发明人已经确认：当玻璃基板7的厚度大于300μm时，显示面板没有足够的柔性。
接着，将导电浆涂布到在其上执行上述蚀刻工艺的玻璃基板7的另一表面侧(它是该附图的下侧；蚀刻表面)，并且粘贴塑料基板8。之后，如图4D所示，通过剥离在TFT玻璃基板27的一个表面侧(它是该附图的上侧)上粘贴的保护膜，将在其上形成诸如TFT 5等的器件的TFT层26转移到塑料基板8侧。结果，在玻璃基板7的一个表面侧中具有TFT5、各种布线5z等的TFT层26被形成，并且形成TFT基板6，所述TFT基板6的塑料基板8经由导电粘合层15粘贴在玻璃基板7的另一侧上。
接着，如图4E所示，将电泳显示元件膜18粘贴到TFT基板6的TFT层26。在该步骤中，粘贴电泳显示元件膜18，使得电泳显示元件4与在TFT层26上形成的每个像素电极14相接触，并且上述像素电极14经由电泳显示装置4面对对基板3的对电极2。此外，在该步骤之后或与该步骤并行，形成用于将在TFT基板6侧上形成的导电粘合层15电连接到电泳显示元件膜18(对基板3)侧的对电极2的装置。具体地，当至少显示装置(显示像素)处于图像非更新状态时，适当地形成用于电连接上述导电粘合层15和对电极2的布线和切换装置的布线。因此，形成具有图2所示的面板结构的显示面板。
此外，在上述制造方法中，如图4D所示，描述了通过将导电浆涂布到玻璃基板7的另一表面侧(它是该附图的下侧；蚀刻表面)上来粘贴塑料基板8的步骤。取代该步骤，可以使用以下步骤：在蚀刻表面上形成由诸如ITO等的透明导电膜材料形成的屏蔽电极16，通过涂布非导电浆来粘贴塑料基板8，并且执行与上述相同的步骤。通过使用这样的制造方法，形成具有图3所示的面板结构的显示面板。
(第三结构示例)
图5是示出根据第二示例性实施例的显示面板的第三结构示例的示意横截面图。这里，在附图中，相同的附图标记用于与上述第一和第二结构示例中所示的面板结构(参考图2和图3)相同的结构，并且将简化或省略对其的描述。
在上述第一和第二结构示例中，描述了将TFT层26和电泳显示元件膜18堆叠在玻璃基板7的器件形成表面侧上并且经由导电粘合层15和屏蔽电极16将塑料基板8堆叠在玻璃基板7的蚀刻表面侧上的面板结构。本发明不限于该面板结构。
即，根据示例性实施例的显示面板的另一结构示例(第三结构示例)具有以下结构：经由屏蔽电极16和导电粘合层15将塑料基板8堆叠在玻璃基板7的器件形成表面侧上的TFT层26的表面上。该结构示例具有将电泳显示元件膜18堆叠在玻璃基板7的蚀刻表面侧上的结构。
具体地，如图5所示，显示面板的第三结构示例具有将多个像素电极14布置在玻璃基板7的另一表面侧(它是该附图的下侧)上的结构。将多个TFT 5布置在被形成为覆盖像素电极14的绝缘层间膜20的表面(它是该附图的下侧)上。这里，TFT 5包括与上述结构示例类似的栅电极5a、栅极绝缘膜13a、半导体层5b、漏电极5c和源电极5d。每个TFT5的源电极5d经由在栅极绝缘膜13a和层间膜20中形成的接触孔21连接到每个像素电极14。
包括TFT 5的层间膜20和栅极绝缘膜13a由钝化膜13覆盖。屏蔽电极16布置在钝化膜13的表面(它是该附图的下侧)上。这里，将屏蔽电极16设置在与显示面板的显示区域相对应的区域，并且不设置在该显示区域周围的端子区域(未示出)中。这是因为必须在端子区域中形成端子电极以便使其暴露，该端子电极经由各种布线5z连接到TFT 5并且连接到用于显示驱动的IC芯片(驱动芯片)。除此之外，因为在端子区域中不显示图像，所以在电泳显示元件膜18中静电电荷不影响显示状况。
经由具有电场屏蔽层的功能的导电粘合层15，塑料基板8堆叠在钝化膜13的包含屏蔽电极16的表面(即，该附图的下侧)上。另一方面，将包括对基板3和电泳显示元件4的电泳显示元件膜18堆叠在薄蚀刻玻璃基板7的一个表面侧(该附图的上侧)上。
在该示例性实施例中，如图5示意性地示出，当至少显示装置处于图像非更新状态时，执行控制，利用该控制，将由导电粘合层15和屏蔽电极16组成的电场屏蔽层电连接到对电极2或地线，使得它们具有相同的电位。
此外，在这样的面板结构中，经由被减薄蚀刻的玻璃基板7将电压从每个像素电极14施加到电泳显示元件膜18的电泳显示元件4。因此，为了很好地驱动和控制在微胶囊9中的带色粒子(白色粒子和黑色粒子)，期望玻璃基板7的膜厚度不大于40μm，40μm是电泳显示元件膜18的尺寸(具体地，是微胶囊9的直径)。
因此，在根据该示例性实施例的面板结构中，电场屏蔽层和对电极2被电连接，使得不产生在由导电层15和屏蔽电极16组成的电场屏蔽层与对基板3的对电极2之间的电位差。结果，在根据该示例性实施例的显示面板中，可以通过屏蔽在由塑料基板8的表面上产生的静电引起的电场和来自栅极布线等的直流电场来抑制塑料基板8和导电粘合层15的充电。因此，根据该示例性实施例的显示装置具有以下优点：可以防止在非显示驱动(图像非更新状态)时所显示图像的劣化，并且可以实现具有极好可靠性的电子纸显示装置。
<第三示例性实施例>
接着，将参考附图描述可以应用于根据本发明的显示装置的显示面板的第三示例性实施例。
图6是示出可以应用于根据本发明的显示装置的显示面板的第三示例性实施例的示意横截面图。这里，在附图中，相同的附图标记用于与上述第二示例性实施例中所示的每个面板结构相同的结构，并且将简化或省略对其的描述。
在第三示例性实施例中，将描述在TFT基板6侧上设置的电场屏蔽层用作用于保持在像素电极14中写入的像素电位的存储电极的情况。这里，因为除了TFT基板6之外的结构(也就是，具有对基板3和电泳显示元件4的电泳显示元件膜18)与上述第二示例性实施例的结构相同，所以省略了对其的描述。
