CN101395394A - 滚动轴承及其制造方法 - Google Patents

Abstract

本发明用替代溶射法的方法形成致密的陶瓷层，提供绝缘性能及对酸、碱等的药品的耐腐蚀和耐药性优异的滚动轴承。其具有内圈(1)、外圈(2)及安装在这些内外圈的轨道面间的多个滚动体(4)，是在从上述内圈(1)的内周面及上述外圈(2)的外周面选出的至少一个周面上具有陶瓷覆膜的滚动轴承，该陶瓷覆膜是把氧化铝微粒等作为气溶胶原料使用的、用气溶胶沉积法形成的覆膜。该覆膜例如固定气溶胶喷射喷嘴，在用对象物转动用马达转动上述外圈或上述内圈的同时使用定位用XY台使之在轴方向移动而形成。

Description

滚动轴承及其制造方法

技术领域

本发明涉及具有陶瓷覆膜的滚动轴承，特别涉及绝缘性能及对酸、碱等药品的耐腐蚀性及耐药性优异的滚动轴承及其制造方法。

背景技术

用于铁道车辆的主电动机的滚动轴承，在把主电动机的电流从车轮往轨道接地的接地用集电装置不完全的情况下，主电动机的电流通过滚动轴承的内外圈及滚动体在车轮和轨道间流动。此时，在轴承滚动体和外圈滚动面之间或内圈滚动面之间产生放电，有时在放电部分产生电腐蚀。

作为防止这样的电腐蚀的有效的手段，一直以来，众所周知在轴承轨道圈的外表面形成陶瓷等的绝缘体的溶射覆膜。

在高分子材料制造设备、液晶用膜制造装置等的化学装置设备中，存在使用各种酸、碱等药品的各种处理装置。在其中在搅拌或搬送用等使用的滚动轴承，因为接触各种酸或碱等药品，使得轴承构成材料产生腐蚀、膨润、溶解、分解等的品质劣化，所以存在寿命比较短的问题。在构成这样的轴承的内圈、外圈、滚动体及保持器上，一般使用具有耐腐蚀性或耐药性的不锈钢、陶瓷及树脂等。但是，不锈钢不一定是万能的，可适用的酸、碱等的药品是有限的。另外，陶瓷对酸、碱等药品有优异的耐腐蚀和耐药性但存在高价的问题。

近年来，通过选定具有机械强度或滑动性的种类或者选择对各种的酸、碱等的药品具有耐腐蚀和耐药性的种类等，树脂在腐蚀环境、使用各种药品的环境等领域广泛使用。

一直以来，作为合成树脂制滚动轴承，众所周知至少有外圈由聚酰亚胺材料构成的滚动轴承(参照专利文献1)、轨道圈由弯曲弹性率在2000～6000MPa的范围的聚本撑硫化物(以下记为PPS)树脂等的聚多芳硫化物系树脂形成的树脂制滚动轴承(参照专利文献2)、在内圈及外圈的产生滚动摩擦或滑动摩擦的表面等形成聚四氟乙烯(以下记为PTFE)树脂的润滑覆膜的滚动轴承(专利文献3参照)等。

另外，众所周知，还具有以下的滚动轴承(参照专利文献4)，其在构成滚动轴承的部件中，在至少产生滚动摩擦或滑动摩擦的表面上，压接含有结晶性的高分子量PTFE树脂的覆膜形成部件，通过在两者之间施加滑动而在上述表面形成PTFE树脂的固体润滑覆膜。

但是，上述这样的内圈或外圈的滚动面是树脂制的滚动轴承，与钢制的相比一般耐负荷性差，因为通过比形成滚动面的树脂硬的滚动体的转动，滚动面的摩耗明显，滚动轴承的耐久性不充分，所以存在可适用的用途受到限制的问题。

另外，作为对钢制的内圈、外圈施加耐腐蚀和耐药性的方法，一直以来，众所周知有在轴承轨道圈的外表面形成陶瓷等具有耐腐蚀和耐药性的溶射覆膜的方法。

但是，在使用溶射技术在轴承的外径面及宽度面设置陶瓷层的方法中，为了防止热处理而硬化的轴承钢由溶射加工时的热产生回火，必须在冷却工件的同时成膜陶瓷层，非常繁杂，导致生产率降低。进而，若想用溶射法在轴承外径面及宽度面设置陶瓷层，则作为基底处理必须预先溶射镍铝等层，这也是造成生产率降低的原因。

