CN101237027A - 基底载体罩 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种便携式基底载体罩。该载体罩具有载体支承件；可移动覆盖物；支承件与覆盖物之间的间隔件；气体入口；和可移动的盖子。还提供使用该便携式基底载体罩用于在基底上沉积空气感应材料的组件和方法。

Description

基底载体罩

相关申请的交叉参考

根据35 U.S.C.119(e)，本申请要求2006年8月4日申请的美国临时申请序列号No.60/835,583的优先权权益，并结合其中所有内容作为参考。

技术领域

本发明通常涉及用于沉积空气感应材料的罩。

背景技术

利用有机活性物质的电子装置存在于多种不同的电子设备中。在这种装置中，有机活化层夹在两个电极之间。

所述电子装置的一种类型是有机发光二极管(″OLED″)。由于它们的高能量转换率和低加工成本，用于显示用途的OLED是很有前途的。这种显示器用于电池供电的便携式电子设备是特别有前途的，其中包括蜂窝电话、个人数字助理、手持个人电脑和DVD播放器。这些应用场合要求显示器除低电耗之外还具有高信息容量、全色调和快速影像比率响应时间。

当通过液相沉积在该电子设备中形成一个或多个该有机层时能够获得工艺优势。然而，许多有机材料对于氧和/或水分是敏感的。在印刷过程中避免污染的通常方法是将整个印刷工作置于惰性环境中。这个方法降低了印刷相对于热蒸发的经济优势。为了人员的的安全登录和为了重新开始该工艺，由于工艺的紊乱和设备保养而需要很长的清洁时间来控制该工艺环境。必须处理大量的气体，这需要可观的投入。

