CN101373285B - Acf粘贴装置以及平板显示器的制造装置 - Google Patents

Abstract

本发明的目的是，进行ACF的分割粘贴、只对需要重新粘贴的ACF自动地进行重新粘贴作业。本发明的ACF粘贴装置，具有ACF粘贴装置(10U)、检查装置(60U)、剥离装置(70U)和控制装置(80U)。ACF粘贴装置对基板(2)上的每个电极群5分别地粘贴ACF(9)。检查装置检查由ACF粘贴装置(10U)分别地粘贴在基板(2)上的ACF的粘贴状态。剥离装置(70U)把粘贴在基板(2)上的ACF从基板(2)上剥离下来。控制装置(80U)，控制检查装置(60U)，使其检测出粘贴在上述基板上的ACF中的、粘贴状态不好且需要重新粘贴的ACF；控制剥离装置(70U)，使其把检测出的ACF剥离下来；控制ACF粘贴装置(10U)，使其在剥离下来的ACF的位置重新粘贴ACF。

Description

ACF粘贴装置以及平板显示器的制造装置

技术领域

本发明涉及为了把驱动电路等的半导体电路元件搭载在基板上而将ACF(Anisotropic Conductive Film)粘贴到该基板上的ACF粘贴装置、包含该ACF粘贴装置的平板显示器的制造装置以及用该平板显示器的制造装置制造的平板显示器。 

背景技术

液晶显示器是平板显示器的一种。液晶显示器，是将液晶封入由上下2片透明基板构成的液晶面板之间而形成的。在液晶面板上，通过驱动电路连接着印刷电路基板，驱动电路的里侧的电极与液晶面板连接，外侧的电极与印刷电路基板连接。驱动电路的安装方式，代表性的有TAB(Tape Automated Bonding)方式和COG(Chip on Glass)方式，无论哪种方式，都是在液晶面板表面的至少2边形成配线图案，该配线图案中的电极与驱动电路的电极电气连接。 

ACF用于驱动电路与液晶面板基板之间的电连接、以及驱动电路与印刷电路基板之间的电连接。ACF，是把微小的导电粒子均匀地分散在具有粘接性的粘合树脂中而形成的。通过对该ACF进行热压接，电极间通过导电粒子电气连接。然后，通过加热使粘合树脂硬化，将驱动电路固定在液晶面板、印刷电路基板上。 

在用TAB方式将驱动电路搭载在液晶面板上时，把ACF粘贴在液晶面板的基板中的设置了配线图案的部位，把作为驱动电路的TCP(Tape Carrier Package)用TAB方式装在基板上。由于ACF是粘接物质，所以，通过剥离层叠置在硬纸带上，这样，构成了ACF带。因此，在把ACF带按压在基板上的状态下，只剥离掉硬纸带，就可把ACF粘贴到基板上。 

在把ACF粘贴到基板上时，ACF不一定总能被粘贴到准确的位置。通常，先进行临时压接，在安装了驱动电路后进行正式压接，即，在加热的状态下加压接合、使粘合树脂热硬化。因此，在ACF和基板的临时压接状态下，最好检查ACF是否被粘贴在了恰当位置。 

专利文献1揭示了检查ACF的粘贴状态的技术。在专利文献1中，把胶带部件粘贴在恰当位置的电极部的摄像图案、与胶带部件粘贴前的电极部的摄像图案的差，作为基准图案存储起来，得到新粘贴了胶带部件的基板的摄像图案与胶带部件粘贴前的电极部的摄像图案的差，将该差的图案与基准图案进行比较，根据图案比较，算出匹配率，进行合格品和不合格品的判断。 

专利文献1：日本特开2003-142900号公报 

在把ACF粘贴到基板上时，如专利文献1所揭示的那样，有两种形式，一种形式是沿基板的一边的全长连续地粘贴，称为全部粘贴；另一种形式是对每个电极组分别地粘贴ACF，称为分割粘贴。形成在基板上的微小间距的电极，在每个驱动电路中，作为规定数的电极群而形成一个组。在各电极群与相邻的电极群之间，形成了空白区域。在空白区域不需要粘贴ACF，所以，采用在不必要的空白区域不粘贴ACF的分割粘贴，可以防止材料的浪费，另外，也可以避免因构成ACF的粘合性树脂和导电粒子在空白区域露出而引起的、安装了驱动电路后的处理、加工等产生的问题。 