另外，用溶射法得到的陶瓷层，因为成为多孔质，所以由结露等使水分侵入陶瓷层内。其结果，发生绝缘电阻的降低或耐腐蚀和耐药性的降低。因此，有必要对陶瓷层内的空孔进行封孔处理来防止浸入水分。关于封孔处理，众所周知有使用封孔处理剂的方法(参照专利文献5)，该封孔处理剂含有从由合成树脂、重合性有机溶剂及氟系界面活性剂及含有全氟基的有机硅化合物构成的组中选出的至少一种；另外还有把由浸透性良好的绝缘树脂构成的封孔处理层作为下层，把由浸透性不完全的绝缘树脂构成的封孔处理层作为上层，利用如此形成的组合层来进行封孔的方法(参照专利文献6)等。但是，使用这些封孔处理方法时存在成本非常高的问题。

另外，由溶射法得到的陶瓷层，即使为了得到绝缘性而在原料粉中使用α氧化铝，由于溶射过程的高温也会转变成绝缘性差的γ氧化铝。为此，该方法必须通过加厚膜厚以确保绝缘性，成本高。

专利文献1：(日本)特开平7-279973号公报

专利文献2：(日本)特开平10-47355号公报

专利文献3：(日本)特开平8-93774号公报

专利文献4：(日本)特开平5-106638号公报

专利文献5：(日本)特开2003-183806号公报

专利文献6：(日本)专利第3009516号公报

发明内容

发明要解决的问题

本发明是用于解决这些问题的，目的是提供用替代溶射法的方法形成致密的陶瓷层、绝缘性能及对酸碱等药品的耐腐蚀和耐药性优异的滚动轴承。

解决问题的手段

本发明的滚动轴承具有内圈、外圈及安装在这些内外圈的轨道面间的多个滚动体，是在从上述内圈的内周面及上述外圈的外周面选出的至少一个周面具有陶瓷覆膜的滚动轴承，其特征在于，该陶瓷覆膜是由气溶胶沉积法(aerosol deposition method，以下称为AD法)形成的覆膜。

另外，本发明的滚动轴承的特征在于，在上述内圈的含有内周面的表面及上述外圈的含有外周面的表面的至少与腐蚀性物质接触的表面上具有上述陶瓷覆膜，在上述内圈及外圈的轴方向两端开口部设置密封部件。

本发明的滚动轴承的特征在于，在上述内圈及外圈和上述密封部件接触的部分具有上述陶瓷覆膜。

另外，在本发明所谓耐腐蚀和耐药性是指即使与各种酸、碱等药品(腐蚀性物质)接触也不会产生腐蚀、膨润、溶解和分解等的品质恶化情况的性质。

本发明的滚动轴承的特征在于，上述陶瓷覆膜是把氧化铝微粒作为气溶胶原料使用的覆膜。

本发明的滚动轴承的特征在于，上述氧化铝微粒的平均颗粒径是0.01μm～2μm。另外，在本发明中，平均颗粒径是用日机装株式会社制：激光式粒度分析计Microtrack MT3000测定的值。

本发明的滚动轴承的特征在于，上述陶瓷覆膜的覆膜厚度是4μm～200μm。

本发明的滚动轴承的制造方法，是制造具有内圈、外圈及安装在这些内外圈的轨道面间的多个滚动体的滚动轴承的方法，其特征在于，包括在从上述内圈的内周面及上述外圈的外周面选出的至少一个周面由AD法形成陶瓷覆膜的工序。

另外，本发明的滚动轴承的制造方法的特征在于，上述AD法的陶瓷覆膜的形成如此进行，即，固定气溶胶喷射喷嘴，在把上述外圈或上述内圈使用对象物转动用马达转动的同时，使用定位用XY台使之在轴方向移动。或者在把喷嘴口长度做成与外圈轴承宽度相等或以上的情况下，不使用XY台也可进行成膜。

发明的效果

本发明的滚动轴承，由于在从内圈内周面及外圈外周面选出的至少一个周面用AD法形成陶瓷覆膜，所以得到在常温不会连通覆膜表面和轨道圈底料的致密的陶瓷覆膜，能保持高的绝缘性能。

另外，由于通过不处在高温状态的AD法采用α氧化铝成膜，所以α氧化铝不会转变为γ氧化铝，可以得到绝缘性高的α氧化铝的覆膜。

另外，本发明的滚动轴承，由于在上述内圈的含有内周面的表面及上述外圈的含有外周面的表面的至少与腐蚀性物质接触的表面用AD法形成陶瓷覆膜，所以得到在常温不连通覆膜表面和轨道圈底料的致密的陶瓷覆膜，可保持高的耐腐蚀和耐药性。

