CN101448749B - 对玻璃板进行热处理的方法和设备 - Google Patents

Abstract

公开了用于对玻璃板(13)进行热处理的方法，该方法中，玻璃板(13)在热处理期间以垂直取向位于容器(15)内。容器(15)包括对玻璃板(13)的支承系统，该系统包括底部支承件(17)，两个侧面支承件(19a，19b)，以及顶部支承件(21)。在侧边(23a，23b)与侧面支承件(19a，19b)之间不发生接触的条件下，将玻璃板(13)滑入容器(15)。然后，在不与玻璃板的顶边(25)接触的条件下，将顶部支承件(21)滑动到玻璃板(13)的顶部。在一些实施方式中，经HEPA过滤和预热的吹洗空气在热处理期间从容器(15)中通过。还公开实施本发明的方法的设备。

Description

对玻璃板进行热处理的方法和设备

技术领域

本发明涉及对玻璃板，如在制造液晶显示器(LCD)中用作基板的玻璃板进行热处理的方法和设备。更具体地，本发明涉及在热处理期间以垂直取向把持玻璃板的方法和设备。

背景技术

美国专利公报No.US 2005/0193772，标题为“用于对玻璃板热处理的封闭盒和方法”(’772公开)揭示用于对玻璃板进行热处理的盒体。如在’772公开中说明的，玻璃板制造厂商在将玻璃板货运至客户之前经常对玻璃板进行热处理，使玻璃板用于客户的工艺中时不发生收缩或者收缩很小。这种热处理被称作“预收缩”，“预紧致化”或简称为“紧致化”。这些热处理不同于退火，因为所述热处理在低温，如低于构成玻璃板的玻璃的应变点的温度下进行。

作为需要进行预收缩的一个例子，是用于制造液晶显示器的玻璃基板，特别是使用多晶Si技术的那些玻璃板在制造显示器工艺中需要处于相对高温条件。如果没有进行预收缩，基板可能发生的形状变化较大，足以对制成的显示器的质量产生不利的影响。通过对形成基板的玻璃板进行预收缩，可以显著降低这种问题的发生。

除了在客户的工艺中显示较低的残余紧致化外，用于制造液晶显示器以及其他电子应用中的玻璃基板必须满足各种其他的要求的标准。例如，基板表面必须没有玻璃碎片和颗粒，这些碎片和颗粒可能在制成的显示器中产生缺陷。此外，基板必须具有基本平整的表面，具有低的翘曲和其他表面变形。这种平整表面对例如液晶显示器很重要，因为显示器的运行取决于用于显示器的液晶材料的局部厚度。

因此，用于包括液晶显示器应用的电子应用的玻璃板的预收缩代表一类挑战性的问题，因为采用热处理来实现预收缩必须不会导致其他的问题。具体地，必须进行预收缩，而不会产生可能污染玻璃表面的玻璃碎片和通过空间上非均匀地加热和/或冷却的模式使玻璃板表面平面度发生变形。

’772公开揭示一种解决预收缩面临的各方面挑战的盒体和热处理方法。根据’772公开，将多个玻璃板以垂直方向容纳在’772公开中称作“盒体”的多个“封闭部分”(参见’772公开中的附图标记406和400)中。“封闭部分”(在本申请中称作“容器”)包括水平和垂直的支承棒(参见’772公开中的附图标记424和428)。

本发明涉及提供用于玻璃板热处理的改进的容器和支承系统。本发明还涉及进行热处理的改进方法，这些方法优选使用本发明有关设备方面的改进的容器和支承系统，但是需要时可以使用其他设备。优选采用热处理来实现对玻璃板的预收缩，但是热处理也可用于其他目的，例如退火。在’772公开的总体系统和方法中优选使用该发明的设备和方法，该公开的内容全文参考结合于本文中，但是需要时可以与其他系统和方法结合使用。

发明内容

根据第一方面，本发明提供对多个玻璃板(13)进行热处理的方法，该方法包括：

提供容器(15)，用于在热处理期间容纳多个玻璃板(13)，所述容器(15)包括在热处理期间用于把持垂直取向的玻璃板(13)的支承系统，所述支承系统包括底部支承件(17)，两个侧面支承件(19a，19b)和顶部支承件(21)；

