CN101614283B - 真空阀 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种真空阀，其即使在产品组装之后，也能够简单且正确地调整行程调整部件的原点位置。真空阀(1)通过使第一活塞(26)与第二活塞(27)单独移动来改变阀芯(7)的行程，阶段性地控制流量。真空阀(1)在使第二活塞(27)与上盖(22)抵接的状态下将行程调整部件(38)拧入调整螺纹部(11d)直至与第二活塞(27)触碰，用固定螺钉(39)固定行程调整部件(38)，从而调整行程调整部件的原点位置。

Description

真空阀

技术领域

本发明涉及一种真空阀，其在例如进行半导体制造装置的真空腔室内的真空排气时，能够阶段性地控制排气流量。 

背景技术

在半导体制造装置中，进行真空腔室内的真空排气时，由于快速地排出真空腔室内的气体，因此短时间内有大量的气体流动，导致附着在真空腔室内壁、流路上的颗粒(尘埃)被卷起。此外，若过于缩小排气流量，则排气时间会变长，给生产节拍带来不好的影响。因此，例如在专利文献1中提出了通过将排气流量从小流量切换成大流量来防止颗粒的卷起的真空阀。 

图7至图9为表示专利文献1所记载的真空阀100的实施方式的剖视图，图7为表示闭阀状态、图8为表示慢速排气状态、而图9为表示快速排气状态的图。 

真空阀100在具有泵口101和腔室端口102的阀体103内设有阀座104。阀芯105固定在主轴107的下端部，通过复位弹簧106总是向阀座方向施力。在阀芯105上安装有环状密封部件122，通过朝阀座104按压环状密封部件122来切断流路。 

在阀体103上固定有缸筒108。在缸筒108的两端面开设有带底孔，用底盖109和上盖110堵住该带底孔，从而形成第一活塞室111和第二活塞室112。主轴107从阀体103贯通底盖109、设在第一活塞室111与第二活塞室112之间的中间壁113、和上盖110。 

在主轴107上固定设置有第一活塞114，将第一活塞114能够滑动地配置在第一活塞室111内。并且，主轴107插通嵌装在第二活塞室112内的第二活塞115。在主轴107的上端部，使用螺母116安装有卡定部件121。第一活塞室111与第二活塞室112分别被第一活塞114与第二活塞115气密地划分。在由第一活塞114与第二活塞115所划分的下侧室上连通有开设在缸筒108上的第一操作口117和第二操作口118。 

在上盖110上螺设调整手柄119，将下端部能够进退在第二活塞室112内。通过固定螺钉120以规定位置固定调整手柄119。 

这种真空阀100如图7所示，从第一操作口117和第二操作口118不向第一活塞室111和第二活塞室112供给操作空气的情况下，阀芯105由复位弹簧106对其进行的施力，与阀座104抵接。 

从该状态进行慢速排气的情况下，如图8的网点部分所示，从第二操作口118向第二活塞室112供给操作空气。第二活塞115由于操作空气的压力，会单独上升直至与卡定部件121碰触，之后与主轴107一体地上升。由此，固定设置在主轴107的下端部的阀芯105从阀座104分离。第二活塞115可上升至与调整手柄119的下端部抵接，在位置移动受到限制。因此，主轴107与阀芯105也停止上升，维持适合慢速排气的阀开度的状态。因此，真空阀100从腔室端口102向泵口101进行小流量排气，由此能够不卷起颗粒地调整真空腔室内的压力。 

在进行快速排气的情况下，如图9的网点部分所示，向第一操作口117供给操作空气。第一活塞114由于操作空气的压力，抵抗复位弹簧106的作用力，与主轴107一体地上升。真空阀100通过阀芯105与主轴107一体地上升而使阀开度变大，从而能够以大流量从腔室端口102朝泵口101进行排气。 

在结束真空腔室内的排气的情况下，从第一操作口117及第二操作口118排出操作空气。这样，如图7所示，主轴107由于受到复位弹簧106的作用力而下降，使阀芯105与阀座104抵接。并且，第二活塞115随着操作空气从第二操作口118的排出而下降，从调整手柄119分离。 

