CN101351868A - 使用涂覆工艺雾化材料的方法 - Google Patents

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Abstract

一种雾化液体的方法，其包括提供喷雾器，所述喷雾器含有一端有出口的供液管道、在所述供液管道中的所述出口上游通入端口的供气管道和为所述雾化器赋予振动能的装置。在一个实施例中，所述供液管道和所述供气管道同轴相互替换。所述方法还包括使液体通过所述供液管道流到所述出口，同时使气体流过所述供气管道，并且为所述喷雾器赋予振动能，用以雾化从所述出口喷出的所述液体。在所述端口处导入气体而形成的液滴喷雾具有改善的尺寸特性。

Description

使用涂覆工艺雾化材料的方法
技术领域
本发明涉及液体材料的雾化，尤其是产生用于连续化学沉积工艺的蒸汽。
背景技术
化学或单体气相沉积技术已被有利地用于制备多种有用的产品。例如，已经通过将采用溅射技术制备的金属氧化物和采用气相沉积技术制备的聚合物交替的层施加到基底，制成有效的、耐湿的和抗氧化的阻透薄膜。这类薄膜的、耐湿的和抗氧化的66阻透特性以及柔韧性使其适用于多种应用，例如食品和药物的包装以及电子器件(诸如太阳能电池、OLED(有机发光二极管)器件和有机微电子器件)的保护膜。
众所周知，在利用单体气相沉积技术制造聚合物薄膜层的过程中，先向喷雾器供应可聚合单体，再使雾化的液滴穿过汽化室，然后将汽化的单体引导至目标表面上。随后将汽化的单体共聚化(例如，通过紫外线辐射)，用以形成具备有利特性的聚合材料薄层。
众所周知，在利用化学气相沉积技术制造无机薄膜层的过程中，先向喷雾器供应有机或有机金属前体，再使雾化的液滴穿过汽化室，然后将汽化的前体引向目标表面。在目标表面处，汽化的前体与其他气态或汽态材料发生反应(例如，利用热能或等离子)，用以形成具备有利特性的无机材料薄层。
众所周知，在利用喷雾涂覆技术制造聚合物或生物活性薄膜层的过程中，先向喷雾器供应聚合物或生物活性材料与(有机的或含水的)溶剂组成的溶液，然后将雾化的液滴直接引向目标表面，用以形成具备有利特性的聚合物或生物活性材料薄涂层。
发明内容
本公开涉及使液体雾化和汽化的装置和方法，以及由该雾化方法制成的制品。当与蒸汽涂覆工艺一同使用时，本发明所公开的方法可提供较小的液滴尺寸，提高液滴尺寸的一致性并增加液滴尺寸在时间上稳定性。和原先的方法比较，改善的液滴尺寸一致性和稳定性提高了汽化速率、蒸汽流量和涂层厚度的一致性。
超声喷雾器已被用于为各种应用提供液滴的细小喷雾。然而，超声喷雾器及其他传统类型的喷雾器无法获得较小的液滴尺寸、良好的液滴尺寸一致性和液滴尺寸在时间上的稳定性。
在一个实施例中，公开了一种雾化液体的方法，其中该方法包括：(1)提供喷雾器，其包括一端含有出口的供液管道、在出口的上游通入供液管道的通气管道和为出口赋予振动能的装置；(2)使液体通过供液管道流至出口，同时使气体流过供气管道；以及(3)为喷雾器赋予振动能，用以雾化从出口喷出的液体。在一个实施例中，供液管道和供气管道同轴相互替换。
在另一个实施例中，公开了一种涂覆基底的方法，其中该方法包括：(1)提供基底；(2)提供喷雾器，其包括一端含有出口的供液管道、在出口的上游通入供液管道的通气管道和为出口赋予振动能的装置；(3)使液体通过供液管道流至出口，同时使气体流过供气管道；以及(4)为喷雾器赋予振动能，用以雾化从出口喷到基底上的液体。
在另一个实施例中，公开了一种涂覆基底的方法，其中该方法包括：(1)提供基底；(2)提供喷雾器，其包括一端含有出口的供液管道、在出口的上游通入供液管道的通气管道和为出口赋予振动能的装置；(3)使液体通过供液管道流至出口，同时使气体流过供气管道；以及(4)从该装置为喷雾器赋予振动能，用以雾化从出口喷出的液体，蒸发液体形成蒸汽，并将蒸汽冷凝到基底上。