这就需要一种沉积这种材料的新工艺。

发明内容

提供一种便携式基底载体罩，它包括：

载体支承件；

可移动覆盖物；

支承件与覆盖物之间的间隔件；和

气体入口。

在一些实施例中，该基底载体罩还包括可拆卸的盖子。

还提供一种用于在基底上沉积空气感应材料的组件，所述组件包括：

如上所述的便携式基底载体罩，

具有沉积台的材料沉积装置，所述沉积台具有前沿、后沿和两个侧边，和附着于沉积台后沿上的该液相沉积装置的固定覆盖物。

在某些实施例中，该组件还包括在一个或两个沉积台侧边上的气体屏蔽歧管。

还提供一种用于在基底上沉积空气感应材料的方法，所述方法包括：

a、提供基底载体罩，该基底载体罩包括：

载体支承件；

可移动覆盖物；

支承件与覆盖物之间的间隔件；和

气体入口；

b、移动该覆盖物并将该基底置于该载体支承件上；

c、将该覆盖物移回到载体支承件上的基底上面；

d、通过气体入口以基本恒定的气体流速引入惰性气体；

e、在保持惰性气体流动的同时部分地移动该覆盖物以暴露该基底的第一部分，以及将该空气感应材料沉积到该基底的第一部分上；

f、在基底的第2到第n部分上重复步骤e；和

g、在保持气体流动的情况下替换基底和支撑上的覆盖物。

在一些实施例中，该基底载体罩还包括可拆卸的盖子，以及该方法在步骤g之后还包括：

h、在保持气体流动的情况下将该盖子置于该支承件之上，以将该盖子密封到该支承件上，随后中断气流。

还提供一种在基底上沉积空气感应材料的方法，所述方法包括：

a、提供组件，该组件包括：

便携式基底载体罩，该便携式基底载体罩包括：

载体支承件；

可移动覆盖物；

支承件与覆盖物之间的间隔件；

气体入口；

具有沉积台的材料沉积装置，所述沉积台具有前沿、后沿和两个侧边；以及

在沉积台的后沿上附着于该液相沉积装置的固定覆盖物；

b、移动该覆盖物且将该基底置于该载体支承件上；

c、将该覆盖物移回到载体支承件上的基底上面；

d、通过气体入口以基本恒定的气体流速引入惰性气体；

e、将载体支承件置于沉积台的前沿；

f、在保持惰性气体流动的同时，将该载体支承件部分地移动到沉积台中并部分地移动该覆盖物以暴露沉积台中该基底的第一部分，以及在该基底的第一部分上沉积该空气感应材料；

g、进一步地将该载体支承件移动到该沉积台中并且移动该覆盖物以暴露沉积台中该基底的第二部分，同时移动第一部分通过后沿且到固定覆盖物的下方；

h、在基底的第3到第n部分上重复步骤g；和

i、保持气体流动的同时替换基底和支承件上的覆盖物。

上述一般说明和下面的详细说明仅仅是示范性和说明性的，且并没有限制本发明，本发明在附加权利要求中进行限定。

附图说明

在这里结合附图对实施例进行说明以增加对方案的理解。

图1包括基底载体罩的分解图。

图2包括固定覆盖物的图。

本领域技术人员可以理解的是，为简单和清楚地说明附图中的物体，该物体不一定按比例绘制。例如，附图中一些物体的尺寸相对于其他物体可能放大了，以有利于增加对实施例的了解。

具体实施方式

上面描述的很多方面和实施例仅是示范性的而非限制性的。在阅读本说明书之后，本领域技术人员可以理解的是在不脱离本发明范围下其它方面和实施例是有可能的。

从下列详细说明和权利要求，任意一个或多个实施例的其它特征和好处将显而易见。该详细说明首先确定随后的基底载体罩、组件、方法、有机发光二极管和最后实例的术语的定义和澄清。

1、术语的定义和澄清

在确定如下所述实施例的细节之前，先确定或澄清一些术语

当指材料时，术语″空气感应″是指材料的性能会因氧和/或水分的存在而受到负面影响。

术语″基底″是指可以是刚性或者柔性的且可以包括一种或多种材料的一个或多个层的工件。该材料包括但是不局限于玻璃、聚合物或其它有机材料、金属、或陶瓷材料或其组合物。

术语″沉积″是指包括任何常规的沉积技术，包括汽相沉积、液相沉积(连续和不连续的技术)和热转移。

如这里所使用的，术语″包括″″包含″″具有″或它们的任何其它变化是指那些非排他的包含。例如，包括元素列表的工艺、方法、物品或装置不一定仅限制那些元素，还有可能包括列表或者该工艺、方法、物品或装置中没有明确表明的其它元素。此外，除非明确地相反表明，″或″是指包含的或而不是指排它的或。例如，通过下面的任何一个而满足条件A或B：A是真(或存在)而B是假(或不存在)，A是假(或不存在)而B是真(或存在)，以及A和B都是真(或存在)。

同样，使用″一″来描述这里所描述的元素和元件。这仅仅是为了方便起见和给出本发明范围的一般含义。应该将这个描述理解为包括一个或至少一个和该单个同样包含复数个，除非已经明确其是另外的含义。

相应于元素周期表内的列的族数目使用CRC Handbook of Chemistry andPhysics，81^st版本(2000-2001)所示的″新标注″惯例。

除非另外限定，这里使用的所有技术和科学术语具有属于本发明技术领域的普通技术人员所通常理解的相同含义。虽然与这里描述的相似或相当的方法和材料能够用于本发明实施例的实施或测试，但是下面描述的是合适的方法和材料。在这里结合参考的此处所提到的所有公开出版物、专利申请、专利和其它参考物的全部内容，除非提到特定的段落。在发生冲突的情况下，以本说明书(包括其限定)为准。此外，该材料、方法和实例仅仅是说明性地且不是进行限制。

对于这里没有描述的范围，有关具体材料、工艺操作和电路的许多细节都是惯用的，且能够在教科书和有机发光二极管显示器、光电探测器、光电和半导体组件论文的其它来源中查到。