因此，若按照以往的真空阀100，则通过向第一操作口117与第二操作口118进行操作空气的供给和停止，能够阶段性地控制排气流量。 

专利文献1：日本特开2001-12649 

但是，以往的真空阀100在产品组装完毕后，不能调整使流量为“0”的调整手柄119的原点位置。因此，存在即使旋转调整手柄119，阀流量也得不到调整的动作非感应带。 

具体而言，真空阀100使第二活塞115在与卡定部件121抵接后与主轴107一起上升。之后，第二活塞115与主轴107一起上升，直至与调整手柄119的下端部接触而移动受到限制。因此，以往的真空阀100使第二活塞115与调整手柄119之间的距离成为阀芯105的行程，调整手柄119越位于下侧，阀芯105的行程越短。 

这种真空阀100在产品组装时，不向第二活塞室112供给压缩空气，而是通过复位弹簧106的作用力，将第二活塞115配置在与中间壁113抵接的下限位置，以此状态将调整手柄119拧入上盖110，直至与第二活塞115碰触。由此，真空阀100设定调整手柄119的原点位置。其中，原点位置是指使流量为“0”的构成基准的位置。并且，调整手柄119从原点位置沿规定方向旋转而上升，利用固定螺钉120相对上盖110进行固定，由此决定调整手柄119与第二活塞115之间的距离，即阀芯105的行程。 

但是，阀芯105的行程，实际上，根据第二活塞115在与卡定部件121抵接之后到与调整手柄119抵接为止的距离进行决定。第二活塞115与卡定部件121之间的距离根据环状密封部件122的弯曲量而发生变化。由此，阀芯105的行程也会发生变化。 

即，例如，在环状密封部件122的弯曲量较大的情况下，第二活塞115与卡定部件121之间的距离变短，第二活塞115拉升主轴107及阀芯105的距离变长，因此阀芯105的行程变大。另外，例如，在环状密封部件122的弯曲量小的情况下，第二活塞115与卡定部件121之间的距离变长，第二活塞115拉升主轴107及阀芯105的距离变短，因此阀芯105的行程变短。 

因而，使调整手柄119碰触配置在下限位置的第二活塞115来决定调整手柄119的原点位置，因此若由于环状密封部件122的弯曲量等，第二活塞115与卡定部件121之间的距离不同时，即使以该原点位置为基准，以规定次数旋转调整手柄119，也不能将阀芯105的行程调整为设定值。例如，在环状密封部件122的弯曲量小于设定值的情况下，就算从原点位置数次旋转调整手柄119，第二活塞115在与卡定部件121抵接之前与调整手柄119的下端部抵接，从而存在不能调整阀开度的情况。 

并且，环状密封部件122重复使用后产生劣化，闭阀时的环状密封部件122的弯曲量发生改变。另外，第二活塞115与卡定部件121之间的距离在产品组装时唯一地决定。因此，按照以往的真空阀100，即使闭阀时环状密封部件122的弯曲量在产品组装后发生变化，也不能根据该环状密封部件122的弯曲量的变化对调整手柄119的原点位置进行调整。 

发明内容

本发明是为解决上述问题而提出的，其目的在于提供一种真空阀，该真空阀即使在产品组装后，也能够简单且正确地调整行程调整部件的原点位置。 

本发明所涉及的真空阀具有以下结构。 

(1)、使安装在阀芯上的环状密封部件产生弹性变形而与设置在腔室端口与泵口之间的阀体的阀座贴紧，从而对腔室端口与泵口之间进行切断，在设于缸筒的第一活塞室与第二活塞室内可滑动地配置有第一活塞与第二活塞，与所述阀芯连接的主轴固定设置在所述第一活塞上，并且插通所述第二活塞，包括卡定所述第二活塞的卡定部件，通过使所述第一及所述第二活塞单独动作，从而阶段性地调整所述阀芯的行程，其中，所述主轴在插通所述第二活塞室的部分的外周面上形成有调整螺纹部，所述卡定部件为与所述调整螺纹部螺合的行程调整部件，包括相对所述主轴固定所述行程调整部件的固定部件。 