在又一个实施例中，公开了一种涂覆基底的方法，其中该方法包括：(1)提供基底；(2)提供喷雾器，其包括一端含有出口的供液管道、在出口的上游通入供液管道的通气管道和为出口赋予振动能的装置；(3)使液体通过供液管道流至出口，同时使气体流过供气管道；以及(4)从该装置为喷雾器赋予振动能，用以雾化从出口喷出的液体，蒸发液体形成蒸汽，并在活性气体存在的情况下使蒸汽和基底表面相接触。
(注：上述步骤的编号是为了清楚起见，并非旨在表示必须按照任何具体顺序执行上述步骤)。
附图说明
图1示出喷雾器的剖视图；
图2示出使用图1所示喷雾器的滚筒式工艺的示意图。
具体实施方式
现在参见图1，示出的是喷雾器38的剖视图。喷雾器38包含喷嘴主体55，喷嘴主体部分被容纳在外部外壳46中，并被图示为在一端通过液体传送管36与液体材料34的源相连。在另一端，喷雾器喷嘴本体55包含雾化表面60，进入喷雾器38的液体材料34从该雾化表面。
液体传送管36连接到供液管道50上，向喷雾器38供应液体材料，该供液管道位于喷雾器38的雾化表面60的中心，其一端于出口52处终止。供气管道54将气体从气体传送管42供应到喷雾器38。在出口52上游的端口56处，供气管道54通入供液管道50中。在一个实施例中，供气管道54通入供液管道50，占供液管道的孔的至少80％。在另一个实施例中，供气管道54通入供液管道，占供液管道的孔的80％以下。正如本领域中的技术人员所理解的那样，可使用多种构造实施该方法。
在另一个实施例中，供气管道54通入供液管道，占供液管道的孔的100％。在该实施例中，供液管道50和供气管道54同轴相互替换。液流和气流在端口56和出口52之间的喷雾器区域掺混后，从出口52喷出，并且从喷雾器38的雾化表面60雾化。
喷雾器38还包含为喷嘴主体55赋予振动能的装置58。赋予振动能的适用装置包括能够将电能转变为机械能或振动能的换能器。在一个实施例中，采用的是利用压电换能器将电能转变为机械能的超声喷雾器。换能器接收来自功率发生器的电气输入，并转换电能为相同频率的振动运动能。
邻近出52的雾化表面60的锥形头部会形成扩展开的喷雾模式64，使得这种类型的雾化装置非常适合那些要求在表面形成均匀的薄层覆盖的应用。在其他实施例中，雾化表面60可被构造为平坦或几乎平坦的表面，用以形成更狭窄的喷雾模式。在一些实施例中，冷却空气从冷却剂供给口62进入，并从冷却剂出口63排出，用于防止压电超声振子过热。示例性的压电超声喷雾器在美国专利No.4,337,896(Berger等人)中公开，该专利以引用方式并入本文。
本文所公开的可用于雾化工艺的适用材料包括单体、低聚物、树脂、蜡、有机化合物、有机金属化合物、生物活性材料以及它们的组合。这些材料可以在室温下是液体，或者在高温下是熔融的固体。在一个实施例中，采用本文所述的雾化方法沉积(甲基)丙烯酸酯单体。适用的(甲基)丙烯酸酯单体在以下专利中公开，这些专利以引用方式并入本文：5,440,446(Shaw等人)；5,725,909(Shaw等人)；6,231,939(Shaw等人)；6,420,003(Shaw等人)。
可用于雾化工艺的其他适用材料包括但不限于，环氧树脂、乙烯基醚、含氟聚合物、含苯乙烯的聚合物、乙炔、聚酰胺、丙烯酰胺、聚对二甲苯、蜡、含氟聚醚、聚胺、己二烯二苯硅烷、金属醇盐、烷基金属、硅氧烷、油、染料、蛋白质、肽、多肽、类脂物、碳水化合物、酶、核酸、多核苷酸、药物、药物代谢物、细胞、细胞材料和微生物，如以引用方式并入本文的以下美国专利所述：6,468,595(Mikhael等人)；6,660,339(Datta等人)；6,544,600(Affinito等人)；6,811,829(Affinito等人)；6,682,782(Jung等人)；6,656,537(Affinito等人)；6,475,571(Echigo等人)；6,284,050(Shi等人)；6,207,238和6,207,239(Affinito)；5,061,509(Naito等人)；6,045,864(Lyons等人)；2005/0089673(Fleming等人)；6,203,898(Kohler等人)；6,794,196(Fonash等人)；6,803,069(Patniak等人)；以及5,869,127(Zhong等人)。