2、基底载体罩

该便携式基底载体罩包括：

载体支承件；

可移动覆盖物；

支承件与覆盖物之间的间隔件；

气体入口；和

可选择性地移动的盖子。

该支承件是一平面的、其上能够放置和承载基底上的基底材料。该支承件能够由任何稳定的材料制成，包括但不限于玻璃、聚合物、金属或陶瓷材料或其组合物。术语″稳定″是指在其中使用时不会与基底或环境互相作用的材料。该支承件可以具有一些弹性，但是一般而言，该支承件基本上是刚性的。该支承件的尺寸在很大程度上是由所使用的液相沉积装备来确定。在一些实施例中，该支承件具有至少1mm的厚度；在一些实施例中，至少是1cm。

该可移动覆盖物是基本为平面的基底材料，其覆盖该支承件。″可移动″是指覆盖物能够在平行于该支承件平面的方向上移动，从而暴露该支承件的区域。在一些实施例中，该覆盖物是沿该支承件的长度可移动的。该覆盖物能够由任何稳定的材料制成，包括但不限于玻璃、聚合物、金属或陶瓷材料或其组合物。该覆盖物可以具有一些弹性，但是一般而言，该覆盖物基本上是刚性的。该覆盖物的尺寸略小于该支承件的尺寸。在一些实施例中，该覆盖物具有至少1mm的厚度；在一些实施例中，至少是1cm。在一些实施例中，覆盖物的至少一部分是透明的。

设置间隔件以将该覆盖物与该支承件隔开。可以使用任何类型的间隔件，只要其允许该覆盖物相对于该支承件移动。在一些实施例中，该间隔件是支架。在一些实施例中，具有四个支架作为间隔件。在一些实施例中，该可移动覆盖物和该支承件之间的空隙被设计成用于提供来自该支承件表面的气体的受控速度。

该气体入口允许惰性气体被引入该载体上且沿该支承件流动。能够使用任何常规气体入口，例如喷头。该气体入口连接到惰性气体源。惰性气体的实例包括但是不局限于氮、氦和氩。

在一些实施例中，该基底载体罩还包括可拆卸的盖子。当相连时，该可选择的盖子完全地包覆载体支承件的上表面的至少一部分。该盖子嵌入或基本上嵌入到该支承件中以包覆该载体支承件上表面的至少一部分从而在传送过程中保护被包覆的基底。该盖子包括基座，该基座在其周边具有垂直或基本垂直且邻接该基座的带状构件。该基座通常是平面的，但是不局限于此，例如可以是圆顶状的。该带状物与该支承件衔接，且其尺寸被设置成使其安装或驻留在该支承件中。可选择地，该盖子可以在基座上包括把手以帮助握持。该基座和带状组件可以由相同或不同的材料制成。使用任何传统方法以在该支承件上将该盖子放置到位，例如使用螺钉紧固件。或者，该盖子可以包括在带状物上的连接装置或组件，以暂时地将覆盖物连接到该支承件上。该盖子能够由任何稳定的材料制成，包括但不限于玻璃、聚合物、金属或陶瓷材料或其组合物。该盖子可以具有一些弹性，但是一般而言，该盖子基本上是刚性的。该盖子的基底具有一区域和平面形状，其与受保护结构的区域和形状相同或基本相同。

在一些实施例中，该载体还包括将气体从气体入口分配到载体支承件表面上的第一气体岐管。在一些实施例中，该载体包括多个歧管以分配惰性气体。气体供应是可控的，并且能够因每个歧管而不同。在一些实施例中，该载体包括第一和第二气体岐管。第一气体岐管在该支承件的一端和第二气体岐管在相对端。具有气体供应管以将惰性气体从气体入口供应到第二气体岐管。在这些实施例中，气流从载体的两端流过该支承件，在该支承件上提供了较好的环境控制。

在一些实施例中，该载体还包括在该支承件上的定位销。该定位销能够用于在该载体支承件上精确定位该基底。该定位销可以是被固定在位的，或者可平行于该载体的表面移动以将该基底中心定位和定向。