在真空腔内等，由于在定位用XY台上设置使轴转动的对象物转动用马达，固定气溶胶喷射喷嘴，在使轴承外圈或轴承内圈转动的同时且在轴向移动，所以可以在作为曲面的上述滚动轴承的内圈及外圈的规定的表面均匀地形成陶瓷覆膜。或在喷嘴口长度与外圈轴承宽同等或以上的情况下，不使用XY台也可成膜。通过使其转动并重复涂敷由气溶胶形成的覆膜，紧密附着性良好地形成数μm～数十μm的致密的陶瓷覆膜。另外，通过不需要冷却工件、不需要镍铝等的基底处理及不需要封孔处理等，可大幅降低制造成本。

由于内圈表面及外圈表面用薄膜状的陶瓷层覆盖，所以与PTFE树脂等的树脂覆膜相比硬度高，耐负荷性和耐摩耗性优异。另外，在与PPS树脂单体轴承相比的情况下，因为弹性率高，所以耐负荷性优异。

附图说明

图1是表示本发明的滚动轴承的一个实施例的剖视图。

图2是表示本发明的滚动轴承的另一实施例的剖视图。

图3是表示本发明的滚动轴承的另一实施例的剖视图。

图4是表示本发明的滚动轴承的另一实施例的剖视图。

图5是表示利用AD法的陶瓷覆膜形成装置的图。

附图标记说明

1内圈；2外圈；3保持器；4滚动体；5壳体；6轴；7陶瓷覆膜；8密封部件；9陶瓷覆膜形成装置；10真空腔；11真空泵；12外圈或内圈；13定位用XY台；14对象物转动用马达；15气体供给设备；16气溶胶发生装置；17气溶胶喷射喷嘴；18微粒过滤器。

具体实施方式

基于图1说明本发明的滚动轴承的一个实施例。图1是在外圈外周面用AD法形成陶瓷覆膜的滚动轴承的剖视图。另外，陶瓷覆膜是非常薄的数μm～数十μm的覆膜，但在图1及后述的图2、图3、图4为说明方便，用比实际厚的方式进行图示。在此，在图1、图2及图3所示的滚动轴承是具有绝缘性能的绝缘滚动轴承的例。另外，在图4所示滚动轴承是对酸、碱等药品显示有耐腐蚀和耐药性的耐腐蚀耐药性的滚动轴承的例。

图1所示的滚动轴承，在内圈1和外圈2之间安装有由保持器3保持的多个滚动体4，把外圈2收容在壳体5等中，把轴6固定在内圈1的内径，在该轴承中，在外圈2的外周面2a用AD法形成陶瓷覆膜7。内圈1、外圈2及滚动体4由轴承钢等的金属材料构成。

在本发明，所谓形成陶瓷覆膜7的外圈2的外周面2a，不仅是外圈2的外径面a，而至少是保持外圈的壳体5等与外圈2接触的整个范围。在图1所示情况下，外圈2的外周面2a是在从外圈2的外径面a到宽度面b的范围还含有倒角部c的范围的面。

另外，陶瓷覆膜7除了形成在上述外圈2的外周面2a，也可以形成在内圈1的内周面1a。基于图2及图3说明本发明的滚动轴承的另一实施例。在图2所示的例中，在内圈1的内周面1a形成陶瓷覆膜7，在图3所示的例中，在外圈2的外周面2a及内圈1的内周面1a分别形成陶瓷覆膜7。另外，在本发明中所谓的内圈1的内周面1a，至少是内圈1与轴6等接触的整个范围，在图2及图3所示情况下，是内圈1的内径面本身。

如上所述，通过在外圈和壳体等接触的整个范围以及内圈和轴等接触的整个范围的至少一方形成陶瓷覆膜，可以保证绝缘性能。

图4所示的滚动轴承是这样的轴承，即，在内圈1和外圈2之间安装保持在保持器3的多个滚动体4，把密封封入滚动体4周围的润滑油的密封部件8设在内圈1及外圈2的轴方向两端开口部，分别在壳体5等固定外圈2、把轴6固定在内圈1的内径。另外，在与转动轴6、密封部件8和壳体5一起构成与各种腐蚀性物质接触的空间的内圈1的接触表面1a及外圈2的接触表面2a具有用AD法形成的陶瓷覆膜7。内圈1及外圈2由轴承钢等的金属材料构成。

