CN101486466A - 一种用于生产三氯氢硅的流化床反应器及其气体分布器 - Google Patents

一种用于生产三氯氢硅的流化床反应器及其气体分布器 Download PDF

Info

Publication number
CN101486466A
CN101486466A CNA2009100963412A CN200910096341A CN101486466A CN 101486466 A CN101486466 A CN 101486466A CN A2009100963412 A CNA2009100963412 A CN A2009100963412A CN 200910096341 A CN200910096341 A CN 200910096341A CN 101486466 A CN101486466 A CN 101486466A
Authority
CN
China
Prior art keywords
bed reactor
fluidized
gas
distributor
trichlorosilane
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
CNA2009100963412A
Other languages
English (en)
Other versions
CN101486466B (zh
Inventor
李文宁
徐慧芬
周桂仙
汪建阳
邱贤辉
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
ZHEJIANG FUSHITE GROUP CO Ltd
Original Assignee
ZHEJIANG FUSHITE GROUP CO Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by ZHEJIANG FUSHITE GROUP CO Ltd filed Critical ZHEJIANG FUSHITE GROUP CO Ltd
Priority to CN2009100963412A priority Critical patent/CN101486466B/zh
Publication of CN101486466A publication Critical patent/CN101486466A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN101486466B publication Critical patent/CN101486466B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Abstract

本发明涉及化工技术领域的一种流化床反应器,尤其涉及一种三氯氢硅生产用流化床反应器及其专用的气体分布器。一种用于生产三氯氢硅的流化床反应器的气体分布器,该分布器包括分布板,分布板上分布设有若干个安装通孔,安装通孔内设有风帽,风帽内设有轴向导气孔,轴向导气孔下端导通分布板的下部,轴向导气孔的上端封闭,轴向导气孔沿侧壁周向设有若干个径向出气孔,径向出气孔与分布板的上部相导通。本发明还公开使用上述的气体分布器的流化床反应器。通过以上所述的改进,本发明的三氯化硅流化床反应器的结构更为简洁,流化质量更高,生产能力更大,可达10000吨/年~30000吨/年。