在一些实施例中，该载体还包括可移动的提升销，以用于将该基底抬到该载体的表面上方。该提升销允许机器臂达到基底之下。该提升销还可以同时是定位销，由此包括在载体支承件上精确定位该基底的功能。

在一些实施例中，该盖子还包括阀门。在气体流动的同时，将该盖子布置在该支承件上并且与该阀门相连。因此保持被包覆的支承件内部的压力近似相同。只要连接该盖子，就能够关闭气流和关闭阀门。

在图1中示出了便携式基底载体和罩的一实例的分解图。基底100在载体支承件200的上表面上。该支承件还包括端部止档件210。可移动覆盖物300具有不透明部分310和透明部分320。该不透明部分位于框架330上。该透明部分置于该不透明部分的开口中。该覆盖物还包括端片340。当该覆盖物移动越过该支承件时这些端片用来接触端部止档件210，且防止覆盖物完全从支承件移出。间隔件400被放置成沿轨道410移动，该轨道410将附着于该支承件200的外边缘。在位置510处气体入口500附着于该支承件。通过螺钉紧固件610，该可选择的盖子600附于该支承件。

3、组件

用于在基底上施加空气感应材料的组件包括：

如上所述的便携式基底载体罩，

具有沉积台的材料沉积装置，所述沉积台具有前沿、后沿和两个侧边，和附着于沉积台后沿上的该沉积装置的固定覆盖物。

该材料沉积装置是能够以期望的样式沉积空气感应材料的任何装置。在一些实施例中，该装置是液相沉积装置且该空气感应材料作为液体沉积。术语″液体″包括单一液体材料和若干液体材料的组合物，这些可以是溶液、悬浮液、混悬液和乳化液。液相沉积技术包括连续和不连续的技术。可以用于在这里所描述的基底载体的连续沉积技术包括但是不局限于凹版涂布、幕帘涂布、缝隙模(slot-die)涂布、喷涂和连续喷口涂布。不连续的沉积技术包括但是不局限于墨喷印刷、凹板印刷和丝网印刷。

该沉积装置包括沉积台。这是发生沉积的区域。它构成整个装置的主要部分或仅仅一小部分。该沉积台可以是任何形状。在一些实施例中，该沉积台基本上是矩形。该沉积台具有前沿和后沿。具有该基底的基底载体首先移动到该沉积台的前沿，移动穿越该沉积台，随后通过该后沿移动越过该台。该沉积台还具有两个侧边。在一些实施例中，所述侧边基本上垂直于前沿和后沿。

固定覆盖物在沉积台后沿上附着于该沉积装置。″固定″是指相对于该沉积装置，该覆盖物不可移动。它可是可拆卸的或是永久性连接到该装置上的。该固定覆盖物的位置被设定为当其从后沿退出该沉积台时其位于该基底载体上方。在一些实施例中，该固定覆盖物的位置被设定为使该固定覆盖物和该载体支承件之间的间距与该载体上的可移动覆盖物和该载体支承件之间的间距基本相同。