如图6所示，可以应用于根据第三示例性实施例的显示装置的显示面板具有以下结构：通过按顺序堆叠TFT层26、层间膜20、存储电容电极19、玻璃基板7、层间粘合层15a和塑料基板8来形成TFT基板6。即，TFT层26经由存储电容电极19和层间膜(绝缘层)20设置在玻璃基板7的一个表面侧(它是该附图的上侧)中，并且塑料基板8经由层间粘合层15a设置在玻璃基板7的另一表面侧(该附图的下侧)中。
这里，TFT层26包括与上述第二示例性实施例类似的TFT 5、各种布线5z、钝化膜13和像素电极14。
在该示例性实施例中，例如，诸如四乙氧基硅烷(TEOS)等的绝缘无机平坦化膜可以用于层间膜20。在该示例性实施例中，例如，由诸如ITO等的导电膜材料形成的导电层可以用于存储电容电极19。存储电容电极19被形成为例如单个平面电极。
层间粘合层15a是用于将玻璃基板7和塑料基板8紧密接合的粘合层。例如，通过涂布非导电浆或粘合材料来形成层间粘合层15a。此外，层间粘合层15a可以由与上述第二示例性实施例所示的导电粘合层15类似的导电浆形成。
因为玻璃基板7和塑料基板8与上述第二示例性实施例的玻璃基板和塑料基板相同，所以省略对其的描述。
在这样的面板结构中，存储电容(电容分量)形成在每个像素电极14与存储电容电极19之间，所述每个像素电极14设置在在TFT基板6中，以便与显示区域中的每个显示像素相对应，如上述单个平面电极那样设置所述存储电容电极19。这里，存储电容电极19具有保持存储电容的功能，并且另外具有在电泳显示元件4的非显示驱动(图像非更新状态)时用作电场屏蔽层的功能。因此，期望将存储电容电极19设置在与布置在显示区域中的几乎所有像素电极14相对应的区域中。
在该示例性实施例中，如图6示意所示，当至少显示装置(显示面板)处于图像非更新状态时，执行了控制，利用该控制，存储电容电极19电连接到对基板3的对电极2或地线，使得它们具有相同的电位。
因此，在根据该示例性实施例的面板结构中，与上述第二示例性实施例类似，抑制在图像非更新状态中的TFT基板6的塑料基板8的充电。因此，根据该示例性实施例的显示装置具有可以防止所显示图像劣化(图像的干扰或图像质量的劣化)的优点。另外，在根据该示例性实施例的面板结构中，在每个显示像素中很容易形成大的存储电容。因此，根据该示例性实施例的显示装置具有以下优点：可以改善电泳显示元件的驱动能力(它是保持图像显示状态的能力)，并且可以实现高孔径比。
<第四示例性实施例>
接着，将参考附图描述可以应用于根据本发明的显示装置的显示面板的第四示例性实施例。
(第一结构示例)
图7是示出根据第四示例性实施例的显示面板的第一结构示例的示意横截面图。这里，在附图中，相同的附图标记用于与上述第二示例性实施例中所示的面板结构相同的结构，并且将简化或省略对其的描述。
在上述第二和第三示例性实施例中，TFT基板6包括TFT层26和塑料基板8。TFT层26设置在玻璃基板7的一个表面侧上，并且塑料基板8经由电场屏蔽层而设置在玻璃基板7的另一表面侧上。即，在第二和第三示例性实施例中，该面板结构具有玻璃的残留膜，该膜的厚度是大于0(零)并且不大于300μm(0.3mm)，这是通过蚀刻玻璃基板7的另一侧而获得的。本发明不限于此。
即，根据该示例性实施例的显示面板的第一结构示例具有以下面板结构：将绝缘层间膜取代玻璃残留膜(在上述第二示例性实施例的第二结构示例中所示的玻璃基板7)设置在TFT基板6上。具体地，如图7所示，该结构示例具有以下结构：经由导电粘合层15和屏蔽电极16将层间膜20设置在塑料基板8上，并且将TFT层26设置在层间膜20上。在该结构示例中，将具有电泳显示元件4和对基板3的电泳显示元件膜18直接堆叠在TFT层26的表面上。
(制造方法)
图8A至8F是图示用于制造根据可以应用于第一结构示例的第四示例性实施例的显示面板的方法的步骤的示例的横截面图。这里，在附图中，将简化对与在上述第二示例性实施例中所示的制造方法的工艺相同的工艺的说明。
在具有上述面板结构(图7)的显示面板的制造方法中，首先，如图8A所示，在玻璃基板7的一个表面侧(它是该附图的上侧；器件形成表面侧)上形成蚀刻停止层22。这里，在该示例性实施例中，难以由玻璃蚀刻液体溶解的诸如富硅氮氧化硅(SiONx)等的材料可以用于蚀刻停止层22。接着，在通过使用诸如ITO等的导电膜材料在蚀刻停止层22的整个表面上形成也用作电场屏蔽层的屏蔽电极16之后，在包括屏蔽电极16的蚀刻停止层22上形成层间膜20。这里，在该示例性实施例中，例如，诸如四乙氧基硅烷(TEOS)等的无机绝缘膜可以用于与上述第三示例性实施例类似的层间膜20。接着，包括TFT 5、各种布线5z、钝化膜13和像素电极14的TFT层26形成在层间膜20上，并且包括蚀刻停止层22和屏蔽电极16的玻璃基板27被形成。
接着，如图8B所示，将保护膜17粘贴在TFT玻璃基板27的TFT层26的表面上，以便与每个像素电极14相接触。此外，在该步骤中，可以通过使用具有剥离特性的浆或粘合材料来粘贴保护膜17，其中，通过紫外(UV)线的照射来降低粘合力。可以使用具有相同效果的另一材料，例如，具有通过加热来降低粘合力的剥离特性的浆或粘合材料。
接下来，如图8C所示，通过将该TFT玻璃基板27放置在蚀刻溶液中，从玻璃基板7的另一表面侧(它是该附图的下侧；玻璃表面侧)蚀刻玻璃基板7。在该玻璃基板7的蚀刻步骤中，继续蚀刻直到完全去除玻璃基板7并且完全暴露蚀刻停止层22。