多种活性气体和非活性气体可能适用于本文所述的雾化工艺。适用于该工艺的惰性气体包括氮气、氩气、氦气和氖气。在一个实施例中，使用的是氮气。氮也可用作CVD或等离子增强CVD的活性气体。在本文所公开的工艺中，也可使用其他的活性气体，诸如氧气、臭氧、一氧化二氮、氢气、硫化氢、四氟化碳、甲烷和氨气。
为了有利于雾化，雾化工艺中所使用的液体和气体材料也可以加热或冷却。液流或气流可以从低于室温的温度独立地加热或冷却到液体材料的降解温度以下和喷雾器的温度极限以下的任何温度。一些超声喷雾器的温度上限为约150℃。在一个实施例中，液流被加热到约50℃。在一个实施例中，气流被加热到约100℃。
本发明所公开的工艺通常在相对较低的气体流速下实施，例如，低于0.5升/分钟(500标准立方厘米/分钟(SCCM))。在一个实施例中，气体流速低于20SCCM。适于本文所公开的雾化工艺的液体流速范围为约0.01到约30毫升/分钟。在一个实施例中，液体流速为约0.1到约5毫升/分钟。
现在参见图2，其示出用于开发多层涂层的滚筒式工艺10，其中可以使用上述的喷雾器38。在工艺10中，基底12从第一滚筒14上退绕，通过惰轮18直接绕在工艺筒16上，并且通过惰轮22绕在第二滚筒20上。所述工艺可以在真空室24中(或者在大气压或更高压力下的可控气氛的室中)实施，该室中包含用于沉积金属氧化物或其他适用材料的各种工具，并且可以包括用于处理基底表面的等离子处理工位26和用于沉积金属层(例如金属氧化物)的金属溅射工位28和30。在室24中还有用于液体材料(例如上述的液体单体)气相沉积的工具。蒸汽发生器32包括通过液体传送管36与喷雾器38相连的液体单体分配器34，以及气体传送管42，气体通过它从气体分配器40传送给喷雾器38。
在雾化工艺中，由喷雾器38形成的液滴喷雾被引入汽化器43中，用以将单体完全转变为蒸汽。蒸汽从喷嘴44喷到基底12上，在基底上进行冷凝。当基底前进至与沿方向“D”转动的工艺筒16接触时，它可以前进到固化源21处，该固化源能够引发液体单体的聚合反应。适用的固化源21包括紫外线辐射源、热源、等离子源和电子束照射源。
在一个实施例中，工艺筒具有冷却剂循环，因而它可以被冷却，更好地促进液体蒸汽在基底12上冷凝。
本文所述的雾化工艺和涂覆工艺可在约0.1到约1500英尺/分钟(约0.05到约760厘米/秒)的线速度范围内实施。在一个实施例中，所述工艺实施的线速度为约1英尺/分钟(约0.5厘米/秒)到约400英尺/分钟(约200厘米/秒)。
所述工艺可以在真空状态下、大气压力下或高压下实施。在一个实施例中，所述工艺可以在约10-5托到约800托的压强下实施。在另一个实施例中，所述工艺在约10-4托到约2托的压强下实施。
适用于本文所公开的工艺的基底包括能够进行滚筒式加工的柔性材料，例如纸张、聚合材料以及它们的组合。尤其可用的聚合物基底包括各种聚烯烃(如聚丙烯(PP))、各种聚酯(如聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)、含芴聚酯(FPE))、聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)和其他聚合物，例如聚萘二甲酸乙二醇酯(PEN)、聚醚砜(PES)、聚酯碳酸酯(PC)、聚醚酰亚胺(PEI)、聚芳酯(PAR)和聚酰亚胺(PI)。其他可用的材料包括多环烯烃，例如以商品名ARTONTM(Japanese SyntheticRubber Co.(Tokyo，Japan))和AVATRELTM(B.F.Goodrich(Brecksville，Ohio))市售的多环烯烃。
