CN101303264B - 电离规 - Google Patents
电离规 Download PDFInfo
- Publication number
- CN101303264B CN101303264B CN200710074323A CN200710074323A CN101303264B CN 101303264 B CN101303264 B CN 101303264B CN 200710074323 A CN200710074323 A CN 200710074323A CN 200710074323 A CN200710074323 A CN 200710074323A CN 101303264 B CN101303264 B CN 101303264B
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- ionization gauge
- anode
- tube
- carbon nano
- filamentary cathode
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 30
- 239000002041 carbon nanotube Substances 0.000 claims abstract description 30
- 229910021393 carbon nanotube Inorganic materials 0.000 claims abstract description 30
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 claims description 24
- 239000002002 slurry Substances 0.000 claims description 13
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims description 10
- 238000002844 melting Methods 0.000 claims description 10
- 239000002923 metal particle Substances 0.000 claims description 6
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 5
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims description 4
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims description 3
- 239000001856 Ethyl cellulose Substances 0.000 claims description 2
- ZZSNKZQZMQGXPY-UHFFFAOYSA-N Ethyl cellulose Chemical compound CCOCC1OC(OC)C(OCC)C(OCC)C1OC1C(O)C(O)C(OC)C(CO)O1 ZZSNKZQZMQGXPY-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 229920001249 ethyl cellulose Polymers 0.000 claims description 2
- 235000019325 ethyl cellulose Nutrition 0.000 claims description 2
- RBNWAMSGVWEHFP-UHFFFAOYSA-N trans-p-Menthane-1,8-diol Chemical compound CC(C)(O)C1CCC(C)(O)CC1 RBNWAMSGVWEHFP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- DOIRQSBPFJWKBE-UHFFFAOYSA-N dibutyl phthalate Chemical compound CCCCOC(=O)C1=CC=CC=C1C(=O)OCCCC DOIRQSBPFJWKBE-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 2
- 238000007872 degassing Methods 0.000 abstract 1
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 26
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 10
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 8
- 238000000034 method Methods 0.000 description 7
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 5
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 description 5
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000013022 venting Methods 0.000 description 4
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 3
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 3