Description

一种用于生产三氯氢硅的流化床反应器及其气体分布器
技术领域
本发明涉及化工技术领域的一种流化床反应器,尤其涉及一种三氯氢硅生产用流化床反应器及其专用的气体分布器。
背景技术
三氯氢硅(HSiCl3)是一种用途非常广泛的有机硅单体,主要用于生产半导体硅、单晶硅和多晶硅,广泛用于国防、国民经济乃至人们日常生活的各个领域。三氯氢硅还是生产硅烷偶联剂和其它有机硅化合物的重要原料。近年来,我国对三氯氢硅的需求量越来越大。
国内现有的三氯氢硅生产装置一般采用小型流化床反应器,直径在50mm以下。其结构大多为筒形,上部直径扩大部分是气固相分离段,该段高有出料口,中部的直筒段是反应段,反应段外包加热器,上部设有硅粉进料口,底部连接下封头,下封头上有氯化氢进气口。这种小型流化床反应器流化质量不好,生产能力低。
发明内容
为了解决上述的技术问题,本发明的一个目的提供一种三氯氢硅生产用流化床反应器的气体分布器,提高了流化床反应器的流化质量。本发明另外还提供了三氯氢硅生产用流化床反应器,增大了生产能力。
为了实现上述的第一个目的,本发明采取如下技术方案:
一种用于生产三氯氢硅的流化床反应器的气体分布器,该分布器包括分布板,分布板上分布设有若干个安装通孔,安装通孔内设有风帽,风帽内设有轴向导气孔,轴向导气孔下端导通分布板的下部,轴向导气孔的上端封闭,轴向导气孔沿侧壁周向设有若干个径向出气孔,径向出气孔与分布板的上部相导通。
作为优选,上述的风帽由帽体和连接部构成,帽体凸出分布板设置,连接部通过螺纹设置在安装通孔内。作为再优选,所述的径向出气孔为6个,均匀设置在帽体上。
作为优选,上述的轴向导气孔的直径为5~10mm,径向出气孔的直径为1~3mm。
作为优选,上述的分布板上安装通孔之间的间距为40~60mm。
为了实现上述的第二个目的,本发明采用了以下的技术方案:
一种用于生产三氯氢硅的流化床反应器,该流化床反应器包括下部的反应段和上部的扩大段,反应段的下部设有硅粉进料口,反应器下部有检修封头,检修封头上设有氯化氢进气口和排渣口,扩大段上部有合成气出口,反应段和扩大段内设有导热油指形管,反应段下部与检修封头之间有氯化氢气体分布器;所述的氯化氢气体分布器采用上述的任意一个技术方案所述的气体分布器。
作为优选,上述的反应段直径为1500mm~3000mm,扩大段直径为3700mm~8000mm;扩大段与反应段的直径比为2.5~2.8;反应段的高度为2500mm~5000mm,扩大段的高度为4000mm~8000mm。
通过以上所述的改进,本发明的三氯化硅流化床反应器的结构更为简洁,流化质量更高,生产能力更大,可达10000吨/年~30000吨/年。
附图说明
图1是本发明用于生产三氯氢硅的流化床反应器的结构示意图。
图2是本发明气体分布器的结构示意图。
图3是图1中A部放大图。
图4是本发明风帽的结构示意图。
图5是图4中A-A剖视图。
具体实施方式
以下通过实施例对本发明进行更具体的说明,但本发明并不限于所述的实施例。
如图1所示的一种用于生产三氯氢硅的流化床反应器,该流化床反应器包括下部的反应段1和上部的扩大段2,反应段1直径为1500mm~3000mm,扩大段2直径为3700mm~8000mm;扩大段2与反应段1的直径比为2.5~2.8;反应段1的高度为2500mm~5000mm,扩大段2的高度为4000mm~8000mm。反应段1的下部设有硅粉进料口7,反应器下部有检修封头4,检修封头4上设有氯化氢进气口6和排渣口,扩大段2上部有合成气出口8,反应段1和扩大段2内设有导热油指形管,反应段1下部与检修封头4之间有氯化氢气体分布器3。
如图2、图3所示气体分布器3包括分布板5,分布板5上均匀分布设有若干个安装通孔9,安装通孔9之间的间距为50mm,安装通孔9内设有风帽10。如图4所示,风帽10由帽体11和连接部12构成,帽体11凸出分布板5设置,连接部12通过螺纹设置在安装通孔9内。风帽10内设有轴向导气孔13,轴向导气孔13的直径为7mm,轴向导气孔13下端导通分布板5的下部,轴向导气孔13的上端封闭。如图5所示,轴向导气孔13沿侧壁周向设有6个径向出气孔14,径向出气孔14的直径为2mm,径向出气孔14均匀设置在上帽体11并与分布板5的上部相导通。
将经干燥后的硅粉由氯化氢气体压入流化床反应器,从流化床反应器底部通入经加热的过量氯化氢气体使反应器内硅粉达到流化状态,氯化氢和硅粉反应生成三氯氢硅及副产物,该混合气体经除尘、冷却、冷凝后,得到三氯氢硅粗品。粗品通过精馏分离后,得到三氯化硅成品及副产品四氯化硅。未被冷凝下来的不凝气体送入尾气回收系统处理。
采用本发明的流化床反应器,通过以上所述工艺流程生产三氯氢硅,使三氯氢硅生产技术在以下几个方面有了提高:
1、取消了反应段1的半管夹套,使流化床反应器的结构更为简洁,同时也使操作更为简便。
2、对反应段1下部与检修封头之间有氯化氢气体分布器进行了改进,使氯化氢气体在反应器内分布更均匀,提高了流化质量。
3、对反应器的尺寸进行了放大,并对反应段1与扩大段2的比例进行了调整,大幅度提高了生产能力。