在一些情况下，基底是离散的部件，而不是连续的薄膜卷。在涂覆过程中，离散的部件可以移动通过蒸汽源，或者是固定不动的。适用的基底包括硅晶片、电子器件或光学装置、玻璃、金属和塑性部件。
上述工艺可用于形成含有交联聚合物层的聚合物基底，该基底在和另外的层(例如，金属或金属氧化物层)组合时，限制气体(例如氧气和水蒸汽)的渗透。这样的阻透薄膜和制备这类阻透薄膜的工艺在以下的美国专利和专利公开中有所描述，这些专利和专利公开以引用方式并入本文：5,440,446(Shaw等人)；5,725,909(Shaw等人)；6,231,939(Shaw等人)；6,420,003(Shaw等人)；4,647,818(Ham)；4,696,719(Bischoff)；4,842,893(Yializis等人)；4,954,371(Yializis)；5,032,461(Shaw等人)；2002/0022156(Bright)，2004/0195967(Padiyath等人)，2004/0202708(Roehrig等人)，2005/0037218(Lottes等人)。
本文所公开的雾化工艺可以进一步用于化学气相沉积(CVD)工艺和等离子增强化学气相沉积(PECVD)工艺。在这些工艺中，雾化的前体材料在蒸汽发生器中以与上述方式类似的方式被蒸发。所述蒸汽发生器装配在真空室或可控气氛室中。被雾化的气体可以是惰性气体或活性气体。如果雾化气体是惰性的，当惰性气体和基底表面接触时，可以将单独的活性气体混入，并与该前体气体发生反应。来自灼热基底(CVD)或等离子源(PECVD)的热能可促进雾化的前体和活性气体之间的反应。前体材料通常是上述的有机金属化合物。所得的涂层通常是无机薄膜。在多个情况下，基底是离散的部件，而不是连续的薄膜卷。适用的基底包括硅晶片、电子或光学器件、玻璃、金属和塑性部件。
正如在CVD和PECVD领域中所熟知的，上述工艺可用于形成含有无机层的基底，所述无机层具有良好的电学、光学或阻透特性。另外的层可以被沉积构成电子器件或光学装置。
本文所公开的雾化工艺还可用于喷雾涂覆工艺，其中雾化液体被雾化，并且液滴引至基底以在表面上形成涂层。雾化气体通常是空气或惰性气体。正如喷雾涂覆领域中已知的，可使用另外的载气或使用静电来引导雾化薄雾的流动并使其成形。适用的涂覆材料包括单体、聚合物、颗粒、生物活性分子、溶剂、水以及它们的混合物。当溶剂或水在混合物中与其他涂层组分一起使用时，可在进行涂覆前将溶剂或水从液滴中蒸发，或是从涂层上蒸发。基底可以是材料的连续纤维网，这些材料包括塑料和金属薄膜、非织物、织物和其他纺织物，或者基底可以是离散的物体，包括硅晶片、玻璃、塑性部件、金属部件和陶瓷部件。
上述工艺可用于构成有具有良好电学特性或光学特性的结构。将涂层施加到多孔基底上时，该涂层能够提供过滤、阻染、去污、着色、阻燃、粘合、释放、研磨和机械强度等特性。
上述工艺还可用于构成具有生物活性的结构。可形成包含蛋白质、肽、核酸、多核苷酸、酶、药物和能键合生物分子的材料的层，所述层可用于制备诊断装置、微反应器、药物传送装置和具有特定生物功能的生物材料。
如上所述，本文所公开的雾化工艺可用于生产耐湿的和抗氧化的阻透薄膜，此类薄膜可用来制造多种产品，例如用作食品和药物的包装，以及用来保护对环境敏感的电子器件。暴露在环境的水分和氧气中会退化的电子器件通常采用玻璃罩住器件的方法防止外露。尤其是可用于阻透薄膜，所述阻透薄膜用本文所公开的工艺制造，包括保护显示器和标志器件，例如液晶显示器(LCD)、发光二极管(LED)、有机发光二极管(OLED)、发光聚合物(LEP)，电致变色的、电泳的墨水、无机的电致发光器件、磷光器件和类似产品。
