CN101393123B - 用于检测靶物质的分析装置、分析方法、或其中使用的器件 - Google Patents

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    • G01N21/6428—Measuring fluorescence of fluorescent products of reactions or of fluorochrome labelled reactive substances, e.g. measuring quenching effects, using measuring "optrodes"

Abstract

本发明提供用于检测靶物质的分析装置、分析方法和用于这些分析装置及分析方法的器件。本发明的目的涉及以高对比度来检测靶物质。本发明涉及在使用透光性的基板和引起等离子体共振的金属的靶物质分析中，设计与基板形成界面、折射率比基板低且存在开口部的低折射率层。为了在界面进行全反射，并且对配置于开口部的金属照射瞬逝光，而从基材侧照射光。然后，对通过所述瞬逝光的等离子体共振而从所述靶物质生成的光进行检测。通过本发明，可以降低瞬逝光对靶物质以外的照射，可以降低来自靶物质以外的物质，例如来自在靶物质周围浮游的分子所发出的光。

Description

用于检测靶物质的分析装置、分析方法、或其中使用的器件
技术领域
本发明涉及通过瞬逝光来检测靶物质的技术。涉及例如对多个DNA或蛋白质通过瞬逝光来检测的技术。
背景技术
作为检测DNA或蛋白质等靶物质的方法，广泛使用的方法为：对靶物质实施荧光标记，照射期望的激光等激发光，并检测产生的荧光的方法。作为以高对比度检测荧光的方式，有将由全反射所产生的瞬逝光作为激发光的检测方法。在这种方式中，利用从石英玻璃的背面入射的激光，在石英玻璃表面和溶液层的界面产生瞬逝光，将该瞬逝光作为激发光，来检测石英玻璃表面的标记物质。通常，瞬逝光的强度随着从折射率境界平面的离开而呈指数函数衰减，在距折射率边界平面150nm左右的距离为1/e。因而，将瞬逝光作为激发光的荧光检测，能够大幅降低来自作为检测对象的靶物质以外的荧光发光所造成的影响，结果，可以高对比度地进行荧光检测。
在P.N.A.S2003，Vol.100，pp.3960-3964.(非专利文献1)中，使用上述方法来检测DNA的延伸方法。具体来讲，最初，对石英玻璃供给用Cy3分子标记的引物，所述石英玻璃上单一的DNA分子通过生物素-亲和素的蛋白质结合而被固定。利用通过供给的引物和靶DNA分子的杂交而得到的荧光强度，来确认靶DNA的位置信息。然后，进行引物分子的延伸反应，通过在延伸反应中被组入的dNTP分子所产生的荧光、以及所述的位置信息，来特异性地检测延伸反应。
在Anal.Chem.2003，75，6629-6633.(非专利文献2)中，尝试利用在石英玻璃上导入银薄膜所产生的等离子共振，来以更高的灵敏度进行荧光检测。所说的等离子共振，是局部存在的金属中的自由电子和入射光的振动电场相耦合而共振的现象，通过由共振所产生的电场增强而产生激发光和荧光的增强，结果，可以期待能进行更高灵敏度的荧光检测。作为这样的在可见光区域能得到强共振的金属，已知有金和银等。
另一方面，在美国专利第6917726号(专利文献1)中，在期待起到光屏蔽效果的铝薄膜上存在比激发光波长小很多的开口部，利用由该开口部所产生的近场光来检测靶物质。
专利文献1：美国专利第6917726号
非专利文献1：P.N.A.S.2003，Vol.100，pp.3960-3964.
非专利文献2：Anal.Chem.2003，75，6629-6633.