(2)、在(1)所述的发明中，所述缸筒呈两端开口的圆筒形状，由中间壁分隔内部空间，在一方开口部安装底盖而形成所述第一活塞室，在另一方开口部安装上盖而形成所述第二活塞室，所述上盖形成有供与所述行程调整部件螺合的所述主轴插通的贯通孔。 

(3)、在(1)或(2)所述的发明中，所述第二活塞与所述上盖面接触。 

(4)、在(1)至(3)任一项所述的发明中，所述调整螺纹部的螺纹直径小于所述主轴的直径。 

本发明的真空阀使阀芯的环状密封部件在其与阀座之间产生弹性变形而与阀座贴紧，从而对腔室端口与泵口之间进行切断。当第二活塞移动至与行程调整部件抵接的位置时，与主轴一体地移动。当第二活塞与上盖抵接时，移动受到限制。阀芯仅从阀座上升从第二活塞与 行程调整部件抵接后到与上盖抵接为止的距离，从而调整从腔室端口流向阀口的流体的流量。另外，第一活塞在开始移动的同时与主轴一体地移动。阀芯仅以第一活塞的移动量从阀座拉升，调整从腔室端口流向阀口的流体的流量。因此，真空阀通过使第一活塞与第二活塞单独移动，能够改变阀芯的行程，阶段性地控制流量。 

越将行程调整部件配置在第二活塞附近，第二活塞单独移动的距离越短。即，真空阀越将行程调整部件定位并固定到第二活塞附近，第二活塞与主轴一起移动的距离越长，因此，阀芯的行程越大。另外，第二活塞在当其与上盖抵接时，移动受到限制。因此，真空阀在使第二活塞与上盖抵接的状态下将行程调整部件拧入调整螺纹部直至与第二活塞碰触，利用固定部件固定行程调整部件，此时，第二活塞单独移动而与上盖抵接。即，真空阀使阀芯的行程为“0”。 

真空阀即使在每个产品的部件的组装尺寸不同，或环状密封部件的弹性变形量不同的情况下，也能对每个产品唯一地决定上盖与第二活塞的抵接位置。因此，真空阀若即使在产品组装之后，也使第二活塞与上盖抵接，以这种状态将行程调整部件拧进调整螺纹部直至与第二活塞碰触，用固定部件将行程调整部件进行固定，则能够调整行程调整部件的原点位置。因此，根据本发明的真空阀，即使在产品组装后也能够简单且正确地调整行程调整部件的原点位置。 

本发明的真空阀，在形成可以滑动地装填第二活塞的第二活塞室的上盖上形成贯通孔，与行程调整部件螺合的主轴插通该贯通孔22a。因此，本发明的真空阀不会将第二活塞与上盖抵接并卡定时产生的冲击传递到行程调整部件，行程调整部件不会产生松弛而发生位置偏离。 

本发明的真空阀使第二活塞与上盖的接触面积大，因此，真空阀将第二活塞与上盖抵接时产生的冲击广泛地分散在上盖上，无需提高上盖、缸筒的材料强度。因此，按照本发明的真空阀，可以将材料强 度低的材料适用在缸筒、上盖上，实现轻量化并且实现降低成本。 

本发明的真空阀使调整螺纹部的螺纹直径小于主轴的直径，因此能够以小螺距形成调整螺纹部的螺纹。因此，本发明的真空阀能够通过行程调整部件与调整螺纹部之间的螺纹传动，微小地调整行程调整部件的位置。 

附图说明

图1为本发明的实施方式所涉及的真空阀的剖视图，表示将行程调整部件配置在最下方位置时的闭阀状态。 

图2为图1所示真空阀的剖视图，表示将行程调整部件配置在最下方位置时的慢速排气状态。 

图3为图1所示真空阀的剖视图，表示将行程调整部件配置在最下方位置时的快速排气状态。 

图4为图1所示真空阀的上面图。 

图5为将图1所示真空阀的行程调整部件位置调整在原点位置的方法的说明图。 

图6为表示本发明真空阀的变形例的图。 

图7为以往真空阀的剖视图，表示闭阀状态。 

图8为图7所示真空阀的剖视图，表示慢速排气状态。 

图9为图7所示真空阀的剖视图，表示快速排气状态。 

标号说明： 

1、1A、真空阀 

3、泵口 

4、腔室端口 

6、阀座 

7、阀芯 

10、环状密封部件 

11、主轴 

11d、调整螺纹部 

20、缸筒 

21、底盖 

22、上盖 

22a、贯通孔 

23、间隔板(中间壁) 

