CN101495848A - 检漏装置 - Google Patents

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Abstract

本发明涉及一种检漏装置(10)，其具有预真空供给泵(20)、气体检测器(18)和流量传感器(26)。本发明提出，在供给泵(20)和流量传感器(26)之间设置缓冲容积(22)和节流阀(24)。因此保护流量传感器(26)免于遭受由供给泵产生的压力冲击。

Description

检漏装置
技术领域
本发明涉及一种检漏装置，其具有预真空供给泵、气体检测器和流量传感器。
背景技术
利用又称为泄漏嗅探装置的检漏装置，探测包含测试气体的试样。当存在气体泄漏时，测试气体从试样中漏出。测试气体通过气体检测器或气体传感器检测并且报告。预真空供给泵的作用是，连续地输送试样附近的气体并且将其供给气体检测器。
气体通道中在供给泵前或后具有测定气体流量的流量传感器。一方面借助流量传感器执行控制功能和监视功能，即监控输送通道是否有可能堵塞或者供给泵是否无干扰地工作。此外另一方面通过流量传感器测定流动速率并且在存在测试气体时测定输送气体中的测试气体浓度以及泄漏率。
实践表明，流量传感器是经常损坏的相对敏感的元件。
发明内容
本发明的目的是，提供一种检漏装置，所述检漏装置的流量传感器较好地得到保护以免受损坏。
根据本发明，该目的通过权利要求1的特征得以实现。
在根据本发明的检漏装置中，在供给泵和流量传感器之间设置气体缓冲容积和气体节流阀。通过在供给泵和流量传感器之间设置缓冲容积和节流阀，在通往流量传感器的通道中减轻和消除供给泵的压力冲击。在启动和关闭供给泵时产生压力冲击，但是在输送时尤其也通过供给泵产生压力冲击，特别是对于不连续地输送气体的容积式供给泵。
对于较快的压力冲击，流量传感器通过由缓冲容积和节流阀组成的低通构造与供给泵隔离。因此以简单的和廉价的方式预防流量传感器损坏的主要原因。
与节流阀相比缓冲容积最好设置在泵侧。换句话说，缓冲容积总是设置在节流阀和供给泵之间，而与由缓冲容积、节流阀和流量传感器组成的构造在流动方向上设置在供给泵前或后无关。只是在这种构造下缓冲容积和节流阀能够相对于供给泵用作低通。
流量传感器最好设置在供给泵的排出侧。按这种方式通过嗅探口从外部导入到泄漏检测器中的压力冲击也能够远离流量传感器，因为供给泵以及缓冲容积和节流阀设置在流量传感器和嗅探口之间。
缓冲容积的容量最好至少是供给泵的抽吸量的三倍。在这种情况下是基于不连续地输送的在运转时产生相应的压力冲击的供给泵。在一种优选实施形式中，供给泵构成只是不连续地输送的容积式泵。例如膜片式泵的容积式泵结构简单、结实并且物美价廉，并且因此最适合作为供给泵应用于检漏装置中。
通过将缓冲容积的大小设计成至少是供给泵的抽吸量的三倍，确保很大程度地减轻由供给泵产生的压力冲击，使得足够地保护流量传感器免受在运行中由供给泵产生的压力冲击。
在节流阀上的压降最好小于100毫巴，尤其最好小于70毫巴。按这种方式通过由缓冲容积和节流阀组成的构造有效地滤除由具有冲程频率的供给泵产生的压力冲击。供给泵的冲程频率定义为如下频率，在构成为容积式泵的供给泵中借助该频率与时间相关地输送抽吸量。当传动轴每转输送唯一的抽吸量或者输送多个的串联的抽吸量时，冲程频率与供给泵的转动频率相同。但是如果供给泵具有多个的并联的抽吸量，冲程频率为传动轴的转动频率的相应多倍。
根据一种优选的结构，至少设有另一个由缓冲容积和节流阀组成的构造。该缓冲容积-节流阀-构造能够直接地相邻于第一缓冲容积-节流阀-构造设置，但是也能够与第一构造分开设置。通过设置第二缓冲容积-节流阀-构造，由两个缓冲容积-节流阀-构造组成的总的构造的过滤参数能够更好的适合要求。在第一缓冲容积-节流阀-构造设置在供给泵和流量传感器之间时，如果流量传感器设置在嗅探口和供给泵之间，那么第二缓冲容积-节流阀-构造能够设置在嗅探口和流量传感器之间。按这种方式在设置这种流量传感器时，在两侧都保护其免予遭受压力冲击。
流量传感器最好是微机械流量传感器。此外流量传感器能够是热流量传感器。微机械流量传感器相对物美价廉并且精确，尤其是当它作为热流量传感器构成时。但是微机械热流量传感器对压力冲击非常敏感。通过应用缓冲容积-节流阀-构造，能够使用微机械热流量传感器，由于微机械热流量传感器的灵敏性而不会使得泄漏检测器的可靠性变差。
附图说明
下面借助附图详细地阐述本发明的优选实施例。
附图是检漏装置的示意图。
具体实施方式
图中示出一种检漏装置10，其基本上由手持件12、嗅探管路14和检测单元16组成。检测单元16具有连续设置的气体检测器18、供给泵20、缓冲容积22、节流阀24和流量传感器26。
手持件12也称作为嗅探探针并且在其远端具有嗅探口28，通过所述嗅探口抽吸气体。抽吸的气体通过构成为柔性软管的嗅探管路14流到气体检测器18，所述气体检测器在需要时检测在抽吸气体中的测试气体，例如氦气。气体检测器18例如能够构成为质谱仪。
供给泵20是预真空泵，其构成为容积式泵，例如膜片式泵。当打开和关闭抽吸室时容积式泵必然产生压力冲击。供给泵20产生大约为150cm3/s的体积流量。在供给泵后面连接缓冲容积22，所述缓冲容积的容量至少是供给泵20的抽吸量的三倍。例如供给泵20的抽吸量为10cm3。那么缓冲容积22的容量例如为50cm3。在缓冲容积后面连接节流阀24，在所述节流阀上产生小于100毫巴的压降，最好小于70毫巴。
在节流阀24后面连接流量传感器26，所述流量传感器构成为微机械热流量传感器。这样的流量传感器对例如在启动和关闭供给泵20时产生的压力冲击敏感，但是也在每次打开和关闭供给泵20的抽吸量时产生。
流量传感器26用于供给泵的功能控制，用于整个的气体输送通道的堵塞的检测以及用于气流的测量，由此当检测到存在测试气体时能够再次测定测试气体浓度和泄漏率。
由缓冲容积22和节流阀24组成的构造21的临界频率小于供给泵20的冲程频率的一半。按这种方式保证供给泵相对于其冲程频率具有足够的阻尼。
在流经流量传感器后，气体通过排气口离开检测单元16。
流量传感器26设置在前面提及的供给泵20的排出侧。但是原则上流量传感器26也能够设置在供给泵20的进气侧。为了避免在后一种情况下由供给泵20产生的压力冲击传输到流量传感器上，必须在供给泵和流量传感器之间设置相应的由缓冲容积和节流阀组成的构造，其中缓冲容积相对于节流阀总是设置在供给泵侧。