非专利文献3：PNAS2005，Vol.102，pp.5932-5937
非专利文献4：P.N.A.S.2008，Vol.105，pp.1176-1181
发明内容
发明要解决的问题
但是，在非专利文献1的技术中，为了识别靶物质的测定位置而需要烦杂的液体更换操作，同时，由存在于靶物质附近的浮游分子所发出的荧光也成为噪声。上述噪声不仅引起靶物质的测定位置的误认，而且在用于识别测定位置的荧光标记引物存在于附近的情形中，需要从评价对象中删除这些测定位置，因此结果是不能一次测定多个不同的靶物质。
同样地，在非专利文献2的技术中，也存在靶物质附近的浮游分子所产生的噪声高的问题。
另一方面，在专利文献1中，为了降低所述噪声，在开口部以外配置可起到屏蔽效果的铝。但是，由于石英玻璃和铝界面的反射率不是100％，所以产生从铝薄膜露出的光所引起的噪声。浮游分子的浓度越高，该噪声就越显著。
本发明的目的是以高对比度检测出靶物质。
解决问题的方法
本发明涉及在使用透光性的基板与引起等离子共振的金属的靶物质分析中，设计与基板形成界面、折射率比基板低且存在开口部的低折射率层。为了在界面上全反射，并且为了对配置于开口部的金属照射瞬逝光，而从基材侧照射光。并且，对通过瞬逝光的等离子共振而从靶物质生成的光进行检测。
发明效果
根据本发明，可以降低瞬逝光对靶物质以外的照射，可以降低由靶物质以外的物质，例如由在靶物质周围浮游的分子所发出的光。
附图说明
图1是对本发明的用于检测靶物质的器件的一个例子进行说明的图。
图2是对本发明的用于检测靶物质的器件的一个例子进行说明的图。
图3是对本发明的用于检测靶物质的器件的一个例子进行说明的图。
图4是对本发明的用于检测靶物质的器件的一个例子进行说明的图。
图5是对本发明的用于检测靶物质的器件的一个例子进行说明的图。
图6是对本发明的实施例1所示的器件的制造方法进行说明的图。
图7是用于说明本发明的实施例1所示的分析装置的图。
图8是用于说明本发明的实施例1所示的分析方法的图。
图9是用于说明本发明的实施例2所示的分析装置的图。
符号说明
101，201，301，401，501，601  基材
102，202，302，402，502，605  低折射率层
103，207，303，403，503，603  开口部
104，204，304，404，504，604  金属结构体
105，205，305，405，505，606  探针
106，206，306，406，506       靶物质
203，507                      粘接层
307，408                      保护层
407                           屏蔽层
602                           电子射线抗蚀剂
701                           盖板
702，911                      检测窗
703                           注入口
704                           排出口
705                           器件
706                           反应槽
707，708，901，903            YAG激光光源
709，710                      激光
711，905                      λ/4板
712，906，907，908            二色镜
713，909                      透镜
714，910，916                 棱镜
715，912                      物镜
716                           光学滤波器
717，917                      成像透镜