其他可用的阻透薄膜应用包括，保护太阳能电池、光电器件、微电子器件、有机微电子器件(OMED)、纳米器件和纳米结构。阻透薄膜其他可用的应用还包括生物活性器件，例如在生物活性材料的分析测量中使用的器件、用于分析或分选的生物活性微电子器件。按照本文所公开的工艺制造的阻透薄膜除了提供对环境中水分和氧气的阻透外，还是柔性的，可以用于生产柔性的显示器、电子器件和生物活性器件。
本文所公开的方法还可以用于生产用于各种应用的单层或多层薄膜，例如光学薄膜(反射膜、抗反射膜、吸收膜、有色膜、光学可变薄膜、滤光器、光学干涉滤光器、红外线反射器)、EMI(电磁干扰)滤光器、剥离涂层、透明导电薄膜、传感器和显示器薄膜。这样的薄膜在以下美国专利和专利公开中有所描述，这些专利和专利公开以引用方式并入本文：5,877,895(Shaw等人)；6,172,810(Fleming等人)；6,815,043(Fleming等人)；6,818,291(Funkenbusch等人)；6,929,864(Fleming等人)；6,357,880(Epstein等人)；2005/0037218(Lottes等人)；2004/184948(Rakow等人)；以及2003/0124392(Bright)。
实例1
为了提供对照物，构造用于滚筒式单体气相沉积工艺的装置，其结构大致如图2所示。该装置具有结构大致如图1所示的喷雾器。使用该装置施加涂层，并且然后通过单体气相沉积将该涂层固化在基底上。使用的基底为DupontTeijinTM热稳定化聚对苯二甲酸乙二醇酯薄膜，0.005英寸(0.13毫米)厚、20英寸(50.8厘米)宽，可从MacDermid Autotype Inc.(Schaumburg，IL)以ST504、ST506和ST725商购获得。该薄膜以16.2英尺/分钟(8.2厘米/秒)的速度移动通过涂覆喷嘴。涂覆过程中，真空室的真空度保持在1.2X 10-4托以下。然后，将被涂覆基底引导至电子束发生器的下方，用以引发沉积单体的聚合反应。为了引发反应，Spellman电子束发生器产生7.5千伏和12.5毫安的电流。
喷雾器构造的供液管道的直径为0.040英寸(1毫米)。在该对照物实例中有供气管道，但没有气体流入该管道。供气管道在出口上游0.375英寸(0.95厘米)的端口处进入供液管道。端口被构造为实质上完全通入供液管道的圆周。
喷雾器还含有压电换能器，其作为赋予出口振动能的装置。所述压电换能器调节为在60kHz频率、在5.0到12.5w功率范围内工作。
在试运行过程中，液体单体以丙烯酸改性多元醇二丙烯酸酯(可从CYTEC Industries Inc.(Smyrna，GA)以IRR214商购获得)的形式从分配器流过液体传送管，该液体传送管有两个被加热到120°F的部分。第一部分是72英寸(183厘米)长的不锈钢管，直径为0.030英寸(0.76毫米)。第二部分是24英寸(61厘米)长的TeflonTM管，直径为0.023英寸(0.58毫米)。单体以1.75毫升/分钟的速率流入喷雾器。经过计算，该流量在16.2英尺/分钟的管道流速下产生725纳米的标称涂层厚度，以及在22.5英尺/分钟的管道流速下产生500纳米的标称涂层厚度。
实例2
第二种试运行大致如实例1所述进行，不同的是，干燥的氮气在100℃温度下以18标准立方厘米/分钟的速率流入供气管道。
实例3
