CN101639623B - 光罩的检测方法及装置 - Google Patents

Abstract

本发明公开一种光罩的检测方法，该方法包括以下步骤：在光罩的左上、左中、左下、中上、中下、右上、右中、及右下边缘处各放置一个用于检测光罩总长度的十字形标识；在光罩上摆放多组不同长度的线形标识和多组不同长度的方形标识；分别测量从所述左中处十字形标识到右中处十字形标识之间的距离、从所述中上处十字形标识到中下处十字形标识之间的距离，得出光罩的总长度；通过测量所述线形标识和方形标识，分别得出光罩的线条精度和方格精度。本发明还公开了一种光罩的检测装置。本发明可准确、方便地检测不规则形状光罩的精度，这种固定点测量技术还可节省测试时间，正负效果的图形还可以同时测试，又便于工艺的调整。

Description

光罩的检测方法及装置

技术领域

本发明涉及光罩制作工艺，尤其涉及一种在生产过程中对不规则形状光罩进行检测的方法及装置。

背景技术

光罩是含有铬等金属薄膜的基板（Blanks）上，形成复杂Geometry（任何图形）的Mask，例如在半导体的曝光制程中，利用光罩以及曝光能够在硅基板上形成电路Patten。现在，随着LCD的大型化和高效能化，光罩也随着提高精细化和不断的大型化，对于线宽必须达到数微米的高度精确的要求。　　光罩制程简单来说，是在基板（Blanks）上涂上光阻材料，利用雷射电子束设备描绘出所需的各种Geometry（任何图形），并且进行显影的制程，去除掉基板（Blanks）上不需要的光阻材料，再透过蚀刻的制程，去除掉不被光阻材料覆盖的铬膜，最后再清洗残留下来的光阻材料，最后便会依照铬膜的线路，让Geometry留在玻璃基板上。

在制造完光罩后还必须进行检查、测量确认是否正确的形成了Geometry、以及其精度是否符合设计要求，传统的量测方式通常会使用干涉仪或测长仪对光罩进行精度确认。这种方案的缺点是，它们只能对规则形状的光罩进行检测。

发明内容

本发明所要解决的技术问题是：提供一种光罩的检测方法，该方法可准确、方便地检测不规则形状光罩的精度，这种固定点测量技术还可节省测试时间，正负效果的图形还可以同时测试，有便于工艺的调整。

本发明进一步所要解决的技术问题是：提供一种光罩的检测装置，该装置可准确、方便地检测不规则形状光罩的精度。

为解决上述技术问题，本发明采用如下技术方案：

一种光罩的检测方法，其特征在于，该方法包括以下步骤：

在光罩的左上、左中、左下、中上、中下、右上、右中、及右下边缘处各放置一个用于检测光罩总长度的十字形标识，所述左上、中上、右上位置处的十字形标识的中心位于同一水平线上，所述左中、右中位置处的十字形标识的中心位于同一水平线上，所述左下、中下、右下位置处的十字形标识的中心位于同一水平线上；

在光罩上摆放多组不同长度的线形标识和多组不同长度的方形标识, 每组线形标识或方形标识的线宽为0.001-0.005mm，每组线形标识包括有一个0.01-0.05mm的长标、以及分布在所述长标两侧且长度为所述长标长度的一半的多个短标，每组方形标识为由25个方块构成的阵列；

分别测量从所述左中处十字形标识到右中处十字形标识之间的距离、从所述中上处十字形标识到中下处十字形标识之间的距离，得出光罩的总长度；

通过测量所述线形标识和方形标识，分别得出光罩的线条精度和方格精度。

相应地，本发明还公开了一种光罩的检测装置，该装置包括有：

分别摆放在光罩的左上、左中、左下、中上、中下、右上、右中、及右下边缘处的用于检测光罩总长度的十字形标识，所述左上、中上、右上位置处的十字形标识的中心位于同一水平线上，所述左中、右中位置处的十字形标识的中心位于同一水平线上，所述左下、中下、右下位置处的十字形标识的中心位于同一水平线上；

多组用于检测光罩线条精度的线形标识；以及

多组用于检测光罩方格精度的方形标识，

每组线形标识或方形标识的线宽为0.001-0.005mm，每组线形标识包括有一个0.01-0.05mm的长标、以及分布在所述长标两侧且长度为所述长标长度的一半的多个短标，每组方形标识为由25个方块构成的阵列。

本发明的有益效果是：

本发明的实施例通过设置多组十字形、线形和方形标识，从而实现了准确、方便地检测不规则形状光罩的精度，这种固定点测量技术还可节省测试时间，正负效果的图形还可以同时测试，有便于工艺的调整。

