CN101242956A - 用于可改变规模的微滴喷射制造的方法和装置 - Google Patents

用于可改变规模的微滴喷射制造的方法和装置 Download PDF

Info

Publication number
CN101242956A
CN101242956A CNA2006800304852A CN200680030485A CN101242956A CN 101242956 A CN101242956 A CN 101242956A CN A2006800304852 A CNA2006800304852 A CN A2006800304852A CN 200680030485 A CN200680030485 A CN 200680030485A CN 101242956 A CN101242956 A CN 101242956A
Authority
CN
China
Prior art keywords
printhead
droplet ejection
stream
liquid
fluid
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
CNA2006800304852A
Other languages
English (en)
Other versions
CN101242956B (zh
Inventor
A·比布尔
M·舍普勒
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Fujifilm Dimatix Inc
Original Assignee
Fujifilm Dimatix Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Fujifilm Dimatix Inc filed Critical Fujifilm Dimatix Inc
Publication of CN101242956A publication Critical patent/CN101242956A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN101242956B publication Critical patent/CN101242956B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41JTYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01Ink jet
    • B41J2/015Ink jet characterised by the jet generation process
    • B41J2/04Ink jet characterised by the jet generation process generating single droplets or particles on demand
    • B41J2/045Ink jet characterised by the jet generation process generating single droplets or particles on demand by pressure, e.g. electromechanical transducers
    • B41J2/05Ink jet characterised by the jet generation process generating single droplets or particles on demand by pressure, e.g. electromechanical transducers produced by the application of heat
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41JTYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01Ink jet
    • B41J2/135Nozzles
    • B41J2/14Structure thereof only for on-demand ink jet heads
    • B41J2/1433Structure of nozzle plates
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01LCHEMICAL OR PHYSICAL LABORATORY APPARATUS FOR GENERAL USE
    • B01L3/00Containers or dishes for laboratory use, e.g. laboratory glassware; Droppers
    • B01L3/02Burettes; Pipettes
    • B01L3/0241Drop counters; Drop formers
    • B01L3/0268Drop counters; Drop formers using pulse dispensing or spraying, eg. inkjet type, piezo actuated ejection of droplets from capillaries
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41JTYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01Ink jet
    • B41J2/015Ink jet characterised by the jet generation process
    • B41J2/04Ink jet characterised by the jet generation process generating single droplets or particles on demand
    • B41J2/045Ink jet characterised by the jet generation process generating single droplets or particles on demand by pressure, e.g. electromechanical transducers
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41JTYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01Ink jet
    • B41J2/135Nozzles
    • B41J2/14Structure thereof only for on-demand ink jet heads
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41JTYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01Ink jet
    • B41J2/135Nozzles
    • B41J2/14Structure thereof only for on-demand ink jet heads
    • B41J2/14201Structure of print heads with piezoelectric elements
    • B41J2/14233Structure of print heads with piezoelectric elements of film type, deformed by bending and disposed on a diaphragm
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41JTYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01Ink jet
    • B41J2/135Nozzles
    • B41J2/145Arrangement thereof
    • B41J2/15Arrangement thereof for serial printing
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41JTYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01Ink jet
    • B41J2/135Nozzles
    • B41J2/16Production of nozzles
    • B41J2/1607Production of print heads with piezoelectric elements
    • B41J2/161Production of print heads with piezoelectric elements of film type, deformed by bending and disposed on a diaphragm
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41JTYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01Ink jet
    • B41J2/135Nozzles
    • B41J2/16Production of nozzles
    • B41J2/1621Manufacturing processes
    • B41J2/1623Manufacturing processes bonding and adhesion
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41JTYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01Ink jet
    • B41J2/135Nozzles
    • B41J2/16Production of nozzles
    • B41J2/1621Manufacturing processes
    • B41J2/1626Manufacturing processes etching
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41JTYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/485Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by the process of building-up characters or image elements applicable to two or more kinds of printing or marking processes
    • B41J2/505Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by the process of building-up characters or image elements applicable to two or more kinds of printing or marking processes from an assembly of identical printing elements
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41JTYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J3/00Typewriters or selective printing or marking mechanisms characterised by the purpose for which they are constructed
    • B41J3/54Typewriters or selective printing or marking mechanisms characterised by the purpose for which they are constructed with two or more sets of type or printing elements
    • B41J3/543Typewriters or selective printing or marking mechanisms characterised by the purpose for which they are constructed with two or more sets of type or printing elements with multiple inkjet print heads
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01LCHEMICAL OR PHYSICAL LABORATORY APPARATUS FOR GENERAL USE
    • B01L2200/00Solutions for specific problems relating to chemical or physical laboratory apparatus
    • B01L2200/14Process control and prevention of errors
    • B01L2200/148Specific details about calibrations
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01LCHEMICAL OR PHYSICAL LABORATORY APPARATUS FOR GENERAL USE
    • B01L2400/00Moving or stopping fluids
    • B01L2400/04Moving fluids with specific forces or mechanical means
    • B01L2400/0403Moving fluids with specific forces or mechanical means specific forces
    • B01L2400/0433Moving fluids with specific forces or mechanical means specific forces vibrational forces
    • B01L2400/0439Moving fluids with specific forces or mechanical means specific forces vibrational forces ultrasonic vibrations, vibrating piezo elements
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T29/00Metal working
    • Y10T29/49Method of mechanical manufacture
    • Y10T29/49401Fluid pattern dispersing device making, e.g., ink jet

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Clinical Laboratory Science (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
  • Coating Apparatus (AREA)
  • Ink Jet (AREA)
  • Application Of Or Painting With Fluid Materials (AREA)