接着，如图8D所示，通过使用干法蚀刻方法来去除上述所暴露的蚀刻停止层22。在用于蚀刻该蚀刻停止层22的步骤中，继续蚀刻直到完全去除蚀刻停止层22并且完全暴露在蚀刻停止层22的上层中设置的屏蔽电极16。即，由ITO膜形成的屏蔽电极16用作用于通过蚀刻去除由氮氧化硅膜形成的蚀刻停止层22的蚀刻停止层。结果，诸如TFT 5等的器件从玻璃基板7侧被转移到保护膜17侧。
接着，如图8E所示，将导电浆涂布到通过去除蚀刻停止层22而暴露的屏蔽电极16的表面上，并且粘贴塑料基板8。接着，剥离粘贴到TFT层26的保护膜17。结果，诸如TFT 5等的器件和屏蔽电极16从保护膜17侧被转移到塑料基板8侧。即，形成TFT基板6，在TFT基板6中，具有TFT 5、各种布线5z等的TFT层26通过由导电浆形成的导电粘合层15、屏蔽电极16和层间膜20形成在塑料基板8的一个表面侧(它是该附图的上侧)中。这里，如上所述，当通过使用具有剥离特性的浆或粘合材料将保护膜17粘贴在TFT层26的表面上时，可以在不损坏TFT层26的器件的情况下很好地剥离保护膜17，其中通过UV线的照射或加热来降低粘合力。
接着，如图8F所示，经由电泳显示元件4将电泳显示元件膜18粘贴在TFT基板6的一个表面侧(它是该附图的上侧；器件形成表面侧)上，使得像素电极14面对对电极2。此外，在该步骤之后或与该步骤并行，形成用于电连接电场屏蔽层和在电泳显示元件膜18(对基板3)侧上的对电极2的装置，所述电场屏蔽层由在TFT基板6侧中形成的导电粘合层15和屏蔽电极16组成。具体地，当至少显示装置(显示面板)处于图像非更新状态时，适当地形成用于电连接上述屏蔽电极16和对电极2的布线和切换装置。因此，形成具有图7所示的面板结构的显示面板。
该结构示例具有以下面板结构：完全去除影响显示面板的柔性的TFT基板6的玻璃基板7，并且设置无机绝缘膜(层间膜20)来取代玻璃基板7。因此，根据该结构示例的显示装置具有与上述第二和第三示例性实施例的显示装置相同的优点，并且此外，具有可以改善显示面板的柔性的优点。此外，在该结构示例中，已经对使用由诸如四乙氧基硅烷(TEOS)等的无机绝缘膜形成的层间膜20的结构进行了说明。本发明不限于此，并且可以使用由另一绝缘膜形成的层间膜20。
(第二结构示例)
图9是示出根据第四示例性实施例的显示面板的第二结构示例的示意横截面图。这里，在附图中，相同的附图标记用于与在上述第二示例性实施例中所示的面板结构相同的结构，并且将简化对其的描述。
根据该示例性实施例的显示面板的第二结构示例具有以下面板结构：设置蚀刻停止层来取代在上述第二示例性实施例的第三结构示例中所示的玻璃基板7(它是玻璃的残留膜)。具体地，如图9所示，该结构示例具有以下面板结构：TFT层26经由导电粘合层15和屏蔽电极16设置在塑料基板8上，并且蚀刻停止层22被设置在TFT层26上。该结构示例具有以下结构：将包括电泳显示元件4和对基板3的电泳显示元件膜18直接堆叠在蚀刻停止层22的表面上。
(制造方法)
图10A至10D是图示用于制造根据可以应用于第二结构示例的第四示例性实施例的显示面板的方法的步骤的示例的横截面图。
在用于制造具有上述面板结构(图9)的显示面板的方法中，首先，如图10A所示，在玻璃基板7的一个表面侧(它是该附图的上侧；器件形成表面侧)上形成蚀刻停止层22。这里，很难由玻璃蚀刻液体溶解的诸如富硅氮氧化硅(SiONx)等的材料可以用于与上述示例性实施例的第一结构示例类似的蚀刻停止层22。将蚀刻停止层22的膜厚度设定成例如大约0.5至3.0μm。接着，在蚀刻停止层22上形成多个像素电极14之后，在包括像素电极14的蚀刻停止层22上形成层间膜20，以便覆盖蚀刻停止层22。这里，无机绝缘膜可以用于与上述第三示例性实施例类似的层间膜20。接着，在层间膜20上形成包括TFT 5、各种布线5z和钝化膜13的TFT层26。此时，经由在栅极绝缘膜13a和层间膜20中形成的接触孔21将每个像素电极14连接到TFT 5。接着，在TFT层26的整个表面上形成抗静电屏蔽电极16，并且形成包括蚀刻停止层22和屏蔽电极16的TFT玻璃基板27。
接着，如图10B所示，将导电浆涂布在TFT玻璃基板27的屏蔽电极16的表面上，并且粘贴塑料基板8。
接着，如图10C所示，通过将该TFT玻璃基板27放置在蚀刻溶液中，从玻璃基板7的另一表面侧(它是该附图的下侧；玻璃表面侧)蚀刻玻璃基板7。在该玻璃基板7的蚀刻步骤中，继续蚀刻工艺直到完全去除玻璃基板7并且完全暴露蚀刻停止层22。结果，诸如TFT 5等的器件和屏蔽电极16从玻璃基板7侧被转移到塑料基板8侧。即，形成TFT基板6，在TFT基板6中，通过由导电浆形成的导电粘合层15和屏蔽电极16将包括层间膜20的TFT层26和蚀刻停止层22形成在塑料基板8的一个表面上。
接着，如图10D所示，将TFT基板6倒置，并且经由蚀刻停止层22和电泳显示元件4将电泳显示元件膜18粘贴在TFT基板6的一个表面侧(它是该附图的上侧；器件形成表面侧)上。这里，电泳显示元件膜18被粘贴成使得像素电极14面对对电极2。此外，在该步骤之后或与该步骤并行，形成用于电连接电场屏蔽层和在电泳显示元件膜18(对基板3)侧上的对电极2的装置，所述电场屏蔽层由在TFT基板6侧上形成的导电粘合层15和屏蔽电极16组成。具体地，当至少显示装置(显示面板)处于图像非更新状态时，适当地形成用于电连接上述屏蔽电极16和对电极2的布线或切换装置。因此，形成具有图9所示的面板结构的显示面板。