在使玻璃板(13)的侧边(23a，23b)不与侧面支承件(19a，19b)接触的条件下，将多个玻璃板(13)滑入侧面支承件(19a，19b)，使多个玻璃板(13)插入容器(15)；

在使玻璃板(13)的顶边(25)不与顶部支承件(21)接触的条件下，将顶部支承件(21)滑动到多个玻璃板(13)的顶部；和

对玻璃板(13)进行热处理。

根据第二方面，本发明提供用于在热处理期间容纳多个玻璃板(13)的容器(15)，该容器包括六个壁(31，32，33，34，35，36)，这些壁限定了容器的内部体积，其中：

六个壁(31，32，33，34，35，36)各自包括一个或多个金属片(37)，它们一起形成壁表面的至少80％(优选，至少90％；最优选至少95％)；和

各金属片(37)的厚度小于或等于1毫米(优选，小于或等于0.7毫米；更优选约0.5毫米)。

根据本发明的这一方面，构成容器(15)的壁(31，32，33，34，35，36)的所有金属片(37)优选具有相同的厚度，但需要时可以具有不同的厚度，只要所述壁(31，32，33，34，35，36)各自的表面积的至少80％是由厚度小于1毫米的金属片(37)形成。

根据一些实施方式，容器(15)包括安装在容器的六个壁(31，32，33，34，35，36)中的至少一个的外表面上的管(39)，用于传送吹洗气体(如，HEPA-过滤的空气)。管(39)优选具有能增加管(39)长度的模式(如，盘旋形模式)，在使用容器(15)期间吹洗气体从所述管通过。

根据第三方面，本发明提供用于在热处理期间以垂直取向把持多个玻璃板(13)的支承系统，该系统包括底部支承件(17)、两个侧面支承件(19a，19b)和顶部支承件(21)，其中：

顶部支承件(21)包括成形部件(27)，在使用支承系统期间，该部件只在向内离开(inboard from)玻璃板(13)的顶边(25)的位置与玻璃板(13)接触；和

侧面支承件(19a，19b)包括成形部件(29)，在使用支承系统期间，该部件只在向内离开玻璃板(13)的侧边(23a，23b)的位置与玻璃板(13)接触。

根据本发明的这一方面，顶部支承件(21)和侧面支承件(19a，19b)的成形部件优选具有相同的构形，但是在这些位置可以使用不同构形的成形部件。在任一种情况，成形部件(27，29)都优选由金属构成，其厚度小于或等于1毫米(优选，小于或等于0.7毫米；更优选，约0.5毫米)。成形部件优选具有相同的厚度，但是需要时可以具有不同的厚度。

用于实施本发明的上述各方面的材料优选是金属(合金)，所述金属(合金)在进行热处理的玻璃的应变点基本不会发生氧化，如合金在650℃基本不会氧化。特别是，用于形成容器(15)的壁(31，32，33，34，35，36)的金属片(37)以及顶部和侧面的支承件(21，19a，19b)的成形部件(27，29)优选是由这类合金构成。类似地，用于吹洗气体的管(39)也由耐氧化的合金构成。同样的合金可用于容器的所有部件以及其相关的系统，或者按需要可以将不同合金用于不同部件。

在对本发明的各方面的概述中使用的标记数字只是为能方便读者，并非用来限制本发明的范围，也不应被理解为对本发明范围的限制。一般而言，应理解前面的一般性描述和以下的详细描述都只是对本发明的示例说明，用来提供理解本发明的性质和特性的总体评述或框架。

在以下的详细描述中提出了本发明的附加特征和优点，其中的部分特性和优点对本领域的技术人员而言由所述内容而容易理解，并通过按照本文所述实施本发明而被认可。包括的附图提供了对本发明的进一步的理解，附图被结合在本说明书中并构成说明书的一部分。应理解，在本说明书和附图中公开的本发明的各种特征可以以任意和所有的组合使用。