Abstract

本发明公开了一种方法,包括:从包括第一打印头和第一流体源的第一微滴喷射沉积系统喷射具有第一组成的液体;在第一微滴喷射沉积系统的多种喷射条件下,收集关于液体性状的信息;在所选择的喷射条件下,从包括第二打印头和第二流体源的第二微滴喷射沉积系统中喷射具有第一材料组成的液体。该第一打印头具有较少数目的流路,第一流体源构造成用来保持较少体积的液体。该第二打印头具有多个大致相同的流路,各个流路中的每一个大致与较少数目的流路中的至少一个相同,第二打印头中的流路数目远大于第一打印头中的流路数目。

Description

用于可改变规模的微滴喷射制造的方法和装置
相关申请交叉引用
本申请要求2005年7月13日提交的、序号为60/699111的美国申请的优先权。
技术领域
本发明涉及使用流体微滴的喷射的制造技术。
背景技术
在各种工业中,通过从流体喷射模块喷射流体微滴来可控制地将流体沉积到基板上是很有用的。例如,喷墨打印响应于电子数字信号使用打印头来产生沉积到基板如纸张或透明薄膜上的墨滴,从而在基板上形成图像。
喷墨打印机通常包括从墨源到打印头的墨通路,该打印头包括从其喷射墨滴的喷嘴。墨滴喷射可通过利用致动器对墨通路中的墨加压而进行控制,该致动器例如可为压电致偏器、热泡喷注发生器或静电致偏元件。典型的打印头具有一排喷嘴,所述喷嘴有相对应的墨通路阵列及相关联的致动器,从每个喷嘴的液滴喷射可独立地控制。在所谓的“按需滴下(drop-on-demand)”打印头中,当打印头和打印介质相对于彼此运动时,激发每个致动器以便按照选择将液滴喷射在图像的特定像素位置。高性能打印头可具有几百个喷嘴,且喷嘴可具有50微米或更低(如25微米)的直径,可以以每英寸100-300个喷嘴的节距分离,并可提供大约1到70皮升(pl)或更小的微滴尺寸。微滴喷射频率通常为10kHz或更高。
打印头可包括半导体打印头本体和压电致动器,例如在Hoisington等人的美国专利No.5,265,315中所述的打印头。打印头本体可由硅制成,其被蚀刻以便限定墨室。喷嘴可由附连至硅本体的分离式喷嘴板限定。压电致动器可具有一层压电材料,该层压电材料响应于外加电压而改变几何形状或者发生弯曲。压电层的弯曲对沿着墨通路设置的泵室中的墨加压。
发明内容
可以获得具有不同材料组成的许多种类的流体,并且这些流体的数量随着新材料和组成的研究而持续增加。经常,需要测试流体在提议的应用中的有效性。例如,可能需要测量生物化合物的活性,以确定用于药物的最佳候选物。另外,由于其不同的材料特性,流体在相同的微滴喷射条件下会有不同的反应。因此,为了使特定流体产生最佳沉积,可能需要单独地确定微滴喷射条件。本发明能够实现一种可改变规模的(scalable)技术,这种技术容许当转为在大规模(如商业或大体积)微滴喷射条件下使用流体时,能够有效地应用在小规模测试期间获知的流体信息。
总的说来,本发明的一个方面描述了一种方法,该方法包括从第一微滴喷射沉积系统喷射具有第一组成的液体、在第一微滴喷射沉积系统的多种喷射条件下收集关于液体性状的信息、以及在所选择的喷射条件下从第二微滴喷射沉积系统喷射具有这种第一材料组成的液体,其中,第一微滴喷射沉积系统包括第一打印头和第一流体源,第二微滴喷射沉积系统包括第二打印头和第二流体源。
第一打印头具有较少数目的流路,第一流体源构造成用来保持第一体积的液体。第二打印头具有多个大致相同的流路,各个流路中的每一个与所述较少数目的流路中的至少一个大致相同,且在第二打印头中的流路数目远大于第一打印头中的流路数目。第二流体源不是独立的,或者第二流体源构造成用来保持比第一体积大的第二体积的液体。
本发明的实施方案可包括一个或多个下述特征。较少数目例如至多为10个,比如为1个。在第二打印头中的流路数量至少是第一打印头中的流路数量的10倍,比如为100倍。各个第一流路和第二流路可包括喷嘴和入口,且第一打印头和第二打印头可包括用于各个流路的致动器。选择喷射条件可包括确定至少满足从第一微滴喷射沉积系统或从第二微滴喷射沉积系统喷射微滴的喷射条件。可基于该信息设计第二打印头。流体供给单元可连接到打印头单元,以形成可以可拆卸地安装在第一微滴喷射沉积系统中的盒。可将液体输送到流体供给单元。流体供给单元和打印头单元可以一旦连接基本上就不可分开。盒可以是一次性的,而第二打印头可以是可重复使用的。流体供给单元可以是独立的,而第二流体源不是独立的。可从第一微滴喷射沉积系统喷射具有不同组成的多种液体。可测试所述多种液体在提议的应用中的有效性,且可基于该有效性从不同的组成中选择第一组成。可以收集关于所述多种液体的性状的信息,并可基于微滴喷射的适用性从不同组成中选择第一组成。
本发明的实施可以实现一个或多个以下的优点。可使用适用于小体积液体的微滴喷射系统来测试流体,容许保存有价值的测试流体,并因此降低了测试成本。由于在小规模和大规模微滴喷射模块中流体流路结构类似或相同,流体在给定的一组微滴喷射条件下应该有类似反应。因此,当转向在大规模(如商业或大量)微滴喷射条件下使用流体时,可有效地应用在小规模测试期间获知的关于流体的信息。可在较少(或甚至没有)测试反复的情况下设计大规模微滴喷射模块,且可显著减少用来确定其他微滴喷射条件的测试时间。因此,可显著减少从鉴定适合的流体到商业化使用该流体所需的时间。总之,本发明可使得制造商能够更快地、以更低的研究和开发成本进入使用微滴喷射应用的市场。
本发明的一个或多个实施例的细节在下面的附图和说明书中说明。本发明的其他特征、目的和优点将通过说明书和附图以及通过权利要求书而得到清楚理解。
附图说明
图1是示出用于将微滴喷射技术投入市场的方法的流程图;
图2是用于测试液体的小规模微滴喷射打印的打印机的示意图;
图3A是流体供给单元和打印头单元的示意图;
图3B是将图3A的流体供给单元和打印头单元连接起来从而形成图2的打印机中使用的盒的示意图;
图4A-4C是小规模打印系统的三种实施方案中的流路的示意图;
图5是用于规模扩大的打印系统的打印头单元的示意图;
图6是规模扩大的打印系统的流路的示意图;
图7是用于规模扩大的微滴喷射打印的打印机的示意图;
图8是打印头的横截面视图;
图9是打印头的电极的顶视图;
