CN101248333A

CN101248333A - 流量测定装置

Info

Publication number: CN101248333A
Application number: CNA2006800226092A
Authority: CN
Inventors: 上田直亚; 野添悟史
Original assignee: Omron Corp
Current assignee: Omron Corp
Priority date: 2005-06-24
Filing date: 2006-05-26
Publication date: 2008-08-20
Anticipated expiration: 2026-05-26
Also published as: JP3832498B1; EP1901042A1; EP1901042A4; DE602006017549D1; CN101248333B; US20080314140A1; BRPI0612526A2; AU2006263279B2; EP1901042B1; US7559256B2; AU2006263279A1; WO2007000865A1; JP2007003387A

Abstract

一种流量测定装置，设置有流路，所述流路包括：具有弯曲的壁面的一对第一、第二离心分离室(25、26)；第一导入流路(27)，其将第一副流路(21a)与第一离心分离室(25)的壁面的一端连通；中间流路(29)，其使所述第一离心分离室(25)的壁面的另一端与所述第二离心分离室(26)的壁面的一端连通；第二导入流路(28)，其使第二离心分离室(26)的另一端与第二副流路(22a)连通；第一分流流路(35)，其与所述第一离心分离室(25)的壁面的弯曲方向大致垂直地与所述第一离心分离室(25)连通；第二分流流路(36)，其与所述第二离心分离室(26)的壁面的弯曲方向大致垂直地与所述第二离心分离室(26)连通；检测空间部(23b)，其将第一分流流路(35)和第二分流流路(36)相互连通，并且配置有检测元件，本流量测定装置能够可靠地将灰尘从流体中分离。

Description

流量测定装置

技术领域

本发明涉及流量测定装置，涉及例如监视工厂的空气流量的产业设备、睡眠时无呼吸症候群用治疗设备等的医疗设备等所使用的小型的流量测定装置。

背景技术

以往，流量测定装置是在流路中配置检测元件来测定空气流量的结构，但如果长期使用，则空气中的灰尘会附着、堆积于检测元件上，而使测定精度降低，成为故障的原因。

为了消除所述那样的不良情况，有下述的灰尘收集装置(例如，参照专利文献1)，其形成如下结构，通过在流路中设置收集壁，利用直线前进的灰尘的惯性力，通过所述收集壁捕获并分离空气流中的灰尘，而仅将清洁的空气流导向检测元件。

专利文献1：(日本国)特开平11-166720号公报

然而，由于所述灰尘收集装置仅仅利用灰尘的直线前进的惯性力将其分离，所以如果空气的流速慢，则可分离灰尘的性能降低，难以可靠地捕获灰尘。此外，即使在能够通过所述收集壁捕获灰尘的情况下，因长期的使用也会使堆积的灰尘落到并混入检测元件侧的流路。特别是，在所述灰尘收集装置中，存在如下问题，即，只能捕获从一个方向流入的空气流的灰尘，不能应对从相反方向流入的空气流，从而无法检测双向流入的流体的流量。

发明内容

本发明就是针对所述问题而提出的，本发明的目的在于提供一种流量测定装置，其能够可靠地从流体中分离灰尘，并且即使长期使用，也能够防止灰尘混入而造成的不良情况，尤其是能够应对从双向流入的流体。

本发明提供一种流量测定装置，其结构如下，形成有流路，所述流路包括：具有弯曲的壁面的离心分离室；导入流路，其在所述壁面的一端从切线方向将外部流路与所述离心分离室连通；排出流路，其在所述壁面的另一端从切线方向与所述离心分离室连通；以及分流流路，其与所述壁面的弯曲方向大致垂直地与所述离心分离室连通，在所述分流流路的下游侧配置检测元件，由所述排出流路和所述分流流路将从所述外部流路经由导入流路而导入到所述离心分离室中的流体分流，由所述检测元件测定从所述分流流路取出的流体流量。

按照本发明，离心力作用于从导入流路流入离心分离室的灰尘，使灰尘沿离心分离室的壁面流动，仅使清洁的流体从分流流路流向检测元件。由此，灰尘不附着、堆积于所述检测元件，可防止检测元件的测定精度的降低及造成故障的情况。此外，由于分离的灰尘与流体一起从离心分离室排出，故能够获得即使长期使用灰尘的堆积少且维护容易、寿命长的流量测定装置。