Claims (10)

1.一种检漏装置(10)，具有预真空供给泵(20)、气体检测器(18)和流量传感器(26)，其特征在于，
在所述供给泵(20)和所述流量传感器(26)之间设置缓冲容积(22)和节流阀(24)。
2.如权利要求1所述的检漏装置(10)，其特征在于，所述缓冲容积(22)相对于所述节流阀(24)设置在泵侧。
3.如权利要求1或2所述的检漏装置(10)，其特征在于，所述流量传感器(26)设置在供给泵(20)的排出侧。
4.如权利要求1至3中任一项所述的检漏装置(10)，其特征在于，所述缓冲容积(22)的容量至少是供给泵(20)的抽吸量的三倍。
5.如权利要求1至4中任一项所述的检漏装置(10)，其特征在于，由缓冲容积(22)和节流阀(24)组成的构造(21)的临界频率小于供给泵(20)的冲程频率的一半。
6.如权利要求1至5中任一项所述的检漏装置(10)，其特征在于，在节流阀(24)上的压降小于100毫巴。
7.如权利要求1至6中任一项所述的检漏装置(10)，其特征在于，至少具有另一个由缓冲容积和节流阀组成的构造。
8.如权利要求1至7中任一项所述的检漏装置(10)，其特征在于，所述供给泵(20)是容积式泵。
9.如权利要求1至8中任一项所述的检漏装置(10)，其特征在于，所述流量传感器(26)是微机械流量传感器。
10.如权利要求1至9中任一项所述的检漏装置(10)，其特征在于，所述流量传感器(26)是热流量传感器。
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