图10A和10B是具有一个流路和一个喷嘴的打印头的顶视图和底视图;
图11A、11B和11C是具有多个流路和多个喷嘴的打印头的顶视图、底视图和透视图;
图12A是具有多个喷嘴的打印头的顶视图,其中,交替的喷嘴的流路朝向模的相对边缘延伸;
图12B是图12A所示的打印头的局部底视图;
图13是打印头的底视图,其中,相邻喷嘴的开口稍稍偏置。
在各图中同样的参考符号表示同样的元件。
具体实施方式
如上所述,可以获得具有不同材料组成的许多种类的液体,并且这些液体的数量随着新材料和组成的研究而持续增加。可能需要测试液体在提议的应用中的有效性,并且可能需要单独地确定微滴喷射条件,以使特定液体产生最佳沉积。
一种可能需要测试的典型液体是墨,且为了说明性目的,以下参考打印头模块来描述该技术和微滴喷射模块,该打印头模块使用的液体为墨。然而,应该理解,可以使用其他液体,如制造显示器所使用的场致发光材料或者液晶材料,或者在电路制作如集成电路或电路板制作中使用的金属、半导体或有机材料,以及例如用于药物的有机或生物材料等。
参考图1,首先,设置一种实验室沉积系统(步骤10)。该实验室沉积系统包括测试打印机。参考图2,测试打印机30包括平台32,一个或多个打印盒38能够可拆卸地固定到该平台32上。每个盒包括流体供给单元40和打印头单元50。测试打印机30还包括用以保持基板36的支架34和用来提供盒38与基板36之间的相对运动的机构,其中,该基板36将接收从盒中的打印头喷射的墨滴39。测试打印机30还将包括一个界面,该界面将把盒上的电接点电子联接到驱动系统如可编程数字计算机。测试打印机还可包括压力控制线路,该压力控制线路可流体联接到盒上,从而提供可控负压,以控制盒中的打印头中的弯液面。然而,测试打印机30并不包括任何分离的墨源或者用于联接到墨源的连接装置;按照预期,墨源装在将固定到平台32上的盒内。
在申请人共有的、2005年7月13日提交的、序号为60/699436的美国临时专利申请中描述了一种适当的测试打印机,其全部内容在此引入作为参考。在这种实施方案中,平台32可沿着X轴运动,支架34可绕Z轴旋转并沿着Y轴运动。然而,在其他实施方案中,支架34基本上不可运动或者只可进行旋转,而平台32可沿着X轴和Y轴运动。替代地,平台32可基本上是不可运动的,而支架可旋转并可沿着X和Y轴运动。
这种实验室沉积系统可包括其他元件,如用于脆性基板的基板操纵系统、用于固化沉积的液体的固化系统或者用来防止污染基板或防止危险化合物从沉积液体中释放的密封环境。在2005年7月13日提交的、序号为60/699437的共有美国临时专利申请中描述了一种实验室沉积系统,其公开内容在此全部引入作为参考。
再参考图1,除了实验室沉积系统外,还设置了多个流体供给单元和多个打印头单元(步骤12)。流体供给单元和打印头单元可设在实验室沉积系统之前或之后(或者既设在其前又设在其后)。特别地,流体供给单元和打印头单元能够成套设置,如每种类型的单元为50或100个。
参考图3A,流体供给单元40包括流体供给壳体42和容器44,而打印头单元50包括用来支撑打印头54的打印头壳体52。参考图3A和3B,可将流体供给单元40和打印头单元50连接起来从而形成盒38,该盒38能够可拆卸地安装在平台上。尽管盒38可从平台拆卸,但是一旦将流体供给单元40和打印头单元50连接起来,它们通常不可相互分开,比如,不可在没有物理地破坏盒的元件的情况下分开。例如,在一种实施方案中,流体供给壳体42和打印头壳体52可具有搭扣配合机构。而且,打印头单元50可实施为使得一旦附装了流体供给单元40,就不可清洗打印头单元50。
流体供给单元40构造为有限的液体体积。例如,容器44可以是具有小的离散的容积的容箱,例如小于2.0ml,比如为1.5ml,以适用于昂贵的材料或者其中只应用较小容积的场合。另外,流体供给单元40可以是独立的(self-contained),即,一旦流体供给单元40与打印头单元50组合而形成盒,就将不能添加液体。替代地,流体供给单元40可以构造为使得一旦组装好盒也能添加液体,但是在该盒安装在测试打印机中时则不能。在一种实施方案中,容器44可以是柔性容器,如袋或囊。
打印头单元50中的打印头54是一个本体,如芯片或模,其包括用于微滴喷射的微机电系统(MEMS)。特别地,打印头54可包括硅本体60,一个或多个从入口64到喷嘴66的流路62可穿过该硅本体60形成。另外,打印头54可包括与各个流路62相关联的致动器68,例如压电致动器,从而产生压力脉冲,以从本体中的相应喷嘴66可控地喷射墨滴。穿过打印头壳体52的通道56可将液体从流体供给单元40供给到打印头54。
可主要使用半导体工业工艺技术来制造打印头54,从而精确地形成各种特征以使得各个打印头具有大致相同的流路、材料特征和对控制信号的响应性。通常,打印头54构造用于小规模操作。特别地,打印头54包括有限数目的喷嘴66,例如,十个或更少的喷嘴,比如只有一个喷嘴,其中,墨滴从该喷嘴喷射。
盒(通常打印头壳体52)还包括电接点,所述电接点将与测试打印机的平台上的界面联接。例如通过柔性电路(flex circuit)将电接点连接到打印头54上,从而从驱动系统提供控制信号。盒,例如打印头壳体52可支持信号处理电路,如微处理器或者专用集成电路(ASIC),以便将来自驱动系统的控制信号转换成更加适用于打印头的形式,例如驱动脉冲的形式。另外,盒可包括通道,该通道流体地连接到平台上的压力控制线路,从而提供负压,以控制打印头中的弯液面。
通常,盒38可被看作是一次性的;新盒的成本可与清洁旧盒以接收新的测试液体的成本相当或者更低。因此,通常在盒的整个使用寿命期间,测试流体将仅仅置于容器中一次,流体供给单元40将固定到打印头单元50上从而形成盒38,盒将一直被使用直到确定不再对测试液体感兴趣或者容器大致排空为止,然后将盒丢弃。当然,盒可与其他盒互换,从而在相同的打印机上测试其他液体,并且在确定要丢弃盒之前,盒可在相同或不同的打印机上使用多次。而且,因为流体供给单元和打印头是一次性单元的一部分,打印机将不包括内部元件,如墨供给通道,该内部元件在进行不同液体的测试之间将需要进行清洁(在使用后清洁打印机的外部从而除去测试流体仍将是有利的(例如,在测试流体由于溅回而沉积的情况下),以便防止污染)。
