CN101256113A - 显微测量装置 - Google Patents

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Abstract

本发明提供一种显微测量装置，所述显微测量装置具有：被相对镜筒(11)固定、并用于会聚来自物镜(Lo)的平行光线的第1中间透镜(L1)；半透半反镜(HM)，使通过所述物镜(Lo)和所述第1中间透镜(L1)的光的一部分通过、一部分反射；在被所述半透半反镜(HM)反射的光通过的位置上被设置成可沿该光路(C)移动的第2中间透镜(L2)；检测器(16)，设置在所述第2中间透镜(L2)的前面并且被设置成可沿光路(C)移动；移动机构(M1、M2)，移动所述第2中间透镜(L2)和检测器(16)，使得所述检测器(16)的成像位置与来自所述样品(S)的光被第2中间透镜(L2)会聚后的会聚点一致；以及调节所述移动机构(M1、M2)的移动量的控制部(20)。本发明不更换物镜便可以改变倍率和/或检测范围。

Description

显微测量装置
技术领域
本发明涉及用于样品的分光测量、膜厚测量、反射率测量等的显微测量装置。本发明的显微测量装置例如适用于液晶显示装置的滤色器的光学特性的检查。
背景技术
液晶显示装置的滤色器由R、G、B三色滤光器构成。将该一个R滤光器的存在范围称为一个像素、将一个G滤光器的存在范围称为一个像素、并将一个B滤光器的存在范围称为一个像素。
为了评价该滤色器的光学特性，使显微测量装置的检测范围(监视区域)与R的一个像素的中心部一致，并测量该中心部的透射光谱、色度、白平衡等。然后，对G像素也进行相同的测量，对B像素也进行相同的测量。
图4是示出样品的检测范围U的图。
以前，检测范围U如图4所示比一个像素的尺寸小。
这样测量比一个像素小的检测范围U的理由是由于假定了滤色器的像素内的色度、透射率是大致均匀的。
但是，最近随着滤色器的像素的大型化和生产方法的改变，如下事实被指出：一个像素内的滤色器的膜厚不均匀，从而滤色器的色度、透射率也不是均匀地分布。因此，有必要对一个像素整体的色度、透射率进行评价。
因此，作为检测范围U，要求不是象从前那样的小的固定大小，而是可变大小。
检测范围U可变与显微测量的倍率可变意思相同。
图3是为了测量这样的滤色器等的光学特性而使用的一般的显微测量装置的概略构成图。
在该显微测量装置中，从样品S透射或反射的光通过物镜Lo，并被物镜Lo变换为平行光线。平行光线通过固定在镜筒中的中间透镜Li，并在设置在所述中间透镜Li的、与所述物镜Lo相反一侧的半透半反镜HM的作用下，一部分原样通过，一部分被反射。
原样通过所述半透半反镜HM的光在观察用照相机18的观察位置上聚焦，因此样品被观察用照相机18放映在监视器上。
另一方面，被所述半透半反镜HM反射的光在检测器16的检测位置上聚焦，在这里进行分光测量、膜厚测量、反射率测量等。
例如，通常中间透镜Li的焦距为200mm，10倍的物镜Lo的焦距是20mm。因此，
倍率＝(中间透镜Li的焦距)/(物镜Lo的焦距)
＝200/20＝10
在中间像位置上获得10倍的像。
在该显微测量装置中利用检测器16进行检测并利用观察用照相机18进行观察的情况下，在改变检测范围的大小或改变观察像的大小时，需要更换为倍率不同的物镜Lo来使用。
从图3可知，这是由于中间透镜Li被固定在显微镜筒中，检测器16、观察用照相机18的位置也被固定，因此为了以不同的倍率进行显微测量，除了更换物镜Lo没有别的方法。
但是，若更换了物镜Lo，则物镜Lo的NA(数值孔径)改变，故需要修正测量值的NA。
并且，若检测器16的检测倍率改变，则与此联动，观察用照相机18的观察范围也改变。反过来，若想改变观察用照相机18的观察范围，则检测器16的检测倍率也改变。
尤其是在用光纤构成检测器16时，若想扩大样品的检测范围，则必须增大光纤的NA，从而光纤的直径变粗，光纤的可挠性降低，容易折断，对处理带来了不便。因此，观察用照相机18的观察范围受到光纤粗细的限制。
另外，在通过减小物镜Lo的倍率而扩大了检测范围时，存在的问题是，用观察用照相机18观察的像的放大率也变小。
发明内容
本发明的目的在于，提供一种在安装了物镜的显微测量装置中不需更换物镜就可以改变显微测量装置的倍率和/或检测范围的显微测量装置。
本发明的显微测量装置具有：使来自样品的光成为平行光线的物镜；用于会聚来自所述物镜的平行光线的第1中间透镜；设置在所述第1中间透镜的与所述物镜相反一侧的半透半反镜，该半透半反镜使通过所述物镜和所述第1中间透镜的光的一部分通过，并使一部分反射；固定所述物镜、所述第1中间透镜、和所述半透半反镜的镜筒；在被所述半透半反镜反射的光通过的位置上设置的第2中间透镜，该第2中间透镜可以沿被所述半透半反镜反射的光路移动；设置在所述第2中间透镜的与所述半透半反镜相反一侧的检测器，该检测器可以沿被所述半透半反镜反射的光路移动；移动所述第2中间透镜的第1移动机构；移动所述检测器的第2移动机构；以及控制部，调节所述第1移动机构和/或第2移动机构的移动量，使得所述检测器的成像位置与来自所述样品的光被第2中间透镜会聚后的会聚点一致。