附图说明

图1是图示根据本发明的实施方式构造的多个容器(15)和拖车(51)的透视侧视图。

图2是图1中的拖车(51)和容器(15)的端视图。

图3是图1中的拖车(51)和容器(15)的透视底视图。

图4是图1的拖车(51)和容器(15)的透视侧视图，其中，从一些容器(15)去除了盖(36)，从其余的容器(15)同时去除了盖(36)和顶部支承件(21)。

图5是平行于容器壁(35)的截面图，图示说明由底部支承件(17)、两个侧面支承件(19a，19b)和顶部支承件(21)支承的单个的玻璃板(13)。

图6是底部支承件(17)的透视图。

图7是图6的底部支承件(17)沿该支承件的宽度获取的截面图。

图8是侧面支承件(19a)的透视图。

图9是图8的侧面支承件(19a)沿该支承件的宽度获取的截面图。

图10是图8的侧面支承件(19a)的透视图，图示说明将玻璃板导入该支承件的部分。

图11是顶部支承件(21)的透视图。

图12是图11的顶部支承件(21)沿该支承件的宽度获取的截面图。

图13是顶部支承导向组件的透视图，该组件包括顶部支承导向装置(101)和进给机构组件(113)。

图14是对图13的进给机构组件(113)的更详细的透视图。

图15-17是图示使用图13的顶部支承导向组件将顶部支承件(21)滑动到多个玻璃板(13)上的透视图。具体地，图15示出进入该装置的顶部支承件(21)，图16示出滑动到玻璃板上之后但在下降到其最终位置之前的顶部支承件，图17示出下降到其最终位置的顶部支承件。然后，除去顶部支承导向组件。

图18是图示说明图1的实施方式的吹洗系统的示意图。

附图中使用的附图标记对应于以下部件：

13   玻璃板

15   容器

17   底部支承件

19a  侧面支承件

19b  侧面支承件

21   顶部支承件

23a  玻璃板的侧边

23b  玻璃板的侧边

25   玻璃板的顶边

26   玻璃板的底边

27   顶部支承件的成形部件

29   侧面支承件的成形部件

31   容器壁

32   容器壁

33   容器壁

34   容器壁

35   容器壁

36   容器壁(盖)

37   金属片

39   管

51   拖车

53   盒体

55   拖车基座

57   加热元件

59   下部结构组件

61   轨道

63   导向轮

65   吹洗空气送风机

67   过滤组件

69   集电器

71   底部支承件的底盘

73   底部支承件的成形部件

75   底部支承件的细槽

77   底部支承件中的定位孔

79   侧面支承件的支承板

83   用于侧面支承件的成形部件的校直叉状部件

85   侧面支承件的细槽

89   在侧面支承件顶部的定位孔

90   用于侧面支承件的定位栓

91   顶部支承件的顶板

95   用于顶部支承件的成形部件的校直叉状部件

97   顶部支承件的细槽

99   顶部支承件的把柄

101  顶部支承件的导向装置

103  顶部支承件的导向装置结构体(frame)

105  顶部支承导向装置的铰接托架

107  顶部支承导向装置的牵引杆

109  顶部支承导向装置的臂

111  顶部支承导向装置的托架的滚球轴承

113  进给组件

115  进给组件的滚球轴承

117  总管

具体实施方式

如上所述，本发明提供了将玻璃板13装载到容器15中，然后在如对玻璃板进行预收缩的热处理期间以垂直取向把持所述玻璃板的方法和设备。

概括地说，容器13包括对玻璃板的支承系统，该系统包括底部支承件17，两个侧面支承件19a，19b，以及顶部支承件21。在侧边23a，23b与侧面支承件之间没有发生接触的条件下，将玻璃板13滑入容器15。然后，在不与玻璃板的顶边25接触的条件下，将顶部支承件21滑动到玻璃板的顶部。按照这种方式，可以将因与玻璃板顶边和侧边接触而产生的玻璃碎片减至最少。

较好地，容器和支承系统具有较低的热质量，并由一种或多种金属合金组成，所述金属合金在进行热处理的温度下不会发生明显的氧化。在一些实施方式中，经HEPA过滤和预热的吹洗空气在热处理期间从容器15通过。

以前面的一般性描述作为背景，对附图中图示的本发明的代表性实施方式进行说明，附图中相同的附图标记表示这些附图中相同或类似的部件。

图1-4示出本发明的实施方式，其中，拖车51包括安装在绝热的拖车基座55上的盒体53，该拖车可用于对玻璃板13进行热处理。该拖车可以用于在间歇式炉或连续炉中对玻璃板进行热处理。