在2004年12月17日提交的序号为60/637254的美国专利申请、2005年7月13日提交的序号为60/699134的美国专利申请以及2005年12月16日提交的序号为11/305824的美国专利申请(在该每个专利申请中,盒都被称作打印头模块)中都描述了可相互连接以形成盒的流体供给单元40和打印头单元50,其全部内容在此引入作为参考。
图4A-4C示意性地示出了盒中的流体流路的三种实施方案。在图4A所示的一种实施方案中,打印头54可包括带有一个喷嘴66的一个流路62,流体供给单元可包括一个容器44。
在图4B所示的一种实施方案中,打印头包括多个流路62-1、62-2、…、62-n,比如10个或更少的流路,各个流路都包括喷嘴66,该喷嘴66共同地流体联接到流体供给单元40中的相同容器44。尽管在示出的系统中,壳体中的通道56分支至各个流路62的分离入口,但打印头54可具有一个共同的入口,并且分支可在硅本体60内进行。流路62-1、62-2、…、62-n的结构可以相同,或者流路可以是不同的结构,例如,具有物理尺寸不同的喷嘴或泵室,或者具有不同的材料特征,例如可在一个流路上设置不浸润涂层,而其他流路上则没有。在同时测试多个流路结构以便确定最适用于特定测试液体的微滴喷射的流路结构时,使用不同的流路可能是有利的。
在图4C所示的实施方案中,打印头包括多个流路62-1、62-2、…、62-n,比如10个或更少的流路,各个流路都具有喷嘴66,该喷嘴66流体地连接到流体供给单元40中的相关容器44。各个容器44可装有不同的测试液体。这对于在相同的喷射条件下同时测试多种测试液体时可能是有利的。
再参考图1,使用实验室沉积系统对一种或多种液体进行测试(步骤14)。特别地,作为测试程序的一部分,可将感兴趣的各种测试液体输送入流体供给单元(步骤14a)。流体供给单元然后联接到打印头单元,从而形成盒(步骤14b),将盒可拆卸地安装在测试打印机中(步骤14c)。然后通过打印头将测试液体作为微滴喷射到测试基板上(步骤14d)。
可选地,作为测试程序的一部分,可测试已经沉积到基板上的测试液体在提议的应用中的有效性(步骤14e)。例如,可能需要测量生物化合物的活性,从而确定用于药物的最佳候选物。作为另一个实例,可能需要测量金属、半导体或绝缘材料的导电性,从而确定用于电路中的导体或介电层的最佳候选物。作为又一个实例,可能需要测量有机或无机材料的不透明性,从而确定用于掩模材料的最佳候选物。基于测试程序,可选择出满足有效性标准的测试液体,以用于进一步研究或使用(步骤14f)。
至少对于选择用于使用的液体,收集关于测试液体在喷射条件下的性状的数据(步骤14g)。使用在测试程序期间收集的数据,确定至少满足液体的商业或者大规模微滴喷射沉积的喷射条件(步骤16)。实际上,这可意味着在各种喷射条件下喷射测试液体,直到鉴别出测试系统中能够提供满意的微滴性状的条件为止。
可在小规模测试期间进行测量以确定对于大规模微滴喷射的喷射条件的适用性的参数可包括微滴特征,如存在轮廓清晰的微滴或者没有尾巴或附属液滴,和微滴的液滴体积、滴落速度或者滴落频率,以及基板上的微滴性状,如溅回的程度、微滴在基板上的粘着情况、微滴在基板上的可湿润性或展开情况。在测试期间可改变(如,通过使打印头顺序地经受不同的条件)的喷射条件的参数包括驱动脉冲形状、振幅和频率、打印头离基板的投射距离,以及墨、基板和环境的温度。可测试的流路的参数(例如,通过同时或顺序地使用具有不同打印头的多个盒,或者通过使用具有带有不同特征的多个流路的盒)包括流路尺寸,如喷嘴、泵室和连接通道的尺寸。在测试期间可改变的液体的参数(如,通过同时或顺序地使用带有不同测试液体的多个盒,或者通过使用具有多个流路的盒,该多个流路连接到具有不同液体的不同容器)包括组成,包含组成产生的特征如粘度、表面张力和密度。
可基于在测试步骤中收集的信息来设计适用于大规模微滴喷射的打印头单元(步骤18)。特别地,这种打印头单元可包括具有多个流路的打印头,该多个流路与测试打印头中的流路基本相同。
参考图5和6,用于商业应用的打印头单元70包括用来支承打印头74的打印头壳体72。打印头74包括大量的流路76,比如,几打或者几百个流路76。通常,打印头74的流路76的数目至少为测试打印头54的流路数目的十倍。各个流路76在结构上大致相同,具有入口64、喷嘴66和致动器68,例如压电致动器,该压电致动器用来产生压力脉冲,以从相应的喷嘴66可控地喷射墨滴。各个流路76可与从测试打印头54所选择的流路62大致相同。各个喷嘴流体地连接到打印头壳体72中的共同通道78(并因此连接到相同的流体源)。再一次,尽管在示出的系统中,壳体72中的通道78分支至各个流路76的分离入口,但打印头74可具有一个共同的入口,并且分支可在硅本体60内进行。
再转向图1,商业微滴喷射沉积系统设有商业打印机(步骤20)。在先前确定的操作条件下,打印头单元于是可用在商业打印机中(步骤22)。可选地,可执行附加的测试,以对操作条件进行微调(步骤24)。然而,由于打印模块中的流路结构和液体组成与测试条件下的相同,只需对操作条件进行微小的改动。一旦已经进行了任何微调,该系统应该随时可用于商业操作(步骤26)。
如果商业微滴喷射过程也只使用有限的液体容积,那么,商业结构可与测试结构类似,如,流体供给单元和打印头单元可组合形成一次性盒,该盒可拆卸地安装在打印机的平台上,容器可以是小容积的容器,且流体供给单元可以是独立的。当然,如前所述,商业结构的不同之处在于,商业打印头包括比测试打印头更多的流路和喷嘴,并且打印机的用于提供打印头和基板之间的相对运动的体系机构也可以是不同的。另外,商业微滴喷射沉积系统中的流体供给单元可构造成用于保持比实验室沉积系统中的流体供给单元更大体积的流体。
替代地,用于商业系统的流体供给单元可以是独立的,容器可以是小容积的容器,但是,打印头单元可以作为可再次使用的单元(而不是作为盒的一次性使用部件)安装在打印机平台上。在这种情况下,流体供给单元可以可拆卸地固定到打印头单元上。