Claims (7)

1.一种用于生产三氯氢硅的流化床反应器的气体分布器,该分布器包括分布板(5),其特征在于:分布板(5)上分布设有若干个安装通孔(9),安装通孔(9)内设有风帽(10),风帽(10)内设有轴向导气孔(13),轴向导气孔(13)下端导通分布板(5)的下部,轴向导气孔(13)的上端封闭,轴向导气孔(13)沿侧壁周向设有若干个径向出气孔(14),径向出气孔(14)与分布板(5)的上部相导通。
2.根据权利要求1所述的一种用于生产三氯氢硅的流化床反应器的气体分布器,其特征在于:风帽(10)由帽体(11)和连接部(12)构成,帽体(11)凸出分布板(5)设置,连接部(12)通过螺纹设置在安装通孔(9)内。
3.根据权利要求1或2所述的一种用于生产三氯氢硅的流化床反应器的气体分布器,其特征在于:所述的径向出气孔(14)为6个,均匀设置在帽体(11)上。
4.根据权利要求1或2所述的一种用于生产三氯氢硅的流化床反应器的气体分布器,其特征在于:轴向导气孔(13)的直径为5~10mm,径向出气孔(14)的直径为1~3mm。
5.根据权利要求4所述的一种用于生产三氯氢硅的流化床反应器的气体分布器,其特征在于:分布板(5)上安装通孔(9)之间的间距为40~60mm。
6.一种用于生产三氯氢硅的流化床反应器,该流化床反应器包括下部的反应段(1)和上部的扩大段(2),反应段(1)的下部设有硅粉进料口(7),反应器下部有检修封头(4),检修封头(4)上设有氯化氢进气口(6)和排渣口,扩大段(2)上部有合成气出口(8),反应段(1)和扩大段(2)内设有导热油指形管,反应段(1)下部与检修封头(4)之间有氯化氢气体分布器(3);其特征在于:所述的氯化氢气体分布器(3)采用权利要求1或2所述的气体分布器。
7.根据权利要求6所述的一种用于生产三氯氢硅的流化床反应器,其特征在于:反应段(1)直径为1500mm~3000mm,扩大段(2)直径为3700mm~8000mm;扩大段(2)与反应段(1)的直径比为2.5~2.8;反应段(1)的高度为2500mm~5000mm,扩大段(2)的高度为4000mm~8000mm。
CN2009100963412A 2009-02-23 2009-02-23 一种用于生产三氯氢硅的流化床反应器及其气体分布器 Active CN101486466B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN2009100963412A CN101486466B (zh) 2009-02-23 2009-02-23 一种用于生产三氯氢硅的流化床反应器及其气体分布器

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN2009100963412A CN101486466B (zh) 2009-02-23 2009-02-23 一种用于生产三氯氢硅的流化床反应器及其气体分布器

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN101486466A true CN101486466A (zh) 2009-07-22
CN101486466B CN101486466B (zh) 2011-05-11

Family

ID=40889556

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN2009100963412A Active CN101486466B (zh) 2009-02-23 2009-02-23 一种用于生产三氯氢硅的流化床反应器及其气体分布器

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN101486466B (zh)

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101935043B (zh) * 2009-11-27 2012-10-03 上海森松化工成套装备有限公司 氢化四氯化硅沸腾床反应器
CN104014566A (zh) * 2014-05-29 2014-09-03 鞍钢集团矿业公司 用于链篦机-回转窑热风管道的清灰装置
CN109331747A (zh) * 2018-11-09 2019-02-15 成都蜀菱科技发展有限公司 一种大规模生产四氯化硅的气固反应装置以及生产设备
CN109470052A (zh) * 2018-11-16 2019-03-15 西南科技大学 一种用于油菜籽流化床干燥器的布风板
US11071961B2 (en) 2017-11-20 2021-07-27 Tokuyama Corporation Fluidized bed reaction container and method for producing trichlorosilane