盒体53包括许多单独封闭的容器15(例如，在图1-4中有5个容器)，所述容器容纳玻璃板。在各容器内的玻璃板在热处理周期由低质量(low mass)的支承系统支承并保持平坦，所述支承系统包括底部支承件17，两个侧面支承件19a，19b，以及顶部支承件21。如下面详细讨论的，装有玻璃板的封闭的容器15用吹洗气体如过滤的洁净空气连续吹扫，在进行热处理周期之前、期间和之后保持容器内洁净的环境。

容器15通过在其顶部和底部的金属结构体连接在一起，形成盒体53。相连的容器被用作通道的敞开的空间隔开，所述通道用于使热空气通过而加热容器，或者使冷空气通过而冷却容器，如’772公开中所述。从容器之间的间隔流过的热空气或冷空气通过对流传热对容器均匀加热或冷却。

将盒体53组装在绝热的拖车基座55的顶部。拖车基座的绝热部分可以被合金钢包封。拖车基座支承装有玻璃板的盒体，并用来将盒体传送到热处理炉中和从热处理炉移出。拖车的基座可以包括位于该基座顶部和盒体下面的加热元件57，向盒体底部提供热量，因此改进温度的均匀性。在所述的实施方式中，拖车基座还可以在热处理周期用作炉室的底部。

由图3可以了解，拖车基座55包括下部的结构组件59，该组件支承拖车基座的绝热部分以及盒体，并承载拖车的机械设备和电设备。下部的结构组件包括轨道61，该轨道将拖车支承在辊式运输机(未示出)上。使用四个导向轮保持拖车在传送期间居中位于辊式运输机上。下部结构组件还承载向容器供应空气的吹洗空气送风机65，包含清洁空气的HEPA过滤器的过滤组件67，与固定的动力轨道(未示出)接触并向送风机65和加热元件57提供动力的集电器69。即使在拖车被输送到炉内以及从炉内移出时，使用集电器和动力轨道能够将电力供给吹洗空气送风机。

再回到上述的容器15，如上所述，各容器包括支承系统，上述支承系统包括底部支承件，两个侧面支承件和顶部支承件(例如参见图5)。图6-7示出底部支承件的优选实施方式。如图所示，底部支承件包括支承玻璃重量的底板71和容纳玻璃板的成形部件73。

底部支承件设计为承载玻璃板的重量，而对玻璃板的底边26造成的损害最小。这样，可以将导致玻璃板缺陷的玻璃碎片的产生减至最小。具体地，如图7中所示，成形部件73的构形能将玻璃板平滑导入由成形部件和支承件底板71形成的细槽75中。此外，细槽75在其底部具有正方形的角，一旦将玻璃板完全插入底部支承件时用于将对玻璃板底边的损害减至最小。成形部件提供了热处理周期中对玻璃板的支承和容纳，使玻璃板的翘曲最小。底部支承件优选在底板的各端部有孔77，它们将底部支承件定位在容器底部的栓(未示出)上。底部支承件优选可以拆卸以进行清洁。

需要时，所述底部支承件17可以采用除了图6和图7所示之外的其他构形。例如，作为使用直边形成形部件的替代情况，可以使用圆化的成形部件将玻璃板导入细槽75，如半圆柱形的平行组。还可以使用凹面形状将玻璃板导入所述细槽。此外，作为在整个玻璃板的底边长度上延伸的替代情况，底部支承件可以包括多个与底边的空间隔开部分接触的区段。

图8-10示出侧面支承件19a，19b的优选实施方式。(在这些附图中示出支承件19a；支承件19b具有这种结构，但是可以比例如图15中所示的略高)如图8-10所示，各支承件包括支承板79和多个支承并容纳玻璃板的成形部件29和多个将成形部件对齐的校直叉状部件83。

将侧面支承件，具体是成形部件29设计成能在将玻璃板插入容器或从容器移出时避免与玻璃板的侧边23a，23b接触。由图10可以清楚地了解，成形部件29的顶部为渐缩形，用于将玻璃板平滑导入侧面支承件的狭缝85内。因为玻璃碎片的主要来源是玻璃板的边缘，避免侧面支承件与玻璃边缘的接触能显著减少导致玻璃板缺陷的玻璃碎片的产生。除了防止与玻璃板的侧边接触外，成形部件还提供了热处理周期内能使玻璃板翘曲最小所需的支承和包容。侧面支承件优选在支承板79的底端部包含孔(未示出)，将侧面支承件定位在与底部支承件同样的栓(未示出)上。这样能保持在侧面支承件和底部支承件之间的对齐。侧面支承件还优选在支承板79的顶端部具有两个孔89，它们将侧面支承件定位在容器顶部的的两个栓90上。底部支承件优选可以拆卸以进行清洁。