然而,商业微滴喷射过程可使用较大的液体体积。在这种情况下,参考图7,商业打印机80可包括平台82和流体线路84,其中,一个或多个打印头单元70安装到平台82上,而流体线路84用来将打印头单元70流体地联接到分离的流体源86上,该流体源86装有液体87,如墨。流体源86可以被打开,即,可以例如通过端口88将液体添加到流体源86。事实上,可以在流体源86仍连接到打印头单元70上时将液体添加到流体源,例如在打印操作之间或者打印期间进行。在这种实施方案中,打印头单元不是一次性的;如果流体源排空,或者如果要对新的液体进行微滴喷射,则可清洁并再次使用该打印头。
商业打印机30也可包括支架90,以保持基板36,该基板36将从打印头74接收墨滴39,并且商业打印机30还包括用来提供打印头74和基板36之间的相对运动的机构。打印机80也将包括界面,该界面将打印头单元上的电接点电子联接到驱动系统,如可编程数字计算机。打印机也可包括压力控制线路,该压力控制线路可流体地联接到打印头单元,从而提供可控的负压,以控制盒中的打印头中的弯液面。
在2005年4月28日提交的、序号为11/119308的共有美国专利申请中描述了一种示例性的打印头单元,其公开内容在此全部引入作为参考。在2005年4月27日提交的、序号为11/117146的共有美国专利申请中描述了一种用于在打印机中保持打印头单元并向打印头供给墨的示例性安装系统,其公开内容在此全部引入作为参考。
本发明能够实现一种可改变规模的技术,这种技术容许当转为在大规模(如商业或大体积)微滴喷射条件下使用流体时,能够有效地应用在小规模测试期间获知的流体信息。如上所述,由于打印头中的流路结构和液体组成与测试条件下的相同,在相同的操作条件下应该产生几乎一致的性状,因此减少或者甚至消除了对进行附加测试以确定用于商业上的装置的操作条件的需要。另外,可使用低成本打印头进行测试。
然而,为了使得测试打印头和商业打印头的流路结构相同,打印头必须具有可改变规模的结构,且能够以高的公差和打印头之间的低可变性来可靠地制造该结构。以下描述这种打印头的一种实施方案。
参考图8,示出了打印头100中的一个喷射结构的流路的横截面,墨通过供给通路112进入打印头100,并通过上行部分(ascender)108被引导至阻抗特征(impedance feature)114和泵室116。通过致动器122对泵室中的墨加压,并通过下行部分(descender)118将该墨引导至喷嘴开口120,从该喷嘴开口120喷射墨滴。
在本体124中限定流路特征。本体124包括基部、喷嘴部和薄膜。基部包括硅基层(基部硅层136)。基部限定了供给通路112、上行部分108、阻抗特征114、泵室116和下行部分118的特征。喷嘴部分由硅层132形成。喷嘴硅层132熔接(虚线部分)到基部的基部硅层136上,并限定形成锥形壁134,该锥形壁134将墨从下行部分118引导至喷嘴开口120。薄膜包括薄膜硅层142,其在与喷嘴硅层132相对的一侧上熔接到基部硅层136上。
致动器122包括压电层140。压电层140下部的导电层可形成第一电极,如接地电极152。压电层140上的上部导电层可形成第二电极,如驱动电极156。回绕接线150可将接地电极152连接到压电层140的上表面上的地接点154上。电极断开部160将接地电极152与驱动电极156电隔离开。金属化的压电层140可通过粘合层146结合到硅薄膜142上。该粘合层可包括聚合苯环丁烯(benzocyclobutene)(BCB)。
可对金属化的压电层140进行分割,以在整个泵室限定活性压电区或者岛(islands)。可对金属化的压电层140进行分割以提供隔离区域148。在隔离区域148中,可从下行部分118上的区域除去压电材料。这种隔离区域148可将喷嘴阵列任一侧上的致动器阵列分离开。
打印头100为基本上矩形的固体。在一种实施方案中,打印头100为大约30mm至70mm长、4mm到12mm宽和400微米到1000微米厚。例如,在半导体基板内,打印头的尺寸可发生变化,该半导体基板中蚀刻了流路,这将在以下描述。例如,打印头的宽度和长度可以是10cm或更多。
参考图9,顶视图示出了与流路相对应的上部电极156。上部电极156通过窄电极部分170连接到驱动电极接点162,以与该驱动电极接点162建立电连接从而输送驱动脉冲。窄电极部分170可置于阻抗特征114上,并可降低跨过致动器122的不需致动的部分的电流损失。柔性电路(未示出)可固定到致动器122的背面,例如,固定到驱动电极接点162和接地电极152,以用于输送控制墨喷射的驱动信号。
在2004年10月21日提交的、序号为60/621507的美国专利申请(其中,将打印头称作模块),2004年10月8日提交的、序号为10/962378的美国专利申请以及2002年7月3日提交的、序号为10/189947的美国专利申请中都描述了制造这种打印头的技术,其全部内容在此引入作为参考。
这种喷射结构的一个优点是其易于升级,即,可在模上装有不同数目的喷射结构。参考图10A和10B(沿着图10A中的A-A线所示的横截面视图应该与图8所示的基本相同),打印头模100只有一个微滴喷射器,带有通向一个喷嘴120的一个流路以及一个致动器。替代地,参考图11A-11C,打印头模100可具有多个微滴喷射器(图11C与图11A-11B的实施方案的不同之处在于,入口112位于模的与驱动接点相对的一侧上,接地电极置于模的边缘上)。对于具有几个(如两个至十个)微滴喷射器的打印头模来说,微滴喷射器可置于一列平行的墨通路和致动器中。参考图12A-12B,如果许多微滴喷射器,例如几百个,比如306个喷射器形成在一个模上,微滴喷射器可设置成平行的两列,喷嘴靠近模中心设置成一行,交替喷嘴的流路朝向模的相对边缘延伸(沿着图12B中的B-B和C-C线所示的横截面视图应该与图8所示的基本相同)。还可在序号为10/189947的前述美国专利申请中发现对类似结构的描述。替代地,相邻喷嘴可稍稍相互偏置,如图13所示。
上文描述了本发明的若干实施例。然而,将可以理解,在不偏离本发明的精神和范围的情况下,可做出各种改动。因此,其他实施例落在以下权利要求书的范围之内。