另外，在内圈1及外圈2形成陶瓷覆膜7的表面是该内圈1的含有内周面的表面及外圈2的含有外周面的表面中的至少与腐蚀性物质接触的表面，包含直接接触的面以及有可能接触的面。

本发明AD法是这样的方法，即，利用气溶胶喷射喷嘴，把使原料陶瓷微粒分散在气体中的气溶胶喷向内圈或外圈等基材，使气溶胶以高速冲击该基材表面，在基材上形成由微粒的构成材料构成的覆膜。陶瓷微粒由冲击而粉碎，由于形成清洁的新生表面，产生低温接合，所以可实现在室温下微粒之间的相互接合。

在气溶胶中，陶瓷的微粒保持分散状态。与由溶射法得到的覆膜为多孔质的膜相对的是，如上所述，用AD法得到的覆膜由于是用分散在气溶胶中的微粒形成覆膜，所以得到的覆膜成为极致密的陶瓷层。

为此，作为在内圈内周面或外圈外周面上形成该覆膜的绝缘滚动轴承，即使因降雨或结露等而暴露在水分中，由于受到不具有可浸透水分的空孔的陶瓷层保护，所以不会通电，不导致降低绝缘电阻。另外，作为在接触腐蚀性物质的内圈的接触表面及外圈的接触表面形成该覆膜的耐腐蚀耐药品用滚动轴承，即使暴露在酸、碱等的腐蚀性物质中，由于受到不具有可浸透腐蚀性物质的空孔的陶瓷层的保护，腐蚀性物质不会侵入基材底料，不导致降低耐腐蚀和耐药性。

另外，由于AD法制成的陶瓷覆膜致密，绝缘性及耐腐蚀和耐药性优异，所以为确保一定的绝缘电阻及耐腐蚀和耐药性所必需的覆膜厚度可以比溶射法薄。

在本发明中作为用于形成由AD法制成的陶瓷覆膜的、成为气溶胶原料的陶瓷微粒，可以举出绝缘性及耐腐蚀和耐药性良好的氧化铝、氧化锆、氧化钛等的氧化物陶瓷微粒等。在各个陶瓷的高纯度等级中，由于实际比重小的容易气溶胶化，所以氧化铝微粒是理想的。

可以用于本发明的氧化铝微粒的平均颗粒径为0.01μm～2μm。未满0.01μm凝集容易，气溶胶化困难，其超过2μm时，则不能用AD法形成膜(膜不成长)。

作为氧化铝微粒的颗粒径调整方法，可以举出使用醇盐法或胶态法、硫酸铝铵的热分解法、碳酸铝铵盐热分解法、改良拜耳边法、乙撑氯醇法的化学手法、或者气体中蒸发法或喷溅(气相氧化)法、铝的水中火花放电法等的物理手法，把由这些手法制作出的数10nm以下的细微的微粒加热，凝集成颗粒径为数百nm程度的二次颗粒的方法等。另外，为了很好地进行覆膜形成，最好用球磨机、喷射式磨机等粉碎机预先形成裂缝，以便在与基材的冲突时氧化铝微粒容易粉碎。

因为AD法和溶射法不同，不需要高温处理，所以也不会产生由于外在高温而产生的原料陶瓷的转变所导致的绝缘性的降低。例如，即使用绝缘性优异的α氧化铝，因为在溶射法转变成γ氧化铝，绝缘性降低，所以，必须增加膜厚，但使，利用AD法使用α氧化铝时，可以直接以绝缘性高的α氧化铝进行成膜，所以可以得到绝缘性高的陶瓷层。

另外，由上述的AD法制成的陶瓷层覆盖内圈表面及外圈表面的轴承，由于与PTFE树脂的覆膜相比是高硬度，所以耐负荷性、耐摩损性高。另外，在与PPS单体轴承相比的情况下，弹性率高，所以耐负荷性优异。

本发明的滚动轴承的制造方法，包括在上述滚动轴承的内圈及外圈的规定的表面上利用AD法形成陶瓷覆膜的工序。

作为用AD法制造陶瓷覆膜的形成方法，可以采用固定滚动轴承、使气溶胶喷射喷嘴移动来形成覆膜的方法，或者固定气溶胶喷射喷嘴、使滚动轴承移动来形成覆膜的方法中的任一种。