718                           二维CCD相机
801                           链霉亲和素
802                           单链模板DNA
803                           引物
804                           生物素
805                           dATP(3’-O-allyl-dATP-PC-R6G)
806                           热测序(Thermo Sequenase)聚合酶
807                           荧光体
808                           含钯的溶液
902                           Ar离子激光光源
904                           He-Ne激光光源
913                           带通滤波器
914，915                      陷波滤波器
918                           二维CCD
具体实施方式
以下，对上述和其他的本发明的新的特征和效果，参照附图进行说明。另外，附图是用于理解发明的，并不限定权利要求的范围。
实施例1
参照图1，对本实施例涉及的器件的合适方式进行详细说明。
本实施例的器件为同时一次性地检测出多个靶物质的器件，该器件包括透光性的基材和基材上的低折射率层，所述低折射率层由折射率比基材低的材料来构成，在低折射率层或低折射率层和包含其的基材上，存在多个开口部。通过在低折射率层的基材侧界面上全反射，能够完全屏蔽从开口部以外露出的光，所以，能够大幅降低靶物质以外的浮游的分子所发出的光。
另外，本实施例的器件为，在开口部内存在能引起等离子共振的金属，或者由含有该金属的多个材料所构成的结构体。通过由等离子共振所引起的激发光的增强，能够特异性地只提高靶物质所发出的光。
另外，本实施例的器件为，在低折射率层上存在折射率比形成低折射率层的材料高的高折射率层。由于可以在低折射率层和高折射率层的界面上反射由全反射生成的瞬逝光，因此，可以进一步大幅降低由开口部以外所产生的噪声。
另外，本实施例的器件为，在金属结构体上固定有用于检测靶物质的探针。通过在每个金属结构体上固定不同的探针，可以同时一次性地检测多个靶物质。
另外，本实施例的器件为，开口部的最大开口距离比在检测中使用的光的波长小。通过来自开口部的近场光所进行的检测，可以大幅降低来自靶物质以外的浮游分子的噪声。
另外，本实施例的器件为，开口部网格状地排列。由于靶物质之间的距离一定，因此可以方便地忽略由垃圾等产生的非特异性信号，同时，由于可以容易地确认出靶物质的位置信息，所以，可以一次性高通量地检测出多个靶分子。
另外，本实施例的检测方法是在器件的低折射率层的基材侧界面进行全反射。产生全反射的界面与接触溶液的界面之间的距离可以大幅降低瞬逝波的光强度。因而，可以大幅降低由靶物质以外的浮游分子所发出的光。
另外，本实施例的检测方法是对靶物质实施荧光标记进行荧光检测。荧光是广泛使用的标记手法，可以广泛使用已有的检测方法。
另外，本实施例的检测装置，具有：保持器件的设备；能够在器件上进行溶液更换的反应槽；对器件照射光的设备；从开口部检测光的设备。具有这些元件的装置，能够以高通量连续地检测含有靶物质的溶液。
在作为透光性基板的透光性的基材101中使用的材料，只要是可透过光的材料即可，并无特别限制。作为这样的材料，可以举出从塑料、无机高分子、金属、天然高分子和陶瓷中选出的一种或两种以上。作为塑料，具体来讲，可以例示聚乙烯、聚苯乙烯、聚碳酸酯、聚丙烯、聚酰胺、酚醛树脂、环氧树脂、聚羰二酰亚胺树脂、聚氯乙烯、聚偏氟乙烯、聚氟化乙烯、聚酰亚胺和丙烯酸类树脂等；作为无机高分子，可以例示玻璃、水晶、碳、硅胶和石墨；作为金属，可以例示金、铂、银、铜、铁、铝、磁石等常温固体金属；作为陶瓷，可以例示蓝宝石、氧化铝、二氧化硅、碳化硅、氮化硅和碳化硼等。但是，优选透光性优异、基材表面的平坦性高且容易保持平坦性的石英、水晶、BK-7或SF-2等各种光学玻璃、蓝宝石等。