Claims (20)

1.一种方法,包括:
从包括第一打印头和第一流体源的第一微滴喷射沉积系统喷射具有第一组成的液体,其中,该第一打印头具有较少数目的流路,第一流体源构造为独立的并用来保持第一体积的液体;
在第一微滴喷射沉积系统的多种喷射条件下,收集关于液体性状的信息;
基于该信息来选择喷射条件;以及
在所选择的喷射条件下,从包括第二打印头和第二流体源的第二微滴喷射沉积系统喷射具有第一组成的液体,其中,该第二打印头具有多个大致相同的流路,各个流路中的每一个大致与较少数目的流路中的至少一个相同,第二打印头中的流路数目远大于第一打印头中的流路数目,第二流体源不是独立的,或者第二流体源构造成用来保持比第一体积大的第二体积的液体。
2.如权利要求1所述的方法,其特征在于,该较少数目至多为10个。
3.如权利要求2所述的方法,其特征在于,该较少数目为一个。
4.如权利要求1所述的方法,其特征在于,第二打印头中的流路数目至少为第一打印头中的流路数目的10倍。
5.如权利要求4所述的方法,其特征在于,第二打印头中的流路数目至少为第一打印头中的流路数目的100倍。
6.如权利要求1所述的方法,其特征在于,各个第一流路和第二流路包括喷嘴和入口。
7.如权利要求6所述的方法,其特征在于,第一打印头和第二打印头包括用于各个流路的致动器。
8.如权利要求1所述的方法,其特征在于,选择喷射条件包括确定至少满足从第二微滴喷射沉积系统喷射微滴的喷射条件。
9.如权利要求1所述的方法,其特征在于,选择喷射条件包括至少满足从第一微滴喷射沉积系统喷射微滴的喷射条件。
10.如权利要求1所述的方法,还包括基于所述信息设计第二打印头。
11.如权利要求1所述的方法,还包括将流体供给单元连接到打印头单元从而形成盒,该盒能够可拆卸地安装在第一微滴喷射沉积系统中,流体供给单元提供了第一流体源。
12.如权利要求11所述的方法,还包括将液体输送到流体供给单元。
13.如权利要求11所述的方法,其特征在于,流体供给单元和打印头单元一旦连接就基本上不可分开。
14.如权利要求11所述的方法,其特征在于,盒是一次性的。
15.如权利要求14所述的方法,其特征在于,第二打印头是可再次使用的。
16.如权利要求11所述的方法,其特征在于,流体供给单元是独立的。
17.如权利要求16所述的方法,其特征在于,第二流体源不是独立的。
18.如权利要求1所述的方法,还包括从第一微滴喷射沉积系统喷射具有不同组成的多种液体。
19.如权利要求18所述的方法,还包括测试所述多种液体在提议的应用中的有效性,并且基于该有效性,从不同的组成中选择第一组成。
20.如权利要求18所述的方法,还包括收集关于所述多种液体的性状的信息,并基于微滴喷射的适用性,从不同的组成中选择第一组成。
CN2006800304852A 2005-07-13 2006-07-11 微滴喷射方法 Active CN101242956B (zh)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US69911105P 2005-07-13 2005-07-13
US60/699,111 2005-07-13
PCT/US2006/027054 WO2007008986A1 (en) 2005-07-13 2006-07-11 Method and apparatus for scalable droplet ejection manufacturing