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000001241 arc-discharge method Methods 0.000 description 2
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 2
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 2
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 2
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 2
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 2
- 206010010254 Concussion Diseases 0.000 description 1
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000009514 concussion Effects 0.000 description 1
- 230000006378 damage Effects 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 1
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 1
- 230000004927 fusion Effects 0.000 description 1
- MRNHPUHPBOKKQT-UHFFFAOYSA-N indium;tin;hydrate Chemical compound O.[In].[Sn] MRNHPUHPBOKKQT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004615 ingredient Substances 0.000 description 1
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 1
- 238000000746 purification Methods 0.000 description 1
- 230000011514 reflex Effects 0.000 description 1
- 238000013341 scale-up Methods 0.000 description 1
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 1
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 1
- 239000003381 stabilizer Substances 0.000 description 1
- 230000003068 static effect Effects 0.000 description 1
- 238000005728 strengthening Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L21/00—Vacuum gauges
- G01L21/30—Vacuum gauges by making use of ionisation effects
- G01L21/34—Vacuum gauges by making use of ionisation effects using electric discharge tubes with cold cathodes
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L21/00—Vacuum gauges
- G01L21/30—Vacuum gauges by making use of ionisation effects
- G01L21/32—Vacuum gauges by making use of ionisation effects using electric discharge tubes with thermionic cathodes
Abstract
本发明涉及一种电离规，该电离规包括线状阴极、阳极和离子收集极，该阳极环绕于线状阴极外侧，离子收集极环绕于阳极外侧，其中，线状阴极包括线状基体及设置于线状基体上的场发射薄膜。该场发射薄膜优选为碳纳米管。该电离规利用碳纳米管的场发射性质发射电子，从而测量气体压强，因此具有结构简单、稳定性好、低功耗、低放气率等优点，适用于对温度或光敏感的真空系统。
Description
技术领域
本发明涉及一种气体压强测量器件，尤其涉及一种用于对温度或光敏感的真空系统的电离规。
背景技术
当代科技发展迅猛，在许多高新技术领域都需要真空环境，而真空测量是其中必不可少的重要环节。传统的电离规包括阴极、阳极及离子收集极，阳极与离子收集极分布于以阴极为圆心的同心圆上，阳极设置于阴极与离子收集极之间。目前，应用于真空测量的传统型的电离规中，阴极电子源均是加热的钨丝，需要有电源给钨丝供电，因此使得该电离规具有较大的功耗；另外，由于钨丝放气率高，使得该电离规不适用于高真空(低压强)的测量；同时由于该电离规工作时还会有热辐射及光辐射，从而使该电离规不适用于对温度及光敏感的真空系统。
有鉴于此，提供一种结构简单、低功耗、低放气率、无热辐射及无光辐射的电离规是必要的。
发明内容
一种电离规，包括线状阴极、阳极和离子收集极，该阳极环绕于线状阴极外侧，离子收集极环绕于阳极外侧，其中，线状阴极包括线状基体及设置于线状基体上的场发射薄膜。
所述线状基体为导电金属丝。