低折射率层102是与基板形成界面、折射率比基板低、且存在开口部的低折射率层，用于低折射率层102的材料只要是折射率比构成基材的材料小的材料即可，并无特别限制。作为这样的材料，可以举出二氧化硅、氧化铝、氧化镓、氧化铪、或氧化镁等各种氧化物，氟化铝、氟化钙、氟化铈、氟化镧、氟化锂、氟化镁、氟化钕、氟化钐、或氟化镱等各种氟化物。另外，对低折射率层的厚度也没有特别限制，更优选至少能够形成均匀的膜的厚度，希望是比由激发光产生的瞬逝光的波长小的厚度，更具体地，优选为5～1000nm的范围。
微小开口部103是配置引起等离子共振的金属的开口部，如果最大开口部的开口距离比在检测中使用的光的波长小的话，则对其距离和形状就没有特别限制。
能够引起等离子共振的金属结构体(或金属)104，只要是包含在与探针或溶液的界面上产生等离子体的物质的结构体(或金属)，就没有特别限制。作为这样的结构体(或金属)，可以举出金、银、铜、铂等贵金属单质或，由这些元素构成的金属间化合物、合金等。另外，对大小和形状也没有特别限制，更优选瞬逝光或近场光容易到达的1000nm以下的大小。
探针105只要是与靶物质106相互作用的探针即可，并无特别限制。作为这样的探针，可以举出核酸、蛋白质、糖链、脂质和它们的复合体。更具体地，可以举出DNA、RNA、适体、基因、染色体、细胞膜、病毒、抗原、抗体、凝集素、半抗原、受体、酶、肽、鞘糖、鞘脂质等。
靶物质106只要是与探针105相互作用的物质即可，并无特别限制。作为这样的物质，可以举出核酸、蛋白质、糖链、脂质和它们的复合体，或能够通过化学反应或酶反应而构成这些分子的化合物。更具体地，可以举出用于DNA合成的三磷酸脱氧核苷、或用于RNA合成的三磷酸核苷等。另一方面，对用于标记的荧光分子，只要是发出荧光的分子即可，并无特别限制。
作为检测器件，除了图1所示的器件，还可以使用图2～图5所示的结构的器件。图2的203是提高基材201和金属结构体204的粘接力，以及提高基材201和低折射率层202的粘接力的物质。作为这样的物质，可以举出，铬、钽、钨、钒、钇、钴、钕、钛、镍和它们的合金、氮化物或氧化物等。
图3的307是为了抑制靶物质以外的非特异性吸附或防止低折射率层的溶解、或者防锈的保护层。作为这样的物质，可以举出二氧化硅或氮化硅等无机化合物、或硅烷化合物等有机化合物。图4的407是提高瞬逝光的屏蔽效果的层。作为这样的层，通常适宜的是折射率高、且与低折射率层有高粘接性的材料。作为这样的材料，可以举出铬、钽、钨、钒、钇、钴、钕、钛、镍和它们的合金、氮化物或氧化物等。
图5是金属结构体504不将开口部503内全都占满的例子。通常，来自开口部的近场光根据距开口部的距离，其光强度衰减。因而，图5所示的检测器件，由于开口部底面至探针的距离小，所以可以期待更高的荧光强度。另外，作为提高由等离子共振所引起的增强效果的方法，有在金属结构体504上层叠细微的金粒子的方法。具体地，将上述器件在350℃下退火3小时后，通过自组装将氨基乙硫醇单分子膜堆积在金结构体表面上，将其浸于金胶态悬浊液中来堆积金纳米粒子。
<器件>
关于在本实施例中使用的用于检测靶物质的器件的制作顺序，参照图6来进行说明。作为基材601，使用厚度0.5mm的3英寸的蓝宝石晶片。用旋涂机在基材上涂覆正型的电子射线抗蚀剂(ZEP520)602。然后，使用电子射线描绘装置，在1mm见方的区域上曝光电子射线后，进行显影，以1μm间距设置多个开口部(
Figure G2008101491645D0007133954QIETU
