CN101247960B - 滴喷射装置及其相关装置和方法 - Google Patents

Abstract

本发明公开的装置包括具有壁的通道，从该壁伸出多个隔开的突起。该突起基本上防止了液体侵入突起中。

Description

滴喷射装置及其相关装置和方法

技术领域

本发明涉及滴(drop)喷射装置和相关的装置与方法。

背景技术

一般，喷墨打印机包括从墨源至喷嘴通路的墨通路。喷嘴通路终止于喷射墨滴的喷嘴孔。墨滴喷射通过利用致动器对墨通路中的墨加压来控制，该致动器可以为例如压电偏转器、热气泡射流发生器或静电偏转元件。一般的打印头具有带有相应的喷嘴孔和相关的致动器的一组墨通路，使得可以独立地控制来自每一个喷嘴孔的滴喷射。在按需喷射(drop-on-demand)的打印头中，当打印头和打印基片彼此相对运动时，起动每一个致动器，将滴有选择地喷射在图像的特定像素位置上。在高性能打印头中，一般喷嘴孔的直径为50μm或更小(例如大约35μm)，以100～300个喷嘴/英寸的间距隔开，分辨率为100～3000dpi或更大，滴的大小为大约1～70pL或更小。滴喷射频率一般为10KHz或更大。

打印头，特别是高性能打印头的打印精度受许多因素影响，包括在打印头中，由喷嘴喷射的滴的大小和速度的均匀性。

Hoisington等人的美国专利5265315号描述了具有半导体主体和压电致动器的打印组件。该主体由硅制成，并且硅经刻蚀形成墨腔。利用固定在硅主体上的独立的喷嘴板形成喷嘴孔。压电致动器具有压电材料层，它可响应于所加的电压改变几何形状或弯曲。压电层的弯曲给沿着墨通路设置的泵送室中的墨加压。在Fishbeck等人的美国专利4825227号，Hine的美国专利4937598号，Moynihan等人的美国专利5659346号，Hoisington的美国专利5757391号和Bibl等人的已公布的美国专利申请2004/0004649号中也描述了压电喷墨打印组件。

发明内容

本发明涉及滴喷射装置和相关的装置与方法。

总的来说，本发明提出了一种装置，其包括液体通道，该通道具有壁和从该壁延伸至通道中的多个隔开的突起，例如一组或一片突起。该突起的结构和尺寸使得可防止液体，例如墨或生物流体侵入突起中。

在一个方面中，本发明提出一种滴喷射装置，其包括具有壁的液体通道。多个隔开的突起从该壁延伸至通道中。所述突起基本上防止液体侵入突起中。

在另一个方面中，本发明提出一种液体喷射方法。所述方法包括提供滴喷射装置，该装置包括具有壁的液体通道，多个隔开的突起从所述壁延伸至所述通道中。所述突起基本上防止液体侵入突起中。液体被供应给所述通道，并且通过对所述液体加压，将液体通过与所述通道流体连通的喷嘴喷出。在一些实现方式中，所述液体为例如表面张力约为10～60达因/厘米且粘度约为1～50厘泊的墨。

在另一个方面中，本发明提供一种除去液体中气体的方法，所述方法包括提供具有壁的通道，所述通道具有从所述壁延伸至所述通道中的多个隔开的突起和限定在延伸出所述突起的壁中的孔。所述孔与一泵流体连通。所述突起基本上防止液体侵入突起中。将液体导入所述通道中，并操作所述泵，使所述孔周围的压力小于大气压力。

在另一个方面中，本发明提出一种除去液体中气体的方法，该方法包括：提供具有壁的通道，所述通道具有多个隔开的突起，该突起从所述壁向所述通道中延伸至末端。所述突起基本上防止液体侵入突起中。一真空源与所述壁和所述突起的末端之间的区域连通，液体被引入所述通道。

在另一个方面中，本发明提出一种从液体中除去气泡的方法。提供具有壁的通道，所述通道具有多个隔开的突起，该突起从所述壁向所述通道中延伸至末端。所述突起基本上防止液体侵入突起中。一真空源与所述壁和所述突起的末端之间的区域连通，液体被引入所述通道。在一些实现方式中，气泡的直径小于5μm，例如4μm、3μm、2μm、1μm，或更小，例如0.5μm。