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN101242956A true CN101242956A (zh) 2008-08-13
CN101242956B CN101242956B (zh) 2010-10-27

Family

ID=37309426

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN2006800304852A Active CN101242956B (zh) 2005-07-13 2006-07-11 微滴喷射方法

Country Status (7)

Country Link
US (2) US7427119B2 (zh)
EP (1) EP1907212B1 (zh)
JP (1) JP5049969B2 (zh)
KR (1) KR101322772B1 (zh)
CN (1) CN101242956B (zh)
TW (1) TWI370770B (zh)
WO (1) WO2007008986A1 (zh)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN107377873A (zh) * 2017-07-27 2017-11-24 宁夏共享模具有限公司 一种非接触压电式3d打印用微滴喷射打印头
CN111094000A (zh) * 2017-09-25 2020-05-01 赛尔科技有限公司 用于微滴喷射的方法、装置和电路

Families Citing this family (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5049969B2 (ja) * 2005-07-13 2012-10-17 フジフィルム ディマティックス, インコーポレイテッド 拡張可能な液滴噴出製造の方法および装置
JP2008132583A (ja) * 2006-10-24 2008-06-12 Seiko Epson Corp Memsデバイス
JP2009023159A (ja) * 2007-07-18 2009-02-05 Canon Inc インクジェット記録装置及びインクジェット記録装置のメンテナンス方法
JP4535181B2 (ja) * 2008-08-26 2010-09-01 ブラザー工業株式会社 液体吐出装置の制御方法、及び、液体吐出装置
US8853915B2 (en) 2008-09-18 2014-10-07 Fujifilm Dimatix, Inc. Bonding on silicon substrate having a groove
US8317302B2 (en) * 2010-03-18 2012-11-27 Fujifilm Corporation Restriction of fluid ejector membrane
US8840222B2 (en) * 2012-09-28 2014-09-23 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Techniques related to satellite aerosols
WO2019209374A1 (en) 2018-04-24 2019-10-31 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Sequenced droplet ejection to deliver fluids
US11925932B2 (en) 2018-04-24 2024-03-12 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Microfluidic devices
WO2020018074A1 (en) 2018-07-17 2020-01-23 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Droplet ejectors to provide fluids to droplet ejectors
US11547993B2 (en) 2018-07-17 2023-01-10 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Droplet ejectors with target media
FR3097239B1 (fr) * 2019-06-11 2022-04-29 Sigvaris Ag Système d’impression par jet de matériau souple sur un élément textile
JP7451972B2 (ja) * 2019-11-29 2024-03-19 株式会社リコー 液吐出ユニット、液吐出装置および液吐出方法