无论是全部粘贴还是分割粘贴，进行了ACF粘贴状态检查的结果是，在进行了ACF粘贴状态的检查后，如果粘贴状态不好，则必须将ACF剥离掉，重新粘贴。但是，在全部粘贴时，由于是沿着基板的全长的一片长的ACF，所以，即使是该ACF中的极小部分的部位的粘贴状态不好，也必须将整片的长ACF剥离掉。这时，为了将沿基板全长的ACF剥离掉，必须要有复杂的机构，另外，只因为极小部分的部位的粘贴状态不好，就必须将沿基板全长的整个ACF剥离掉，造成了ACF的材料浪费。另一方面，在分割粘贴时，由于其长度比全部粘贴时的ACF短很多，所以，剥离用的机构也不太复杂，另外，因为只剥离掉需要剥离的ACF，所以，可以抑制ACF材料的浪费。

在检查出需要重新粘贴的ACF时，要把液晶面板从生产线中暂时排出，进行ACF的重新粘贴作业，然后，再返回生产线。这些作业由操作者进行，所以，必须有操作者的参与。由于各作业由操作者进行，所以，整体上作业效率降低。 

发明内容

为此，本发明的目的是，进行ACF的分割粘贴，只对需要重新粘贴的ACF自动地进行重新粘贴作业。 

本发明技术方案1的ACF粘贴装置，其特征在于，具有ACF粘贴机构、检查机构、剥离机构和控制机构；上述ACF粘贴机构，对形成有多个电极群的基板上的每个电极群分别地粘贴ACF，所述电极群以多个电极作为一群；上述检查机构，检查由上述ACF粘贴机构分别地粘贴在上述基板上的ACF的粘贴状态；上述剥离机构，把粘贴在上述基板上的ACF从上述基板上剥离下来；上述控制机构，控制上述检查机构，使其检测出粘贴在上述基板上的ACF中的、粘贴状态不好且需要重新粘贴的ACF；控制上述剥离机构，使其将检测出的ACF剥离掉；控制上述ACF粘贴机构，使其在剥离了的ACF的位置，重新粘贴ACF。 

根据技术方案1的ACF粘贴装置，在进行分别地粘贴ACF的分割粘贴时，控制装置控制ACF粘贴机构、检查机构和剥离机构，可自动地检测出需要重新粘贴的ACF，自动地进行剥离和重新粘贴。因此，操作者不必参与，作业效率不降低。另外，由于进行分割粘贴，所以，机构不复杂化，并且，通过只对必要的ACF进行重新粘贴，可以避免把不需要重新粘贴的ACF剥离掉，可抑制材料的浪费。 

关于ACF对基板的粘贴不良的判断原则是，当ACF未被粘贴到基板上、或ACF从基板上翻卷时、浮起时等，可以判断为粘贴不良。在该粘贴不良中，在ACF未被粘贴到基板上的情况下，当然要重新粘贴。另外，在产生翻卷时，如果任其翻卷地进行正式压接，则将导致ACF的粘贴区域不足，或者ACF的厚度不均匀，所以，需要重新粘贴ACF。

在构成液晶面板的基板上，在每个电极群上设有使驱动电路对准位置的对准标记，在接近ACF的端部的位置，设有对准标记。因此，当该部位的ACF从基板上浮起时，可能会误检测对准标记，这样，驱动电路与液晶的相对位置关系会产生大的偏差。因此，当在ACF上产生的浮起在端部时、尤其是对准标记附近浮起时，必须要重新粘贴ACF。但是，在ACF的端部以外的部位即使产生了浮起，由于在将ACF临时压接在基板上后，还要进行正式压接，所以，在临时压接时，在ACF的端部以外的部位即使产生了浮起，由于之后要进行正式压接，所以，不必进行重新粘贴。 

因此，即使是粘贴状态不良时，也不必全部进行重新粘贴，只在需要重新粘贴的情况下进行重新粘贴作业，这样，提高了处理效率，可避免ACF的浪费、机构的复杂化等。 

本发明技术方案2的ACF粘贴装置，在技术方案1记载的ACF粘贴装置中，其特征在于，上述ACF粘贴机构，具有ACF带供给机构、半切断单元和压接机构；上述ACF带供给机构，把在硬纸带的剥离层上叠置着ACF的ACF带送出；上述半切断单元，把从上述ACF带供给机构送出的、叠置在上述硬纸带上的上述ACF，切断成粘贴到上述基板的各电极群上的长度；上述压接机构，把被上述半切断单元切断了的上述ACF，压接在上述基板的表面。 

采用技术方案2记载的ACF粘贴装置，可以分别地分割粘贴ACF。另外，在剥离了需要重新粘贴的ACF后，采用该ACF粘贴装置，可以分别地只对所需要的部位粘贴ACF。 

本发明技术方案3的ACF粘贴装置，在技术方案1记载的ACF粘贴装置中，其特征在于，根据上述ACF的端部是否离开上述基板、或者上述ACF的端部是否翻转，来判定上述ACF是否需要重新粘贴。 