采用三种方法测量对照物实例1和具有创造性的实例2中涂覆工艺的工作参数，用以评估本发明通过减少工艺可变性，改善单体气相沉积的能力。第一，测量喷雾器下游的蒸发器中的压力。使用设备Model 631A High Temperature Manometer(可从MKS Instruments Inc.(Methuen，MA)商购获得)完成这一测量，并且每1秒钟收集一次数据。
第二，和横维敏感性有关的沉积涂层厚度的变化使用光谱反射法沿织网的宽度测量，对油墨织网宽度进行评估，每5毫米评估一次。将该方法重复10次，每次从前一个样本的顺维2.5厘米处取样。
第三，重复分析的数据着重是在顺维方向上沉积涂层的平均厚度。这些测量结果在表1中示出。
这些结果表明，本发明的方法在需要雾化的工艺中有效地减少了工艺可变性。
实例4
另一个实例，采用的是大致如图2所示的、用于滚筒式单体气相沉积工艺的装置，以及处于约大气压下的工艺室和构造大致如图1所示的喷雾器。使用该装置施加涂层，并且然后通过单体气相沉积将该涂层固化在基底上。涂覆过程中，用氮气吹扫工艺室，用以维持2.7英寸水柱的正压力。所用基底为DuPont Type 453聚对苯二甲酸乙二醇酯薄膜，0.002英寸(0.05毫米)厚、12英寸(30.5厘米)宽，可从Transilwrap Company(Franklin Park，IL)商购获得。该薄膜以3.3英尺/分钟(1.7厘米/秒)的速度移动通过涂覆喷嘴。然后，将被涂覆基底引导至六个发射254纳米和185纳米波长的紫外灯(灯的编号为G18T6L和G18T6VH得自Atlantic Ultraviolet(Hauppauge，NY))下，用以引发沉积单体的聚合反应。
喷雾器和供气管道如实例1中所述进行构造，在该实例中不同的是，流速为15立方厘米/分钟的氮气被引导流过供气管道。
在试运行过程中，液体单体以三羟甲基丙烷三丙烯酸酯(可从Sartomer Company(Exton，PA)SR351LV商购获得)的形式从分配器通过液体传送管流入喷雾器的顶部。该单体以0.1毫升/分钟的速率流入喷雾器。这一流动在3.3英尺/分钟的管道速度下产生151纳米的标称涂层厚度。
当本发明已经、尤其是在此结合各种实施例示出和描述时，本领域内的技术人员应当理解，对形式和细节所做的各种其他修改可能并不脱离本发明的范围和精神。

Claims (77)

1.一种雾化液体的方法，包括：
提供喷雾器，其包括
供液管道，在其一端含有出口，
供气管道，在所述出口的上游通入所述供液管道，和
为所述出口赋予振动能的装置；
使液体通过所述供液管道流到所述出口，同时使气体流过所述供气管道；以及
从所述装置为所述喷雾器赋予振动能，用以雾化从所述出口喷出的所述液体。
2.根据权利要求1所述的方法，其中所述供液管道和所述供气管道同轴相互替换。
3.根据权利要求2所述的方法，其中所述液体由内管道供应，并且所述气体由外管道供应。
4.根据权利要求1所述的方法，其中所述气体为对所述液体呈惰性的气体。
5.根据权利要求4所述的方法，其中所述气体选自由氮气、氩气、氦气和氖气组成的组。
6.根据权利要求1所述的方法，其中所述气体为活性的。
7.根据权利要求6所述的方法，其中所述气体选自由氧气、臭氧、一氧化二氮、氢、硫化氢、四氟化碳、甲烷和氨气组成的组。
8.根据权利要求1所述的方法，其中所述液体为单体。
9.根据权利要求8所述的方法，其中所述液体为(甲基)丙烯酸酯单体。
10.根据权利要求1所述的方法，其中所述方法在真空下实施。
11.根据权利要求10所述的方法，其中所述方法在约10-4到约2托的压强下实施。
12.根据权利要求1所述的方法，其中流经所述供气管道的所述气体被加热到90℃以上。
13.根据权利要求1所述的方法，其中流经所述供液管道的所述液体被加热到30℃以上。
14.根据权利要求1所述的方法，其中所述供气管道通入所述供液管道，占所述供液管道的孔的至少80％。