本发明提供另一种流量测定装置，其结构如下，由第一层基板和第二层基板夹持流路形成板，在第一层基板和所述流路形成板之间形成有：具有弯曲的壁面的离心分离室；导入流路，其在所述壁面的一端从切线方向将外部流路与所述离心分离室连通；以及排出流路，其在所述壁面的另一端从切线方向与所述离心分离室连通，在所述流路形成板和第二层基板之间形成分流流路，所述分流流路经由设于所述流路形成板的分流孔与所述离心分离室连通，并且在下游侧配置检测元件，由所述排出流路和所述分流流路将从所述外部流路经由导入流路导入到所述离心分离室的流体分流，由所述检测元件测定从所述分流流路取出的流体流量。

按照本发明，不但具有所述效果，通过第一层基板、流路形成板和第二层基板的组合，可简单地形成复杂的三维流路，制造容易。

作为本发明的实施方式，也可使导入流路相对于外部流路向逆流方向侧倾斜地形成。

按照本实施方式，由于导入流路向逆流方向侧倾斜，故能够利用流体的喷射效果，使流体的流速增加，可提高灰尘的离心分离效果。

本发明提供另一种流量测定装置，其结构如下，形成有流路，所述流路包括：分别具有弯曲的壁面的一对第一、第二离心分离室；第一导入流路，其从切线方向将第一外部流路与所述第一离心分离室的壁面的一端连通；中间流路，其在所述第一离心分离室的壁面的另一端从切线方向与所述第二离心分离室的壁面的一端连通；第二导入流路，其在所述第二分离室的另一端从切线方向与第二外部流路连通；第一分流流路，其与所述第一离心分离室的壁面的弯曲方向大致垂直地与所述第一离心分离室连通；第二分流流路，其与所述第二离心分离室的壁面的弯曲方向大致垂直地与所述第二离心分离室连通；以及检测空间部，其将所述第一分流流路和所述第二分流流路相互连通，并且配置有检测元件，由所述中间流路和所述第一分流流路将从所述第一外部流路经由所述第一导入流路导入到所述第一离心分离室的流体分流，由所述检测元件测定从所述第一分流流路取出的流体流量，由所述中间流路和所述第二分流流路将从所述第二外部流路经由所述第二导入流路导入到所述第二离心分离室的流体分流，由所述检测元件测定从所述第二分流流路取出的流体流量。

按照本发明，离心力作用于从第一、第二导入流路分别流入第一、第二离心分离室的灰尘，灰尘沿第一、第二离心分离室的壁面流动，仅使清洁的流体从第一、第二分流流路流向检测元件。由此，灰尘不附着、堆积于所述检测元件，可防止检测元件的测定精度的降低及造成故障的情况。此外，由于分离的灰尘与流体一起被排出到第一、第二外部流路，故获得即使在长期使用的情况下，灰尘的堆积少、维护容易、寿命长的流量测定装置。特别是，按照本发明，获得能够利用一对离心分离室应对从双向流动的流体的用途广泛的流量测定装置。

本发明还提供一种流量测定装置，其结构如下，由第一层基板和第二层基板夹持流路形成板，在第一层基板和流路形成板之间形成：一对的第一、第二离心分离室，其分别具有弯曲的壁面；第一导入流路，其将第一外部流路从切线方向与所述第一离心分离室的壁面的一端连通；中间流路，其与所述第一离心分离室的壁面的另一端从切线方向连通并且与所述第二离心分离室的壁面的一端从切线方向连通；以及第二导入流路，其在所述第二离心分离室的另一端从切线方向与第二外部流路连通，在所述流路形成板和第二层基板之间形成：第一分流流路，其经由设置于所述流路形成板的第一、第二分流孔与所述第一离心分离室的壁面的弯曲方向大致垂直地与所述第一离心分离室连通；以及第二分流流路，其与所述第二离心分离室的壁面的弯曲方向大致垂直地与所述第二离心分离室连通，并且形成有检测空间部，其将所述第一分流流路和所述第二分流流路相互连通，并且配置有检测元件，由所述中间流路和所述第一分流流路将从所述第一外部流路经由所述第一导入流路导入到所述第一离心分离室的流体分流，由所述检测元件测定从所述第一分流流路取出的流体流量，由所述中间流路和所述第二分流流路将从所述第二外部流路经由所述第二导入流路导入到所述第二离心分离室的流体分流，由所述检测元件测定从所述第二分流流路取出的流体流量。