在这些方法中，由于可以在稳定状态下喷吹气溶胶，通过同时采用定位XY台及对象物转动用马达，使轴承的内圈或外圈转动，同时沿轴方向移动，容易地重复涂敷陶瓷覆膜而形成，所以，最好使用后者的方法。

根据图5说明本发明中的AD法。图5是表示用AD法的陶瓷覆膜形成装置的图。如图5所示，用AD法的陶瓷覆膜形成装置9具有真空腔10。在真空腔10内配置有作为陶瓷覆膜形成对象的滚动轴承的外圈或内圈12和气溶胶喷射喷嘴17。从气溶胶发生装置16向气溶胶喷射喷嘴17供给气溶胶。真空腔10的内部由真空泵11减压。为了防止混入陶瓷微粒，在真空泵11跟前设有微粒过滤器18。外圈或内圈12在真空腔10内由对象物转动用马达14转动(图中A)，由定位用XY台13沿轴方向移动(图中B)。

气溶胶喷射喷嘴17从具有长方形等的开口部的喷嘴前端向从内圈内周面和外圈外周面中选出的至少一个周面喷射陶瓷微粒。另外，气溶胶喷射喷嘴17无论是一根还是多根都行。另外，气溶胶喷射喷嘴17也可以构成能在真空腔10内位移。

作为气溶胶的搬送气体，使用惰性气体，从气体供给设备15供给至气溶胶发生装置16。作为能使用的惰性气体，可以举出氩、氮、氦等。

从固定的气溶胶喷射喷嘴17向用对象物转动用马达14以规定转速转动的外圈或内圈12喷射把陶瓷微粒作为原料的气溶胶，在外圈的外周面或内圈的内周面上重复涂敷地形成陶瓷覆膜。同时，通过用定位用XY台13使外圈或内圈12沿轴方向移动，在各周面的轴方向上也均匀形成覆膜。

覆膜形成最好进行到覆膜厚度到达4μm左右为止。覆膜厚度由轴承的用途不同而不同，最好为4μm～200μm。未满4μm时得不到足够的绝缘电阻，超过200μm时制造成本变高。

实施例

实施例1

制作图1所示的绝缘滚动轴承作为试验用轴承(NU214，外圈外径：Φ125mm，外圈宽：24mm)。在此，在外圈2的外周面2a上，用AD法形成由氧化铝微粒构成的覆膜7。AD法使用同时采用定位用XY台及对象物转动用马达的轴承驱动装置，在以6mm/分的圆周速度转动、同时在沿轴方向移动的外圈外周面上，在100Pa以下的减压下，通过开口尺寸为5mm×0.3mm的喷嘴来喷射氧化铝微粒的气溶胶，进行覆膜形成。覆膜形成进行到覆膜厚度成为4μm为止。

氧化铝微粒使用大明化学工业公司制：Taimicron TM-DAR，平均颗粒径为0.16μm，在10Pa以下的减压下加热乾燥处理而加以使用。另外，搬送气体使用氦，用搬送气体流量控制颗粒速度。

可以确认得到的试验用轴承在外圈内周面和外圈外周面之间可得到规定的绝缘电阻(10MΩ以上/500V负荷时)。

实施例2

制作图2所示的绝缘滚动轴承作为试验用轴承。在此，在内圈1的内周面1a上用AD法形成由氧化铝微粒构成的覆膜7。AD法使用同时采用定位用XY台及对象物转动用马达的轴承驱动装置，在以6mm/分的圆周速度转动、同时在沿轴方向移动的内圈内周面上，在100Pa以下的减压下，通过开口尺寸为5mm×0.3mm的喷嘴喷射氧化铝微粒的气溶胶，进行覆膜形成。覆膜形成进行到覆膜厚度成为4μm为止。

氧化铝微粒使用与实施例1一样的产品。可以确认得到的试验用轴承在外圈内周面和外圈外周面之间可得到规定的绝缘电阻(10MΩ以上/500V负荷时)。

实施例3

制作图3所示的绝缘滚动轴承作为试验用轴承。在此，在外圈2的外周面2a及内圈1的内周面1a上用AD法形成由氧化铝微粒构成的覆膜7。AD法使用同时采用定位用XY台及对象物转动用马达的轴承驱动装置，在以6mm/分的圆周速度转动、同时在沿轴方向移动的外圈外周面上，在100Pa以下的减压下，通过开口尺寸为5mm×0.3mm的喷嘴喷射氧化铝微粒的气溶胶，进行覆膜形成。覆膜形成进行直到覆膜厚度成为4μm。同样，在内圈内周面上也进行覆膜形成。