：100nm)603。进一步，采用溅射装置溅射金(厚度：100nm)后，通过剥离工艺(lift-off)来制作出金结构体604。然后，溅射二氧化硅(厚度：200nm)之后，通过使用SF6气体的RIE(Reactive Ion Etching：反应离子蚀刻)对二氧化硅进行各向异性蚀刻，制作出具有低折射率层605的器件。最后，对得到的器件，利用丙酮、异丙醇和超纯水进行超声波洗涤。对得到的器件用6-氨基-1-己硫醇溶液和生物素化琥珀酰亚胺酯溶液进行处理，在金结构体604的表面上导入探针(生物素)606。
<分析装置和分析方法>
另外，参照图7，对使用器件的分析装置和分析方法进行说明。
反应室是能将含有靶物质的溶液保持在低折射率层侧的室，在反应室中设置前述器件705。反应室由盖板701、检测窗702、作为溶液交换用口的注入口703和排出口704构成。作为盖板701和检测窗702的材质，使用PDMS(Polydimethylsiloxane：聚二甲基硅氧烷)。另外，检测窗702的厚度为0.17mm。
对于从基材侧照射光的光源即YAG激光光源(波长532nm，输出功率20mW)707和YAG激光光源(波长355nm，输出功率20mW)708所振荡的激光709和710，利用λ/4板711仅将激光709制成圆偏振光，通过二色镜712(反射410nm以下的光)，将所述两个激光调节成同轴，然后通过透镜713进行聚光，之后，通过棱镜714对器件705以临界角以上进行照射。通过激光照射，激发存在于器件705表面上的荧光体，其荧光的一部分通过检测窗702射出。就是说，从光源照射光，使得在基材和低折射率层的界面上进行全反射，并且，对引起等离子体共振的金属照射瞬逝光。
另外，从检测窗702射出的荧光，被物镜715(×60，NA1.35，移动距离0.15mm)调节成平行光，通过光学滤波器716来屏蔽背景光和激发光，通过成像透镜717在二维CCD照相机718上成像。就是说，检测器对通过瞬逝光的等离子共振而从靶物质产生的光进行检测。
以下，参照图8对阶段性延伸反应的工序进行说明。反应工序按照非专利文献1和非专利文献3来进行。将加入链霉亲和素的缓冲液从注入口703导入反应槽706，使链霉亲和素801与器件705的金结构体604上的生物素606相结合，形成生物素-亲和素复合体(图8(a))。单链模板DNA802是生物素修饰的靶，使引物803与单链DNA802杂交，将加入有所述模板DNA-引物复合体和远远过量的生物素804的缓冲液导入流路703，通过生物素-亲和素结合，固定单分子的所述模板DNA-引物复合体(图8(b))。固定反应后，用洗涤用缓冲液清脱多余的模板DNA-引物复合体和生物素。接着，将加入有用荧光体R6G标记的用烯丙基修饰3’末端的dATP(3’-O-allyl-dATP-PC-R6G)805和热测序聚合酶806的热测序反应(Thermo Sequenase Reaction)缓冲液从注入口703导入反应槽706，进行延伸反应。此时，引物803的3’末端的碱基的下一个位置的互补位置上的单链模板DNA802的序列上的碱基是T时，所述dATP805通过聚合酶延伸反应被组入所述模板DNA-引物复合体中。另外，由于dATP的3’末端被烯丙基修饰，因此，在所述模板DNA-引物复合体中不会组入1个以上的碱基。延伸反应后，用洗涤用缓冲液从反应槽706洗去未反应的dATP805和聚合酶806，将从YAG激光器光源707振荡的激光709照射向芯片，进行荧光检测(图8(d))。此时，通过规定位置的荧光的有无，来判断dATP是否被组入DNA-引物复合体中。接着，将从YAG激光器光源708振荡的激光710照射向芯片，通过光切将组入所述复合体的dATP805上标记的荧光体807去除(图8(e))。接着，将含有钯的溶液808导入反应槽706内，通过钯催化反应，将组入所述复合体的dATP的3’末端的丙烯基转变为羟基(图8(f))。通过将3’末端的烯丙基转变为羟基，使所述模板DNA-引物复合体能再次进行延伸反应。所述催化反应后，用洗涤用缓冲液洗涤反应槽706。以各dNTP，就是A→C→G→T→A→的顺序，重复图8(c)至所述洗涤的工艺，从而确定固定的单链模板DNA802的序列。在本系统中，能同时计测多个来自金结构体604的荧光，因此，能同时确定被多个不同的模板DNA-引物复合体所组入的dNTP的碱基种类，也就是说，能同时确定多个模板DNA的序列。另外，如果使用本实施例的器件，可以特异性地只提高来自靶物质的荧光，该荧光是通过金所产生的等离子体共振导致的激发光的增强引起的，同时，能够降低来自非特异性吸附于低折射率层605上的荧光分子的噪声。这样，根据本实施例，可以以高对比度一次性检测出多个靶物质。