该结构的显微测量装置不更换物镜也不改变其位置，而仅通过改变第2中间透镜的位置和/或检测器的位置，就可以一边改变检测倍率一边测量样品。并且，不需要改变物镜的NA。
此外，利用如下结构可以独立于检测器的检测倍率来设定观察用照相机的倍率：在直线通过所述半透半反镜的光通过的位置上被设置成可以沿该光路移动的第3中间透镜和观察用照相机；移动所述第3中间透镜的第3移动机构；以及移动所述观察用照相机的第4移动机构，其中所述控制部调节第3移动机构和/或第4移动机构的移动量，使得所述观察用照相机的成像位置与来自所述样品的光被第3中间透镜会聚后的会聚点一致。因此，无需改变检测器的检测范围便可以改变观察用照相机的观察倍率。
所述检测器也可以具有作为光入射窗起作用的光纤探头。
如上所述，本发明可以在不改变物镜的NA而使其固定的状态下，仅改变倍率来进行样品的分光测量、反射率测量和膜厚测量等。
另外，由于可以在观察用照相机侧和检测器侧设定成不同的倍率，因此无需改变检测器的检测范围的大小便可以改变样品的观察范围。
本发明的上述或者其它优点、特征和效果可以从通过参照附图下述的实施方式的说明得以明确。
附图说明
图1是示出本发明的显微测量装置的概略的截面图。
图2是示出本发明的其他构成的显微测量装置的概略的截面图。
图3是为了测量滤色器等的光学特性而一直利用的一般的显微测量装置的概略构成图。
图4是示出样品S的照射点U的图。
符号说明：
11镜筒
12样品台
13透射光源
14反射光源
15开口部
16、16′检测器
162光纤探头
17玻璃
18观察用照相机
20控制部
Lo物镜
L1第1中间透镜
L2第2中间透镜
L3第3中间透镜
HM半透半反镜
C光路
S样品
具体实施方式
图1是示出显微测量装置的概略的截面图。显微测量装置具有：镜筒11；被固定在镜筒11中，并使来自样品S的光成为平行光线的物镜Lo；被固定在镜筒11中，并用于会聚来自所述物镜Lo的平行光线的第1中间透镜L1；以及被固定在镜筒11中，设置在所述第1中间透镜L1的、与所述物镜Lo相反一侧的半透半反镜HM，所述半透半反镜HM使通过所述物镜Lo和所述第1中间透镜L1的光一部分通过、一部分沿直角反射。将连接各透镜中心点的线称为“光路C”。
样品S被设置在样品台12上，并被透射光源13(图1)从下面照射，或被反射光源14(图2)从斜上方照射。
镜筒11是由金属或树脂构成的筒状物。如图1所示，物镜Lo被安装在镜筒11的前端。也可以通过在镜筒11的前端安装转换器来安装多个物镜Lo，通过旋转转换器来选择所期望的物镜Lo。
物镜Lo具有使来自样品S的光成为平行光线的功能。设该物镜Lo的焦距为f0。
第1中间透镜L1安装在物镜Lo的上部、镜筒11的中间位置上。设第1中间透镜L1的焦距为f1。
半透半反镜HM安装在第1中间透镜L1的上部。被半透半反镜HM沿直角反射的光通过设置在镜筒11的侧面的开口部15而出射。利用薄的透明玻璃封闭开口部15，使得灰尘不会进入镜筒11。在从该开口部15水平延伸的位置(即光路C上)设置第2中间透镜L2。设该第2中间透镜L2的焦距为f2。将第2中间透镜L2设置成可通过后述的移动机构沿光路C移动。
并且，在第2中间透镜L2前端的、被半透半反镜HM反射的光路C上设置检测器16。该检测器16也被设置成可通过后述的移动机构沿所述光路C移动。在检测器16的光入射窗的部分配置光入射用的狭缝161。或者也可以与狭缝161一起配置光入射用的透镜(未图示)，来代替狭缝161。
另外，镜筒11的上端面开口，在此也安装了薄的透明玻璃17，使得灰尘不会进入镜筒11。在该镜筒11的上部设置有第3中间透镜L3。设第3中间透镜L3的焦距为f3。
并且，在第3中间透镜L3的上部，在直线通过半透半反镜HM的光路C上设置观察用照相机18。该观察用照相机18也被设置成可通过后述的移动机构沿所述光路C上下移动。
移动机构是将各透镜、检测器16、观察用照相机18沿光路C平行移动的机构，其结构没有限制。例如，可以例举出直线状的螺杆与通过所述螺杆的螺母的组合。将所述螺杆与光路C平行地设置，在螺杆的前端安装电机，使得螺杆本身可以旋转。在所述螺母上固定各透镜、检测器16或观察用照相机18。螺母虽然可以在直线上移动，但是螺母本身处于不能旋转的状态。并且，若通过电机使所述螺杆旋转，则各透镜、检测器16或观察用照相机18与光路C平行地移动。
另外，还具有控制部20，所述控制部20可以针对各电机连动地控制各电机的正转旋转量、反转旋转量。控制部20的具体构成例如可以由向各电机供给驱动电流的驱动电路、和与该驱动电路相连接的计算机来实现。计算机中存储有用于控制各移动机构的电机旋转量的程序。