下面结合附图对本发明作进一步的详细描述。

附图说明

图1是本发明提供的光罩的检测装置一个实施例中十字形标识的结构示意图。

图2是是本发明提供的光罩的检测装置一个实施例中正极性线形标识和方形标识的结构示意图。

图3是是本发明提供的光罩的检测装置一个实施例中负极性方形标识的结构示意图。

具体实施方式

下面详细描述本发明提供的光罩的检测方法的一个实施例。

本实施例实现一次光罩的检测流程包括以下步骤：

在光罩的左上、左中、左下、中上、中下、右上、右中、及右下边缘处各放置一个用于检测光罩总长度的十字形标识；

在光罩上摆放多组不同长度的线形标识和多组不同长度的方形标识；

分别测量从所述左中处十字形标识到右中处十字形标识之间的距离、从所述中上处十字形标识到中下处十字形标识之间的距离，得出光罩的总长度；

通过测量所述线形标识和方形标识，分别得出光罩的线条精度和方格精度。

其中，所述左上、中上、右上位置处的十字形标识的中心位于同一水平线上，所述左中、右中位置处的十字形标识的中心位于同一水平线上，所述左下、中下、右下位置处的十字形标识的中心位于同一水平线上。

具体实现时，每组线形标识或方形标识的线宽可为0.001-0.005mm，每组线形标识可包括有一个0.01-0.05mm的长标、以及分布在所述长标两侧且长度为所述长标长度的一半的多个短标，每组方形标识可为由25个方块构成的阵列。

参考图2、图3，本实施例中，所述线形标识和方形标识各为三组，每组的线宽规格分别为0.001mm、0.003mm、及0.005mm。

具体实现时，所述标识可置于距光罩边缘5-10mm处。

具体实现时，线形标识3和方形标识3可根据光罩的极性分别设置正负极性，如图2所示为正极性，而图3所示则为负极性。

下面参考图1-图3详细描述本发明提供的光罩的检测装置的一个实施例；如题所示，本实施例主要包括有：

分别摆放在光罩的左上、左中、左下、中上、中下、右上、右中、及右下边缘处的用于检测光罩总长度的十字形标识1；

多组用于检测光罩线条精度的线形标识2；以及

多组用于检测光罩方格精度的方形标识3。

其中，所述左上、中上、右上位置处的十字形标识1的中心位于同一水平线上，所述左中、右中位置处的十字形标识1的中心位于同一水平线上，所述左下、中下、右下位置处的十字形标识1的中心位于同一水平线上。

具体实现时，每组线形标识2或方形标识3的线宽可为0.001-0.005mm，每组线形标识可包括有一个0.01-0.05mm的长标、以及分布在所述长标两侧且长度为所述长标长度的一半的多个短标，每组方形标识可为由25个方块构成的阵列。

具体实现时，线形标识3和方形标识3可根据光罩的极性分别设置正负极性，如图2所示为正极性，而图3所示则为负极性。

以上所述是本发明的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也视为本发明的保护范围。

Claims (4)

1. 一种光罩的检测方法，其特征在于，该方法包括以下步骤：

在光罩的左上、左中、左下、中上、中下、右上、右中、及右下边缘处各放置一个用于检测光罩总长度的十字形标识，所述左上、中上、右上位置处的十字形标识的中心位于同一水平线上，所述左中、右中位置处的十字形标识的中心位于同一水平线上，所述左下、中下、右下位置处的十字形标识的中心位于同一水平线上；

在光罩上摆放多组不同长度的线形标识和多组不同长度的方形标识, 每组线形标识或方形标识的线宽为0.001-0.005mm，每组线形标识包括有一个0.01-0.05mm的长标、以及分布在所述长标两侧且长度为所述长标长度的一半的多个短标，每组方形标识为由25个方块构成的阵列；

分别测量从所述左中处十字形标识到右中处十字形标识之间的距离、从所述中上处十字形标识到中下处十字形标识之间的距离，得出光罩的总长度；

通过测量所述线形标识和方形标识，分别得出光罩的线条精度和方格精度。

2.如权利要求1所述的光罩的检测方法，其特征在于，所述线形标识和方形标识各为三组，每组的线宽规格分别为0.001mm、0.003mm、及0.005mm。

3.一种光罩的检测装置，其特征在于，该装置包括有：

分别摆放在光罩的左上、左中、左下、中上、中下、右上、右中、及右下边缘处的用于检测光罩总长度的十字形标识，所述左上、中上、右上位置处的十字形标识的中心位于同一水平线上，所述左中、右中位置处的十字形标识的中心位于同一水平线上，所述左下、中下、右下位置处的十字形标识的中心位于同一水平线上；

多组用于检测光罩线条精度的线形标识；以及

多组用于检测光罩方格精度的方形标识，

每组线形标识或方形标识的线宽为0.001-0.005mm，每组线形标识包括有一个0.01-0.05mm的长标、以及分布在所述长标两侧且长度为所述长标长度的一半的多个短标，每组方形标识为由25个方块构成的阵列。

4.如权利要求3所述的光罩的检测装置，其特征在于，所述线形标识和方形标识各为三组，每组的线宽规格分别为0.001mm、0.003mm、及0.005mm。

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