Family Cites Families (23)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3446998A1 (de) * 1983-12-26 1985-07-04 Canon K.K., Tokio/Tokyo Tintenstrahl-aufzeichnungsgeraet
US5265315A (en) * 1990-11-20 1993-11-30 Spectra, Inc. Method of making a thin-film transducer ink jet head
JP3262363B2 (ja) * 1991-04-26 2002-03-04 キヤノン株式会社 インクジェット記録装置
US5341161A (en) * 1991-06-14 1994-08-23 Canon Kabushiki Kaisha Ink recorder including a sealing member for an ink storage section
CA2272165C (en) * 1992-07-31 2003-10-14 Canon Kabushiki Kaisha Liquid storing container for recording apparatus
AUPQ455999A0 (en) * 1999-12-09 2000-01-06 Silverbrook Research Pty Ltd Memjet four color modular print head packaging
CN1310259C (zh) * 2001-04-20 2007-04-11 松下电器产业株式会社 电子元件的制造方法及其制造用材料
US6607259B2 (en) * 2001-10-11 2003-08-19 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Thermal inkjet printer having enhanced heat removal capability and method of assembling the printer
US6669330B2 (en) * 2002-05-08 2003-12-30 Agfa-Gevaert Staggered multi-phase firing of nozzle heads for a printer
US7052117B2 (en) * 2002-07-03 2006-05-30 Dimatix, Inc. Printhead having a thin pre-fired piezoelectric layer
JP4479239B2 (ja) * 2003-01-10 2010-06-09 リコープリンティングシステムズ株式会社 インクジェット塗布装置
JP2004290799A (ja) * 2003-03-26 2004-10-21 Seiko Epson Corp 液滴吐出装置およびデバイスの製造方法
JP2004342919A (ja) * 2003-05-16 2004-12-02 Seiko Epson Corp 液滴吐出方法、液滴吐出システム、膜パターン形成方法、デバイス及びデバイス製造方法、電気光学装置、並びに電子機器
JP2004361234A (ja) * 2003-06-04 2004-12-24 Seiko Epson Corp 液滴吐出評価試験装置
JP4249550B2 (ja) * 2003-06-30 2009-04-02 株式会社マイクロジェット 塗布装置
JP3687664B2 (ja) * 2003-07-11 2005-08-24 セイコーエプソン株式会社 液滴情報測定装置、液滴吐出装置、膜パターン形成方法、デバイス製造方法、電気光学装置の製造方法、及び電子機器の製造方法
CN100548692C (zh) * 2003-10-10 2009-10-14 富士胶卷迪马蒂克斯股份有限公司 具有薄膜的打印头
KR101161899B1 (ko) 2004-04-30 2012-07-03 후지필름 디마틱스, 인크. 재순환 조립체
US7452057B2 (en) 2004-05-03 2008-11-18 Fujifilm Dimatix, Inc. Flexible printhead circuit
US7281330B2 (en) * 2004-05-27 2007-10-16 Silverbrook Research Pty Ltd Method of manufacturing left-handed and right-handed printhead modules
TWI343323B (en) 2004-12-17 2011-06-11 Fujifilm Dimatix Inc Printhead module
KR101323213B1 (ko) * 2005-07-13 2013-10-30 후지필름 디마틱스, 인크. 유체 증착 장치
JP5049969B2 (ja) * 2005-07-13 2012-10-17 フジフィルム ディマティックス, インコーポレイテッド 拡張可能な液滴噴出製造の方法および装置

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN107377873A (zh) * 2017-07-27 2017-11-24 宁夏共享模具有限公司 一种非接触压电式3d打印用微滴喷射打印头
CN107377873B (zh) * 2017-07-27 2022-08-09 共享智能装备有限公司 一种非接触压电式3d打印用微滴喷射打印头
CN111094000A (zh) * 2017-09-25 2020-05-01 赛尔科技有限公司 用于微滴喷射的方法、装置和电路
US11491780B2 (en) 2017-09-25 2022-11-08 Xaar Technology Limited Method, apparatus and circuitry for droplet ejection

Also Published As

Publication number Publication date
CN101242956B (zh) 2010-10-27
KR20080028952A (ko) 2008-04-02
TWI370770B (en) 2012-08-21
US7600849B2 (en) 2009-10-13
US7427119B2 (en) 2008-09-23
WO2007008986A1 (en) 2007-01-18
EP1907212A1 (en) 2008-04-09
KR101322772B1 (ko) 2013-10-29
TW200714473A (en) 2007-04-16
EP1907212B1 (en) 2012-10-24
JP2009501082A (ja) 2009-01-15
US20080246792A1 (en) 2008-10-09
US20070035579A1 (en) 2007-02-15
JP5049969B2 (ja) 2012-10-17

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN101242956B (zh) 微滴喷射方法
CN102218919B (zh) 液体喷射头、液体喷射单元及液体喷射装置
CN101927603B (zh) 打印头系统
JP2007090805A (ja) インクジェットヘッド及びインクジェットプリンタ
JP2002086725A (ja) インクジェットヘッド、その製造方法及びインクジェット式記録装置
US8226210B2 (en) Liquid ejecting head and method of manufacturing the same
EP1525983B1 (en) Orifice plate and method of forming orifice plate for fluid ejection device
JP4595659B2 (ja) 液滴噴射装置及びその製造方法
JP2007118585A (ja) ノズルプレートの製造方法及び液滴噴射装置の製造方法
CN1845824A (zh) 流体喷射组件
CN101428505B (zh) 打印头模块和打印头系统
EP2516163B1 (en) Printhead
US7699439B2 (en) Droplet ejection head and droplet ejection apparatus
JP3777594B2 (ja) インク吐出装置
JP4844174B2 (ja) 液滴吐出ヘッド及び液滴吐出装置
US20050206679A1 (en) Fluid ejection assembly
CN101166628B (zh) 流体喷射组件
US20040035948A1 (en) Liquid transfer device
JP2024004587A (ja) 液体吐出装置および液体吐出方法

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
C14 Grant of patent or utility model
GR01 Patent grant