如上所述，向第2中间透镜L2、第3中间透镜L3、检测器16、观察用照相机18分别安装移动机构的结果是，通过由控制部20进行各电机的旋转控制，可以任意地设定这些光学元件相互之间的距离。
这里，用D2表示第1中间透镜L1和第2中间透镜L2的距离，用D3表示第1中间透镜L1和第3中间透镜L3之间的距离，用D4表示第2中间透镜L2和检测器16之间的距离，并用D5表示第3中间透镜L3和观察用照相机18之间的距离。
如图1所示，在样品S上透射或反射的光沿光路C传播，并被物镜Lo变成平行光线。平行光线通过第1中间透镜L1，一部分被半透半反镜HM反射而入射到第2中间透镜L2。被第2中间透镜L2会聚的光通过狭缝161而入射到检测器16。
这里，在本发明的实施方式中，利用控制部20调节距离D2、D4，使得被第2中间透镜L2会聚的光的光点位置与检测器16的成像位置一致。“检测器16的成像位置”是指沿着检测器16可以以最好的分辨率检测出像的光路的位置，例如在检测器16为分光器时是凹面衍射光栅的焦点位置。检测器16为照相机时，是照相机镜头的焦点位置。
另一方面，直线通过半透半反镜HM的光入射到第3中间透镜L3，并且被第3中间透镜L3会聚的光入射到观察用照相机18。此时也通过控制部20调节距离D3、D5，使得被第2中间透镜L2会聚的光的光点位置与观察用照相机18的成像位置一致。
若说明具体的调节方法，则所述第1中间透镜L1和所述第2中间透镜L2的合成透镜的焦距fm由下式给出。
1/fm＝(1/f1)+(1/f2)-D2/(f1×f2)(1)
检测器16的检测倍率A利用所述合成透镜的焦距fm和所述物镜Lo的焦距f0由下式给出。
A＝fm/f0(2)
操作者可以将检测倍率A设定成任意值。
这样，控制部20通过将该设定的倍率A应用于上述(2)式来决定合成透镜的焦距fm。根据(1)式设定距离D2，以获得该焦距fm。通过电机M1的旋转来设定该距离D2。
然后，调节距离D4，使得检测器16的成像位置与该合成透镜L1、L2的焦点一致。通过电机M2的旋转来设定该距离D4。
另外，当然也可以不是在时间上分开地旋转电机M1、M2，而是按照程序的控制同时连动地旋转电机M1、M2。
由此，无需更换或移动物镜Lo，通过调节第2中间透镜L2和检测器16的位置，便可以获得给定的倍率。
另一方面，在用观察用照相机18观察样品S的情况下，与上述同样地，决定观察倍率，并根据该观察倍率分别调节第3中间透镜L3和观察用照相机18的位置。
即，所述第1中间透镜L1和所述第3中间透镜L3的合成透镜的焦距fm′由下式给出。
1/fm′＝(1/f1)+(1/f3)-D3/(f1×f3)(3)
观察用照相机18的观察倍率A′利用所述合成透镜的焦距fm′和物镜Lo的焦距f0由下式给出。
A′＝fm′/f0(4)
控制部20将该设定的倍率A′应用于所述(4)式来决定合成透镜的焦距fm′。根据该焦距fm′，并用所述(3)式设定距离D3。通过电机M3的旋转来设定该距离D3。
然后，调节距离D5，使得检测器16的成像位置与该合成透镜的焦点一致。通过电机M4的旋转来设定该距离D5。
另外，当然也可以不是在时间上分开地旋转电机M3、M4，而是同时连动地旋转。
由此，无需更换或移动物镜Lo，通过调节第3中间透镜L3和观察用照相机18的位置，便可以获得给定的观察倍率。
接着，参考图2说明本发明的实施方式的其他构成例的显微测量装置。
若仅说明该显微测量装置与图1的显微测量装置的不同点，则图2的装置使用带有光纤探头162的检测器16′作为检测器16。即，该光纤探头162起到作为检测器16′的光入射窗的作用。控制电机M2，使得被第2中间透镜L2会聚的光的光点位置与该光纤探头162的焦点位置一致。光纤探头162是光纤，故具有以下优点：具有可挠性、不影响像的传播、可由电机M2改变其位置。
接着，对作为可以检测出样品S的范围的检测范围(监视区域)进行说明。通常，检测范围与检测倍率具有密切的关系。若想扩大检测范围，则需要降低倍率。若提高倍率，则检测范围变窄。
但是，在本发明的显微测量装置中，可以用各个中间透镜独立地设定检测器16的检测倍率和观察用照相机18的观察倍率。在现有技术中，在为了改变检测范围而改变了物镜Lo的倍率时，用观察用照相机18观察的像的观察倍率也与此连动地变化，但是在本发明的显微测量装置中，用观察用照相机18观察的像的观察倍率不变，可以仅改变检测器16的检测倍率。与此相反，可以在不改变检测器16的检测倍率的情况下，仅改变观察倍率。因此，通过本发明，可以流畅地进行观察用照相机18的观察和检测器16的检测。
在上面说明了本发明的实施方式，但是本发明的实施并不限于所述方式。例如，作为使各透镜、检测器、观察用照相机平行地移动的移动机构，除了螺杆和螺母的组合以外，还可以例举出滑轮和线的组合、利用超声波电机的滑块等。