按照本发明，不但具有所述效果，而且可利用第一层基板、流路形成板和第二层基板的组合，简单地形成复杂的三维流路，制造容易。

作为本发明的实施方式，也可这样形成，其中，使第一、第二导入流路相对于第一、第二外部流路分别向逆流方向侧倾斜地形成。

按照本实施方式，由于导入流路向逆流方向侧倾斜，故利用流体的喷射效果，使流体的流速增加，可提高灰尘的离心分离效果。

作为本发明的另一实施方式，也可这样形成，即，使中间流路弯曲成大致V形。

按照本实施方式，由于一对第一、第二离心分离室中的排出侧的离心分离室的流速增加，作用更大的离心力，由此，更加容易排出灰尘。

作为本发明的另一实施方式，还可这样形成，即，离心分离室为圆柱形状。

按照本实施方式，由于流体的流动描绘出圆，故离心力按照总是与流体的流动方向垂直的方式作用于壁面，灰尘的分离效率高。

本发明的另一不同实施方式，也可这样形成，即，分流流路的一端由向离心分离室内突出的筒部形成。

按照本实施方式，具有下述的效果，即，例如，即使在分流流路按照位于离心分离室的底面的方式配置的情况下，也不会使因重力而脱离流体的灰尘越过所述筒部，从而使灰尘更难以通过分流流路流入。

附图说明

图1为表示本发明的流量测定装置的第一实施方式的安装状态的立体图。

图2A、图2B、图2C为从不同的视点观看图1所示的流量测定装置的立体图。

图3为图1所示的流量测定装置的分解立体图。

图4为从不同的视点观看图1所示的流量测定装置的立体图。

图5为从其它视点观看图1所示的流量测定装置的立体图。

图6A、图6B为表示流量测定装置的纵向剖面图、平面图。

图7为图3所示的基座的正视图。

图8A、图8B为图7所示的基座上嵌合流路形成板时的横向剖面图、正视图。

图9为图3所示的电路基板的侧视图。

图10A、图10B、图10C是为说明流路形状而示意图示的分解立体图、纵向剖面图、横向剖面图。

图11A、图11B、图11C、图11D是为了说明不同形状的流路而分别示意图示的平面图、纵向剖面图、正视图和横向剖面图。

图12A、图12B和图12C是仅示出流路形状的平面图、立体图和从不同的角度观看的立体图。

图13A、图13B是示意分别表示实施例1和比较例1的流路的平面图。

图14A、图14B、图14C为示意分别表示实施例2、3和比较例2的流路的平面图。

图15A为表示实施例1和比较例1的计算结果的曲线图，图15B、图15C为表示实施例2、3和比较例2的计算结果的曲线图。

图16A、图16B为表示实施例3的不同的计算结果的曲线图。

标记说明

10流量测定装置；

11主流管；

12、13第一、第二连接管；

14孔；

15主流路；

20基座；

21、22第一、第二进出管；

21a、22a第一、第二副流路；

23凹部；

23a连络流路；

23b检测空间部；

24凹部；

25、26第一、第二离心分离室；

27、28第一、第二导入流路；

29中间流路；

30流路形成板；

31、32第一、第二分流孔；

33、34第一、第二筒部；

35、36第一、第二分流流路；

40板状密封部件；

41检测孔；

50电路基板；

51检测元件；

60盖；

61、62调整孔；

63、64卡合孔；

65、66弹性臂部。

具体实施方式

根据图1～图12的附图对本发明的流量测定装置的实施方式进行说明。

如图1所示，本实施方式的流量测定装置10通过第一、第二连接管12，13与主流管11连接。特别是，所述第一、第二连接管12、13分别与通过形成于主流管11内周面的环状孔14的主流路15的上游侧和下游侧连接。

所述流量测定装置10，如图3～图5所示，包括：基座20、流路形成板30、板状密封部件40、电路基板50和盖60。

所述基座20从两侧面在同一轴心上突设有与所述第一、第二连接管12、13连接的第一、第二进出管21、22。此外，所述基座20在背面侧具有收纳后述的内部结构部件的凹部23，在所述凹部23的底面的角部形成深度更大的凹部24。此外，如图7所示，在所述凹部24的底面形成左右一对第一、第二离心分离室25、26。所述第一、第二离心分离室25、26经由第一、第二导入流路27、28，分别与所述第一、第二进出管21、22的第一、第二副流路21a、22a连通。此外，所述第一、第二离心分离室25、26经由大致V形弯曲的中间流路29而相互连通。所述第一导入流路27按照在第一副流路21a的逆流方向侧倾斜的方式形成，另一方面，所述第二导入流路28按照与所述第一导入流路27线对称的方式形成。此外，在所述凹部23的底面，经由J形的连络流路23a，按照与所述凹部24连通的方式形成检测空间部23b。此外，在所述凹部23的底面角部形成连接器用孔23c，并且还在所述凹部23的内侧面设置连接器用孔23d。