需要时，可以采用图8和图-10所示之外的其他构形用于侧面支承件19a，19b。例如，除了作为单独部件外，可以使用成形部件和校直叉状部件。需要时，可以不使用校直叉状部件构造侧面支承件。可以使用附图所示构形之外的各种构形的成形部件，只要这些成形部件能形成接受玻璃的细槽，所述细槽在较远离玻璃板的边缘之处的宽度较小，在靠近玻璃板边缘之处的宽度较大，将玻璃板放入支承件时边缘和成形部件之间的接触的可能性减至最小。此外，作为在整个玻璃板的底边长度上延伸的替代形式，侧面支承件可包括多个限制出玻璃板侧边的间隔部分的区段。

图11-12示出顶部支承件21的优选实施方式。如这些附图所示，顶部支承件包括顶板91和多个支承并容纳玻璃板的成形部件27和多个将成形部件对齐的校直叉状部件95。顶部支承件还包括用于提升顶部支承件的把柄99。

图13-14示出与图11-12的顶部支承件一起使用的顶部支承导向装置101。该装置包括装备有铰接托架105的结构体103，该铰接托架用于安装和定位所述顶部支承件。使用牵引杆107和臂109来升高和降低托架105和顶部支承件。托架上装备滚球轴承111，使顶部支承件能平稳滑入容器上的位置。

图13-14还示出进给组件113，该组件与顶部支承件和顶部支承导向装置一起使用。该组件装备有滚球轴承115，用于将顶部支承件导入顶部支承导向装置的托架105上。

实施中，在将所有玻璃板加入容器，即，使用机器人将玻璃板与侧面支承件对齐，并将玻璃板滑入与底部支承件啮合后安装顶部支承件。顶部支承件以及在放置顶部支承件时采用的安装方式防止了该支承件与玻璃板顶边25接触。这样，可以进一步减小导致玻璃板缺陷的玻璃碎片的产生。

图15-17图示说明使用顶部支承导向装置来安装顶部支承件。如图15所示，顶部支承导向装置在其“上”位置具有托架105，将该装置置于容器的顶部，并使用定位侧面支承件的同样的栓90进行定位。将顶部支承导向装置的进给端部置于侧面支承件19a的上面。将端部支承件的引导端部置于进给组件113上，然后将该支承件在托架105上滑动，进入在容器顶部上的位置。参见图16。

当顶部支承件滑入定位时，成形部件27将玻璃板的顶部分隔并定位。如图11-12所示，成形部件的结构使其在顶部支承件滑入定位时不与玻璃板的顶边接触。由图11还可以了解，将成形部件的引导端部成形，以防止或减小顶部支承件滑入定位时对玻璃板的损害。除了防止与玻璃板的顶边接触外，成形部件还提供了热处理周期内使玻璃板翘曲最小所需的支承和包容。

顶部支承件定位于容器顶部后，将托架105降低到其“下面”的位置。参见图17。然后，顶部支承件停留在容器的顶部。然后，抬高顶部支承导向装置离开该容器。顶部支承件优选位于将侧面支承件定位的同样栓90上，以保持顶部支承件和侧面支承件之间的对齐。热处理期间使用盖36来封闭容器顶部。所示盖优选包括重叠的边缘(lip)，以防止炉内空气进入该容器。考虑到热处理期间容器将经历的升高的炉温(如650℃)，不采用气密封。

需要时，顶部支承件可以采用除了图11-12所示之外的其他构形。例如，除了作为单独部件外，可以使用成形部件和校直叉形部件。需要时，可以不使用校直叉形部件构造顶部支承件。可以使用附图所示构形之外的各种构形的成形部件，只要这些成形部件能形成接受玻璃的细槽，所述细槽在远离玻璃板的边缘之处的宽度较小，在靠近玻璃板边缘之处的宽度较大，将支承件放在玻璃板上面时边缘和成形部件之间的接触的可能性减至最小即可。此外，作为在整个玻璃板的顶边长度上延伸的情况的替代形式，顶部支承件包括多个限制出玻璃板顶边的间隔部分的区段。