24、第一活塞室 

25、第二活塞室 

26、第一活塞 

27、第二活塞 

38、行程调整部件 

39、止动螺钉(固定部件) 

45、固定螺母(固定部件) 

具体实施方式

以下，参照附图，对本发明所涉及的真空阀的一个实施方式进行说明。 

<真空阀的结构> 

图1至图3为表示真空阀1的实施方式的剖视图，图1为表示闭阀状态的图，图2为表示慢速排气状态的图，而图3为表示快速排气状态的图。对于图1至图3均将行程调整部件38配置在最下方位置。并且，图4为图1所示的真空阀1的上面图。 

图1至图4所示的真空阀1，与以往技术相同，配设在半导体制造装置的腔室与真空泵之间。 

如图1至图3所示，真空阀1由下方的阀部X与上方的驱动部Y构成。真空阀1通过使第一活塞26与第二活塞27单独在第一活塞室24与第二活塞室25内移动，从而改变阀芯7的行程，阶段性地控制流 量。 

如图1至图3所示，阀部X设在筒形状的阀体2上。阀体2在侧方突出设置有与未图示的真空泵连接的泵口3，在下方突出设置有与未图示的腔室连接的腔室端口4。阀体2在腔室端口4侧的阀孔5的入口上以平坦的面形成阀座6。在阀体2的内部，可与阀座6抵接/分离地配置有阀芯7。 

阀芯7为在形成于阀芯块8与保持底板9之间的燕尾槽上配置环状密封部件10的构造，用螺母12固定设置在主轴11的下端部。环状密封部件10利用橡胶、树脂等具有弹力的材料环状形成。在构成阀芯7的阀芯块8上连接波纹管13的下端部。波纹管13的上端部与配置在阀部X与驱动部Y之间的环状的固定盘14连接。从而，波纹管13跟随主轴11与阀芯7的上下移动而伸缩。 

另一方面，上方的驱动部Y如图1至图3所示，构成在缸筒20内。缸筒20以规定长度切断通过挤压加工等而成形的铝等金属制管而构成。缸筒20安装有底盖21、上盖22和间隔板(中间壁的一个例子)23而形成第一活塞室24和第二活塞室25，在该第一及第二活塞室24、25内可滑动地装填第一活塞26和第二活塞27。 

如图1至图3所示，缸筒20在内周面嵌合安装有C环31，以使间隔板23与该C环31碰触的方式从上端开口部嵌合安装间隔板23。缸筒20形成用于安装C环32的环状槽，在该环状槽的里侧设有用于决定上盖22的位置的阶梯段。如图1至图4所示，上盖22被保持为在缸筒20的阶梯段与C环32之间沿轴方向稳定，在上盖22与间隔板23之间形成第二活塞室25。 

如图1至图3所示，第二活塞室25通过第二活塞27划分为上室25A和下室25B。下室25B通过连通孔34与开设在缸筒20上的第二 操作口33连通。另一方面，上室25A通过形成在上盖22上的贯通孔22a与外界气体连通。在第二活塞27上，轴部27a从一端面沿轴方向延伸设置。第二活塞27的轴部27a能够滑动地插通形成在间隔板23的中心部上的保持孔23a，从而通过从第二操作口33供给到下室25B的压缩空气的压力，第二活塞27沿着第二活塞室25的内部上升。 

并且，缸筒20在下端开口部的内周上形成用于安装C环28的环状槽，在该环状槽的里侧设有用于决定底盖21的位置的阶梯段。底盖21被保持为在缸筒20的阶梯段与C环28之间沿轴方向稳定，底盖21与间隔板23之间形成第一活塞室24。 