所述第一、第二导入流路27、28相对第一、第二副流路21a、22a的角度在45度以上且小于90度，优选的是在55度以上且小于90度。如果小于45度，则压力损失过大，如果在90度以上，则无法获得所期望的离心力。

此外，优选的是中间流路29的弯曲程度为与所述第一、第二导入流路27、28大致平行的斜度，具体来说，在50度以上且小于180度，优选的是在80度以上且小于180度。如果小于50度，则压力损失过大，如果在180度以上，则无法获得所期望的离心力。

如图3～5所示，流路形成板30具有可与所述凹部24嵌合的平面形状，在与所述第一、第二离心分离室25、26对应的位置形成第一、第二分流孔31、32。此外，在所述流路形成板30的下面分别形成与所述第一、第二分流孔31、32连通的第一、第二筒部33、34。另一方面，在所述流路形成板30的上面分别形成从所述第一、第二分流孔31、32各自与所述第一、第二离心分离室25、26连通的第一、第二分流流路35、36。此外，所述第一、第二分流流路35、36可分别与所述连络流路23a和检测空间部23b连通。

所述第一、第二筒部33、34优选为所述第一、第二离心分离室25、26的高度的1/3以上2/3以下，特别优选为约50％左右。这是因为，如果第一、第二筒部33、34过短，则容易混入灰尘，另一方面，如果第一、第二筒部33、34过长，则流体难以顺利地流入第一、第二分流流路中。

按照本实施方式，通过调整所述第一、第二分流孔31、32的直径，能够调整排出到中间流路29的流量与检测空间部23b中流动的流量的分流比。由此，即使在要测定的流量有较大不同的情况下，只要通过更换所述第一、第二分流孔31、32的直径不同的所述流路形成板30，就能够调整流量。其结果，具有不必更换高价且更换麻烦的检测元件51，而能够变更为最适合的规格的优点。

所述板状密封部件40具有可与所述基座20的凹部23嵌合的平面形状，并且在与所述检测空间部41对应的位置设有检测孔41。由此，通过将所述板状密封部件40与所述基座20的凹部23嵌合，可从所述检测孔41看到所述基座20的检测空间部23b。

所述电路基板50具有可与所述基座20的凹部23嵌合的平面形状，并且在该表面中的与所述基座20的检测空间部23b对应的位置配置检测元件51，并且在与所述基座20的连接器用孔23c、23d对应的位置分别配制连接器52、53。作为所述检测元件51，可列举有例如MEMS流量传感器、螺旋桨式传感器。此外，所述电路基板50在其背面安装控制用元件54、电压调整用元件55，并且配置有可从外部操作的调整用元件56、57。

因此，通过在所述基座20的凹部23嵌合所述电路基板50，将检测元件51定位于检测空间部23b内，并且连接器52、53嵌合于连接器用孔23c、23d中，连接器52、53可从连接器用孔23c、23d以可连接的方式露出。此外，所述连接器52、53至少有一个即可，剩余的一个也可以是虚设。

所述盖60具有可与所述基座20的凹部23的开口缘部嵌合的平面形状，并且在与所述电路基板50的调整用元件56、57对应的位置分别设置调整孔61、62。此外，所述盖60在单侧缘部形成有与基座20的卡合孔20a、20a卡合的一对卡合爪63、64，并且在相对的单侧缘部形成有与所述基座20的卡合槽20b、20b卡合的一对弹性臂部65、66。

于是，通过在组装所述流路形成板30、板状密封件40和流路形成板50的所述基座20的卡合孔20a、20a中卡合所述盖60的卡合爪63、64，并通过将所述弹性臂部65、66与所述基座20的卡合槽20b、20b卡合，从而结束组装。此外，调整用元件56、57按照可操作的方式从所述调整孔61、62露出。

接着，对流体流过所述流量测定装置时的流体的流动进行说明。

首先，从主流管11的主流路15的上游侧流入第一副流路21a的流体从第一导入流路27流入第一离心分离室25。此时，由于所述第一导入流路27朝向所述第一副流路21a倾斜，故因喷射效果，流体的流速不降低，沿第一离心分离室25的壁面流动，离心力作用于所述流体。离心力与速度的平方成正比，并且与周围半径成反比。由此，流体的灰尘偏向于壁面侧。