Claims (4)

1.一种显微测量装置，其特征在于，具有：
使来自样品的光成为平行光线的物镜；
用于会聚来自所述物镜的平行光线的第1中间透镜；
设置在所述第1中间透镜的与所述物镜相反一侧的半透半反镜，该半透半反镜使通过所述物镜和所述第1中间透镜的光的一部分通过，并使一部分反射；
固定所述物镜、所述第1中间透镜、和所述半透半反镜的镜筒；
在被所述半透半反镜反射的光通过的位置上设置的第2中间透镜，该第2中间透镜可以沿被所述半透半反镜反射的光路移动；
设置在所述第2中间透镜的与所述半透半反镜相反一侧的检测器，该检测器可以沿被所述半透半反镜反射的光路移动；
移动所述第2中间透镜的第1移动机构；
移动所述检测器的第2移动机构；以及
控制部，调节所述第1移动机构和/或第2移动机构的移动量，使得所述检测器的成像位置与来自所述样品的光被第2中间透镜会聚后的会聚点一致。
2.如权利要求1所述的显微测量装置，其特征在于，
所述第1中间透镜和所述第2中间透镜的合成透镜的焦距fm由下式给出：
1/fm＝(1/f1)+(1/f2)-D2/(f1×f2)，
其中，D2为第1中间透镜和第2中间透镜的距离，
f1为第1中间透镜的焦距，
f2为第2中间透镜的焦距，
显微测量的检测倍率A利用所述合成透镜的焦距fm和所述物镜Lo的焦距f0由下式给出：
A＝fm/f0，
所述控制部根据所述检测倍率A调节所述第1移动机构和/或第2移动机构的移动量。
3.如权利要求1所述的显微测量装置，其特征在于，还具有：
在直线通过所述半透半反镜的光通过的位置上被设置成可以沿该光路移动的第3中间透镜和观察用照相机；
移动所述第3中间透镜的第3移动机构；以及
移动所述观察用照相机的第4移动机构，
其中，所述控制部调节第3移动机构和/或第4移动机构的移动量，使得所述观察用照相机的成像位置与来自所述样品的光被第3中间透镜会聚后的会聚点一致。
4.如权利要求1所述的显微测量装置，其特征在于，
所述检测器具有作为光入射窗起作用的光纤探头，
所述控制部控制所述第1移动机构和/或所述第2移动机构的移动量，使得被所述第2中间透镜会聚的光的光点位置与该光纤探头的焦点位置一致。
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Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102243385A (zh) * 2011-07-14 2011-11-16 武汉全真光电科技有限公司 测量硅基液晶成像芯片光电特性曲线的装置
CN102353333A (zh) * 2011-06-29 2012-02-15 安徽电气工程职业技术学院 一种大量程高精度微纳米扫描探头
CN103180769A (zh) * 2010-10-29 2013-06-26 佳能株式会社 显微镜、图像获取装置和图像获取系统
CN103616754A (zh) * 2013-12-18 2014-03-05 东莞市通德光电科技有限公司 倍率恒定的双目镜头
CN105659142A (zh) * 2013-07-29 2016-06-08 生物辐射实验室股份有限公司 机械变焦成像装置
CN114518217A (zh) * 2021-12-31 2022-05-20 深圳市瑞图生物技术有限公司 镜头间中心距离确定方法、显微镜控制设备及存储介质

Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2012052921A (ja) 2010-09-01 2012-03-15 Olympus Corp 撮像システム
JP2012073285A (ja) 2010-09-27 2012-04-12 Olympus Corp 撮像方法および顕微鏡装置
JP6071177B2 (ja) * 2010-10-29 2017-02-01 キヤノン株式会社 顕微鏡、画像取得装置及び画像取得システム
CN103353388B (zh) * 2013-05-15 2016-04-06 西安交通大学 一种具摄像功能的双目体式显微成像系统标定方法及装置

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH10123425A (ja) * 1996-10-22 1998-05-15 Nikon Corp ズーム機能付き蛍光顕微鏡
JP2002031758A (ja) * 2000-07-17 2002-01-31 Olympus Optical Co Ltd 顕微鏡
JP2006267935A (ja) * 2005-03-25 2006-10-05 Moritex Corp 共焦点顕微鏡

Cited By (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103180769A (zh) * 2010-10-29 2013-06-26 佳能株式会社 显微镜、图像获取装置和图像获取系统
CN103180769B (zh) * 2010-10-29 2016-02-24 佳能株式会社 显微镜、图像获取装置和图像获取系统
CN102353333A (zh) * 2011-06-29 2012-02-15 安徽电气工程职业技术学院 一种大量程高精度微纳米扫描探头
CN102243385A (zh) * 2011-07-14 2011-11-16 武汉全真光电科技有限公司 测量硅基液晶成像芯片光电特性曲线的装置
CN105659142A (zh) * 2013-07-29 2016-06-08 生物辐射实验室股份有限公司 机械变焦成像装置
CN105659142B (zh) * 2013-07-29 2018-08-31 生物辐射实验室股份有限公司 机械变焦成像装置
CN103616754A (zh) * 2013-12-18 2014-03-05 东莞市通德光电科技有限公司 倍率恒定的双目镜头
CN114518217A (zh) * 2021-12-31 2022-05-20 深圳市瑞图生物技术有限公司 镜头间中心距离确定方法、显微镜控制设备及存储介质
CN114518217B (zh) * 2021-12-31 2024-03-26 深圳市瑞图生物技术有限公司 镜头间中心距离确定方法、显微镜控制设备及存储介质

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