其他的方面或实施例可包括以上各方面中的特征以及/或者下面的一个或多个特征的组合。所述通道设置为邻近包括一加压致动器的泵送室，如压电致动器。所述通道至少部分地限定在包括硅材料的基片中。所述通道包括多个壁。所述通道的横截面为非圆形。每一个突起包括疏水性涂层，例如厚度约为所述通道中的液体微滴形成大约150°～176°的接触角。所述疏水性涂层包括含氟聚合物。所述突起基本上从所述通道的整个壁伸出。所述通道具有多个壁，并且所述突起从所述通道的每一个壁伸出。每一个突起基本上与延伸出该突起的壁垂直。每一个突起的横截面基本上为圆形。每一个突起在所述壁处的横截面积比在末端处的横截面积小。每一个突起从所述壁处向末端渐缩，该末端的最大横向尺寸小于0.3μm。在末端处按边缘至边缘测得的、直接相邻的突起之间的间隔小于大约1μm。垂直于所述壁测得的每一个突起的高度为大约2～35μm。垂直于所述壁测得的每一个突起的高度基本上相等。所述通道为用于从喷嘴孔附近区域移除废液的废物控制系统的一部分。所述突起的密度为大约6.0×10⁹个突起/m²～大约3.0×10¹¹个突起/m²。所述通道由层叠的板限定。

可以由多个任一种上述装置构成一个装置。

实施例可以具有以下一个或多个优点。可将隔开的突起引入任何液体流动通道，例如，邻近泵送室的通道，从而使液体，例如墨，流过所述流动通道的阻力减小。与不包含这种突起的流动通道比较，流动阻力可减小60％、70％、80％、90％、95％或超过99％。较低的流动阻力使得可以更快地重新充满泵送室。例如，快速重新充满泵送室表示能够以更高的频率，例如25KHz、50KHz、100KHz或更高，例如150KHz来喷射滴。更高频率的打印可通过增加滴喷射的速度、减小喷射的滴的尺寸和提高喷射的滴的速度均匀性，来改善喷射的滴分辨率。快速重新充满泵送室还可减小喷射错误，例如由于在喷嘴处吸入空气造成的误起动，而这种误起动可导致打印质量降低。除了降低流体流动阻力外，隔开的突起一般较小，因此占据空间小。因为流动阻力小，所以可以减小液体流动通道的厚度，这通常可以使打印装置进一步小型化。隔开的突起的另一优点为它们可吸收能量，从而减小设置在打印装置中的各个滴喷射器之间的声音干扰作用，例如串扰。另外，隔开的突起的区域可以与真空源结合使用，用于除去在流动通道中流动的液体中的气体，而不需要膜片来限制通道中的液体。当在很接近泵送室处进行时，在打印装置中使用这种除气尤其有效。因此，可以有效地除去液体中的气体，这可改善打印装置内清除(purge)处理，以及改善高频操作，例如，减小整流扩散。在一些结构中，当液体流过所述突起时，隔开的突起可从液体中除去气泡。所述流动阻力较低和吸收能量的优点被认为是源于突起中截留的空气，但是本发明不希望限于任何特定的理论。