此外，流入第一离心分离室25中的流体经由中间流路29流入第二离心分离室26中，接着，经由第二导入流路25流出到第二副流路22a中。由于所述中间流路29大致呈V形弯曲，故在第二离心分离室26中获得喷射效果，可以效率良好地排出所述流体。

另一方面，通过在第一离心分离室25作用的离心力，使灰尘偏靠于第一离心分离室25的壁面而流动，由此，使未混入灰尘的清洁流体从与第一筒部33连通的第一分流孔31流出到第一分流流路35中。接着，在经由连络流路23a流入检测空间部23b中后，从第二分流流路36经由第二分流孔32从第二筒部34流入第二离心分离室26中。接着，在所述第二离心分离室26中与经由中间流路29而流入的流体汇合，从第二导入流路28经由第二副流路22a流出到主流路15中。

此外，如图10所示，所述流路例如也可以按照相互平行的方式形成第一导入流路27和中间流路29，此外，也可如图11所示，按照形成小于90度的角度的方式配置。

此外，如图11所示，也可以将流路形成板和板状密封部件一体成型而形成。按照本实施方式，具有部件数量、组装工序减少的优点。

进而，显然第一、第二导入流路27、28；中间流路29的角度、尺寸；第一、第二分流孔31、32的直径可根据需要而改变。

实施例

(实施例1)

如图13A所示，将从副流路22a延伸到离心分离室26内的导入流路28相对于所述副流路22a的流动方向设为55度，计算通过检测空间部23b内的粒子数量。

对于分析条件，在粒子密度3000kg/m³、流入流量1L/min的条件下暂时投入直径为3μm的粒子10000个，计算通过检测空间部23b的数量。因此，显示出粒子的数量越少，粒子越不会流入检测空间部23b内。图15A表示计算结果。

(比较例1)

如图13B所示，与所述实施例1基本相同，不同点在于使导入流路28从副流路22a沿大致垂直方向延伸，而与离心分离室26连通。图15A表示计算结果。

从图15A可以看出，与比较例1相比，实施例1的通过检测空间部23b的粒子数量极少。由此，可以看出与比较例1相比，在实施例1的情况下，灰尘等附着于检测元件51的机会少。

(实施例2)

如图14A所示，使第一、第二导入流路27、28分别相对于第一、第二副流路21a、22a的流动方向倾斜55度，并且使中间流路29与第一、第二副流路21a、22a平行而笔直地形成。

此外，以与实施例1相同的条件投入粒子，计算通过检测空间部23b的粒子数量，并且计算残留于流路内的粒子数量。图15B和图15C表示计算结果。

(实施例3)

如图14B所示，与所述实施例2大致相同，不同点在于中间流路29弯曲80度，呈大致V形。

(比较例2)

如图14C所示，使第一、第二导入流路27、28相对于第一、第二副流路21a、22a垂直地延伸，并且使中间流路29与第一、第二副流路21a、22a平行而笔直地形成。

从图15B可以看出，与比较例2相比，实施例2、3的通过检测空间部23b的粒子数量均是极少的。由此，与比较例2相比，在实施例2、3的情况下，灰尘等附着于检测元件等上的机会少。

此外，从图15C可以看出，实施例3的残留于流路内的粒子数量少于实施例2。这可以认为其原因在于，由于使中间流路29呈大致V形弯曲，则排出侧的离心分离室的流速增加，离心力增加，由此，使得灰尘难以滞留。其结果，通过设置呈大致V形的中间流路29，效果更进一步提高。

进而，针对所述实施例3，在从正向和逆向分别使流体流通的情况下，计算流入的流体流量和检测空间部的平均流速的关系。图16A表示计算结果。

从表示在原点图16A的曲线折返而重合的情况的图16B可以看出，曲线大致重合。由此可以看出，即使在流体的流通方向不同的情况下，检测空间部的流体的平均流速也大致相同。

于是，根据基于图15B和图15C的结论以及基于图16A和图16B的结论可知，按照第3实施例，即使在使流体从正反方向的任意方向流通的情况下，灰尘也不易侵入检测空间部内，并且灰尘不易残留于流路内。