因此，该结构示例具有以下面板结构：完全去除影响显示面板的柔性的TFT基板6的玻璃基板7，并且设置薄绝缘膜(蚀刻停止层22)来取代玻璃基板7。因此，根据该结构示例的显示装置具有与上述第二和第三示例性实施例的显示装置相同的优点，并且另外，具有可以改善显示面板的柔性的优点。
在可以应用于该结构示例的制造方法中，当在玻璃基板7上形成的TFT层26转移到塑料基板8时，与上述该示例性实施例的第一结构示例不同，不必将保护膜17粘贴到TFT层26并且剥离该保护膜。因此，可以应用于该结构示例的制造方法具有以下优点：抑制在包括像素电极14的TFT层26上发生破裂或剥离，并且可以很好地执行转移到塑料基板8。
在该结构示例中，可以将在通过蚀刻去除玻璃基板7时使用的蚀刻停止层22的膜厚度设定成大约0.5至3.0μm。即，在可以应用于该结构示例的制造方法中，使蚀刻停止层22的膜厚度可忽略地小于电泳显示元件4的尺寸(微胶囊9的直径；例如40μm)。结果，即使当使用其中将蚀刻停止层22介于TFT基板6和电泳显示元件膜18之间的面板结构时，也很好地驱动和控制电泳显示元件4。因此，根据该结构示例的显示装置具有以下优点：可以省略用于去除蚀刻停止层22的步骤，并且可以简化制造方法。
另外，在这样的面板结构中，即使留下其厚度可忽略地小于电泳显示元件4的尺寸的蚀刻停止层22而没有去除它，用于驱动和控制电泳显示元件4的电压也不会改变很大。因此，根据该结构示例的显示装置具有以下优点：可以将电路的耐受电压设定成低电压，因为驱动显示装置不必是高电压。此外，在该结构示例和该制造方法中，已经对留下蚀刻停止层22而没有去除它的结构进行了说明。本发明不限于此，并且可以包括减少蚀刻停止层22的厚度或完全去除蚀刻停止层22的步骤。
<显示装置的操作>
接着，将描述具有根据上述第二至第四示例性实施例的显示面板的显示装置(电子纸显示装置)的示意操作。
如在上述背景技术中所描述的，可以将在具有上述面板结构的显示面板中的操作状态大致分成两类，即图像更新状态和图像非更新状态。
(图像更新状态)
在图像更新状态中，通过控制在施加到TFT基板6侧上的像素电极14的电压(像素电位)与施加到对基板3侧上的对电位之间的差(电位差)，驱动作为显示媒体的电泳显示元件4以显示期望的图像。
即，在上述每个示例性实施例中，根据要显示的图像来设定施加到栅极布线和数据布线的电压，并且通过导通/关断TFT 5将预定像素电位施加到像素电极14。这里，要施加的像素电位是比要施加到对电极2的对电位(基准电位)更高或更低的电压。根据该电压，在电泳显示元件4的每个微胶囊9中的白色粒子10和黑色粒子11移动到对电极2侧或像素电极14侧。因此，将与每个显示像素相对应的微胶囊9设定成白色显示状态或黑色显示状态，并且显示所期望的图像。
这里，将具体地描述在图像更新状态时由显示像素显示黑颜色的情况。首先，在上述每个示例性实施例中，例如，在将+15伏的电压(数据电压)施加到数据布线作为黑色显示电压的状态中，经由栅极布线将+25伏的脉冲电压(栅极信号)施加到TFT 5的栅电极作为选择电平的栅极电压。结果，TFT 5被导通(接通操作)并且将上述数据布线的电压(数据电压＝+15V)施加到像素电极14作为像素电压。之后，当将栅极电压设定成作为非选择电平的-25伏的电压时，TFT 5被关断(断开操作)。此外，当由显示像素显示白颜色时，在通过将-15伏的电压施加到数据布线作为白色显示电压来取代上述黑色显示电压(+15V)的状态下，导通TFT 5。因此，将该数据电压施加到像素电极14作为像素电压。
这里，例如，将地电位(0V)施加到对电极2作为对电位(基准电位)，该对电极2被设置成面对每个显示像素的像素电极14。根据在像素电极14的像素电位与对电极2的对电位之间的电位差，在电泳显示元件4的微胶囊9中的带负电的白色粒子10移动到对其施加了正电压(+15V)的像素电极14侧。结果，可以经由对基板3的塑料基板1从观看侧(例如，图1的上侧)观看黑色粒子11，并且设定黑色显示状态。此外，当将负电压(-15V)施加到像素电极14时，在电泳显示元件4的微胶囊9中的带正电的黑色粒子11移动到像素电极14侧。结果，可以经由对基板3的塑料基板1从观看侧观看白色粒子10，并且设定白色显示状态。
针对每个显示像素而设定黑色显示状态或白色显示状态，以在显示面板中显示所期望的图像。
(图像非更新状态)
因为可以应用于电子纸显示装置的电泳显示元件4具有存储性能，所以当保持通过上述显示更新操作而显示的图像时，或当没有更新图像时，不必将电压施加到显示面板的每个像素电极14。特别地，在上述每个示例性实施例中示出的显示面板具有以下面板结构：将对电极2电连接到当至少显示装置处于图像非更新状态时构造电场屏蔽层的导电粘合层15或屏蔽电极16。因此，在上述每个示例性实施例的显示面板中，抑制在塑料基板8的表面上生成的静电、在塑料基板8中的充电以及对存在于玻璃基板7和塑料基板8之间或存在于TFT层26和塑料基板8之间的边界处的导电粘合层15进行充电。
这里，在没有将对电极2电连接到电场屏蔽层(导电粘合层15或屏蔽电极16)的结构的情况下，对电极2的电位与电场屏蔽层的电位不同。在该情况下，如在上述“要解决的问题”和“图像劣化现象的分析”中所描述的，因为在图像非更新时将不必要的电场施加到电泳显示元件4，所以发生图像劣化的问题并且白或黑颜色的显示状态改变。
与其相比，在上述每个示例性实施例中描述的显示面板中，当至少显示装置处于图像非更新状态时，因为将对电极2电连接到电场屏蔽层，使得它们具有相同的电位，所以可以防止产生不必要的电场的现象。