15.根据权利要求2所述的方法，其中所述供气管道通入所述供液管道，占所述供液管道的孔的至少80％。
16.根据权利要求1所述的方法，其中所述气体以低于500SCCM的速率向所述供气管道供应。
17.根据权利要求16所述的方法，其中所述气体以低于20SCCM的速率向所述供气管道供应。
18.根据权利要求1所述的方法，其中所述液体以低于10毫升/分钟的速率向所述供液管道供应。
19.根据权利要求18所述的方法，其中所述液体以低于5毫升/分钟的速率向所述供液管道供应。
20.根据权利要求1所述的方法，其中用于赋予振动能的所述装置为压电换能器。
21.根据权利要求1所述的方法，其中所述方法在化学气相沉积工艺中使用。
22.根据权利要求1所述的方法，其中所述方法在单体气相沉积工艺中使用。
23.根据权利要求1所述的方法，其中所述方法在喷雾涂覆工艺中使用。
24.一种涂覆基底的方法，包括：
提供基底；
提供喷雾器，其包括
供液管道，在其一端含有出口，
供气管道，在所述出口的上游通入所述供液管道，和
为所述出口赋予振动能的装置；
使液体通过所述供液管道流到所述出口，同时使气体流过所述供气管道；以及
从所述装置为所述喷雾器赋予振动能，用以雾化从所述出口喷到所述基底上的所述液体。
25.根据权利要求24所述的方法，其中所述供液管道和所述供气管道同轴相互替换。
26.根据权利要求25所述的方法，其中所述液体由内管道供应，并且所述气体由外管道供应。
27.根据权利要求24所述的方法，其中所述基底为聚合物。
28.根据权利要求27所述的方法，其中制成所述基底的材料选自以下材料组成的组：聚丙烯(PP)、聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)、含芴聚酯(FPE)、聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)、聚萘二甲酸乙二醇酯(PEN)、聚醚砜(PES)、聚酯碳酸酯(PC)、聚醚酰亚胺(PEI)、聚芳酯(PAR)、聚酸亚胺(PI)和多环烯烃。
29.根据权利要求24所述的方法，其中所述基底包括电子器件。
30.根据权利要求24所述的方法，其中所述液体为单体。
31.根据权利要求30所述的方法，其中所述液体为(甲基)丙烯酸酯单体。
32.根据权利要求31所述的方法，其中所述(甲基)丙烯酸酯单体通过暴露于固化源中进行聚合。
33.根据权利要求32所述的方法，其中所述基底还涂覆金属氧化物层。
34.一种根据权利要求24所述方法制成的阻透薄膜。
35.一种根据权利要求24所述方法制成的光学薄膜。
36.一种根据权利要求24所述方法制成的生物活性薄膜。
37.一种根据权利要求24所述方法制成的织物涂层。
38.一种根据权利要求24所述方法制成的电子器件。
39.根据权利要求38所述的器件，其中所述器件为有机电子器件。
40.根据权利要求39所述的器件，其中所述器件为有机发光二极管。
41.一种显示装置，其包括根据权利要求24所述方法制成的阻透薄膜。
42.一种涂覆基底的方法，包括：
提供基底；
提供喷雾器，其包括
供液管道，在其一端含有出口，
供气管道，在所述出口的上游通入所述供液管道，和
为所述出口赋予振动能的装置；
使液体通过所述供液管道流到所述出口，同时使气体流过所述供气管道；以及
从所述装置为所述喷雾器赋予振动能，用以雾化从所述出口喷出的所述液体，蒸发所述液体形成蒸汽，并将所述蒸汽冷凝到所述基底上。
43.根据权利要求42所述的方法，其中所述供液管道和所述供气管道同轴相互替换。
44.根据权利要求43所述的方法，其中所述液体由内管道供应，并且所述气体由外管道供应。
45.根据权利要求42所述的方法，其中所述基底为聚合物。