类似地，可以使用图13-14和15-17所示之外的其他设备和/或方式，将顶部支承件安装在玻璃板的上面。例如，作为将顶部支承件自一端滑动的替代方式，可以将顶部支承件分成两个部件，从相对的两端滑动到玻璃板上。这种方法可以促进将端部支承件安装在大的玻璃板上面。作为使用附图中所示的人工操作的装置的替代方式，在实施本发明时可以使用自动化系统，如气动系统。在实施本发明时，可以使用附图所示之外的构形的盖，但具有同样的衬料。例如，需要时可以使用具有渐缩的侧面的盖，以有利于自动化安装在容器的顶部和从容器顶部移除。

应注意，顶部支承件、侧面支承件和底部支承件优选不夹紧玻璃板，而是简单地限制玻璃板。因此，这些支承件用于玻璃板的细槽的宽度大于玻璃板的厚度。最小的细槽宽度与玻璃板的厚度的适当比值为1.25-6.0，优选2.0-4.0。

拖车设计中的一个重要因素是容器和玻璃板支承件的低质量(low mass)设计。低质量设计极大提高了热处理期间玻璃板内的温度均匀性。热处理期间良好的温度均匀性(如，均匀性，即玻璃板的有用(品质)区域中任意两点的最大温差的范围小于15℃，优选小于10℃)提供受控的均匀的玻璃收缩和最小的玻璃板翘曲。同时，要求容器和支承件具有足够的强度，以提供热处理期间保持玻璃板平整所需的支承。

为实现上述两个目的，容器和支承件优选基本上整体由很薄(如0.5毫米)的INCONEL片形金属制造。如果需要，在制造容器和支承件(或其部分)时可以使用其他材料和/或其他厚度，但是这些方式的优选程度较低。如果采用这种方式，容器壁的最少或至少80％的表面积的厚度应小于或等于1毫米。

优选使用INCONEL金属，因为这种金属在升高的温度下能提供一定的强度，并且提供在升高的温度(如650℃)下为保持容器内洁净环境所需的耐腐蚀性(抗氧化性)。虽然在升高的温度(包括650℃)范围内可以使用不同级别的不锈钢，并因此是通常选择用于构造容器和支承件的材料，但是不锈钢在升高的温度下不具有足够的抗氧化性，因此会导致对玻璃板的显著污染，如污染水平达到致使玻璃板不适合用作液晶显示器的基板。

所述容器优选由各种金属片(参见附图中的附图标记37)制造。为使变形最小，优选将金属片点焊在一起。玻璃支承件优选由单独形成的金属片部件通过最少量的焊接连接在一起进行组装，以防止支承件的变形。如上所述，将多个容器(如五个容器)连接在一起形成盒体。例如，可以通过在容器基座和顶部的金属结构体将容器相连。优选对金属结构体进行精确机加工，使它们可用于对容器以及位于容器内的顶部支承件、底部支承件和侧面支承件精确定位。通过各种部件的组装使整体盒体为刚性。

实际上，优选在洁净室中将玻璃板13放入容器内。放入玻璃板并安装盖后，用HEPA过滤的空气连续吹洗容器，为玻璃板提供洁净(如1000等级)的环境。可以使用其他的吹洗气体，如氮气，但是这些气体的费用都比HEPA过滤的空气贵，因此优选程度较低。

如18所示，安装在拖车下部的吹洗空气送风机65和HEPA过滤组件67将洁净的空气供给总管117。如INCONEL管的金属管39将各容器与总管相连。这些管将洁净空气从总管向上传送通过拖车基座的各侧面后进入容器。所述管可以在拖车基座上面形成例如盘旋形图案(参见，例如图1)，以从炉气氛吸收热量，因而可以对进入容器之前的洁净空气进行预热。这样可以提高容器内的温度均匀性。应注意，HEPA过滤器不能在对玻璃板进行处理的升高的温度(如，650℃)下运行，因此必须在吹洗空气进入容器之前对其进行一部份热量传递，以避免在容器内产生不能接受的大的温差。

优选在拖车离开洁净室之前打开吹洗空气，并在拖车运行至炉时，拖车在炉内进行热处理期间，以及热处理周期后拖车从炉运行返回洁净室时继续进行吹洗。将预热的洁净吹洗空气供给容器的方法以及容器和盖的设计协同提供容器内的洁净环境，这种洁净环境可以使玻璃板上的颗粒缺陷最少。