如上所述，根据上述每个示例性实施例的显示装置具有以下结构：电场屏蔽层介于组成TFT基板的TFT层和塑料基板之间，并且当至少显示装置处于图像非更新状态时，电场屏蔽层和对电极具有相同的电位。因此，防止在塑料基板的表面上生静电，并且抑制对来自在TFT层中布置的各种布线的直流电场造成的塑料基板和粘合层的充电。因此，根据上述每个示例性实施例的显示装置具有以下优点：可以防止在非显示驱动时所显示图像的劣化，可以很好地保持图像显示状态，并且可以实现具有极好可靠性的显示装置。在根据上述每个示例性实施例的显示装置中，可以通过使用电场屏蔽层来形成大存储电容作为用于保持在每个显示像素中的存储电容的存储电容电极。因此，根据上述每个示例性实施例的显示装置具有以下优点：可以改善电泳显示元件的驱动能力，并且可以实现高孔径比。
此外，在上述每个示例性实施例中，已经对当至少显示装置处于图像非更新状态时将对电极2电连接到作为电场屏蔽层的导电粘合层15或屏蔽电极16，或者电连接到存储电容电极19，使得它们具有相同的电位的结构进行了说明。本发明不限于此。即，在上述每个示例性实施例中，期望不仅将对电极2的电位和电场屏蔽层的电位而且将施加到数据布线的数据电压以及施加到栅极布线的栅极电压设定成相同的值。此外，期望将它们的电位设定成地电位(0V)。
在根据上述每个示例性实施例的显示装置中，已经对将根据本发明的技术思想应用于使用电泳显示元件的显示面板的结构进行了说明。然而，本发明不限于此。即，根据本发明的技术思想也可以应用于具有存储性能的另一显示元件，例如，使用电子粉流体、胆甾液晶等的显示面板。
在上述每个示例性实施例中，已经对具有用于显示黑和白这两种颜色的图像的单色显示的面板结构的显示装置进行了说明。然而，本发明不限于此。即，根据本发明的技术思想也可以应用于具有用于彩色显示的面板结构的显示装置。
虽然图2是示出用于单色显示的显示结构的示意横截面图，但是图11是示出用于彩色显示的显示结构的示意横截面图。
即，根据图11所示的本发明的显示装置具有以下结构：在图2所示的第二示例性实施例的面板结构中，将滤色器基板23附着到对基板3的另一表面侧(它是该附图的上侧；观看侧)。这里，滤色器基板23具有将滤色器24堆叠到塑料基板28的结构。将作为滤色器24的红色(R)、绿色(G)和蓝色(B)的每个颜色的过滤器部分布置成与在TFT基板6中布置的显示像素的每个显示颜色相对应。透明粘合层29介于对基板3的塑料基板1与滤色器基板23的滤色器24之间以将它们接合。
<第五示例性实施例>
接着，将参考附图描述可以应用于根据本发明的显示装置的显示面板的第五示例性实施例。
在“要解决的问题”和“在图像非更新时具有存储性能的有源矩阵型显示装置的图像劣化现象的分析”中描述的图像更新时，与当使用彩色电子纸显示装置时相类似地发生由在塑料基板的表面上的静电电荷造成的图像劣化的问题。因此，例如，如图11所示，本发明的技术想法可以应用于具有用于使用滤色器24的彩色显示的面板结构的显示装置。结果，与上述每个示例性实施例一样，可以很好地防止所显示图像劣化的问题(图像的干扰或图像质量的下降)。
顺便提一下，本申请的发明人执行的验证结果表明：当使用彩色显示装置时，发生了在上述每个示例性实施例所示的单色显示面板的情况下没有发生的新问题。具体地，该新问题是滤色器和TFT基板的对准问题。
<彩色显示装置的问题的分析>
下面将详细描述该新问题的验证结果。目前可以在市场出售并且在市场上可以购买的电泳显示元件(与上述电泳显示元件膜18相对应)提供有其厚度是100至200μm的膜状材料或片状材料。例如，如图11所示，当通过使用这样的电泳显示元件来生产用于彩色显示的显示面板时，使用了按顺序堆叠TFT基板6、电泳显示元件膜18和滤色器基板23的面板结构。
这里，在这样的显示面板中，为了设定每个显示像素的显示颜色，需要以更高的对准精度(位置调整)经由电泳显示元件膜18将滤色器23和TFT基板6粘贴在一起的制造步骤。特别地，当作为显示媒体的电泳显示元件膜18和滤色器基板23由膜状材料形成时，需要以高得多的对准精度将两个膜状材料粘贴在一起的制造步骤。然而，通常很难通过使用简单的方法以更高的对准精度将两个膜状材料粘贴在一起。还没有开发出适当的和良好的制造方法。
组成电泳显示元件膜18的塑料基板1通常由诸如具有极低耐热性的聚对苯二甲酸乙二酯(PET)等的膜材料形成。与其形成对比的是，热处理工艺对于形成TFT 5和滤色器24是必要的。因此，将包含具有小的热膨胀和收缩的玻璃填充剂的高耐热塑料基板用于组成TFT基板6和滤色器基板23的塑料基板8和28。
具体地，用于电泳显示元件膜18的塑料基板1的聚对苯二甲酸乙二酯的热膨胀率大约是20×10-6/K至50×10-6/K(20至50ppm/℃)。与其相比，用于TFT基板6和滤色器基板23的塑料基板8和28的高耐热塑料的热膨胀率大约是0.1×10-6/K至3或4×10-6/K(0.1至若干ppm/℃)。因此，即使以更高的对准精度将TFT基板6和滤色器基板23粘贴在一起，同时将电泳显示元件膜18夹在TFT基板6和滤色器基板23之间，上述热膨胀率的差异会发生对准偏移的问题。通过由于在上述粘贴工作之后执行的热处理工艺产生的热、在实际产品的操作期间产生的热等造成的TFT基板6、滤色器基板23或电泳显示元件膜18的偏斜、在它们之间剥离等，会发生上述问题。
为了解决对准偏移的问题，例如，可以使用用以在滤色器基板23的一个表面侧上直接形成电泳显示元件4的方法。在该方法中，可以基本上省略在电泳显示元件膜18与滤色器基板23之间的上述对准工艺，并且可以以更高的对准精度将具有电泳显示元件的滤色器基板与TFT基板6粘贴在一起。然而，即使当采用该方法时，也无法解决在该工艺之后或在实际操作期间的制造工艺中发生对准偏移的问题。