这里所提及的所有出版物、专利申请、专利和其他参考资料的全部内容通过引用结合于此。

其他方面、特点和优点将在说明书、附图和权利要求书中显见。

附图说明

图1为滴喷射装置的横截面图；

图1A为图1的区域1A的放大图；

图1B为图1的区域1B的放大图；

图IC为图1所示突起的放大透视图；

图2A为另一实施例的突起的俯视图；

图2B为图2A所示突起的侧视图；

图2C为图2A所示突起的透视图；

图3为示出接触角测量的侧视图；

图4为层叠的流动通道的分解透视图；

图4A为另一个层叠的流动通道的分解透视图；

图4B为沿4B-4B截取的图4A所示流动通道的横截面图；

图4C为图4B的区域4C的高度放大的图；

图5为在基片上打印的装置的侧视图；

图6为滴喷射装置的一部分的俯视图，示出了喷嘴孔和接近喷嘴孔的清洁孔；

图6A和6B为图6所示滴喷射装置的横截面图；

图6C为图6A的区域6C的放大图。

具体实施方式

总的来说，所公开的装置包括具有壁和多个突起的液体通道，所述突起被间隔开，并且从壁延伸至所述通道中。突起基本上可防止液体，例如墨或生物流体，侵入突起中。这种通道可以用于例如降低通道中的流体流动阻力，排除通道中液体中的气体以及/或者从液体中除去气泡，或者形成具有减小声音干扰作用，如串扰，的能量吸收流动通路。

参见图1可看出，滴喷射装置100包括横截面为矩形的液体通道102。通道102由相对的多对壁104、104’和105、105’(在这个横截面图中看不见)限定而成。从通道102的每一个壁伸出多个突起106。通过减小相邻的突起之间的间隔和用疏水性材料，如聚四氟乙烯，涂敷突起，突起106可以基本上防止液体109侵入突起106中。装置100还包括一个基片110和一个致动器112，如压电致动器。基片110限定出通道102、过滤器114、泵送室116、喷嘴通路118和喷嘴孔120。致动器112位于泵送室116上方。液体109从歧管(manifold)流动通道(未示出)供应给通道102(箭头121)，然后被引导通过过滤器114(箭头123)进入泵送室116中(箭头125)。泵送室116中的液体109由致动器112加压，使压力沿着喷嘴通路118(箭头127)传递，从而从喷嘴孔120喷出滴122。

基片110可以为例如单片式的半导体，例如绝缘体上硅(SOI)基片，其中通过刻蚀形成通道102、泵送室116和喷嘴通路118。在这种情况下，基片110可以包括由单晶硅制成的上层124、也是由单晶硅制成的下层126和由二氧化硅制成的埋置层130。如Bibl等人在已公开的美国专利申请2004/0004649号中所述，这样形成的基片的厚度均匀性高。

现参见图1、1A、1B和1C，与没有突起106的相同尺寸的通道比较，液体109进入与泵送室116相邻的通道102(箭头121)的流动阻力较小。这种流动阻力的减小被认为是由于液体109被突起106的末端130支承，有效地减小了液体109和壁104、104’、105和105’之间的接触量而引起的，但是本发明不希望限于任何特定理论。这减小了液体109和通道102之间的摩擦力，使流体的流动阻力明显的减小。在一些实施例中，流动阻力可减小例如60％，70％，80％，90％，95％或超过99％。降低流体流动阻力使得可以进行更高频率的喷射并改善分辨率。降低流体流动阻力还使得可以进行小型化改进，因为对于更薄的通道可以得到相同的流动阻力。

突起106可利用深反应离子刻蚀(DRIE，deep reactive ion etching)方法形成。例如Jansen在Micromech.Microeng期刊1995年第5期第115～120页(J.Micromech.Microeng.5，115-120(1995))以及1996年在IEEE第250～257页(IEEE，250-257(1996))中描述了“微型草地(micro-grass)”的制造方法。另外，Kim于2002年在IEEE第479～482页(IEEE，479-482(2002))中描述了一些方法。

为了防止液体109侵入突起106中，选择制造突起的材料，以及突起的间隔、尺寸、位置、形状、数量和图案。虽然当液体109由末端130支承时，流动阻力减小，但当突起被流体109浸润时，流动阻力会增加。

具体参见图1A，在一个实施例中，选择材料，并且突起106之间的间隔尺寸S使得毛细作用的力或者在施加高于周围大气压约2.5个大气压、2.0个大气压、1.5个大气压或更小，如0.5个大气压的压力的过程中，液体不被吸入由相邻的突起形成的开口中。在实施例中，突起106由具有足够疏水性的材料制成(或涂敷有所述材料)，并且相邻的突起之间的间隔尺寸S，在于末端130处从边缘至边缘地测量时，小于大约2μm，例如1.50μm、1.25μm、1.00μm、0.75μm或更小，如0.25μm。在一些实施例中，突起106限定出一系列的行和列。在另一些实施例中，由突起106形成的图案不大有序，而是比行和列更随机。