本发明的流量测定装置不限于经由连接管与主流管连接的情况，也可与主流管直接连接而使用，此外，不仅可进行流量测定，还可用作流速测定装置。

Claims

1、一种流量测定装置，其特征在于，

形成有流路，所述流路包括：

具有弯曲的壁面的离心分离室；

导入流路，其在所述壁面的一端从切线方向将外部流路与所述离心分离室连通；

排出流路，其在所述壁面的另一端从切线方向与所述离心分离室连通；以及

分流流路，其与所述壁面的弯曲方向大致垂直地与所述离心分离室连通，

在所述分流流路的下游侧配置检测元件，由所述排出流路和所述分流流路将从所述外部流路经由导入流路而导入到所述离心分离室中的流体分流，由所述检测元件测定从所述分流流路取出的流体流量。

2、根据权利要求1所述的流量测定装置，其特征在于，

由第一层基板和第二层基板夹持流路形成板，

在第一层基板和所述流路形成板之间形成有：具有弯曲的壁面的离心分离室；导入流路，其在所述壁面的一端从切线方向将外部流路与所述离心分离室连通；以及排出流路，其在所述壁面的另一端从切线方向与所述离心分离室连通，

在所述流路形成板和第二层基板之间形成分流流路，所述分流流路经由设于所述流路形成板的分流孔与所述离心分离室连通，并且在下游侧配置检测元件，

由所述排出流路和所述分流流路将从所述外部流路经由导入流路导入到所述离心分离室的流体分流，由所述检测元件测定从所述分流流路取出的流体流量。

3、根据权利要求1或2所述的流量测定装置，其特征在于，

将导入流路相对于外部流路向逆流方向侧倾斜地形成。

4、一种流量测定装置，其特征在于，

形成有流路，所述流路包括：

分别具有弯曲的壁面的一对第一、第二离心分离室；

第一导入流路，其从切线方向将第一外部流路与所述第一离心分离室的壁面的一端连通；

中间流路，其在所述第一离心分离室的壁面的另一端从切线方向与所述第二离心分离室的壁面的一端连通；

第二导入流路，其在所述第二分离室的另一端从切线方向与第二外部流路连通；

第一分流流路，其与所述第一离心分离室的壁面的弯曲方向大致垂直地与所述第一离心分离室连通；

第二分流流路，其与所述第二离心分离室的壁面的弯曲方向大致垂直地与所述第二离心分离室连通；以及

检测空间部，其将所述第一分流流路和所述第二分流流路相互连通，并且配置有检测元件，

由所述中间流路和所述第一分流流路将从所述第一外部流路经由所述第一导入流路导入到所述第一离心分离室的流体分流，由所述检测元件测定从所述第一分流流路取出的流体流量，

由所述中间流路和所述第二分流流路将从所述第二外部流路经由所述第二导入流路导入到所述第二离心分离室的流体分流，由所述检测元件测定从所述第二分流流路取出的流体流量。

5、一种流量测定装置，其特征在于，

由第一层基板和第二层基板夹持流路形成板，

在第一层基板和流路形成板之间形成：一对的第一、第二离心分离室，其分别具有弯曲的壁面；第一导入流路，其将第一外部流路从切线方向与所述第一离心分离室的壁面的一端连通；中间流路，其与所述第一离心分离室的壁面的另一端从切线方向连通并且与所述第二离心分离室的壁面的一端从切线方向连通；以及第二导入流路，其在所述第二离心分离室的另一端从切线方向与第二外部流路连通，

在所述流路形成板和第二层基板之间形成：第一分流流路，其经由设置于所述流路形成板的第一、第二分流孔与所述第一离心分离室的壁面的弯曲方向大致垂直地与所述第一离心分离室连通；以及第二分流流路，其与所述第二离心分离室的壁面的弯曲方向大致垂直地与所述第二离心分离室连通，并且形成有检测空间部，其将所述第一分流流路和所述第二分流流路相互连通，并且配置有检测元件，

6、根据权利要求4或5所述的流量测定装置，其特征在于，

将第一、第二导入流路相对于第一、第二外部流路分别向逆流方向侧倾斜地形成。

7、根据权利要求4～6中的任何一项所述的流量测定装置，其特征在于，

将中间流路弯曲成大致V形。

8、根据权利要求1～7中的任何一项所述的流量测定装置，其特征在于，

离心分离室为圆柱形状。

9、根据权利要求1～8中的任何一项所述的流量测定装置，其特征在于，

分流流路的一端由向离心分离室内突出的筒部形成。