根据技术方案3的ACF粘贴装置，在ACF的端部未离开基板时、或者未翻转时，该ACF不被检出，不进行ACF的重新粘贴。 

本发明技术方案4的ACF粘贴装置，在技术方案1记载的ACF粘贴装置中，其特征在于，上述检查机构，具有摄像机构和判定机构；

上述摄像机构，对粘贴在上述基板上的上述ACF的两端部分进行摄影；上述判定机构，把作为基准的ACF图像与上述摄像机构摄取的ACF图像进行图案匹配，以此判定粘贴状态。 

为了检查ACF的粘贴状态，可以采用技术方案4记载的检查机构。这时，预先把良好粘贴状态的ACF的图案作为基准图案存储起来，把由摄像机构摄取到的ACF的图案与作为基准的ACF图案进行图案匹配，这样可进行检查。在进行图案匹配时，即使两图案不完全一致，只要两图案的差在容许范围内，就可判断为不需要重新粘贴。 

这里，在各ACF中，不必摄取ACF的粘贴区域的全长的图案，只要摄取其两端部分即可。即，对于两端部分以外的中间部分，也可以不摄取图案。如前所述，判断为需要重新粘贴的情形是，在端部产生浮起、翻卷时的情形。所以，摄取的图案区域只要在ACF的两端部分即可，摄影机构不必对大范围摄影。因此，摄取的图案数据可以非常小，由此，可以高速地进行图案匹配时的图像处理，可提高处理效率。另外，由于摄取的图案数据非常小，所以，可以实施高精度的图像处理。 

本发明技术方案5的ACF粘贴装置，在技术方案1所述的ACF粘贴装置中，其特征在于，上述剥离机构，具有剥离带供给机构和加压机构；上述剥离带供给机构，送出对ACF的粘接性比对基板高的剥离带；上述加压机构将剥离带向粘贴在上述基板上的ACF加压，所述剥离带从上述剥离带供给机构送出。 

为了剥离需要重新粘贴的ACF，可采用技术方案5记载的剥离机构。由于ACF是靠粘接性粘贴在基板上，所以，采用粘接性比基板高的剥离带，可以将ACF剥离下来。为了剥离多个个ACF，设置了剥离带供给机构，可连续地送出剥离带，依次地剥离ACF。这时，在基板上的被剥离了ACF的部位，残存着一些粘合性树脂等，但是，由于之后要在该部位重新粘贴ACF，所以，残存一些树脂等也没有关系。另外，如果使技术方案5的剥离带中含浸例如IPA(异丙醇)等的溶剂，则能更加有效地剥离ACF。

本发明技术方案6的平板显示器的制造装置，其特征在于，具有技术方案1至5中任一项记载的ACF粘贴装置。另外，本发明技术方案7的平板显示器，其特征在于，是用技术方案6记载的平板显示器制造装置制造的。作为可采用上述ACF粘贴装置的一例的装置，例如有平板显示器的制造装置。 

发明效果 

在本发明中，在进行ACF的分割粘贴时，可自动地检测出需要重新粘贴的ACF，自动地进行重新粘贴。不需要操作者的参与，可自动地进行ACF的重新粘贴作业，能够提高作业效率，另外，由于进行分割粘贴，所以，可防止ACF的材料浪费。 

附图说明

图1是表示作为粘贴了ACF的基板的液晶元件、和装在该基板上的驱动电路的要部概略图。 

图2是ACF粘贴装置的概略构造图。 

图3是表示粘贴装置的外观构造的正视图。 

图4是图3的左侧视图。 

图5是水平移送辊的构造说明图。 

图6是图5的A-A剖视图。 

图7是切断单元的构造说明图。 

图8是表示半切断工序的说明图。 

图9是剥离装置的左侧视图。 

图10是说明粘贴装置和剥离装置的动作的俯视图。 

图11是表示ACF带下降状态的说明图。 

图12是表示压接头的下降状态的说明图。 

图13是表示压接块的提起状态的说明图。 

图14是硬纸带从ACF上剥离的动作说明图。 

图15是图14的B-B剖视图。 

图16是表示ACF的两端部分的检查的说明图。 

图17是表示将剥离带压下的状态的说明图。

图18是表示推压部件的下降状态的说明图。 

图19是表示推压部件和剥离带的提起状态的说明图。 

具体实施方式

下面，参照附图，说明本发明的最佳形态。图1表示液晶面板和驱动电路，该液晶面板构成作为平板显示器的一例的液晶显示器，该驱动电路作为通过ACF而安装的半导体电路的一例，是由用TAB方式装在基板上的TCP构成的。另外，基板不一定是构成液晶面板的结构，也可以是印刷电路板等。另外，安装在该基板上的并不限定于驱动电路，只要是通过ACF电气连接的电路均可。 