在具体的实施例中，为了防止液体109侵入突起106中，每一个突起包括疏水性涂层，例如含氟聚合物涂层，并且直接相邻的突起106之间的间隔S小于大约1μm。一般，涂层厚度为大约

，足以使突起106具有充分的疏水性。通过使用

进行旋涂，可将涂层设置在突起上。通过使用氟基等离子体的DRIE方法，也可将涂层设置在突起106上。Kim于2002年在IEEE第479～482页(IEEE，479-482(2002))中说明了旋涂工艺。在Inoue等人于2000年发表在B：Biointerfaces第19期第257-261页上的文章(Inoue et al.，“Colloids and Surfaces”，B：Biointerfaces 19，257-261(2000))；Youngblood等人于1999年发表在Macromolecules第32期第6800-6806页上的文章(Youngblood et al.，Macromolecules 32，6800-6806(1999))；Chen等人于1999年在Langmuir第15期第3395～3399页上发表的文章(Chen et al.，Langmuir 15，3395～3399(1999))；Miwa等人于2000年在Langmuir第16期第5754～5760页上发表的文章(Miwa et al.，Langmuir 16，5754～5760(2000))；Shibuichi等人于1996年发表在J.Phys.Chem.第100期第19512-19517页上的文章(Shibuichi et al.，J.Phys.Chem.100，19512-19517(1996))；以及等人于2001年发表在IEEE第475～478页上的文章(

IEEE，475～478(2001))中也讨论了疏水性表面。

参见图3可看出，基片的疏水性与其被液体，如墨，浸润的能力有关。通常用接触角来定量表示基片的疏水性。一般，如在ASTM D 5946-04中所述，为了测量液体的接触角θ，测量在基线150和在三相点(three-phasepoint)上引至微滴表面的切线152之间的角度。数学上，θ＝2arctg(A/r)，式中A为微滴图像的高度，r为在基部的一半宽度。对于带有突起106的通道102，基线150由突起106的末端确定。在一些实施例中，希望接触角θ为大约150°～176°，例如大约155°～175°或大约160°～172°。

在一些实施例中，为了防止液体109侵入突起中，每一个突起106包括疏水性涂层，并且突起的密度为大约6.0×10⁹个突起/m²～大约3.0×10¹¹个突起/m²。

在一些实施例中，每一个突起106基本上与其所伸出的壁垂直，并且每一个突起的横截面基本上为圆形。具体参见图1B可看出，在一些实施例中，每一个突起106的高度H_A，在垂直其所伸出的壁测量时，大约为0.25～35μm，如0.5、0.75、0.9、1、2、5μm或更大，如10μm。

据估计，在每一个突起106包括厚度的含氟聚合物涂层并且相邻突起之间的间隔大约为1μm的具体实施例中，相对于不包含突起的通道，通道的横截面积可减小为五分之一(5-fold reduction)，同时保持与没有突起的通道相同的流动阻力。

通道102可与真空源结合使用，以除去流过通道102的液体109中的气体。当在很接近(例如邻近)泵送室116的地方进行时，这种除气可以特别有效。经有效除气的流体可以改善清除(purge)处理，而这又可以更小的整流扩散(rectified diffusion)来改善高频操作。参见图1A和1C，通过在壁104’上限定出孔160以及通过使孔160与真空源162流体连通，可以利用通道102除去液体109中的气体。当突起106带有

余层并且相邻的突起之间的间隔尺寸S为1μm时，孔160中的压力可以在周围大气压力以下大约750mm Hg，而液体109不会侵入突起106中。

参见图4，在一些实施例中，通过将三块板层叠在一起而形成通道。例如，底板181包括凹陷的切口183，该切口包括具有多个突起109的壁。中间板185包括与切口183互补的长椭圆形孔187。顶板189包括与中间板185的孔187和底板181的切口183互补的凹陷的切口191。凹陷的切口191也具有带有多个突起109的壁。顶板189包括三个孔193、195和197。通过粘接来组装板181、185和189，使得切口183和191与孔187对准，形成一个通道。在组装之后，液体流入孔193中并从孔197流出。为了除去液体109中的气体，将真空施加在孔195上(或者如果需要的话，施加在多个这样的孔上)。在一些实施例中，孔195的直径大致与突起之间的间隔S相等，小于1μm，例如为0.5μm，并且每一个孔193和195的直径小于15mm，例如10mm、5mm或更小，如1mm。