所述场发射薄膜为生长于线状基体上的碳纳米管，或涂敷于线状基体上的碳纳米管浆料及导电浆料。
所述阳极及离子收集极可为金属环，金属孔或者金属网的孔状结构。
与现有的电离规相比，本发明所提供的电离规中，由于采用具有优良的场发射性质的碳纳米管来发射电子，因此具有结构简单、低功耗、低放气率、无热辐射及无光辐射等优点，从而使该电离规适用于对温度或光敏感的真空系统。同时，该电离规测量的真空范围为10-7(Torr)托至10-3Torr，已达到传统型电离规的测量范围，且该电离规测量的真空范围可通过优化其结构而进一步扩展。
附图说明
图1为本发明实施例所提供的电离规的侧剖视图。
图2为本发明实施例所提供的电离规的横截视图。
图3为本发明实施例所提供的电离规的的工作特性曲线。
具体实施方式
下面将结合附图对本发明实施例作进一步的详细说明。
请参阅图1，本发明提供一种电离规100，该电离规100包括线状阴极102、阳极104和离子收集极106，该阳极104环绕于线状阴极102的外侧，离子收集极106环绕于阳极104外侧。阳极104及离子收集极106分布于以线状阴极102为圆心的同心圆上。线状阴极102、阳极104及离子收集极106三者间彼此都是绝缘的。电离规100进一步包括外壳120及三个电极引线122，上述线状阴极102，阳极104和离子收集极106均置于外壳120内，三个电极引线122的一端分别与阴极102，阳极104和离子收集极106连接，另一端延伸至外壳120外。外壳120是封闭的，具有一定的真空度。
该阳极104和离子收集极106的材料为导电金属，如镍、钨、铜等。阳极104为金属环，金属孔或者金属网等孔状结构。离子收集极106为金属环，金属孔或者金属网等孔状结构或平板状结构。
请参阅图2，该线状阴极102包括线状基体108及线状基体108上的场发射薄膜110。线状基体108为镍、钨、铜等导电金属丝。线状基体108直径的范围为0.2毫米(mm)至2mm，优选为0.3mm。线状阴极与阳极的距离为1mm至8mm，线状阴极与离子收集极的距离为10mm至15mm。
场发射薄膜110包括碳纳米管浆料及导电浆料。导电浆料包括低熔点玻璃及导电金属微粒，碳纳米管浆料包括有机载体、碳纳米管，各成分的质量百分比为：碳纳米管5～15％、导电金属微粒10～20％、低熔点玻璃5％及有机载体60～80％。
碳纳米管为通过化学气相沉积法、电弧放电法或激光蒸发法等现有方法制备，通过离心提纯所得到的纯度较高的碳纳米管。碳纳米管的长度在5微米至15微米的范围内为佳，过短会减弱碳纳米管的场发射特性，过长容易使碳纳米管折断。
有机载体包括作为主要溶剂的松油醇、作为增塑剂的少量邻位苯二甲酸二丁酯及作为稳定剂的少量乙基纤维素的混合物。
低熔点玻璃的熔点要低于线状基体108的材料的熔点，从而保证在加热的情况下，低熔点玻璃先熔化。优选地，低熔点玻璃的熔点在400～500℃的范围内。低熔点玻璃的作用是将场发射薄膜110中的碳纳米管与线状基体108进行粘结，从而防止在电场的作用下碳纳米管从线状基体108上脱落，进而延长线状阴极102的使用寿命。
导电金属微粒的材料可为氧化铟锡或银，其可保证碳纳米管与线状基体108之间的电性连接。
线状阴极102的制备具体步骤如下：
(1)将碳纳米管、导电金属微粒、低熔点玻璃及有机载体等按一定的质量百分比混合；
(2)通过超声震荡等方法使各成份均匀分散而得到均匀稳定的浆料；
(3)将所得的浆料通过丝网印刷等方法涂覆于线状基体108上，再进行烘干和焙烧而形成覆于线状基体108上的场发射薄膜110。
步骤(3)中烘干的目的是去掉步骤(2)中所得到的浆料中的有机载体；焙烧的目的是使低熔点玻璃熔融，起到粘结碳纳米管与基体108的作用。
为进一步地增强线状阴极102的场发射特性，在步骤(3)之后，可进一步包括对场发射薄膜110的表面进行摩擦处理的步骤。该摩擦步骤可使得碳纳米管的一端由于被摩擦引起的静电所吸引而冒头，且冒出头的碳纳米管取向一致，因此可增强线状阴极102的场发射特性。
场发射薄膜110还可为通过化学气相沉积法、电弧放电法或激光蒸发法等方法直接生长于线状基体108的碳纳米管。
以下说明该电离规100测量压强的工作原理：线状阴极102为零电位，阳极104加上正电位。在阳极104电位的作用下，线状阴极102发射出电子，大部分电子会穿过阳极104，飞向离子收集极106。由于离子收集极106上施加负电位，对电子有减速的作用，因此电子又会反向折回阳极104，形成阳极电流Ie。在此过程中，电子与被测环境空间的气体分子碰撞并使气体分子电离，产生带正电的离子。该正离子被离子收集极106所吸收，形成离子流Ii。阳极电流Ie与离子流Ii有如公式(1)的关系：
Ii/Ie＝kp (1)
其中p为气体压强，k是一个固定的比例系数，称为灵敏度。灵敏度是电离规100的固有性质，由它的结构决定。通过标准真空计校准该电离规100，可得知其灵敏度k。因此，通过测量电离规100的阳极电流Ie和离子流Ii就可以得出被测环境的气体压强p。
需要指出的是，电子在线状阴极102与阳极104间的距离d内，与气体分子相碰撞的几率P可由公式(2)表示：
P(d)＝1-exp(-d/l) (2)
其中l是平均自由程，它与气体压强成反比。为了尽量减小电子与气体分子的碰撞几率P，要求d应比l小，以减少线状阴极102与阳极104之间产生的离子，避免离子轰击线状阴极102，造成线状阴极102的损坏或不稳定。本实施例中，优选地，线状阴极102与阳极104间的距离d为1mm至2mm，线状阴极102与离子收集极106间的距离D为12mm。
请参阅图3，测量结果显示了本实施例的电离规100，收集极电压为25伏(V)，阳极电压为750V在10-7Torr至10-3Torr测量范围内，Ii/Ie与P之间具有极好的线性关系，因此该电离规100适用于10-7Torr至10-3Torr范围内真空度的测量。