在图1中，液晶面板1具有玻璃基板等的下基板2和上基板3。下基板2具有至少在2边从上基板3伸出规定宽度的伸出部2a，在该伸出部2a上安装着多个个驱动电路4。驱动电路4，是把集成电路元件4b安装在薄膜基板4a上而构成的。 

在下基板2的伸出部2a上，形成有电极群5，该电极群5是由与TFT电路连接着的规定数的电极形成的。在电极群5的左右两侧，形成有对准标记6。在伸出部2a上形成有多个个电极群5，各电极群5在与相邻的电极群5之间，形成有具有规定宽度的空白区域。在驱动电路4上，形成有由与基板侧的电极群5电气连接的多个电极构成的电极群7，在电极群7的左右两侧，形成有对准标记8。以驱动电路4的对准标记8和伸出部2a的对准标记6为基准，电极群5和电极群7的各电极彼此对准位置而一致。 

驱动电路4通过ACF9搭载在液晶面板1上。众所周知，ACF9，是使多个微小导电粒子分散在具有粘接功能的粘合树脂中而构成的，在驱动电路4与液晶面板1之间将ACF9加热加压。这样，构成电极群5的各电极和构成电极群7的各电极，通过导电粒子电气导通，并且，借助粘合树脂的热硬化，将驱动电路4固接在液晶面板1上。这里，在设在下基板2的伸出部2a上的每个电极群5的位置，分割地粘贴长度L的ACF9。这样，可以不浪费地使用ACF9，粘贴的ACF9大致完全地被驱动电路4覆盖。

图2表示本发明的ACF粘贴装置的概略构造。ACF粘贴装置的大致结构，主要具有作为ACF粘贴机构的粘贴装置10U、作为检查机构的检查装置60U、作为剥离机构的剥离装置70U、作为控制机构的控制装置80U。控制装置80U在图4中示出。 

下面参照图3和图4，说明粘贴装置10U。粘贴装置10U，具备支承部件10、供给滚筒11、硬纸带12、ACF带13、辊14～17、驱动用辊18、排出部19、摆动臂20和转动轴21而大致构成。支承部件10是安装着把ACF9往液晶面板1上粘贴的粘贴机构的支承部件，在支承部件10上，可装卸地安装着供给滚筒11。ACF9叠置在硬纸带12的剥离层上，构成了ACF带13，该ACF带13卷绕在供给滚筒11上。ACF带13，沿着由安装在支承部件10上的辊14～17构成的行走路径，被导引行走。驱动用辊18挟持着将ACF9粘贴到液晶面板1上后的硬纸带12，送入排出部19。 

辊14、15是供给ACF带13用的导辊，导辊15安装在摆动臂20上。摆动臂20以转动轴21为中心摆动。在转动轴21上，连接着由马达等构成的图未示驱动机构，在使摆动臂20朝箭头F方向摆动时，从供给滚筒11至少送出一次粘贴长度(长度L)的ACF带13，供给到辊14、15之间。结果，在输送ACF带13时作用的反力总保持一定，不会因供给滚筒11的卷绕量的差而引起对运送力的阻力变动。 

如图5和图6所示，辊16、17是水平导辊，将ACF带13在其行走路径中朝水平方向导引，并且规定ACF9往液晶面板1上一次粘贴的长度。水平导辊17规定ACF9的粘贴起始端位置，水平导辊16规定ACF9的粘贴终端位置，这样，ACF9的粘贴区域被设定。水平导辊16、17，在圆筒部16a、17a的两侧部，形成有锷部16b、17b，锷部16b、17b的、从圆筒部16a、17a突出的部位的高度，与ACF带13中的硬纸带12的厚度大致相同或稍大一点点。 

因此，在水平导辊16、17之间，ACF9被粘贴到液晶面板1上，与硬纸带12分离，在水平导辊17下游侧的位置，剥离了ACF9后的硬纸带12被回收。在由水平导辊16、17所划分的ACF9的粘贴区域 下游侧位置，设有驱动用辊18。驱动用辊18具有驱动辊18a和夹紧辊18b，硬纸带12被挟持在驱动辊18a与夹紧辊18b之间。通过将驱动辊18a驱动旋转，可以一段一段地送出(ピツチ送り)长度L的ACF带13。 

如图4所示，支承部件10安装在升降驱动部22上。升降驱动部22安装在前后驱动部23上。前后驱动部23安装在平行驱动部24上。借助这些机构，可以使ACF带13行走路径中的、被规定在水平导辊16与17之间的ACF9的粘贴区域，在水平面上向X轴方向(与被粘贴ACF9的电极群5的排列方向直交的方向)和Y轴方向(电极群5的排列方向)移动。另外，液晶面板1载置在固定台25上，用真空吸附等手段固定地保持着。在此，前后驱动部23使粘贴区域朝着接近·离开液晶面板1的方向移动。平行驱动部24在液晶面板1中，使粘贴区域在与被粘贴ACF9的电极群5的排列方向平行的方向、即X轴方向移动。 