在图2中示出了固定覆盖物的一个实例。该固定覆盖物700通过支承件710附着于沉积装置。在该固定覆盖物下面通过该基底载体。

在一些实施例中，该组件还包括在沉积台一侧或两侧上的惰性气体屏蔽歧管。这有助于控制沉积台上的环境。

4、方法

用于在基底上沉积空气感应材料的该方法包括：

a、提供基底载体，该基底载体包括：

载体支承件；

可移动覆盖物；

支承件与覆盖物之间的间隔件；

气体入口；和

可选择的可移动盖子；

b、如果有盖子的话，除去该盖子，移动该覆盖物并在该载体支承件上配置该基底；

c、移回位于载体支承件上的基底上方的覆盖物；

d、以基本恒定的气体流速通过气体入口引入惰性气体；

e、在保持惰性气体流动的同时部分地移动该覆盖物以暴露该基底的第一部分，和在该基底的第一部分上沉积该空气感应材料；

f、在基底的第2到第n部分上重复步骤e；和

g、在保持气体流动的情况下选择性地将该盖子置于该支承件之上，以将该支承件密封到该盖子，随后中断气流。

打开该载体基底和罩以允许将该基底放置到载体支承件上。如果有盖子的话，去除该盖子，并移动该覆盖物，从而可接近该支承件。在一些实施例中，通过采用定位销或其它定位标记来使基底对齐，从而将该基底定位于支承件上的特定位置。随后移回支承件和基底上方的该覆盖物。

随后可将包含该基底的该便携式基底载体移动到将在其中进行空气感应材料沉积的设备上。在一些实施例中，通过墨喷印刷来沉积包含该空气感应材料的液体。在一些实施例中，通过连续喷口涂布来沉积包含该空气感应材料的液体。

以基本恒定的气体流速通过气体入口引入惰性气体。在一些实施例中，具有一个以上的气体入口，且气体通过所有的气体入口而被引入。对于每个入口，气体流速可能是相同或不同的，然而气体流速保持基本恒定以使得载体支承件和载体覆盖物之间的环境保持基本恒定。

在一些实施例中，具有该基底的基底载体随后穿过沉积台。例如，可在喷墨印刷头下穿过。为了允许空气感应材料的沉积到基底上，沉积台中的该载体覆盖物部分地移动以刚好暴露该基底的第一部分。在该基底的第一部分上以期望的样式施加该空气感应材料。随后推进该载体和移动该覆盖物以暴露该基底的第二部分。在该基底的第二部分上以期望的样式施加该空气感应材料。在该基底的第3、第4...和第n部分上重复进行这一步骤，其中第一到第n部分代表基底的整个区域，在该区域上沉积该空气感应材料。

在该基底的第n部分上沉积该空气感光材料之后，替换基底和支承件上面的该载体覆盖物。保持气体流动。

当在该沉积装置上存在固定覆盖物时，在沉积之后由固定覆盖物来覆盖该基底的每个部分。例如，当暴露该基底的第二部分以进行沉积时，推进该第一部分使其通过沉积台后沿而超过沉积台，以使得其能够被固定覆盖物所覆盖。这样，该基底的每个部分首先被该载体覆盖物覆盖，在沉积空气感应材料的同时将其暴露，随后由固定覆盖物来覆盖它。固定覆盖物和可移动载体覆盖物的组合产生一开口，该开口具有固定宽度，基底在该宽度下移动。具有的固定开口宽度导致在基底表面上的更恒定的流速。

当在沉积台的侧边上存在一个或多个气体屏蔽歧管时，在沉积过程中将惰性气体引入到其中以进一步控制环境。

在一些实施例中，在沉积之后，在保持气体流动的同时，将盖子布置在支承件的上面并固定在位。如果该盖子具有气阀，在气体流动的同时使其打开。随后中断气流且闭合该盖子上的气阀。能够根据需要将该基底载体罩移动到不同的设备上以用于进一步的处理。

在自动工艺中，该可选择的盖子是不需要的。在这种情况下，该基底可被输送到随后的处理中，停止于基底载体罩。然后可在惰性环境种将基底拆下，以进行进一步的处理。在这种情况下，可选择性地延续气流以保护该基底。

在一些实施例中，使用相同的沉积设备以在该基底上沉积第二空气感光材料。在这种情况下，替换载体覆盖物并再次开始沉积处理。如果存在载体盖子的话，先不施加该载体盖子，直到所有基底都被移到不同设备上为止。

4、有机发光二极管

使用在这里描述的基底载体罩的一种装置是有机发光二极管(″OLED″)。按次序，OLED包括以下的层：阳极；促进空穴从阳极层注入和传输的一个或多个空穴注入/传输层；电致发光层；一个或多个可选择的电子注入/传输层；和阴极层。支承构件可邻接阳极或阴极。该支承构件通常与阳极邻接。可用于OLED各种层的材料是公知的。

