CN103311085B - 一种小型化复合真空规管 - Google Patents
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Abstract
本发明涉及一种小型化复合真空规管,包括陶瓷小七脚管基、BA规和电阻规,所述BA规焊接在陶瓷小七脚管基的电极引脚上,构成真空规管;所述电阻规焊接在陶瓷小七脚管基的电极引脚上,构成真空规管。所述小型化复合真空规管具有高、低真空测试范围,并且压强测量范围宽、性能稳定、一致性好、反映时间快、寿命长等优点。
Description
技术领域
本发明涉及一种真空规管,尤其涉及一种复合真空规管。
背景技术
在真空测量中,ZJ-52型电阻规和ZJ-27型电离规都是目前使用较广泛的真空测量规管,ZJ-52型的热丝经特殊工艺处理,具有压强测量范围宽、性能稳定、一致性好、响应速度快、寿命长等优点;ZJ-27型热阴极电离规是目前应用较广泛的一种宽量程高真空电离规。但随着真空测试应用越来越广泛,对小型化复合规管及特殊接口真空规管需求越来越大,目前所采用的CF35法兰、KF40、KF16、KF10、Φ15.5等通用接口的真空规管的体积较大,为了提供一种小型化的复合真空规管,满足测试的需要,开发一种小型化复合真空规管具有十分重要的意义。
发明内容
本发明提供一种小型化复合真空规管,该规管体积较小,而且能够同时满足高低真空测量范围测试的需要。
本发明的技术方案是:一种小型化复合真空规管,包括陶瓷小七脚管基、BA规和电阻规,所述BA规焊接在陶瓷小七脚管基的电极引脚上,构成真空规管;所述电阻规焊接在陶瓷小七脚管基的电极引脚上,构成真空规管。
BA规可以是电离规,比如像ZJ-27型电离规等,电阻规可以是ZJ-52型电阻规等。
BA电离规的栅极是一根钨丝绕制成螺旋形状,所述电离规的收集极是钨丝。
本发明的技术方案提供了一种小型化的复合真空规管,该规管具有高、低真空测试范围,并且压强测量范围宽、性能稳定、一致性好、反映时间快、寿命长等优点。
附图说明
图1小型化复合真空规管结构图
图2陶瓷小七脚管基图
图3加不锈钢过渡焊接盘的小型化复合真空规管结构图。
图中1-陶瓷小七脚管基,2—灯丝,3—栅极,4—收集极,5-电阻规,6—绝缘体,7—灯丝支持杆,8—栅极支撑杆,9—陶瓷小七脚管基第一脚,10—陶瓷小七脚管基第二脚,11—陶瓷小七脚管基第三脚,12—陶瓷小七脚管基第四脚,13—陶瓷小七脚管基第五脚,14—陶瓷小七脚管基第六脚,15—陶瓷小七脚管基第七脚,16—不锈钢过渡焊接盘。
具体实施例
本发明的具体实施例是:小型化复合真空规管的栅极的两端分别焊接在陶瓷小七脚管基的第三脚和第四脚上,所述栅极的轴向中心线与陶瓷小七脚管基的轴向中心线相平行,所述收集极焊接在陶瓷小七脚管基第五脚上,所述收集极的轴线与栅极的筒形或双螺旋形的轴向中心线同轴;所述电离规还包括灯丝,所述电离规的所述灯丝焊接在陶瓷小七脚管基第六脚上,所述灯丝与陶瓷小七脚管基轴向中心线平行,所述灯丝与栅极最近处相距3~4mm;所述电阻规焊接在陶瓷小七脚管基的第一、二脚上。
所述小型化复合真空规管还包括用来将灯丝固定的灯丝支持杆,所述灯丝支持杆一端与陶瓷小七脚管基的第七脚焊接在一起,所述灯丝支持杆另一端与灯丝焊接在一起。
所述小型化复合真空规管还包括用来将栅极固定的栅极支撑杆,所述栅极支撑杆是通过绝缘体将两段金属杆固定在一起,制成栅极支撑杆,但所述栅极支撑杆的两端不能电导通,在本实施例中所述栅极支撑杆的绝缘体是玻珠。
所述制作成收集极的钨丝的直径是Φ0.1mm,长度是32mm。
本实施例中所述小型化复合真空规管的高度≤60mm,外径尺寸<19mm。
所述小型化复合真空规管还包括一个不锈钢过渡焊接盘,所述不锈钢过渡焊接盘与陶瓷小七脚管基同轴并焊接在陶瓷小七脚管基上,可以用来和用户所需的不锈钢外壳焊接,满足不同接口的需要。
所述实施例的小型化复合真空规管具有高、低真空测试范围,并且压强测量范围宽、性能稳定、一致性好、反映时间快、寿命长等优点。
Claims (3)
1.一种小型化复合真空规管,包括陶瓷小七脚管基、BA规和电阻规,所述BA规焊接在陶瓷小七脚管基的电极引脚上,构成真空规管;所述电阻规焊接在陶瓷小七脚管基的电极引脚上,构成真空规管;所述BA规是ZJ-27型电离规;所述电阻规是ZJ-52型电阻规;所述电离规的栅极是一根钨丝绕制成螺旋形状,所述电离规的收集极是钨丝;所述栅极的两端分别焊接在陶瓷小七脚管基的第三脚和第四脚上,所述栅极的轴向中心线与陶瓷小七脚管基的轴向中心线相平行,所述收集极焊接在陶瓷小七脚管基第五脚上,所述收集极的轴线与栅极的螺旋形的轴向中心线同轴;所述电离规还包括灯丝,所述电离规的灯丝焊接在陶瓷小七脚管基第六脚上,所述灯丝与陶瓷小七脚管基轴向中心线平行,所述灯丝与栅极最近处相距3~4mm;所述电阻规焊接在陶瓷小七脚管基的第一、二脚上;所述小型化复合真空规管还包括用来将灯丝固定的灯丝支持杆,所述灯丝支持杆一端与陶瓷小七脚管基的第七脚焊接在一起,所述灯丝支持杆另一端与灯丝相焊接;所述小型化复合真空规管还包括用来将栅极固定的栅极支撑杆,所述栅极支撑杆是通过绝缘体将两段金属杆固定在一起,制成栅极支撑杆,所述栅极支撑杆的两端不能电导通。
2.如权利要求1所述的小型化复合真空规管,其特征是:所述栅极支撑杆的绝缘体是玻珠。
3.如权利要求1所述的小型化复合真空规管,其特征是:所述小型化复合真空规管还包括一个不锈钢过渡焊接盘,所述不锈钢过渡焊接盘与陶瓷小七脚管基同轴并焊接在陶瓷小七脚管基上。
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