第一活塞室24通过第一活塞26气密性地划分为上室24A和下室24B。下室24B通过连通孔30与开设在缸筒20上的第一操作口29连通。另一方面，上室24A通过呼吸孔18与外界气体连通。第一活塞26通过从第一操作口29供给到下室24B的压缩空气的压力，沿着第一活塞室24的内部上升。 

这种驱动部Y如图1至图3所示，经由固定盘14将缸筒20同轴堆叠在阀体2上，如图4所示，从上方用4根螺钉19固定在阀体2上。由此，固定盘14被夹持在缸筒20与阀体2之间，决定并固定波形管13的位置。 

使底盖21的管部21b沿轴线方向延伸设置，使管部21b从固定盘14朝向波形管13的内部突出。与阀芯7连接的主轴11插通管部21b，从阀体2朝向缸筒20插通。 

主轴11设有用于决定第一活塞26的位置的阶梯段11a，在该阶梯段11a的上端部侧形成外螺纹部11b。并且，主轴11使外螺纹部11b的上侧比外螺纹部11b细，从而构成调整连杆部11c。主轴11的调整连杆部11c隔开间隙地插通第二活塞27的贯通孔27b与上盖22的贯通 孔22a，从上盖22突出。调整连杆部11c在配置于第二活塞室25的部分的外周面形成有调整螺纹部11d。 

第一活塞26以从主轴11的上端部碰触阶梯段11a的方式与主轴11嵌合，通过将螺母37拧紧到外螺纹部11b上，从而固定设置在主轴11上。 

主轴11在调整螺纹部11d上螺合有行程调整部件38。行程调整部件38通过止动螺钉39相对主轴11定位并固定。在主轴11的调整螺纹部11d的上端侧安装有防脱件40。行程调整部件38如图1所示，在处于第二活塞27与间隔板23抵接的下限位置的情况下，向调整螺纹部11d拧入至与第二活塞27触碰的位置，该位置成为最下方位置。并且，行程调整部件38由防脱件40来限制向上方的移动的位置成为最上方位置。 

在底盖21与阀芯7之间，压缩设置复位弹簧41，使阀芯7总是朝向阀座6的方向施力。复位弹簧41由波形管13所包覆，防止颗粒等向流路内部流出。 

<动作说明> 

在由这种结构构成的真空阀1中，根据如下的作用进行真空排气。闭阀时，真空阀1如图1所示，阀芯7的环状密封部件10与阀座6抵接，阀孔5处于被切断的状态。这是因为阀芯7仅由复位弹簧41的弹力向下方施力。并且，在进行与腔室端口4连接的未图示的真空腔室的真空排气时，按照如下的用于慢速排气及快速排气的2阶段的动作进行。 

首先，为了进行慢速排气，如图2的网点部分所示，真空阀1从第二操作口33向第二活塞室25的下室25B供给压缩空气。因此，第二活塞27从下方受到加压，推顶行程调整部件38而上升。因此，主 轴11抵抗复位弹簧41向下方的作用力而受第二活塞27的拉升，朝远离阀座6的方向拽拉阀芯7。另一方面，第二活塞27在拉升主轴11后，进一步上升而与上盖22碰触，移动受限。因此，主轴11及阀芯7的上升也停止，维持在图2所示的位置，即维持在适合进行慢速排气的阀开度的状态。 

真空阀1在图2所示的慢速排气的状态下阀开度较小，在泵口3与腔室端口4之间流动的流体，通过阀座6与阀芯7的间隙流动，其流量受到限制。因此，真空腔室内的气体不会急速流动，进行不将颗粒卷起的慢速排气。之后，真空腔室内的压力变为规定值时，继续进行快速排气。 

在进行快速排气的情况下，如图3的网点部分所示，真空阀1从第一操作口29向第一活塞室24的下室24B供给压缩空气。因此，第一活塞26从下方受到加压而沿着第一活塞室24的内部上升。此时，由于主轴11相对第一活塞26固定，因此跟随第一活塞26的上升而上升。因此，固定在该主轴11上的阀芯7抵抗复位弹簧41的作用力而上升，如图3所示在加大阀开度的状态下开启阀。 