例如，认为在日本专利申请特开No.2006-171735中公开的一种方法是可以解决当将上述膜状材料粘贴在一起时出现的对准精度的问题的现有技术。在日本专利申请特开No.2006-171735中公开了一种用于形成显示装置的方法，使用该方法将滤色器一体化地形成在具有柔性的电子背面板上，在该电子背面板上形成TFT等，并且经由电泳器件(显示媒体)将对电极粘贴在电子背面板上。此外，在该显示装置中，从电子背面板侧的外面观看所显示的图像。然而，在日本专利申请特开No.2006-171735中没有描述当电子纸显示装置处于图像非更新状态时由基板的静电电荷造成的图像劣化的问题。
在上述背景技术中所示的专利文献3中公开了通过转移将TFT基板粘贴到膜状滤色器基板来形成柔性液晶显示装置的技术的示例。然而，在专利文献3中公开的普通液晶显示装置中，显示元件不具有存储性能。因此，当电子纸显示装置处于图像非更新状态时，不会发生由基板上的静电电荷造成的图像劣化的问题。因此，通过使用在这些官方公告中公开的技术，无法同时解决上述当电子纸显示装置处于图像非更新状态时图像劣化的问题以及在滤色器基板和TFT基板之间对准偏移的问题。
因此，本发明的第五示例性实施例公开了一种用于彩色电子纸显示装置的面板结构，其中通过使用简单制造工艺可以以更高的对准精度将滤色器基板和TFT基板粘贴在一起。
(第一结构示例)
图12是示出根据第五示例性实施例的显示面板的第一结构示例的示意横截面图。这里，在附图中，相同的附图标记用于与上述第二至第四示例性实施例中所示的面板结构相同的结构，并且将简化或省略对其的描述。
如图12所示，根据该示例性实施例的显示面板的第一结构示例具有以下面板结构：将上述第二示例性实施例的第二结构示例的结构倒置，并且设置具有TFT 25的滤色器基板来取代TFT基板6。
即，根据该结构示例的显示面板具有其中堆叠对基板3、微胶囊型电泳显示元件4和具有TFT 25的滤色器基板的面板结构。其中堆叠对基板3和电泳显示元件4的材料形成与上述第二示例性实施例类似的电泳显示元件膜18。
具有TFT 25的滤色器基板具有以下结构：按顺序堆叠将TFT层26设置在玻璃基板7上的TFT玻璃基板27、屏蔽电极16、滤色器24和塑料基板8。这里，其中堆叠滤色器24和塑料基板8的材料形成滤色器基板23。
玻璃基板7被减薄蚀刻成具有与上述第二示例性实施例类似的柔性。该结构示例具有以下结构：将具有用作像素开关的TFT 5、各种布线5z、像素电极14等的TFT层26设置在玻璃基板7的一个表面侧(它是该附图的下侧)上。这里，TFT 5的栅电极、源电极和漏电极、栅极布线和数据布线由例如金属材料形成。另一方面，像素电极14由诸如ITO等的透明导电膜材料形成。
该结构示例具有以下结构：将屏蔽电极16设置到玻璃基板7的另一表面侧(它是该附图的上侧)并且在与显示面板的显示区域相对应的区域中。这里，屏蔽电极16是由诸如ITO等透明导电膜材料形成的单个平面电极，并且在与两维布置的所有像素电极相对应的区域中对它不执行图案化。如图12示意所示，当至少显示装置(显示面板)处于图像非更新状态时，将屏蔽电极16电连接到对电极2或地线，使得它们具有相同的电位。这里，在该结构示例中，例如，可以将导电浆、布线等用于将屏蔽电极16与对电极2或地线相连接的导电路径。
滤色器24具有以下结构：将用于红色(R)、绿色(G)和蓝色(B)三个颜色的过滤器部分布置在包含具有小热膨胀系数的玻璃填充剂的塑料基板8的一个表面侧(它是该附图的下侧)上，以便与每个显示像素的显示颜色相对应。将黑色矩阵(未示出)布置在滤色器24的那些颜色之中的边界区域中。经由上述屏蔽电极16将这样的滤色器24设置在玻璃基板7的另一表面侧(它是该附图的上侧)上。
在这样的面板结构中，如图12所示，具有TFT 25的滤色器的塑料基板8的外部(它是该附图的上侧)是观看侧。即，观察者30从具有TFT25的滤色器基板的塑料基板8的外部经由具有TFT 25的滤色器(滤色器基板23和TFT玻璃基板27)来观看电泳显示元件4的显示。这里，组成TFT玻璃基板27的TFT层26的TFT 5、各种布线5z等由例如使用金属材料的不透明电极层和布线层形成。因此，在该结构示例中，期望将TFT5和各种布线5z与布置在布置了黑色矩阵的区域相对应的位置(当从观看侧观看时，TFT 5等和黑色矩阵在平面图中重叠的区域)。结果，在根据该结构示例的平面结构中，可以很大程度地避免从观看侧输入的、由电泳显示元件4反射并且再次照射到观看侧的光被阻截。因此，根据该结构示例的显示装置具有可以实现高孔径比的优点。
因此，该结构示例具有以下面板结构：经由由诸如ITO等的导电膜材料形成的屏蔽电极16将热膨胀系数几乎彼此相等的、包括玻璃基板7的TFT玻璃基板27和包括塑料基板8的滤色器基板23粘贴在一起。结果，在该结构示例中，可以抑制在用于将TFT玻璃基板27和滤色器基板23粘贴在一起的工作之后的制造工艺的热处理步骤中产生的热、或者在实际产品的操作期间产生的热等引起的偏转、剥离等的发生。因此，根据该结构示例的显示装置具有以下优点：可以防止由于上述热膨胀率的不同而引起的对准偏移的发生。
该结构示例具有以下面板结构：将用作电场屏蔽层的屏蔽电极16设置在TFT玻璃基板27和滤色器基板23之间。此外，在该结构示例中，当至少显示装置(显示面板)处于图像非更新状态时，将对基板3的对电极2电连接到屏蔽电极16，使得它们具有相同的电位。结果，在该结构示例中，因为滤色器24与屏蔽电极16直接接触，所以将在滤色器24上产生的静电通过对电位放电，并且防止充电。在该结构示例中，与上述每个示例性实施例类似地屏蔽来自栅极布线等的直流电场。因此，根据该结构示例的显示装置具有以下优点：可以解决图像劣化的问题，并且可以改善电子纸显示装置的可靠性。