如上面所述可以知道，本发明的各方面以及实施方式能够实现以下益处的至少一部分，优选能够实现全部益处：

(1)用于均匀的玻璃紧致化的温度均匀性。

包括低质量片形金属容器和容器间空气通道的盒体设计提高了温度均匀性。

低质量支承系统因为吹洗气体的预热也提高了温度均匀性。

(2)用于玻璃表面质量的清洁度。

封闭的容器与气体吹洗系统一起提高了容器内的清洁度。

侧面支承件防止了在放入玻璃板和取出玻璃板时与玻璃板的侧边的接触，这样可以减少玻璃颗粒的产生。

顶部支承件和顶部支承导向装置的使用防止了在安装顶部支承件和去除顶部支承件时与玻璃板顶边的接触，这样可以减少玻璃颗粒的产生。

底部支承件减少了在操作容器和盒体期间对玻璃板底边的磨擦，这可以减少玻璃颗粒的产生。

盒体由抗氧化性合金(如INCONEL 601金属)构造，以提高清洁度。

(3)对玻璃板的全支承，以保持玻璃的平整度。

用低质量支承件在所有四个边支承玻璃，保持玻璃的平整度。

虽然已经描述和说明了本发明的具体实施方式，但是，应理解没有偏离本发明的范围和精神的各种修改对前述内容的领域的技术人员而言是显而易见的。

Claims (12)

1.一种对多个玻璃板进行热处理的方法，该方法包括：

(a)提供容器，用于在热处理期间容纳多个玻璃板，所述容器包括在热处理期间用于把持垂直取向的玻璃板的支承系统，所述支承系统包括底部支承件，两个侧面支承件，以及顶部支承件；

(b)在使玻璃板的侧边不与所述侧面支承件接触的条件下，使所述多个玻璃板滑入侧面支承件，从而将多个玻璃板插入容器；

(c)在使玻璃板的顶边不与所述顶部支承件接触的条件下，将所述顶部支承件滑动到多个玻璃板的顶部上；和

(d)对所述玻璃板进行热处理。

2.如权利要求1所述的方法，其特征在于，该方法包括在热处理期间使吹洗气体从所述容器通过。

3.如权利要求2所述的方法，其特征在于，该方法包括通过使吹洗气体从位于容器外部的管通过，在将吹洗气体引入容器之前升高该吹洗气体的温度。

4.如权利要求3所述的方法，其特征在于，所述管的至少一部分具有以下特性：(a)安装在容器的外表面上，和(b)以能够增加所述管的气体从中通过的长度的模式设置。

5.如权利要求2所述的方法，其特征在于，所述吹洗气体是空气，并且所述方法包括在将空气引入容器之前使其从HEPA过滤器通过。

6.如权利要求5所述的方法，其特征在于，在使空气通过HEPA过滤器之后并在将其引入容器之前升高其温度。

7.如权利要求6所述的方法，其特征在于，通过使空气从位于容器外部的管中通过来升高其温度。

8.如权利要求7所述的方法，其特征在于，所述管的至少一部分具有以下特性：(a)安装在容器的外表面上，和(b)以能够增加所述管的气体从中通过的长度的模式设置。

9.如权利要求1所述的方法，其特征在于：

(a)所述容器包括六个限定出容器的内体积的壁；

(b)所述六个壁各自包括一个或多个金属片，它们一起形成壁表面积的至少80％；和

(c)各金属片的厚度小于或等于1毫米。

10.一种用于在热处理期间把持垂直取向的多个玻璃板的支承系统，该系统包括底部支承件，两个侧面支承件，以及顶部支承件，其中：

(a)所述顶部支承件包括成形部件，在使用所述支承系统期间，该部件只在向内离开玻璃板的顶边的位置与玻璃板接触；和

(b)所述侧面支承件包括成形部件，在使用所述支承系统期间，该部件只在向内离开玻璃板的侧边的位置与玻璃板接触。

11.如权利要求10所述的支承系统，其特征在于，所述成形部件由金属构成，其厚度小于或等于1毫米。

12.如权利要求10所述的支承系统，其特征在于，所述成形部件由在650℃基本不氧化的合金构成。

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