另外一些层叠的流动通道也是可能的。例如，参见图4A、4B和4C，流动通道由层叠底板401、中间板405和顶板417形成。顶板417包括三个孔411、413和415。底板401包括一个椭圆形的刻蚀区域403，该区域以从壁433伸出的多个突起106为边界，壁433相对于板401的顶面431凹陷一与突起的高度相等的量。因此，突起106的末端130与表面431共面。中间板405包括长椭圆形孔407，该孔具有由边缘437和439确定的横向尺寸。除了延伸超出孔407的边缘437一定距离的部分435以外，该长椭圆与区域403互补。通过粘接组装板401、405和417，使得孔411的边缘451与孔407的边缘439对齐，边缘439与区域403的边缘453对齐。同时，孔413的边缘455与孔407的边缘437对准，板417的孔415与板405的孔421对准。在组装时，孔415与真空源(未示出)连接。这可使真空源与壁433和每一个突起106的末端130之间的区域467连通，以便除去液体中的气体和/或除去直径小于10μm，例如5、4、3μm或更小，如1μm的气泡。在一些实施例中，每一个孔411、413和415的直径小于15mm，例如10mm、5mm或更小，如1mm。

回到图1A和图1C，在一些实施例中，在突起106和壁的交汇部132的横截面积比在突起106的末端130处的小。例如，在突起106和壁的交汇部132处的最大横向尺寸A可为1μm，在突起106的末端130处的最大横向尺寸B可为2μm。参见图2A和2C，在一些实施例中，每一个突起106’从突起106’和壁的交汇部132’开始渐缩为尖形的末端134。在一些实施例中，每一个突起106’在突起106’和壁的交汇部132’处的最大横向尺寸C小于2μm，并且渐缩至尖形的末端134，末端134的最大横向尺寸E小于0.3μm，例如0.2μm或更小，如0.05μm。

除了减小流体流动的阻力以外，我们还发现突起106的柔顺性很高，使得被突起106捕获的空气可吸收能量，从而减小布置在打印装置中的各个滴喷射器之间声音干扰，例如串扰。参见图1和2B可看出，在喷射滴122的过程中，泵送室116被致动器112加压，使得压力沿着喷嘴通路118传递，从而从喷嘴孔120喷出滴122。在喷射滴的过程中，压力也传递至通道102。结果，通道102中的液体109被稍微推入突起106中，从名义的弯液面位置170推至较高压力的弯液面位置172。这种稍微的侵入可形成比墨的柔顺性大得多的柔顺性，有效地将压力波反射回泵送室中，防止在一个滴喷射装置中产生的能量干扰附近的(例如相邻的)滴喷射装置的滴喷射操作。在加压以后，弯液面位置172回到弯液面位置170。据估计，含氟聚合物涂层厚度为

且相邻突起之间的间隔约为1μm的55μm²面积的突起可提供1pL/psi的柔顺性。

在一些结构中，当液体横向流过突起时，间隔开的突起可除去液体中的气泡。

多个装置100可排成阵列以形成将滴沉积在基片上的装置。图5示出连续地将微滴，例如墨微滴，沉积在基片302(例如纸)上的装置300。将基片302从上供应站306上的卷轴304拉出，并送至一系列的微滴沉积站308，以便将多种微滴，例如不同颜色的微滴，投放在基片302上。每一个微滴沉积站308具有位于基片302上方的微滴喷射组件310，用于将微滴沉积在基片302上。每一个微滴喷射组件包括多个图1所示的装置，例如大约250～1000个这种装置或更多。控制器325将信号提供给装置100的致动器112，以按照预先确定的图案喷射滴。在每一个微滴喷射组件310处的基片302下方为基片支承结构312(例如台板)。在基片302离开最后的沉积站314后，它可以去预修整(pre-finishing)站316。预修整站316可以用于干燥基片302。其次，基片302移动至修整站318，在那里基片被折叠和切开以形成最终的产品320。在一些实施例中，基片302以大约0.25米/秒～大约5米/秒或更高的速度送进。