在该结构示例中，因为屏蔽电极16可以用作存储电容电极，所以可以在每个像素电极14和屏蔽电极16之间保持固定的存储电容。因此，根据该结构示例的显示装置具有可以实现高孔径比的优点。
(第二结构示例)
图13是示出根据第五示例性实施例的显示面板的第二结构示例的示意横截面图。这里，在附图中，相同的附图标记用于与上述每个示例性实施例中所示的面板结构相同的结构，并且将简化或省略对其的描述。
在上述第一结构示例中，已经对将屏蔽电极16布置在玻璃基板7和滤色器24之间的面板结构进行了说明。然而，本发明不限于此。
即，例如，如图13所示，根据该示例性实施例的显示面板的第二结构示例具有以下面板结构：通过将TFT玻璃基板27和滤色器基板23直接粘贴在一起而形成具有TFT 25的滤色器基板。滤色器基板23具有以下结构：按顺序堆叠滤色器24、屏蔽电极16和塑料基板8。即，该结构示例具有电极16布置在塑料基板8和滤色器24之间的面板结构。
这里，该结构示例具有以下面板结构：将热膨胀系数几乎彼此相等的包括玻璃基板7的TFT玻璃基板27和包括塑料基板8的滤色器基板23直接粘贴在一起。结果，在该结构示例中，可以抑制由于在用于将TFT玻璃基板27和滤色器基板23粘贴在一起的工作之后的热处理步骤中产生的热、或者在实际产品的操作期间产生的热等引起的偏转、剥离等的发生。因此，根据该结构示例的显示装置具有以下优点：可以防止由于上述热膨胀率的不同而引起的对准偏移的发生。
在该结构示例中，塑料基板8和滤色器24与屏蔽电极16直接接触。结果，在该结构示例中，经由屏蔽电极16将在塑料基板8和滤色器24上产生的静电通过对电位放电，并且防止充电。因此，根据该结构示例的显示装置具有以下优点：可以抑制图像劣化，并且可以改善电子纸显示装置的可靠性。
此外，在根据该示例性实施例的每个结构示例中，已经对将由诸如ITO等的透明导电膜材料形成的屏蔽电极16设置为电场屏蔽层的结构进行了说明。本发明不限于此，并且可以使用其中设置由透明导电浆形成的导电粘合层的结构。
(制造方法)
接着，将参考附图来描述用于制造具有上述面板结构的显示面板的方法。
图14A至14D是图示用于制造根据第五示例性实施例的显示面板的方法的步骤的示例的横截面图。这里，在附图中，将简化对与在上述第二示例性实施例中所示的制造方法(参考图4)的工艺相同的工艺的说明。
在用于制造具有上述第一结构示例的显示面板的方法中，首先，如图14A所示，与在上述第二示例性实施例中所示类似，TFT层26被形成在玻璃基板7的一个表面侧(它是该附图的上侧)上。之后，将保护膜17粘贴成与TFT层26的每个像素电极14相接触。
接着，如图14B所示，通过将该TFT玻璃基板27放置在蚀刻溶液中，玻璃基板7的另一表面侧(它是该附图的下侧)被蚀刻。这里，基于事先测量的玻璃基板7的蚀刻速率来蚀刻玻璃基板7，以便获得期望的厚度，该厚度例如是大于0(零)并且不大于300μm。
接着，在玻璃基板7的整个蚀刻表面(它是该附图的下侧)上形成屏蔽电极16，所述屏蔽电极16由诸如ITO等的透明导电膜材料形成并且用作电场屏蔽层。接着，将作为滤色器23的红色(R)、绿色(G)和蓝色(B)的每个颜色的过滤器部分精确地布置成与每个显示像素的每个显示颜色相对应。即，以更高的对准精度将滤色器基板23的滤色器24粘贴在TFT玻璃基板27的表面上。这里，每个像素的每个显示颜色的布置与上述示例性实施例类似地形成在TFT玻璃基板27上的每个像素电极14的布置相同。接着，剥离粘贴在TFT玻璃基板27的一个表面侧上的保护膜17。结果，如图14C所示，将诸如TFT 5等的器件从保护膜17侧转移到滤色器基板23侧，并且形成具有TFT 25的滤色器基板。
接着，如图14D所示，将具有TFT 25的滤色器基板倒置，并且将电泳显示元件膜18粘贴在具有TFT 25的滤色器基板的一个表面侧(它是该附图的下侧)上。这里，电泳显示元件膜18被粘贴，使得电泳显示元件4以合适的(任意的)对准精度与具有TFT 25的滤色器基板的一个表面侧相接触。结果，将像素电极14布置成经由电泳显示元件4面对对电极2。此外，在该步骤之后或与该步骤并行，形成用于电连接在具有TFT 25的滤色器基板侧上形成的屏蔽电极16和在电泳显示元件膜18(对基板3)侧上的对电极2的装置。具体地，当至少显示装置(显示面板)处于图像非更新状态时，适当地形成用于电连接上述屏蔽电极16和对电极2的布线和切换装置。因此，形成具有图12所示的面板结构的显示面板。
如上所述，在根据该示例性实施例的制造方法中，在事先生产的被减薄蚀刻的玻璃基板7上形成的TFT层26的玻璃基板27和滤色器基板23以更高的对准精度直接粘贴在一起。另一方面，当将电泳显示元件膜18粘贴到TFT层26时，可以在没有更高对准精度的情况下执行该工作。因此，在以相对低的对准精度执行该工作之后，将TFT层26和电泳显示元件膜18粘贴在一起。
在这样的显示装置及其制造方法中，通过简单的制造方法能够实现其中可以精确地执行在每个显示像素的显示颜色和滤色器24的每个颜色的过滤器部分之间的位置调整和将其热膨胀系数几乎彼此相等的基板粘贴在一起的显示面板。结果，可以解决在如图11所示的面板结构中发生的问题。即，根据该示例性实施例的显示装置具有以下优点：可以解决当生产显示面板时出现的对准精度的问题以及由于基板的热膨胀系数的不同引起的对准偏移的问题。