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101935043B (zh) * 2009-11-27 2012-10-03 上海森松化工成套装备有限公司 氢化四氯化硅沸腾床反应器
CN104014566A (zh) * 2014-05-29 2014-09-03 鞍钢集团矿业公司 用于链篦机-回转窑热风管道的清灰装置
CN104014566B (zh) * 2014-05-29 2016-01-20 鞍钢集团矿业公司 用于链篦机-回转窑热风管道的清灰装置
US11071961B2 (en) 2017-11-20 2021-07-27 Tokuyama Corporation Fluidized bed reaction container and method for producing trichlorosilane
CN109331747A (zh) * 2018-11-09 2019-02-15 成都蜀菱科技发展有限公司 一种大规模生产四氯化硅的气固反应装置以及生产设备
CN109470052A (zh) * 2018-11-16 2019-03-15 西南科技大学 一种用于油菜籽流化床干燥器的布风板

Also Published As

Publication number Publication date
CN101486466B (zh) 2011-05-11

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN101486466B (zh) 一种用于生产三氯氢硅的流化床反应器及其气体分布器
CN100369811C (zh) 一种多晶硅生产过程中的副产物的综合利用方法
US20120189526A1 (en) Process and plant for preparing trichlorosilane
CN207012954U (zh) 一种气体分布器及有机硅流化床
CN104860317B (zh) 一种冷氢化法制备三氯氢硅的设备
CN101125654A (zh) 一种用于三氯氢硅生产的大型流化床反应器
CN213050536U (zh) 一种三氯氢硅流化床反应器
CN203922739U (zh) 一种三氯氢硅合成炉
CN104774628A (zh) 一种立式粉煤热解炉
CN201361547Y (zh) 三氯氢硅生产用流化床反应器及其气体分布器
CN201362599Y (zh) 用于生产三氯氢硅的流化床反应器
CN106749380A (zh) 一种甲基氯硅烷单体合成循环反应系统
CN204999622U (zh) 冷氢化流化床反应器气体分布板
CN201240855Y (zh) 流化床反应器
CN102167334A (zh) 多晶硅副产物四氯化硅处理方法
CN202246104U (zh) 制备三氯氢硅的流化床反应器
CN101935043B (zh) 氢化四氯化硅沸腾床反应器
CN206951162U (zh) 三氯氢硅u型管流化床
CN102861538A (zh) 列管式固定床反应器
CN201598184U (zh) 一种使三氯氢硅生产中反应温度稳定的流化床反应器
CN205892763U (zh) 用于制备颗粒硅的流化床反应器
CN101928001A (zh) 一种制备粒状多晶硅的新型流化床反应装置
CN211754774U (zh) 一种四氯化硅氢化反应器
CN203411334U (zh) 一种三氯氢硅的流化床反应器
CN110342524B (zh) 一种细硅粉分区反应流化床及方法

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
C53 Correction of patent for invention or patent application
CB03 Change of inventor or designer information

Inventor after: Xu Huifen

Inventor after: Fang Weimin

Inventor after: Wang Jianyang

Inventor after: Liu Guojing

Inventor after: Qiu Xianhui

Inventor after: Zhou Guixian

Inventor before: Li Wenning

Inventor before: Xu Huifen

Inventor before: Zhou Guixian

Inventor before: Wang Jianyang

Inventor before: Qiu Xianhui

COR Change of bibliographic data

Free format text: CORRECT: INVENTOR; FROM: LI WENNING XU HUIFEN ZHOU GUIXIAN WANG JIANYANG QIU XIANHUI TO: XU HUIFEN FANG WEIMIN WANG JIANYANG LIU GUOJING QIU XIANHUI ZHOU GUIXIAN

C14 Grant of patent or utility model
GR01 Patent grant