与传统型的电离规相比，本发明所提供的电离规中，由于采用具有优良的场发射性质的碳纳米管来发射电子，因此具有结构简单、低功耗、低放气率、无热辐射及无光辐射等优点，从而该电离规适用于对温度或光敏感的真空系统。同时，该电离规测量的真空范围为10-7Torr至10-3Torr，已达到传统型电离规的测量范围，而且该电离规测量的真空范围可通过优化其结构而进一步扩展。
另外，本领域技术人员还可以在本发明精神内做其它变化，如场发射薄膜的变更，各电极间距离的变更等。当然，这些依据本发明精神所做的变化，都应包含在本发明所要求保护的范围之内。
Claims (15)
1.一种电离规，包括线状阴极、阳极和离子收集极，该阳极环绕于线状阴极外侧，离子收集极环绕于阳极外侧，线状阴极、阳极和离子收集极相互绝缘地间隔设置，其特征在于：线状阴极包括线状基体及设置于线状基体上的场发射薄膜。
2.如权利要求1所述的电离规，其特征在于，所述线状基体为导电金属丝。
3.如权利要求1所述的电离规，其特征在于，所述线状基体的直径为0.2毫米至2毫米。
4.如权利要求1所述的电离规，其特征在于，所述场发射薄膜为生长于线状基体上的碳纳米管。
5.如权利要求1所述的电离规，其特征在于，所述场发射薄膜为涂敷于线状基体上的碳纳米管浆料及导电浆料。
6.如权利要求5所述的电离规，其特征在于，所述导电浆料包括低熔点玻璃及导电金属微粒，碳纳米管浆料包括有机载体、碳纳米管，各成份的质量百分比为碳纳米管5～15％、导电金属微粒10～20％、低熔点玻璃5％及有机载体60～80％。
7.如权利要求6所述的电离规，其特征在于，所述有机载体包括松油醇、乙基纤维素及邻苯二甲酸二丁酯。
8.如权利要求6所述的电离规，其特征在于，所述碳纳米管的长度为5微米至15微米。
9.如权利要求1所述的电离规，其特征在于，所述阳极为孔状结构。
10.如权利要求1所述的电离规，其特征在于，所述离子收集极为孔状结构或平板状结构。
11.如权利要求9或权利要求10所述的电离规，其特征在于，所述孔状结构包括金属环，金属孔或者金属网。
12.如权利要求1所述的电离规，其特征在于，所述线状阴极与阳极的距离为1毫米至8毫米。
13.如权利要求1所述的电离规，其特征在于，所述线状阴极与离子收集极的距离为10毫米至15毫米。
14.如权利要求1所述的电离规，其特征在于，所述的电离规进一步包括外壳及三个电极引线，上述阴极，阳极和离子收集极均置于外壳内，各电极引线的一端分别与线状基体，阳极和离子收集极连接，另一端延伸至外壳外。
15.如权利要求1所述的电离规，其特征在于，所述场发射薄膜包括多个碳纳米管，该多个碳纳米管的一端从该场发射薄膜中冒头。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN200710074323A CN101303264B (zh) | 2007-05-09 | 2007-05-09 | 电离规 |
| US11/877,590 US7791350B2 (en) | 2007-05-09 | 2007-10-23 | Ionization vacuum gauge |
| JP2008123879A JP2008281565A (ja) | 2007-05-09 | 2008-05-09 | 電離真空計 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN200710074323A CN101303264B (zh) | 2007-05-09 | 2007-05-09 | 电离规 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN101303264A CN101303264A (zh) | 2008-11-12 |
| CN101303264B true CN101303264B (zh) | 2010-05-26 |
Family
ID=39968939
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN200710074323A Active CN101303264B (zh) | 2007-05-09 | 2007-05-09 | 电离规 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US7791350B2 (zh) |
| JP (1) | JP2008281565A (zh) |
| CN (1) | CN101303264B (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102494837A (zh) * | 2011-12-01 | 2012-06-13 | 上海交通大学 | 真空传感器 |
Families Citing this family (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2009105506A1 (en) * | 2008-02-21 | 2009-08-27 | Brooks Automation, Inc. | Ionization gauge with operational parameters and geometry designed for high pressure operation |
| CN101576423B (zh) * | 2008-05-07 | 2010-12-29 | 清华大学 | 电离规 |
| CN103310869B (zh) | 2012-03-08 | 2016-06-08 | 清华大学 | 碳纳米管浆料，其制备方法以及采用该碳纳米管浆料制备阴极发射体的方法 |
| CN103311085B (zh) * | 2013-06-27 | 2016-03-16 | 成都国光电气股份有限公司 | 一种小型化复合真空规管 |