升降驱动部22具有倾斜块30、和使该倾斜块30朝前后方向移动的气缸31。在支承部件10上，连接着与倾斜块30的倾斜面卡合的滑动部件32。滑动部件32具有与倾斜块30一致的倾斜面，借助限制部件33，除了上下方向以外都不能变位。因此，在驱动气缸31时，支承部件10在上下方向变位。也可以用马达代替气缸31。 

前后驱动部23，使安装着倾斜块30的台座34前后移动。台座34的往复移动是由气缸、马达等构成的驱动机构35进行的。台座34及其驱动机构35安装在运送机构36上。运送机构36，借助图未示的马达等的驱动，将构成滚珠丝杠输送机构的滚珠丝杠37驱动旋转，这样，可以使整个粘贴装置10U与液晶面板1中的电极群5的排列方向平行地移动。另外，在固定台25上，也可以设置在前工序与后工序之间进行交接液晶面板1的动作等的XY方向移动机构、水平旋转方向的位置调整部、倾斜方向的调整部等。 

在安装在支承部件10上的ACF带13的行走路径中，如图7和图8所示，在水平导辊16的位置的稍下游侧的位置，设有作为半切断单 元的切断装置40，切断装置40可在前后方向移动地安装在支承部件10的表面上。切断装置40具有切刀41和切刀支承件42，切刀41如图中箭头所示，能以轴43为中心朝着接近·离开切刀支承件42的方向转动。借助常时地作用于切刀41的弹簧44的弹力，保持着离开切刀支承件42的状态。在设在气缸45上的推动辊46将切刀41朝着抵抗弹簧44的方向推动时，切刀朝着接近切刀支承件42的方向摆动变位。在切刀41最接近切刀支承件42的位置，在它们之间形成与ACF带13的硬纸带12的厚度相同或稍小的间隔。这样，可以只对ACF9进行半切断。 

为了将ACF9粘贴到下基板2的伸出部2a上，ACF带13在水平导辊16、17之间的位置，被压接头47从上部用规定的加压力按压。压接头47借助上下驱动机构48可升降地安装在支承部件10上，借助上下驱动机构48，相对于液晶面板1对ACF带13作用规定的加压力。另外，压接头47具备图未示的加热器等的加热机构，压接头47将ACF带13热压接在液晶面板1上。但加热的程度比较低，是使ACF9的粘合树脂软化的程度。压接头47的宽度尺寸能充分覆盖ACF带13的宽度，并且，其长度方向尺寸具有ACF9的粘贴长度。另外，设有支承台49，在压接头47将ACF带13压接到液晶面板1上时，该支承台49从下方支承液晶面板1的压接区域。 

如上所述，在支承部件10上，安装着构成ACF粘贴装置的粘贴机构，即供给滚筒11、从供给滚筒11供给的ACF带13的行走路径、构成半切断单元的切断装置40以及压接头47。 

下面，说明检查装置60U。如图2所示，检查装置60U主要备有照明光源61、摄像机62和判定装置63。照明光源61是向ACF9供给照明光的光源，摄像机62是摄制ACF9的粘贴状态的摄像机构。摄像机62虽然可以摄取ACF9的全体图案，但是，为了提高处理效率、进行高精度的图像处理，只摄取ACF9两端部分的图像。判定装置63预先存储着粘贴状态良好的ACF9两端部分的图像(基准图像)，把摄制的ACF9的图像与基准图像进行比较判断。另外，为了使检查装置 60U能与平行驱动部24的行走方向平行地移动，具有导引部件64和滚珠丝杠输送机构65。另外，在基准图像中，不仅包含ACF9的两端部分，最好也包含设在其近傍的对准标记6的图像。 

作为比较图像的方法之一，可采用图案匹配法。用图案匹配法比较二者的图像，在不超过规定的误差量时，可判断为ACF的粘贴状态良好，如果超过了，则可判断为需要重新粘贴。检查装置60U，如图2所示，可以与粘贴装置10U独立地动作，也可以一体地动作。 

下面，参照图2和图9说明剥离装置70U。剥离装置70U的大致结构，具有剥离带71、气缸72、推压部件73、带供给滚筒74、带回收滚筒75和驱动部76。剥离带71是适合于擦拭粘接剂的布制带，将擦拭面压接在ACF9上，借助ACF9所具有的粘接力的作用进行剥离。因此，剥离带71对ACF9的粘接力的亲和性，比下基板2高。气缸72是产生将推压部件73按压在ACF9上的加压力的气缸。推压部件73是推压剥离带71的部件。带供给滚筒74是供给剥离带71的供给滚筒。带回收滚筒75是回收剥离带71的回收滚筒。驱动部76是提供使带回收滚筒75驱动旋转的动力的驱动部。 