氧化铝微粒使用与实施例1一样的产品。可以确认得到的试验用轴承在外圈内周面和外圈外周面之间可得到规定的绝缘电阻(10MΩ以上/500V负荷时)。

实施例4

制作图4所示的耐腐蚀和耐药品用滚动轴承作为试验用轴承。在此，在内圈1的接触表面1a及外圈2的接触表面2a上用AD法形成由氧化铝微粒构成的覆膜。AD法使用同时采用了定位用XY台及对象物转动用马达的轴承驱动装置，在以6mm/分的圆周速度转动、同时在沿轴方向移动的内圈1的接触表面1a以及外圈2的接触表面2a上，在100Pa以下的减压下，通过开口尺寸为5mm×0.3mm的喷嘴喷射氧化铝微粒的气溶胶，进行覆膜形成。覆膜形成进行直到覆膜厚度成为4μm。

氧化铝微粒使用大明化学工业公司制：Taimicron TM-DAR，平均颗粒径为0.16μm，在10Pa以下的减压下，加热乾燥处理而加以使用。另外，搬送气体使用氦，用搬送气体流量控制颗粒速度。

把得到的试验用轴承浸渍在药液中，以2000rpm的转速转动20小时。药液对氢氧化钠及硫酸各20重量％的两种水溶液进行试验。试验后，用目视确认轴承的药液接触表面，其结果，不认为在任一种药液的情况下发生侵蚀或损伤等，尽管覆膜非常薄(4μm)，也可以显示出优异的耐腐蚀和耐药性。

工业实用性

本发明的滚动轴承由于在从内圈内周面及外圈外周面中选出的至少一个周面上，用AD法形成不连通覆膜表面和轨道圈底料的致密陶瓷覆膜，所以能保持高的绝缘性。因此，作为用于通用马达、发电机用发生器、铁道车辆的主电动机等主要在轴承内部流动电流的构造的各种产业机械的防止电腐蚀滚动轴承、绝缘滚动轴承可以很好地使用。另外，在内圈及外圈的至少与腐蚀性物质接触的表面上形成上述陶瓷覆膜，所以可以保持高的耐腐蚀和耐药性。因此，可以很好地用于作为耐腐蚀和耐药品用滚动轴承，在用于化学设备等的通过与各种的酸碱等药品接触的金属容易腐蚀的环境中能够进行使用。

Claims (8)

1、一种滚动轴承，该滚动轴承具有内圈、外圈及安装在这些内外圈的轨道面间的多个滚动体，在从上述内圈的内周面以及上述外圈的外周面选出的至少一个周面上具有陶瓷覆膜，其特征在于，

所述陶瓷覆膜是由气溶胶沉积法形成的覆膜。

2、如权利要求1所述的滚动轴承，其特征在于，在上述内圈的包含内周面的表面以及上述外圈的包含外周面的表面的至少与腐蚀性物质接触的表面上具有上述陶瓷覆膜，在上述内圈以及外圈的轴方向两端开口部设置密封部件。

3、如权利要求2所述的滚动轴承，其特征在于，在上述内圈以及外圈与上述密封部件接触的部位具有上述陶瓷覆膜。

4、如权利要求1所述的滚动轴承，其特征在于，上述陶瓷覆膜是把氧化铝微粒作为气溶胶原料使用的覆膜。

5、如权利要求4所述的滚动轴承，其特征在于，上述氧化铝微粒的平均颗粒径是0.01μm～2μm。

6、如权利要求4所述的滚动轴承，其特征在于，上述陶瓷覆膜的覆膜厚度是4μm～200μm。

7、一种滚动轴承的制造方法，用于制造如权利要求1所述的滚动轴承，作为制造具有内圈、外圈以及安装在这些内外圈的轨道面间的多个滚动体的滚动轴承的方法，其特征在于，

包括在从上述内圈的内周面以及上述外圈的外周面选出的至少一个周面上利用气溶胶沉积法形成陶瓷覆膜的工序。

8、如权利要求7所述的滚动轴承的制造方法，其特征在于，固定气溶胶喷射喷嘴，使用对象物转动用马达使上述外圈或上述内圈转动，同时使用定位用XY台使上述外圈或上述内圈在轴方向移动，由此来进行利用上述气溶胶沉积法的陶瓷覆膜的形成。

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