在大部分全色调OLED中，该装置具有三套子像素区域。该电致发光层被分成包括第一场致发光材料的第一子像素区域、包括第二场致发光材料的第二子像素区域和包括第三场致发光材料的第三子像素区域。通过在该装置上施加电压，第一子像素区域发射第一颜色的光，第二子像素区域发射第二颜色的光和第三子像素区域发射第三颜色的光。

在一些实施例中，在这里描述的该基底载体罩用于沉积一个或多个空穴注入/传输层。在一些实施例中，该基底载体罩用于一个或多个场致发光材料的沉积。在一些实施例中，在这里描述的该基底载体罩用于沉积一个或多个电子注入/传输层。

实例

在下面的实例中将要描述在这里描述的方案，这些实例没有限制本发明的范围，本发明的范围在权利要求中描述。

实例1

实例1说明了用于沉积空气感应环金属铱复合物的便携式基底载体罩的应用。例如，这种复合物已经在Grushin等人的U.S专利6,670,645中描述了。

使用这里所描述的便携式基底载体来制备无源矩阵显示器。使用标准OLED工艺在玻璃板上以152mm×152mm的尺寸形成该显示器，其具有铟锡氧化物层。由复合有氟化磺酸聚合物的聚吡咯组成的空穴注入层被涂布在整个玻璃板上且在130摄氏度下干燥到180纳米的厚度。由可交联空穴传输聚合物组成的空穴传输层被涂布在空穴注入层之上，分布在整个层、并在200摄氏度下固化到20纳米的厚度。该组件是在其上沉积有空气感光材料的基底。所述基底被置于图1中示出的基底罩之中，并且通过真空而被夹钳到连续喷口印刷器(DaNippon Screen)的行进台面上。用氮以15标准立方尺/每小时的流速来对该罩进行吹扫。该罩向着沉积台的前沿移动，在那里进行喷墨印刷。移回该可移动覆盖物以暴露该基底的第一部分。包括以甲苯和3，4-二甲基苯甲醚所混合的场致发光环金属铱复合物的所放出的墨水被印刷在第一部分的空穴传输层上。将该载体向前移动并移回该可移动覆盖物以暴露该基底的第二部分。同时，该基底的第一部分移动到附着于该印刷设备的固定覆盖物之下。反复执行该工艺直到印刷了该基底的所有部分。随后在替换载体支承件上的可移动覆盖物的同时从该沉积台上移回该基底载体。随后在该支承件上放置该可拆卸的盖子，中断气流，并且闭合该盖子阀门。包含该印刷基底的该便携式载体罩随后移到氮手套箱中，在这里进行进一步的处理。在氮气氛下以105℃中烘烤该显示板30分钟。沉积包括20纳米四(8-羟基喹啉)锆、1.5纳米LiF和350纳米铝的阴极。采用玻璃盖和环氧树脂来包封该显示器。

需要注意的是并不是需要所有以上概述或实例中所描述的作业，一部分特定的作业可能不需要，而且除这些描述之外还可能执行一个或多个其它的作业。此外，其中所列出的作业次序也不是其中它们必然的执行次序。

在上述说明书中，参考具体实施例已经描述了该方案。然而，一个本领域普通技术人员可以理解的是在不脱离作为下述权利要求的本发明范围的情况下可以进行各种改变和变化。因此，该说明书和附图仅是说明性的而不是限制性的，并且所有的这种改进被确定为包括在本发明的范围内。

参考具体实施例上面已经描述了好处、其它优势和针对问题的解决方法。然而，该好处、优势、针对问题的解决方法和其它可能导致任何发生或变得更加确定的好处、优势或解决方法的特征不被认为是任一或所有权利要求的决定性的、所需要的、或要素特征。