| EP3104150B1 (en) * | 2014-02-06 | 2020-03-11 | Japan Science and Technology Agency | Sheet for pressure sensor, pressure sensor, and method for producing sheet for pressure sensor |
| CN105070628B (zh) * | 2015-07-13 | 2017-03-08 | 兰州空间技术物理研究所 | 一种对称式碳纳米管阴极电离规 |
| CN107993908B (zh) * | 2017-11-27 | 2019-11-15 | 温州大学 | 一种基于场发射阴极电子源的电离真空计及其应用方法 |
| EP4031845A1 (de) * | 2019-09-20 | 2022-07-27 | Inficon AG | Verfahren zu bestimmung eines drucks und drucksensor |
| CN112781786B (zh) * | 2020-12-14 | 2023-04-07 | 兰州空间技术物理研究所 | 一种利用超冷原子测量超高或极高真空的装置及检测方法 |
| CN115839795B (zh) * | 2022-12-25 | 2024-02-20 | 兰州空间技术物理研究所 | 一种基于点状碳纳米管阴极的电离真空计 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN2081089U (zh) * | 1990-09-03 | 1991-07-17 | 东南大学 | 真空开关真空度在线检测装置 |
| US5278510A (en) * | 1991-07-23 | 1994-01-11 | Commissariat A L'energie Atomique | Ionization vacuum gauge using a cold micropoint cathode |
| CN1670886A (zh) * | 2005-02-03 | 2005-09-21 | 西安交通大学 | 一种提高印刷碳纳米管薄膜场发射稳定性的阴极制备方法 |
Family Cites Families (15)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US2573005A (en) * | 1948-07-03 | 1951-10-30 | Nicholas D Glyptis | Ionization gauge and method of operation |
| JPS5611332A (en) * | 1979-07-09 | 1981-02-04 | Toshiba Corp | Hot-cathode ionization vacuum gauge |
| US4636680A (en) * | 1983-05-24 | 1987-01-13 | Granville-Phillips Company | Vacuum gauge |
| US5422573A (en) * | 1990-04-11 | 1995-06-06 | Granville-Phillips Company | Ionization gauge and method of using and calibrating same |
| US6025723A (en) * | 1997-08-27 | 2000-02-15 | Granville-Phillips Company | Miniature ionization gauge utilizing multiple ion collectors |
| KR100279737B1 (ko) | 1997-12-19 | 2001-02-01 | 정선종 | 전계방출소자와 광소자로 구성된 단파장 광전소자 및 그의 제작방법 |
| US6534923B2 (en) * | 2001-07-13 | 2003-03-18 | Microwave Power Technology | Electron source |
| US6798127B2 (en) * | 2002-10-09 | 2004-09-28 | Nano-Proprietary, Inc. | Enhanced field emission from carbon nanotubes mixed with particles |
| JP2005286653A (ja) * | 2004-03-29 | 2005-10-13 | Fuji Photo Film Co Ltd | 画像表示方法、画像表示装置及び画像表示プログラム |
| EP1698878A1 (en) | 2005-03-04 | 2006-09-06 | Inficon GmbH | Electrode configuration and pressure measuring apparatus |
| JP2006294545A (ja) * | 2005-04-14 | 2006-10-26 | Dialight Japan Co Ltd | 真空管 |
| JP2006343305A (ja) * | 2005-06-09 | 2006-12-21 | Toyo Denshi Kenkyusho:Kk | 三極管型熱陰極電離真空計 |
| CN100583349C (zh) | 2005-07-15 | 2010-01-20 | 清华大学 | 场发射阴极、其制造方法及平板型光源 |
| JP2007024849A (ja) * | 2005-07-15 | 2007-02-01 | Toyo Denshi Kenkyusho:Kk | 多極型冷陰極電離真空計 |