实施例2
图9例示第2实施例。在本实施例中，通过使用4种荧光体的阶段延伸反应，来进行DNA测序。以下，对与实施例1主要的不同点进行说明。
芯片的构成与图6相同，室的构成与图7相同。
对于YAG激光器光源(波长355nm，输出功率20mW)901、Ar离子激光器光源(波长488nm，输出功率20mW)902、YAG激光器光源(波长532nm，输出功率20mW)903、He-Ne激光器光源(波长594nm，输出功率20mW)904各自振荡的激光，将除了YAG激光器光源901发出的激光以外的激光，通过λ/4板905获得圆偏振光，利用二色镜906(反射555nm以下的光)、907(反射520nm以下的光)、908(反射410nm以下的光)，将全部的激光的光轴调节为同轴，由透镜909进行聚光，通过棱镜910从芯片的下方以临界角以上来入射。
通过激光照射而得到的荧光，通过检测窗911向室部外射出。然后，射出的荧光通过物镜(×60，NA1.35，移动距离0.15mm)912调节成平行光，通过带通滤波器913(透过520nm至650nm的光)、陷波滤波器914(过滤中心波长532nm，半值宽度14nm)以及陷波滤波器915(过滤中心波长594nm，半值宽度22nm)，来屏蔽掉不需要的激发光和背景荧光，通过棱镜916进行波长分散后，利用成像透镜917在二维CCD照相机918上成像。
阶段延伸反应的工序中，除了使用由各不相同的4种荧光体标记的用烯丙基修饰3’末端的4种dNTP(3’-O-allyl-dGTP-PC-Bodipy-FL-510，3’-O-allyl-dTTP-PC-R6G，3’-O-allyl-dATP-PC-ROX，3’-O-allyl-dCTP-PC-Bodipy-650)一次性地进行延伸反应之外，基本上与实施例1相同。此时，与实施例1同样地，通过对组入模板DNA-引物复合体的dNTP上标记的荧光体的荧光波长进行鉴定，可以确定所述dNTP的碱基种类。在实施例1中，为了确定多个模板DNA的一个碱基，对“将dNTP和聚合酶导入流路→延伸反应→洗涤→荧光检测→荧光剪切→3’末端的羟基化→洗涤”这一系列的工序用4种dNTP来进行，就是说需要进行4次。像本系统这样，通过在检测部内使用分光元件，可以将4种dNTP同时流入反应槽内来进行延伸反应，所以，为了确定多个模板DNA的一个碱基而需要的所述一系列的工序的次数只要一次就够了。因此，本实施例的DNA测序所需要的时间可以比实施例1缩短1/4左右。
实施例3
在本实施例中，通过连续的延伸反应进行DNA测序。所说的连续的延伸反应是在延伸一个碱基后，不进行液体交换，而连续地进行延伸反应的反应方式。以下，对与实施例1的主要不同点进行说明。另外，关于连续延伸反应，可以参考在本说明书作为参考文献被组入的P.N.A.S.2008，Vol.105，pp.1176-1181。
芯片的构成是，不导入探针(生物素)606而进行以下处理。最初，将器件在3％氨基丙基三甲氧基硅烷的甲醇溶液中浸渍5分钟，在180℃烘焙2小时，在SiO2上导入氨基。进一步，将基板在4mM的PEG-NHS ester disufide溶液(pH8.0，100mM四乙基氢氧化铵)中浸渍1小时，在SiO2上导入PEG的封闭层。然后，将基板在10mM的11-氨基-1-十一硫醇的乙醇溶液中浸渍，在金表面上导入氨基。另一方面，室的构成与图7相同。