为清楚起见，在这里描述的独立实施例中的范围，应该理解的是可能同时在单一实施例中使用其组合。相反地，为方便起见，在描述的单个实施例的范围中，各种特征同时也可以分别提供或以任何再组合的方式提供。此外，参考范围内的数值包括范围内的每个数值。

Claims (13)

1、一种便携式基底载体罩包括：

具有一表面的载体支承件；

可移动覆盖物；

支承件与覆盖物之间的间隔件；和

气体入口。

2、如权利要求1所述的载体，其特征在于，它还包括第一气体岐管，以从气体入口穿越该载体支承件表面分配气体。

3、如权利要求2所述的载体，其特征在于，它还包括第二气体岐管和从入口到第二歧管的供气管。

4、如权利要求1所述的载体，其特征在于，该间隔件包括支架。

5、如权利要求1所述的载体，其特征在于，该载体支承件还包括用于在该支承件上校准基底的定位销。

6、如权利要求1所述的载体，其特征在于，它还包括可移动的盖子。

7、如权利要求6所述的载体，其特征在于，该盖子还包括阀门。

8、一种用于在基底上沉积空气感光材料的组件，所述组件包括：

便携式基底载体罩，它包括

载体支承件；

可移动覆盖物；

支承件与覆盖物之间的间隔件；

气体入口；

具有沉积台的材料沉积装置，所述沉积台具有前沿、后沿和两个侧边，和在沉积台的后沿上附着于该液相沉积装置的固定覆盖物。

9、如权利要求8所述的组件，其特征在于，它包括在沉积台侧边上的至少一个气体屏蔽歧管。

10、如权利要求9所述的组件，其特征在于，它包括在沉积台每个侧边上的气体屏蔽歧管。

11、用于在基底上沉积空气感应材料的方法，所述方法包括：

a、提供基底载体罩，该基底载体罩包括：

载体支承件；

可移动覆盖物；

支承件与覆盖物之间的间隔件；和

气体入口；

b、移动该盖子并将该基底置于该载体支承件上；

c、将覆盖物移回到载体支承件上的基底上面；

d、通过气体入口以基本恒定的气体流速引入惰性气体；

e、在保持惰性气体流动的同时部分地移动该覆盖物以暴露该基底的第一部分，以及在该基底的第一部分上沉积该空气感应材料；

f、在基底的第2到第n部分上重复步骤e；和

g、保持气体流动的同时替换基底和支撑上的覆盖物。

12、如权利要求11所述的方法，其特征在于，该基底载体罩还包括可移动的盖子，上述的方法在步骤g之后还包括：

h、在保持气体流动的情况下将该盖子置于该支承件之上，以将该盖子密封到该支承件上，随后中断气流。

13、用于在基底上沉积空气感应材料的方法，所述方法包括：

a、提供组件，该组件包括：

便携式基底载体罩，该便携式基底载体罩包括：

载体支承件；

可移动覆盖物；

支承件与覆盖物之间的间隔件；

气体入口；

具有沉积台的材料沉积装置，所述沉积台具有前沿、后沿和两个侧边，和在沉积台的后沿上附着于该液相沉积装置的固定覆盖物。

b、移动该覆盖物且将该基底置于该载体支承件上；

c、将覆盖物移回到载体支承件上的基底上面；

d、通过气体入口以基本恒定的气体流速引入惰性气体；

e、将载体支承件置于沉积台的前沿；

f、在保持惰性气体流动的同时，将该载体支承件部分地移动到沉积台中并部分地移动该覆盖物以暴露沉积台中该基底的第一部分，以及在该基底的第一部分上沉积该空气感应材料；

g、进一步地将该载体支承件移动到该沉积台中并且移动该覆盖物以暴露沉积台中该基底的第二部分，同时移动第一部分通过后沿且到固定覆盖物的下方；

h、在基底的第3到第n部分上重复步骤g；和

i、保持气体流动的同时替换基底和支承件上的覆盖物。

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