46.根据权利要求45所述的方法，其中制成所述基底的材料选自由以下材料组成的组：聚丙烯(PP)、聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)、含芴聚酯(FPE)、聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)、聚萘二甲酸乙二醇酯(PEN)、聚醚砜(PES)、聚酯碳酸酯(PC)、聚醚酰亚胺(PEI)、聚芳酯(PAR)、聚酸亚胺(PI)和多环烯烃。
47.根据权利要求42所述的方法，其中所述基底包括电子器件。
48.根据权利要求42所述的方法，其中所述液体为单体。
49.根据权利要求48所述的方法，其中所述液体为(甲基)丙烯酸酯单体。
50.根据权利要求49所述的方法，其中所述(甲基)丙烯酸酯单体通过暴露于固化源中进行聚合。
51.根据权利要求50所述的方法，其中所述基底还涂覆金属氧化物层。
52.一种根据权利要求42所述方法制成的阻透薄膜。
53.一种根据权利要求42所述方法制成的光学薄膜。
54.一种根据权利要求42所述方法制成的生物活性薄膜。
55.一种根据权利要求42所述方法制成的织物涂层。
56.一种根据权利要求42所述方法制成的电子器件。
57.根据权利要求56所述的器件，其中所述器件为有机电子器件。
58.根据权利要求57所述的器件，其中所述器件为有机发光二极管。
59.一种显示装置，其包括根据权利要求书42所述方法制成的阻透薄膜。
60.一种涂覆基底的方法，包括：
提供基底；
提供喷雾器，其包括
供液管道，在其一端含有出口，
供气管道，在所述出口的上游通入所述供液管道，和
为所述出口赋予振动能的装置；
使液体通过所述供液管道流到所述出口，同时使气体流过所述供气管道；以及
从所述装置为所述喷雾器赋予振动能，用以雾化从所述出口喷出的所述液体，蒸发所述液体形成蒸汽，并在活性气体存在的情况下，使所述蒸汽与所述基底表面相接触。
61.根据权利要求60所述的方法，其中所述供液管道和所述供气管道同轴相互替换。
62.根据权利要求61所述的方法，其中所述液体由内管道供应，并且所述气体由外管道供应。
63.根据权利要求60所述的方法，其中所述基底为聚合物。
64.根据权利要求63所述的方法，其中制成所述基底的材料选自由以下材料组成的组：聚丙烯(PP)、聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)、含芴聚酯(FPE)、聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)、聚萘二甲酸乙二醇酯(PEN)、聚醚砜(PES)、聚酯碳酸酯(PC)、聚醚酰亚胺(PEI)、聚芳酯(PAR)、聚酸亚胺(PI)和多环烯烃。
65.根据权利要求60所述的方法，其中所述基底包括电子器件。
66.根据权利要求60所述的方法，其中所述液体为单体。
67.根据权利要求66所述的方法，其中所述液体为(甲基)丙烯酸酯单体。
68.根据权利要求67所述的方法，其中所述(甲基)丙烯酸酯单体通过暴露于固化源中进行聚合。
69.根据权利要求68所述的方法，其中所述基底还涂覆金属氧化物层。
70.一种根据权利要求60所述方法制成的阻透薄膜。
71.一种根据权利要求60所述方法制成的光学薄膜。
72.一种根据权利要求60所述方法制成的生物活性薄膜。
73.一种根据权利要求60所述方法制成的织物涂层。
74.一种根据权利要求60所述方法制成的电子器件。
75.根据权利要求74所述的器件，其中所述器件为有机电子器件。
76.根据权利要求75所述的器件，其中所述器件为有机发光二极管。
77.一种显示装置，包括根据权利要求60所述方法制成的阻透薄膜。
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