CN101224877A - 一种氮化硅纳米线的制备方法 - Google Patents
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Abstract
一种氮化硅纳米线的制备方法,它涉及一种氮化硅纳米线的制备方法。它解决了现有技术中氮化硅纳米线的制备工艺复杂、成本较高、污染环境的问题。制备方法:将含碳质量为20~60%的碳/二氧化硅纳米复合粉体装入坩埚后,在氮气氛下烧结,随炉冷却至室温,得氮化硅纳米线。本发明一种氮化硅纳米线的制备方法,工艺简单、成本较低、不产生污染环境的有害气体。
Description
技术领域
本发明涉及一种氮化硅纳米线的制备方法。
背景技术
氮化硅(Si3N4)是一种性能优异的陶瓷材料,有两种常见变体,即低温相α-Si3N4和稳定的六方相β-Si3N4。氮化硅具有高温条件下保持高强度,低密度,良好的抗腐蚀性、耐磨性、热震性能、蠕变性能,以及优异的化学稳定性等。氮化硅还是一种宽禁带半导体,可以获得较高的掺杂浓度,从而具备成为优良宿主材料的潜力,可应用于微电子和光电子领域,并能通过掺杂从而调整其电子和光学性能。随着科学技术的发展,一维纳米结构以其优异性能而受到越来越多的关注与重视;一维纳米材料,包括纳米管、纳米棒、金属及半导体纳米线、同轴纳米电缆、纳米带等。研究表明,一维纳米氮化硅材料不仅具有突出的机械性能,还在电子和光学元器件领域具有很大应用前景。
制备一维纳米氮化硅材料的方法很多,根据原料和制备工艺进行分类,主要可分为(1)碳纳米管-模板生长法、(2)纳米硅粉体或氧化硅粉体的高温氮化反应法、(3)利用固-液-气机制的纳米金属颗粒催化生长法、(4)高压釜低温反应法、(5)非晶态纳米氮化硼颗粒的控制结晶法;虽然制备方法各异,但却普遍存在工艺复杂、不易控制、成本较高、污染环境等不足,在很大程度上制约了一维纳米氮化硅材料的研究与应用。目前,有以SiCl4和Na3N为原料制备氮化硅纳米棒,但原料中SiCl4气体对人体伤害很大,容易造成环境污染,制备的工艺条件要求很苛刻,成本高,不利于控制和实际生产;名称为“氮化硅和碳化硅一维纳米结构及其制备方法(中国专利号:ZL03152915.1,申请日:2003年09月02日,公开日:2004年04月28日)”的专利中引入了金属元素作为催化剂,给提纯造成较大难度,工艺过程繁杂,不利于大量生产。
发明内容
本发明目的是为了解决现有技术中氮化硅纳米线的制备工艺复杂、成本较高、污染环境的问题,而提供一种氮化硅纳米线的制备方法。
一种氮化硅纳米线的制备方法按以下步骤进行:一、将含碳质量为20~60%的碳/二氧化硅纳米复合粉体装入坩埚后放入气氛烧结炉中,抽真空,使气氛烧结炉的真空度低于10Pa;二、向气氛烧结炉内充入氮气,使炉内气体压强达0.1~2.0MPa;三、气氛烧结炉以5~30℃/min的速度升温到1200~1600℃,并保温烧结5~360min后随炉冷却至室温,得氮化硅纳米线。
本发明氮化硅纳米线的制备方法中选用含碳质量为20~60%的碳/二氧化硅纳米复合粉体为原料,复合粉体中SiO2和碳可以实现纳米尺寸上的均匀分布且都是非晶态的纳米颗粒,具有非常高的反应活性,且利于获取、成本低,工艺简便、易于操作,反应过程中不产生任何污染环境的有害气体,利于环保和规模化生产,产物为单晶相α-Si3N4;所得氮化硅纳米线,粗细均匀,直径为30~200nm,其中以80~150nm为主,长度可控,最长可达毫米量级。
附图说明
图1为具体实施方式七中所制备氮化硅纳米线的电镜扫描图,图2为具体实施方式七中所制备氮化硅纳米线的透射电镜图,图3为具体实施方式七中所制备氮化硅纳米线的电子衍射图。
具体实施方式
具体实施方式一:本实施方式一种氮化硅纳米线的制备方法按以下步骤进行:一、将含碳质量为20~60%的碳/二氧化硅纳米复合粉体装入坩埚后放入气氛烧结炉中,抽真空,使气氛烧结炉的真空度低于10Pa;二、向气氛烧结炉内充入氮气,使炉内气体压强达0.1~2.0MPa;三、气氛烧结炉以5~30℃/min的速度升温到1200~1600℃,并保温烧结5~360min后随炉冷却至室温,得氮化硅纳米线。
具体实施方式二:本实施方式与具体实施方式一不同的是步骤一中将含碳质量为30%的碳/二氧化硅纳米复合粉体装入坩埚后放入气氛烧结炉中。其它步骤及参数与具体实施方式一相同。
具体实施方式三:本实施方式与具体实施方式一不同的是步骤一中将含碳质量为50%的碳/二氧化硅纳米复合粉体装入坩埚后放入气氛烧结炉中。其它步骤及参数与具体实施方式一相同。
具体实施方式四:本实施方式与具体实施方式一不同的是步骤二中炉内气体压强达1MPa。其它步骤及参数与具体实施方式一相同。
具体实施方式五:本实施方式与具体实施方式一不同的是步骤三中气氛烧结炉以10℃/min的速度升温到1400℃,并保温烧结100min。其它步骤及参数与具体实施方式一相同。
具体实施方式六:本实施方式与具体实施方式一不同的是步骤三中气氛烧结炉以15℃/min的速度升温到1500℃,并保温烧结240min。其它步骤及参数与具体实施方式一相同。
具体实施方式七:本实施方式一种氮化硅纳米线的制备方法按以下步骤进行:一、将含碳质量为50%的碳/二氧化硅纳米复合粉体装入坩埚后放入气氛烧结炉中,抽真空,使气氛烧结炉的真空度为0.1Pa;二、向气氛烧结炉内充入氮气,使炉内气体压强达1MPa;三、气氛烧结炉以13℃/min的速度升温到1500℃,并保温烧结240min后随炉冷却至室温,得氮化硅纳米线。