此外，在该示例性实施例中，与上述第二和第三示例性实施例相类似，对具有包括薄玻璃基板7的面板结构的彩色显示装置的制造方法进行了说明。然而，本发明不限于此。该示例性实施例可以适当地应用于通过使用如在第四示例性实施例中所描述的完全去除了玻璃基板7的面板结构来生产彩色显示装置的情况。
(应用)
图15是示出应用根据本发明的显示装置的应用的示例的示意横截面图。这里，在附图中，相同的附图标记用于与上述第二至第五示例性实施例中所示的面板结构相同的结构，并且将省略对其的描述。
根据本发明的显示装置不限于在上述第二至第五示例性实施例中所示的电子纸显示装置的实施例，并且它可以应用于各种实施例。例如，根据本发明的显示装置可以应用于以下结构：在上述第二示例性实施例中所示的面板结构(参考图2)中，将输入装置设置在如图15所示组成对基板3的塑料基板1的另一表面侧(它是该附图的上侧；观看侧)上。这里，在本发明中，例如，可以将笔输入单元、触摸面板31等用作输入装置，该输入装置可以设置在对基板3的观看侧的表面上，用于通过直接触摸该输入装置来输入期望图像信息的数据。
在本发明中，在这样的面板结构中，即使当显示装置的显示连续执行长时间段用于图像更新时，由导电粘合层15形成的电场屏蔽层电连接到对电极2，使得它们具有相同的电位或将它们连接到地电位。因此，通过将本发明的技术思想应用于具有这样的面板结构的显示装置，可以有效地解决由基板的静电电荷所造成的图像劣化的问题。
尽管已经参考本发明的示例性实施例具体示出和描述了本发明，但是本发明不限于这些实施例。本领域的普通技术人员将理解，在不背离如权利要求所限定的本发明的精神和范围的情况下，可以在本发明中进行各种形式上和细节上的改变。

Claims (19)

1.一种显示装置，包括：
第一基板，其具有堆叠在第一导电层上方的绝缘基板上的器件层，并且在所述第一基板上将与像素开关相连接的像素电极和布线布置成与多个显示像素相对应；
第二基板，在所述第二基板上，设置第二导电层以使得面对被布置在所述第一基板上的所述像素电极；以及
显示元件层，其设置在所述第一基板和所述第二基板之间，其中，在图像非更新时将特定电位施加到所述第一导电层和所述第二导电层。
2.根据权利要求1所述的显示装置，其中，
在图像非更新时，所述第一导电层的电位和所述第二导电层的电位被设定成相同的值。
3.根据权利要求2所述的显示装置，其中，
在图像非更新时，所述第一导电层和所述第二导电层连接到地电位。
4.根据权利要求1所述的显示装置，其中，
所述第一导电层由导电粘合材料形成。
5.根据权利要求1所述的显示装置，其中，
所述第一导电层由导电薄膜电极形成。
6.根据权利要求1所述的显示装置，其中，
所述第一导电层是存储电容电极，用于保持在所述第一导电层与所述器件层的所述像素电极之间的电容分量。
7.根据权利要求1所述的显示装置，其中，
所述绝缘基板具有柔性。
8.根据权利要求1所述的显示装置，其中，
具有存储性能的多个显示元件被布置在所述显示元件层中。
9.根据权利要求8所述的显示装置，其中，
所述显示元件层包括电泳显示元件。
10.根据权利要求1所述的显示装置，其中，
所述第一基板或所述第二基板包括滤色器。
11.根据权利要求1所述的显示装置，其中，
所述显示装置包括输入装置，所述输入装置用于在所述显示元件层的观看侧上布置的所述第一基板或所述第二基板的表面上输入期望的图像数据。
12.一种用于制造显示装置的方法，包括：
在玻璃基板的一个表面侧中形成的器件层上设置膜；
蚀刻所述玻璃基板的另一表面侧；
通过使用导电粘合材料，在被蚀刻的所述玻璃基板的另一表面侧上设置绝缘基板；以及
从所述器件层剥离所述膜。
13.一种用于制造显示装置的方法，包括：
经由蚀刻停止层和导电层，在玻璃基板的一个表面侧上形成的器件层上设置膜；
通过蚀刻来完全地去除所述玻璃基板，以使所述蚀刻停止层暴露；
通过蚀刻来完全地形成所述蚀刻停止层，以使所述导电层暴露；
通过使用导电粘合材料，在所述暴露的导电层的表面上设置绝缘基板；以及
从所述器件层剥离所述膜。
14.一种用于制造显示装置的方法，包括以下步骤：
形成器件层，所述器件层形成在蚀刻停止层上方的玻璃基板的一个表面侧上；
在所述器件层上形成导电层；
通过使用导电粘合材料，在所述导电层的表面上设置绝缘基板；以及
通过蚀刻来完全地去除所述玻璃基板，以使所述蚀刻停止层暴露。
15.一种用于制造显示装置的方法，包括：
在形成在玻璃基板的一个表面侧上的器件层上设置膜；
蚀刻所述玻璃基板的另一表面侧；
通过使用导电粘合材料，在被蚀刻的所述玻璃基板的另一表面侧上设置滤色器和绝缘基板；以及
从所述器件层剥离所述膜。
16.根据权利要求12所述的用于制造显示装置的方法，其中，
在所述器件层中，至少布置像素开关以及与所述像素开关相连接的像素电极和布线，以使得与多个显示像素相对应。
17.根据权利要求13所述的用于制造显示装置的方法，其中，
在所述器件层中，至少布置像素开关以及与所述像素开关相连接的像素电极和布线，以使得与多个显示像素相对应。
18.根据权利要求14所述的用于制造显示装置的方法，其中，
在所述器件层中，至少布置像素开关以及与所述像素开关相连接的像素电极和布线，以使得与多个显示像素相对应。
19.根据权利要求15所述的用于制造显示装置的方法，其中，
在所述器件层中，至少布置像素开关以及与所述像素开关相连接的像素电极和布线，以使得与多个显示像素相对应。
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