真空阀1处于图3所示的快速排气状态的情况下，阀开度较大，在泵口3与腔室端口4之间流动的流量增加，真空腔室内残留的气体得到快速的排出。并且，如果真空腔室内的气体的排气结束，则压缩空气从第一操作口29及第二操作口33排出，从下方推顶第一活塞26及第二活塞27的压缩空气引起的加压力解除。因此，阀芯7、主轴11、第一活塞26及第二活塞27通过复位弹簧41朝下方施力，而返回到图1所示的状态。即，下降的阀芯7的环状密封部件10与阀座6抵接而产生弹性变形，切断泵口3与腔室端口4的连接。 

<慢速排气时的流量调整方法> 

然而，在进行慢速排气的情况下，需要根据排气流量调整阀开度。此时，使真空阀1的配置在原点位置的行程调整部件38沿规定方向旋转，从而调整阀芯7的行程，将慢速排气时的流量设定为目标流量。

图5是对将图1所示的真空阀1的行程调整部件38的位置调整为原点位置的方法进行说明的图。 

真空阀1从第二操作口33向下室25B供给压缩空气而使第二活塞27与上盖22抵接。以该状态，将行程调整部件38相对调整螺纹部11d拧紧，直至行程调整部件38与第二活塞27碰触。然后，利用止动螺钉39将行程调整部件38相对主轴11定位并固定。第二活塞27与上盖22抵接后不能继续上升。因此，当使行程调整部件38与抵接在上盖22上的第二活塞27碰触而决定行程调整部件38的位置时，第二活塞27单独上升，直至与上盖22抵接，不会使阀芯7从阀座6拉升。因此，唯一地决定行程调整部件38的闭阀时的原点位置。 

然后，使配置在原点位置的行程调整部件38沿规定方向旋转，使行程调整部件38下降。行程调整部件38越下降，第二活塞27与主轴11一起上升的移动量越增大，在第二活塞27与上盖22抵接时，阀芯7从阀座6拉升的量越大。即，阀芯7的行程变大。因此，使原点位置的行程调整部件38旋转规定次数而下降，由此能够以将流量设定为目标流量的方式设定阀芯7的行程。 

并且，真空阀1若能够缩小调整螺纹部11d的螺距而微小地调整行程调整部件38的位置的话，则能够将慢速排气时的排气流量控制为微小流量。 

<作用效果> 

因此，本实施方式的真空阀1使阀芯7的环状密封部件10与阀座6之间产生弹性变形而与阀座6贴紧，对泵口3与腔室端口4进行切断。第二活塞27移动到与行程调整部件38抵接的位置后，与主轴11一体地移动。第二活塞27与上盖22抵接后，移动受到限制。阀芯7仅从阀座6上升第二活塞27与行程调整部件38抵接后到与上盖22抵接为止的距离，从而调整从腔室端口4向泵口3流动的流体的流量。另外，真空阀1的第一活塞26在开始移动的同时与主轴11一体地移动。阀芯7仅从阀座6上升第一活塞26的移动量，调整从腔室端口4向泵口3流动的流体的流量。因而，真空阀1通过使第一活塞26与第二活塞27单独移动来改变阀芯7的行程，阶段性地控制流量。 

越将行程调整部件38配置在第二活塞27附近，第二活塞27单独移动的距离越短。即，越将真空阀1的行程调整部件38定位并固定在第二活塞27附近，第二活塞27与主轴11一起移动的距离越变长，因此阀芯7的行程变大。另外，第二活塞27在与上盖22抵接后，移动受到限制。因此，真空阀1在使第二活塞27与上盖22抵接的状态下将行程调整部件38拧入调整螺纹部11d，直至行程调整部件38与第二活塞27碰触，利用止动螺钉39固定行程调整部件38，此时，第二活塞27单独移动而与上盖22抵接。即，真空阀1的阀芯7的行程为“0”。 