| JP2007033422A (ja) * | 2005-07-25 | 2007-02-08 | Toyo Denshi Kenkyusho:Kk | Ｃｎｔ冷陰極電離真空計 |
-
2007
- 2007-05-09 CN CN200710074323A patent/CN101303264B/zh active Active
- 2007-10-23 US US11/877,590 patent/US7791350B2/en active Active
-
2008
- 2008-05-09 JP JP2008123879A patent/JP2008281565A/ja active Pending
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN2081089U (zh) * | 1990-09-03 | 1991-07-17 | 东南大学 | 真空开关真空度在线检测装置 |
| US5278510A (en) * | 1991-07-23 | 1994-01-11 | Commissariat A L'energie Atomique | Ionization vacuum gauge using a cold micropoint cathode |
| CN1670886A (zh) * | 2005-02-03 | 2005-09-21 | 西安交通大学 | 一种提高印刷碳纳米管薄膜场发射稳定性的阴极制备方法 |
Non-Patent Citations (3)
| Title |
|---|
| 王琪琨等.碳纳米管场发射阴极的厚膜工艺研究.电子器件27 4.2004,27(4),543-546. |
| 王琪琨等.碳纳米管场发射阴极的厚膜工艺研究.电子器件27 4.2004,27(4),543-546. * |
| 说明书第18至28段，附图1、2. |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102494837A (zh) * | 2011-12-01 | 2012-06-13 | 上海交通大学 | 真空传感器 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US7791350B2 (en) | 2010-09-07 |
| CN101303264A (zh) | 2008-11-12 |
| US20080278173A1 (en) | 2008-11-13 |
| JP2008281565A (ja) | 2008-11-20 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN101303264B (zh) | 电离规 | |
| CN101266180A (zh) | 电离规 | |
| KR100766907B1 (ko) | 마이크로 집속 수준의 전자빔 발생용 탄소나노튜브 기판분리형 방사선관 시스템 | |
| CN101133308B (zh) | 真空测量仪 | |
| CN101303955B (zh) | 离子源组件 | |
| US20090066216A1 (en) | Field emission light source | |
| JP5491036B2 (ja) | 電界放出型電子源及びその製造方法 | |
| TWI539480B (zh) | 反射式速調管及電子發射裝置 | |
| US20090160312A1 (en) | Field Emission display device | |
| CN102074442B (zh) | 场发射电子器件 | |
| CN102768929A (zh) | 场发射显示装置 | |
| CN102768930A (zh) | 场发射电子器件 | |
| US9355825B2 (en) | Ionization vacuum gauge | |
| JP2009016348A (ja) | 電界放出表示装置に利用される画素管 | |
| JP2007033422A (ja) | Ｃｎｔ冷陰極電離真空計 | |
| KR101121639B1 (ko) | 전자 방출 장치의 음극부 구조 | |
| TWI356438B (en) | Field emission pixel tube | |
| KR102340337B1 (ko) | 초소형 원통형 엑스선 튜브 제조 방법 | |
| CN112599397A (zh) | 一种储存式离子源 | |
| RU2248643C1 (ru) | Рентгеновская трубка с автокатодом | |
| JP2002022899A (ja) | 電子線照射装置 | |
| RU2640355C2 (ru) | Способ изготовления катода на основе массива автоэмиссионных эмиттеров | |
| TWI335984B (en) | Ionization gauge | |
| TWI353002B (en) | A field emission device and a field emission displ | |
| JP2005251502A (ja) | 電界電子放出装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C06 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| C10 | Entry into substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| C14 | Grant of patent or utility model | ||
| GR01 | Patent grant |