虽然，通道102被示为位于液体供应通道上面，在一些实施例中，通道102为废物控制系统的一部分，构造成用于从接近喷嘴孔的区域移除废液。在Hoisington等人的题为“微滴喷射组件(Droplet Ejection Assembly)”、序列号为10/749829的美国专利申请中，描述了一废物控制系统。

现参见图1、6、6A、6B和6C，喷嘴宽度为W_N的喷嘴120被废墨控制孔200围绕，孔的宽度为W_A。孔大致围绕喷嘴120，并且与喷嘴孔120的周边隔开一距离S₁。随着时间推移，流体可以在喷嘴孔周围形成液池，这可造成打印错误。孔200可在形成过量的液池之前除去废液。在一些实施例中，孔与喷嘴周边相邻较近。例如，在一些实施例中，间隔大约为喷嘴宽度的200％或更小，例如50％或更小，例如20％或更小。在一些实施例中，孔离喷嘴周边的间隔较大，例如为喷嘴直径的200％～1000％或更大。在一些实施例中，孔可以按各种间隔设置，包括相隔较近的孔和间隔较远的孔。在一些实施例中，每一个喷嘴有3个或更多的孔与之相关联。在具体的实施例中，孔的宽度大约比喷嘴宽度小30％或更小，例如20％或更小，或5％或更小。在抽出流体过程中，孔上的真空大约为0.5～10英寸水柱(inwg)或更大。喷嘴宽度约为200μm或更小，例如10～50μm。墨或其他喷射流体的粘度大约为1～40厘泊。在喷嘴板上以大约25个喷嘴/英寸或更多，例如100～300个喷嘴/英寸的间距设置多个喷嘴。滴的体积约为1～70pL。

具体地参照图6A，孔200与通道202连通，通道202通至一个真空源，例如间歇地或连续地产生真空的机械真空装置(未示出)。参见图6B，真空从喷嘴周围抽取废墨111(箭头)。从喷嘴板抽取的墨可以再循环至墨源或导向废物容器。参见图6C，通道202具有壁204，该壁204带有多个从壁204伸出的突起106，其可基本上降低通道202中的液体流动阻力。这减小了除去废流体111需要的真空要求。

下面还有一些实施例。

例如，虽然可在打印工序中喷墨，但是所述的滴喷射装置可以用于喷射非墨的流体。例如，沉积的微滴可以为可通过紫外线或其他辐射固化的材料或其他材料，例如，能够作为滴输送的化学或生物流体。

虽然说明了用于滴喷射装置的通道，但所述的通道可以为用于高吞吐量的筛选分析的精确分配系统的一部分。通道可以为其他装置，例如任何流体处理系统，如血液处理系统的一部分，在这些系统中，希望在处理过程中不损坏细胞。另外，这种通道还可用在任何流体处理系统中，以便在需要时除去流体中的气体。

虽然讨论了压电致动器，但是其他机电致动器也可以使用。另外，可使用热致动器。

虽然讨论了封闭通道，但是开放通道也可以使用。

虽然描述了某些突起形状，但是其他的突起形状也可以采用，例如方形、五角形、六角形、八角形和椭圆形。

还有另一些实施例也在所附权利要求的范围内。

Claims (34)