从带供给滚筒74可将剥离带71一段一段(每一段大致相当于图1中的长度L)地送出，在剥离带71剥离了1个ACF9并要剥离下一个ACF9时，从带供给滚筒74送出一段长度(1ピツチ分)的剥离带71。因此，驱动部76控制带回收滚筒75、使其卷绕一段长度的剥离带71，一段长度的剥离带71被送出。 

如前所述，粘贴装置10U旋转驱动滚珠丝杠37，由此，运送机构36移动，这样，整体可与电极群5的排列方向平行地移动。剥离装置70U也同样地，可朝着与粘贴装置10U相同的方向移动。所以，整个剥离装置70U可沿着滚珠丝杠37移动。这时，虽然也可以用分别独立的滚珠丝杠使剥离装置70U和粘贴装置10U移动，但是，为了避免装置、机构的复杂化，最好如图10所示那样，剥离装置70U和粘贴装置10U共用一个滚珠丝杠37。 

由于剥离装置70U和粘贴装置10U共用一个滚珠丝杠37，所以， 必须使它们的动作相互不干扰。为此，例如在剥离装置70U和粘贴装置10U上设置离合机构10C和70C。在粘贴装置10U动作、进行ACF9的粘贴时，预先使粘贴装置10U的离合机构10C处于动作状态，使剥离装置70U的离合机构70C处于解除状态。这样，只是粘贴装置10U移动，而剥离装置70U不移动。另一方面，在剥离装置70U动作、进行ACF9的剥离时，预先使剥离装置70U的离合机构70C处于动作状态，使粘贴装置10U的离合机构10C处于解除状态。这样，只是剥离装置70U移动，而粘贴装置10U不移动。采用这样的机构，可以避免粘贴装置10U与剥离装置70U的干扰。 

下面，说明控制装置80U。图4所示的控制装置80U，为了控制粘贴装置10U、检查装置60U和剥离装置70U，控制装置80U与粘贴装置10U、检查装置60U、剥离装置70U连接。控制装置80U为了进行各装置的控制，控制装置80U与各装置之间可进行双方向(或单方向)的信号的输入输出。 

下面，说明ACF9的粘贴、检查、剥离、重新粘贴各动作。先说明ACF9的粘贴动作。如图8所示，对ACF带13进行半切断。这时，通过升降驱动部22将支承部件10保持在上升位置，把半切断了的ACF9，配置在应粘贴到设置在固定台25上的液晶面板1中的电极群5上的位置。这样，在进行ACF带13的半切断时，半切断的位置是粘贴终端位置，粘贴了前一个ACF9的端部，是粘贴起始端位置。水平导辊17配置在粘贴起始端位置，水平导辊16配置在粘贴终端位置。从该状态开始使升降驱动部22动作，如图11所示，使支承部件10下降。在支承部件10的最下降位置，位于水平导辊16、17之间的ACF带13的ACF9的面，与液晶面板1的下基板2的伸出部2a以非接触状态仅经由一点点间隙相向。 

然后，如图12所示，使压接头47下降，将ACF带13压接在下基板上。在压接时，由上下驱动机构48设定的规定载荷，作用在ACF带13上，在从ACF带13中的粘贴起始端位置到终端位置之间，作用着均匀的加压力。在半切断的粘贴终端位置的基端侧，不作用压接头 47的加压力。这时，液晶面板1的下基板2的伸出部2a中的、至少粘贴ACF9的位置的下面，与支承台49相接。 

在ACF9被压接在下基板2上时，如图13所示，使压接头47上升，解除对ACF带13的加压力。ACF9虽然被粘贴到了下基板2上，但是在该ACF9上还叠置着硬纸带12。因此，为了防止在剥离硬纸带12时ACF9上浮，在压接结束并使压接头47离开ACF带13后，如图14和图15所示，使升降驱动部22动作、使支承部件10上升。这时，前后驱动部23也与升降驱动部22一起驱动，在ACF带13的宽度方向，以朝斜上方拉的方式动作，这样，硬纸带12以从ACF9上被撕开(擦り切られる)的方式剥离。这时，由于硬纸带12与ACF9紧贴而一体化，所以，在剥离时，ACF9的局部有时会产生上浮、翻卷等。 

如上所述，对下基板2的伸出部2a中的一个电极群5进行的ACF9的粘贴完成。将支承部件10保持在上升的位置，使驱动用辊18动作，从供给滚筒11抽出ACF带13，送出一段长度。然后，使平行驱动部24动作，使整个粘贴装置10U移动一段长度。该一段长度，如图1所示，是前后的ACF0的粘贴终端位置之间的间隔P。因此，借助平行驱动部24的动作，进行对下一个电极群5的ACF9的粘贴作业。而保持液晶面板1的固定台25不动。然后，反复进行与前述同样的动作，依次对电极群5进行ACF9的粘贴。 