以下，说明连续的延伸反应的工序。向DNA聚合酶中混合杂交了引物的DNA之后，对溶液进行冰浴。将溶液从注入口703导入反应槽706中，使DNA聚合酶和DNA复合体吸附于氨基化的金表面上。吸附后，用洗涤用缓冲液洗脱多余的DNA聚合酶和DNA复合体。接着，将含有用荧光体R6G标记的dATP、dGTP、dCTP、dTTP的溶液导入反应槽706后，使反应槽706为室温，开始进行延伸反应。对在延伸反应中被组入的用R6G标记的dATP的荧光分子进行计测。在本实施例中，只对dATP进行荧光计测，也可以用不同的色素对dATP、dGTP、dCTP、dTTP进行标签化，进行荧光计测，从而不用进行液体交换就能够确定碱基序列。根据本发明的分析装置，可以降低来自浮游的未反应基质的发光，因此，可以以高对比度测定作为靶物质的荧光分子。

Claims (16)

1.一种用于分析靶物质的分析装置，其特征在于，包含：
透光性的基板；
与所述基板形成界面、折射率比所述基板低且存在开口部的低折射率层；
配置于所述开口部的、引起等离子体共振的金属；
能够将含有靶物质的溶液保持在低折射率层侧的室；
为了在所述界面进行全反射并且对所述金属照射瞬逝光，而从基材侧照射光的光源；
对通过所述瞬逝光的等离子体共振而从所述靶物质生成的光进行检测的检测器；
其中，在每个所述金属上固定有不同的探针，开口部底面至探针的距离小于低折射率层的厚度。
2.根据权利要求1所述的分析装置，其中，所述开口部内配置有由含有引起等离子体共振的金属的多种材料所构成的结构体。
3.根据权利要求1所述的分析装置，其中，在所述低折射率层上，存在折射率比形成低折射率层的材料高的高折射率层。
4.根据权利要求2所述的分析装置，其中，在所述结构体上，固定有用于检测靶物质的探针。
5.根据权利要求1所述的分析装置，其中，所述开口部的最大开口距离比用于检测的光的波长小。
6.根据权利要求1所述的分析装置，其中，多个开口部网格状地排列。
7.根据权利要求1所述的分析装置，其中，所述靶物质施加荧光标记，对所述靶物质进行荧光检测。
8.一种用于分析靶物质的分析方法，其特征在于：
准备检测器件，该检测器件含有：透光性的基板，与所述基板形成界面、折射率比所述基板低且存在开口部的低折射率层，配置于所述开口部的、引起等离子体共振的金属，其中，在每个所述金属上固定有不同的探针，开口部底面至探针的距离小于低折射率层的厚度；
将含有靶物质的液体保持于所述检测器件中；
为了在所述界面进行全反射并且对所述金属照射瞬逝光，而从基材侧照射光；
对通过所述瞬逝光的等离子体共振而从所述靶物质产生的光进行检测。
9.根据权利要求8所述的分析方法，其中，在所述开口部内配置有由含有引起等离子体共振的金属的多种材料所构成的结构体。
10.根据权利要求8所述的分析方法，其中，在所述低折射率层上，存在折射率比形成低折射率层的材料高的高折射率层。
11.根据权利要求9所述的分析方法，其中，在所述结构体上固定有用于检测靶物质的探针。
12.根据权利要求8所述的分析方法，其中，所述开口部的最大开口距离比用于检测的光的波长小。
13.根据权利要求8所述的分析方法，其中，多个开口部网格状地排列。
14.根据权利要求8所述的分析方法，其中，在所述靶物质上实施荧光标记，对所述靶物质进行荧光检测。
15.一种用于权利要求1所述的分析装置的器件，其特征在于，包含：透光性的基板；与所述基板形成界面、折射率比所述基板低且存在开口部的低折射率层；配置于所述开口部的、引起等离子体共振的金属，其中，在每个所述金属上固定有不同的探针，开口部底面至探针的距离小于低折射率层的厚度。
16.一种用于权利要求8所述的分析方法的器件，其特征在于，包含：透光性的基板；与所述基板形成界面、折射率比所述基板低且存在开口部的低折射率层；配置于所述开口部的、引起等离子体共振的金属，其中，在每个所述金属上固定有不同的探针，开口部底面至探针的距离小于低折射率层的厚度。
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