本实施方式制备的氮化硅纳米线,由图1和图2可以看出,纳米线直径为60~120nm,长度达毫米量级;由图3中可以看出,纳米线为结晶完好的单晶相α-Si3N4。
Claims (6)
1.一种氮化硅纳米线的制备方法,其特征在于氮化硅纳米线的制备方法按以下步骤进行:一、将含碳质量为20~60%的碳/二氧化硅纳米复合粉体装入坩埚后放入气氛烧结炉中,抽真空,使气氛烧结炉的真空度低于10Pa;二、向气氛烧结炉内充入氮气,使炉内气体压强达0.1~2.0MPa;三、气氛烧结炉以5~30℃/min的速度升温到1200~1600℃,并保温烧结5~360min后随炉冷却至室温,得氮化硅纳米线。
2.根据权利要求1所述的一种氮化硅纳米线的制备方法,其特征在于步骤一中将含碳质量为30%的碳/二氧化硅纳米复合粉体装入坩埚后放入气氛烧结炉中。
3.根据权利要求1所述的一种氮化硅纳米线的制备方法,其特征在于步骤一中将含碳质量为50%的碳/二氧化硅纳米复合粉体装入坩埚后放入气氛烧结炉中。
4.根据权利要求1所述的一种氮化硅纳米线的制备方法,其特征在于步骤二中炉内气体压强达1MPa。
5.根据权利要求1所述的一种氮化硅纳米线的制备方法,其特征在于步骤三中气氛烧结炉以10℃/min的速度升温到1400℃,并保温烧结100min。
6.根据权利要求1所述的一种氮化硅纳米线的制备方法,其特征在于步骤三中气氛烧结炉以15℃/min的速度升温到1500℃,并保温烧结240min。
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Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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CN101830447A (zh) * | 2010-06-03 | 2010-09-15 | 北京化工大学 | 一种β-氮化硅纳米线的制备方法 |
CN101550600B (zh) * | 2009-04-22 | 2011-05-25 | 中国地质大学(北京) | 高纯度高密度单晶氮化硅纳米阵列的制备方法 |
CN101937732B (zh) * | 2009-07-02 | 2012-02-15 | 国家纳米科学中心 | 一种由磁性材料和半金属材料构成的纳米电缆及制备方法 |
CN102807196A (zh) * | 2012-08-26 | 2012-12-05 | 西安科技大学 | 一种氮化硅纳米材料的制备方法 |
CN105502315A (zh) * | 2016-01-28 | 2016-04-20 | 哈尔滨工业大学 | 一种原位-非原位同时生长超长氮化硅纳米材料的方法 |
CN108328586A (zh) * | 2018-03-01 | 2018-07-27 | 西安交通大学 | 一种可压缩回复的氮化硅气凝胶及其制备方法 |
CN108947576A (zh) * | 2018-08-06 | 2018-12-07 | 清华大学 | 一种反向模板法制备纳米线编织微球的陶瓷海绵材料方法 |
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Cited By (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN101550600B (zh) * | 2009-04-22 | 2011-05-25 | 中国地质大学(北京) | 高纯度高密度单晶氮化硅纳米阵列的制备方法 |
CN101937732B (zh) * | 2009-07-02 | 2012-02-15 | 国家纳米科学中心 | 一种由磁性材料和半金属材料构成的纳米电缆及制备方法 |
CN101830447A (zh) * | 2010-06-03 | 2010-09-15 | 北京化工大学 | 一种β-氮化硅纳米线的制备方法 |
CN101830447B (zh) * | 2010-06-03 | 2011-11-09 | 北京化工大学 | 一种β-氮化硅纳米线的制备方法 |
CN102807196A (zh) * | 2012-08-26 | 2012-12-05 | 西安科技大学 | 一种氮化硅纳米材料的制备方法 |
CN102807196B (zh) * | 2012-08-26 | 2013-12-25 | 西安科技大学 | 一种氮化硅纳米材料的制备方法 |
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CN108328586A (zh) * | 2018-03-01 | 2018-07-27 | 西安交通大学 | 一种可压缩回复的氮化硅气凝胶及其制备方法 |
CN108947576A (zh) * | 2018-08-06 | 2018-12-07 | 清华大学 | 一种反向模板法制备纳米线编织微球的陶瓷海绵材料方法 |
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