1.一种滴喷射装置，其包括：

具有壁的液体通道；和

多个隔开的突起，所述突起从所述壁延伸至所述通道中，其中，所述突起防止液体侵入突起之间的空间中。

2.如权利要求1所述的装置，其中，所述通道设置为邻近包括一加压致动器的泵送室。

3.如权利要求2所述的装置，其中，所述加压致动器包括压电材料。

4.如权利要求1所述的装置，其中，所述通道至少部分地限定在包括硅材料的基片中。

5.如权利要求1所述的装置，其中，所述通道包括多个壁。

6.如权利要求1所述的装置，其中，所述通道的横截面为非圆形。

7.如权利要求1所述的装置，其中，每一个突起包括疏水性涂层。

8.如权利要求7所述的装置，其中，所述疏水涂层的厚度为

9.如权利要求7所述的装置，其中，所述通道中的液体微滴在所述突起上形成150°～176°的接触角。

10.如权利要求7所述的装置，其中，所述疏水性涂层包括含氟聚合物。

11.如权利要求1所述的装置，其中，所述突起从所述通道的整个壁伸出。

12.如权利要求1所述的装置，其中，所述通道具有多个壁，并且所述突起从所述通道的每一个壁伸出。

13.如权利要求1所述的装置，其中，每一个突起与延伸出该突起的壁垂直。

14.如权利要求1所述的装置，其中，每一个突起的横截面为圆形。

15.如权利要求1所述的装置，其中，每一个突起在所述壁处的横截面积比在末端处的横截面积小。

16.如权利要求1所述的装置，其中，每一个突起从所述壁处向末端渐缩，该末端的最大横向尺寸小于0.3μm。

17.如权利要求1所述的装置，其中，在末端处按边缘至边缘测得的、直接相邻的突起之间的间隔小于1μm。

18.如权利要求1所述的装置，其中，垂直于所述壁测得的每一个突起的高度为2～35μm。

19.如权利要求1所述的装置，其中，垂直于所述壁测得的每一个突起的高度相等。

20.如权利要求1所述的装置，其中，还包括限定在延伸出所述突起的壁上的孔。

21.如权利要求20所述的装置，其中，所述孔与真空源流体连通。

22.如权利要求1所述的装置，其中，所述通道为用于从喷嘴孔附近区域移除废液的废物控制系统的一部分。

23.如权利要求1所述的装置，其中，所述突起的密度为6.0×10⁹个突起/m²～3.0×10¹¹个突起/m²。

24.如权利要求1所述的装置，其中，所述通道由层叠的板限定。

25.一种在基片上沉积滴的装置，其包括多个如权利要求1所述的装置。

26.一种液体喷射方法，其包括：

提供一个滴喷射装置，所述装置包括：具有壁的液体通道；和多个隔开的突起，所述突起从所述壁延伸至所述通道中，其中，所述突起防止液体侵入突起之间的空间中；

将流体供应给所述通道；以及

通过对所述液体加压，使液体通过与所述通道流体连通的喷嘴喷射。

27.如权利要求26所述的方法，其中，所述液体包括墨。

28.如权利要求26所述的方法，其中，所述液体的表面张力为10～60达因/厘米且液体的粘度为1～50厘泊。

29.如权利要求26所述的方法，其中，液体的粘度为1～40厘泊。

30.一种除去液体中气体的方法，其包括：

提供具有壁的通道，所述通道具有：多个隔开的突起，该突起从所述壁延伸至所述通道中，其中所述突起防止液体侵入突起之间的空间中；和限定在所述通道上并与一泵流体连通的孔；

将液体引入所述通道中；以及

操作所述泵，使得所述孔周围的压力小于大气压力。

31.一种除去液体中气体的方法，其包括：

提供具有壁的通道，所述通道具有：多个隔开的突起，该突起从所述壁向所述通道中延伸至末端，其中所述突起防止液体侵入突起之间的空间中；和与所述壁和所述突起的末端之间的区域连通的真空源；以及

将液体引入所述通道。

32.一种从液体中除去气泡的方法，其包括：

提供具有壁的通道，所述通道具有：多个隔开的突起，该突起从所述壁向所述通道中延伸至末端，其中所述突起防止液体侵入突起之间的空间中；和与所述壁和所述突起的末端之间的区域连通的真空源；以及

将液体引入所述通道。

33.如权利要求32所述的方法，其中，所述气泡的直径小于5μm。

34.如权利要求33所述的方法，其中，所述气泡的直径小于2μm。

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