真空阀1即使在每个产品的部件组装尺寸不同，或环状密封部件10的弹性变形量不同的情况下，也能对每个产品，唯一地决定上盖22与第二活塞27的抵接位置。因此，即使在产品组装之后，若真空阀1在使第二活塞27与上盖22抵接的状态下将行程调整部件38拧紧于调整螺纹部11d直至与第二活塞27碰触并用止动螺钉39将行程调整部件38进行固定的话，则能够调整行程调整部件的原点位置。因此，根据本实施方式的真空阀1，即使产品组装后也能简单且正确地调整行程调整部件38的原点位置。 

本实施方式的真空阀1在形成可以滑动地装填第二活塞27的第二活塞室25的上盖22上形成贯通孔22a，与行程调整部件38螺合的主轴11插通该贯通孔22a。因此，本实施方式的真空阀1不会将第二活塞27与上盖22抵接并卡定时产生的冲击传递到行程调整部件38，行 程调整部件38不会产生松弛而发生位置偏离。 

本实施方式的真空阀1使第二活塞27与上盖22的接触面积大，因此，真空阀1将第二活塞27与上盖22抵接时的冲击广泛地分散在上盖22上，无需提高上盖22、缸筒20的材料强度。因此，根据本实施方式的真空阀1，可以将材料强度低的材料适用在缸筒20、上盖22上，实现轻量化、降低成本。 

本实施方式的真空阀1使调整螺纹部11d的螺纹直径小于主轴11的直径，因此能够以更小的螺距形成调整螺纹部11d的螺纹。因此，本实施方式的真空阀1能够通过行程调整部件与调整螺纹部11d之间的螺纹传动，微小地调整行程调整部件38的位置。 

并且，本发明不限于上述实施方式的真空阀，在不脱离其主旨的范围内，可以进行各种改变。 

例如，在上述实施方式中，将活塞室24、25及活塞26、27设置为两段，但还可以将活塞室及活塞设置为三段以上。 

例如，在上述实施方式中，用止动螺钉39对行程调整部件38进行了定位并固定。相对于此，如图6所示的真空阀1A，也可以在主轴11A的调整螺纹部11d的上方设置用于安装固定螺母45的安装螺纹部11e，用固定螺母45对行程调整部件38进行定位并固定。并且也可以在上盖11与第二活塞27之间配置压缩弹簧46，防止搬运时的振动。 

例如，在上述实施方式中，将底盖21与上盖22相对于缸筒20用C环28、32进行了固定，但还可以将底盖21与上盖22螺纹固定到缸筒20上。 

例如，在上述实施方式中，使用独立于缸筒20的间隔板23划分 出第一活塞室24和第二活塞室25，但还可以从圆柱部件的两端面进行切削，形成第一活塞室24和第二活塞室25，一体地设计中间壁与缸筒20。 

Claims (2)

1.一种真空阀，使安装在阀芯上的环状密封部件产生弹性变形而与设置在腔室端口与泵口之间的阀体的阀座贴紧，从而对腔室端口与泵口之间进行切断，在由设于缸筒的底盖和中间壁形成的第一活塞室内可滑动地配置有第一活塞，在由设于所述缸筒的所述中间壁和上盖形成的第二活塞室内可滑动地配置第二活塞，与所述阀芯连接的主轴固定设置在所述第一活塞上，并且插通所述第二活塞，包括卡定所述第二活塞的卡定部件，通过使所述第一活塞及所述第二活塞单独动作，阶段性地调整所述阀芯的行程，其特征在于，

所述主轴在插通所述第二活塞室的部分的外周面上形成有调整螺纹部，

所述卡定部件为与所述调整螺纹部螺合的行程调整部件，

包括相对所述主轴固定所述行程调整部件的固定部件，

在使所述第二活塞与所述上盖抵接的状态下将所述行程调整部件拧紧于所述调整螺纹部直至与所述第二活塞碰触，通过止动螺钉将所述行程调整部件相对于所述主轴固定，从而调整所述行程调整部件的原点位置。

2.如权利要求1所述的真空阀，其特征在于，

所述第二活塞与上盖面接触。

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