CN202246104U - 制备三氯氢硅的流化床反应器 - Google Patents
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Abstract
本实用新型属于产品加工装置技术领域，尤其涉及一种制备三氯氢硅的流化床反应器。它解决了现有技术设计不够合理等技术问题。包括呈筒形的本体，本体包括下部的反应段和上部的扩大段，扩大段顶部设有合成气出口，反应段的底部设有检修封头，检修封头上设有混合气进气口和排渣口，反应段内设有混合气气体分布板，混合气气体分布板通过检修封头固定在反应段上，混合气气体分布板的上方设有若干根设于反应段上的混合气进气管，所述的检修封头上设有硅粉进料管。其优点在于：有效改善硅粉的流化质量，大大提高硅粉利用率，并降低投资成本。反应混合气一部分从进气口加入反应器，另一部分从侧面斜进入反应段，增加湍流效果，反应更充分。
Description
技术领域
本实用新型属于产品加工装置技术领域，尤其是涉及一种制备三氯氢硅的流化床反应器。
背景技术
三氯氢硅(SiHCl3)是一种用途非常广泛的有机硅单体，主要用于生产半导体硅、单晶硅和多晶硅。现阶段生产三氯氢硅的方法主要有热氢化法、冷氢化法以及等离子体氢化法，其中利用冷氢化法转化四氯化硅为三氯氢硅的方法相比于其它方法，具有成本较好，能耗较小等特点，是生产三氯氢硅的重要方法之一，其反应方程式为：3SiCl4+Si+2H2→4SiHCl3。国内现有的冷氢化流化床反应器大多为筒形，上部直径扩大部分为气固分离段，该段上部有合成气出料口和硅粉进料口；中部直筒部分为反应段；底部为检修封头，其上有混合气进气口和气流分布板。但此类流化床反应器往往存在着反应效率不高、原料气固分布不均及硅粉容易带出反应器等缺点。
发明内容
本实用新型的目的在于提供了一种易于实现自动控制、原料气固分布均匀和流化质量高的制备三氯氢硅的流化床反应器。
本实用新型的上述目的是通过以下技术方案来实现的：本制备三氯氢硅的流化床反应器，包括呈筒形的本体，本体包括下部的反应段和上部的扩大段，所述的扩大段顶部设有合成气出口，在反应段的底部设有检修封头，所述的检修封头上设有混合气进气口和排渣口，所述的反应段内设有混合气气体分布板，所述的混合气气体分布板通过检修封头固定在反应段上，其特征在于：所述的混合气气体分布板的上方设有若干根设于反应段上的混合气进气管，所述的检修封头上设有硅粉进料管。
作为优选,所述的混合气进气管的内端延伸至扩大段中心纵截面，所述的混合气进气管的数量为四个且在圆周方向上均匀分布。
作为优选,所述的硅粉进料管位于检修封头的下部，硅粉进料管的内端延伸至混合气气体分布板。
作为优选,所述的排渣口的数量为两个且位于检修封头的下部。
本制备三氯氢硅的流化床反应器的优点在于：使硅粉从反应器底部加入到反应器中，可有效改善硅粉的流化质量，大大提高硅粉利用率，并降低投资成本。反应混合气一部分从检修封头上的进气口加入反应器，通过混合气气体分布板均匀地进入反应段；另一部分从侧面斜进入反应段，增加湍流效果，可以使原料气固分布更均匀，反应更充分。
附图说明
图1 为本实用新型的主视结构示意图；
图2 为本实用新型的侧视结构示意图。
具体实施方式
下面通过实施例，并结合附图，对本实用新型的技术方案作进一步具体的说明。
如图1和图2所示，本制备三氯氢硅的流化床反应器，包括呈筒形的本体，本体包括下部的反应段1和上部的扩大段2，扩大段2顶部设有合成气出口9，在反应段1的底部设有检修封头3，检修封头3上设有混合气进气口6和排渣口4，所述的反应段1内设有混合气气体分布板8，所述的混合气气体分布板8通过检修封头3固定在反应段1上。混合气气体分布板8的上方设有若干根设于反应段1上的混合气进气管5，所述的检修封头3上设有硅粉进料管7。
混合气进气管5的内端延伸至扩大段2中心纵截面，所述的混合气进气管5的数量为四个且在圆周方向上均匀分布。硅粉进料管7位于检修封头3的下部，硅粉进料管7的内端延伸至混合气气体分布板8。排渣口4的数量为两个且位于检修封头3的下部。
Claims (4)
1. 一种制备三氯氢硅的流化床反应器，包括呈筒形的本体，本体包括下部的反应段（1）和上部的扩大段（2），所述的扩大段（2）顶部设有合成气出口（9），在反应段（1）的底部设有检修封头（3），所述的检修封头（3）上设有混合气进气口（6）和排渣口（4），所述的反应段（1）内设有混合气气体分布板（8），所述的混合气气体分布板（8）通过检修封头（3）固定在反应段（1）上，其特征在于：所述的混合气气体分布板（8）的上方设有若干根设于反应段（1）上的混合气进气管（5），所述的检修封头（3）上设有硅粉进料管（7）。
2.根据权利要求1所示的制备三氯氢硅的流化床反应器，其特征在于，所述的混合气进气管（5）的内端延伸至扩大段（2）中心纵截面，所述的混合气进气管（5）的数量为四个且在圆周方向上均匀分布。
3.根据权利要求1或2所示的制备三氯氢硅的流化床反应器，其特征在于，所述的硅粉进料管（7）位于检修封头（3）的下部，硅粉进料管（7）的内端延伸至混合气气体分布板（8）。
4.根据权利要求1或2所示的制备三氯氢硅的流化床反应器，其特征在于，所述的排渣口（4）的数量为两个且位于检修封头（3）的下部。
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Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103449442A (zh) * | 2013-09-03 | 2013-12-18 | 浙江精功新材料技术有限公司 | 一种流化床多晶硅颗粒的制备系统及利用该系统制备多晶硅的工艺 |
| CN104045088A (zh) * | 2014-06-13 | 2014-09-17 | 陕西天宏硅材料有限责任公司 | 一种用于生产三氯氢硅的流化床反应器 |
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- 2011-10-17 CN CN2011203932118U patent/CN202246104U/zh not_active Expired - Fee Related
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