在粘贴装置10U完成了全部的ACF9的粘贴动作时，使粘贴装置10U移动到滚珠丝杠37的终端位置，解除离合机构10C，停止粘贴装置10U的动作。 

每当1个ACF9的粘贴完成后、或者对数个部位、进而对全部电极群5的ACF9的分割粘贴完成后，检查ACF9的粘贴状态。在ACF9的粘贴作业完成时，粘贴装置10U将该旨意的信号输出给控制装置80U，控制装置80U在输入了该信号时，对检查装置60U输出检查ACF9的粘贴状态的命令。另外，也可以不是在ACF9的粘贴作业完成后进行粘贴状态的检查，而与粘贴作业重叠地进行粘贴状态的检查。 在前述那样的检查装置60U与粘贴装置10U一体地动作时，在粘贴作业完成后立即进行检查，所以，容易使2个作业重叠。 

检查装置60U根据控制装置80U的命令，开始检查ACF9的粘贴状态。摄像机62借助滚珠丝杠输送机构65，沿着导引部件64一段一段地移动，摄取各电极群5中的ACF9两端部分的图像。摄取的图像被输出到判定装置63，在判定装置63，与预先存储着的基准图像比较，判断粘贴状态是否良好。摄取的图像，如图16所示，由于只限定在ACF9的两端部分(限定于图中虚线部分)，所以图案的数据量少，也可高速地用图案匹配法进行图像处理，提高处理效率。另外，由于数据量少，所以也能高精度地进行图像处理。这时，是否良好的标准是，即使两图像不完全一致，只要两图像的差在一定范围内，就可判断为良好，不需要重新粘贴ACF9。另一方面，如果两图像的差超过了一定范围，则判断为ACF9的粘贴不良。 

有时在ACF9的两端以外的部分产生浮起，但如前所述，该部位产生的浮起，即使被判断为粘贴不良，也不需要重新粘贴。在此，摄像机62对ACF9的两端部分进行摄像，检测在该部分是否产生了浮起、翻卷，所以，即使在其它部分产生了浮起，也不判断为需要重新粘贴ACF9。这里，在ACF9部分地离开下基板2时，可判断为“浮起”，在ACF9的一部分翻转时，可判断为“翻卷”。 

与摄像机62的移动同时，对全部的电极群5进行ACF9的粘贴状态的检查。通过该检查，可以取得对各ACF9是否需要重新进行粘贴的信息，把该信息从检查装置60U的判定装置63输出给控制装置80U。这时，不仅将是否需要重新粘贴的信息输出给控制装置80U，各ACF9中的需要重新粘贴的ACF9的位置信息也要输出给控制装置80U。另外，控制装置80U也可以具有判定装置63，这时，把摄取的ACF9的图像依次输出给控制装置80U，在控制装置80U中的判定装置中，进行是否要重新粘贴的判定。 

接着，为了进行ACF9的重新粘贴作业，要把需要重新粘贴的ACF9剥离下来。为此，控制装置80U控制剥离装置70U，命令其剥 离粘贴状态不好的ACF9。这时，控制装置80U把需要重新粘贴的ACF9及其位置的信息，输出给剥离装置70U。剥离装置70U借助滚珠丝杠37的旋转驱动，移动到作为剥离对象的ACF9的位置。 

在此，为了使剥离装置70U移动，使剥离装置70U的离合机构70C成为动作状态。这时，粘贴装置10U在终端位置，离合机构10C被解除，所以不动作，粘贴装置10U和剥离装置70U不相互干扰。在该状态下，使剥离装置70U移动，如图17所示，使安装在气缸72前端的推压部件73下降。在推压部件73下降时，剥离带71也下降。然后，如图18所示，以将推压部件73完全按压在下基板2上的方式压接推压部件73，这样，剥离带71与作为剥离对象的ACF9完全紧贴。 

在该状态下，如图19所示，气缸72的动作使推压部件73上升，解除加压力。剥离带71也与推压部件73一起上升，因此，与剥离带71紧贴着的ACF9被从下基板2上剥离下来。这样，可以将作为剥离对象的ACF9剥离掉。 

然后，在剥离别的ACF9时，剥离装置70U移动到作为重新粘贴的对象的ACF9的位置，同样地，将剥离带71压接在ACF9上，将ACF9剥离掉。这时，为了剥离别的ACF9，由带供给滚筒74和带回收滚筒75运送带，用剥离带71上的新的部分剥离别的ACF9。 

在作为剥离对象的全部ACF9都被剥离掉了后，使剥离装置70U移动到与粘贴装置10U待机的终端位置相反侧的终端位置，在该位置解除离合机构70C，成为待机状态。这样，即使其后粘贴装置10U移动，也不与剥离装置70U干扰。 

在此，在通过剥离装置70U进行了ACF9的剥离的下基板2的部位，残存着一些粘接物等。该残存物本来应该去除干净，但是，由于在该部位要重新粘贴ACF9，所以，即使残存一些粘接物也没有关系。另外，在剥离装置70U进行ACF9的剥离时，由于ACF9是临时压接状态，所以，可容易地剥离ACF9。 

接着，在进行了剥离的ACF9的部位，粘贴新的ACF9。该粘贴作业由粘贴装置10U进行。为此，把表示“应剥离的ACF9已全部剥 离掉了”的旨意的信号，从剥离装置70U输出给控制装置80U，输入了该信号的控制装置80U控制粘贴装置10U，使粘贴装置10U重新粘贴作为重新粘贴对象的ACF9。这时，重新使离合机构10C成为动作状态，粘贴装置10U可以移动。粘贴装置10U按照控制装置80U的信号，移动到ACF9的粘贴位置。在上述的粘贴动作时，为了分割粘贴全部的ACFG9，粘贴装置10U是一段一段地移动，但是，在重新粘贴作业时，由于只在剥离的部位进行ACF9的粘贴作业，所以，粘贴装置10U由平行驱动部24直接送入粘贴对象部位。 

为此，控制装置80U，把特定作为重新粘贴对象的ACF9的信息(即剥离了的ACF9的信息)输出给粘贴装置10U的平行驱动部24，平行驱动部24根据该信息，使粘贴装置10U移动。然后，如前所述，供给ACF带13，进行ACF9的半切断，将切断了的ACF9压接在液晶面板1上。这样，可进行ACF9的重新粘贴。 

在全部的ACF9的重新粘贴完成后，粘贴装置10U再移动到终端位置，在该位置解除离合机构10C，成为待机状态。如上述地进行重新粘贴作业，对一个液晶面板1的作业全部完成。然后，在要进行下一个液晶面板1的处理时，再次使离合机构10C成为动作状态，一个部位一个部位地分割粘贴ACF9。 

上述的作业，全部由控制装置80U进行，不需要操作者的参与，可自动地特定需要重新粘贴的ACF9，并进行重新粘贴。

Claims (6)

1.一种ACF粘贴装置，其特征在于，具有ACF粘贴机构、检查机构、剥离机构和控制机构；

上述ACF粘贴机构，对形成有多个电极群的基板上的每个电极群分别地粘贴ACF，所述电极群以多个电极作为一群；

上述检查机构，检查由上述ACF粘贴机构分别地粘贴在上述基板上的ACF的粘贴状态；

上述剥离机构，把粘贴在上述基板上的ACF从上述基板上剥离下来；

上述控制机构，控制上述检查机构，使其检测出粘贴在上述基板上的ACF中的、粘贴状态不好且需要重新粘贴的ACF；控制上述剥离机构，使其将通过上述检查机构检测出的粘贴在上述基板上的ACF中的、粘贴状态不好且需要重新粘贴的ACF剥离掉；控制上述ACF粘贴机构，使其在剥离了的ACF的位置，重新粘贴ACF。

2.如权利要求1所述的ACF粘贴装置，其特征在于，上述ACF粘贴机构，具有ACF带供给机构、半切断单元和压接机构；

上述ACF带供给机构，把在硬纸带的剥离层上叠置着ACF的ACF带送出；

上述半切断单元，把从上述ACF带供给机构送出的、叠置在上述硬纸带上的上述ACF，切断成粘贴到上述基板的各电极群上的长度；

上述压接机构，把被上述半切断单元切断了的上述ACF，压接在上述基板的表面。

3.如权利要求1所述的ACF粘贴装置，其特征在于，根据上述ACF的端部是否离开上述基板、或者上述ACF的端部是否翻转，来判定上述ACF是否需要重新粘贴。

4.如权利要求1所述的ACF粘贴装置，其特征在于，上述检查机构，具有摄像机构和判定机构；

上述摄像机构，对粘贴在上述基板上的上述ACF的两端部分进行摄影；

上述判定机构，把作为基准的ACF图像与上述摄像机构摄取的ACF图像进行图案匹配，以此判定粘贴状态。

5.如权利要求1所述的ACF粘贴装置，其特征在于，上述剥离机构，具有剥离带供给机构和加压机构；

上述剥离带供给机构，送出对ACF的粘接性比对基板高的剥离带；

上述加压机构将剥离带向粘贴在上述基板上的ACF加压，所述剥离带从上述剥离带供给机构送出。

6.一种平板显示器的制造装置，其特征在于，具有权利要求1至5中任一项记载的ACF粘贴装置。

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