CN101080242A

CN101080242A - 气相过氧化氢浓度侦测器

Info

Publication number: CN101080242A
Application number: CNA2005800434847A
Authority: CN
Inventors: 艾伦·L·希尔
Original assignee: Steris Inc
Current assignee: Steris Inc
Priority date: 2004-10-21
Filing date: 2005-08-03
Publication date: 2007-11-28
Also published as: WO2006046993A3; CA2583776A1; JP2008517650A; TW200613727A; AU2005300089A1; KR20070083738A; WO2006046993A2; US20060088441A1; EP1802353A2; MX2007004663A

Abstract

一种用来净化一界定区域(22)的气相净化系统(10)。该系统包含一用来界定一区域(22)的槽体，以及一用来从过氧化氢与水的溶液中生成气相过氧化氢的产生器(32)。一闭合回路循环系统供应气相过氧化氢到区域(22)。一分解器(94)分解气相过氧化氢；多个位于分解器上游端与下游端的传感器(122和124)，可运作来感测系统(10)内的水分并提供其电子讯号指示。一控制器(132)根据从传感器来的电子讯号来判定区域中气相过氧化氢的存在。

Description

气相过氧化氢浓度侦测器

技术领域

本发明是关于一种灭菌(sterilization)、净化(decontamination)的技术，特别是关于一种测定一灭菌净化系统中气态或气相的灭菌剂(sterilant)浓度的系统。

背景技术

灭菌的方法在很多层面有广泛的应用，而其使用的灭菌材料也有非常多的类型。这里所说的“灭菌(sterilization)”一词，是指生物污染物的去活性化，特别是对于无生命的物体。而“消毒剂(disinfectant)”一词是指微生物病原的去活性化。

为了达到目标物的无菌化和净化保证等级(decontaminationassurance level)，气体或气相的灭菌/净化系统倚仗于某些程序参数(process parameter)的维持。以过氧化氢的气相杀菌净化系统来说，这些参数包含：过氧化氢气体浓度、饱和程度、温度、压力和曝露时间。藉由控制这些参数，可以成功达到希望的灭菌保证等级(sterility assurancelevel，SAL)，且避免过氧化氢因蒸气饱和而凝结。

因为灭菌剂有劣化的风险，所以监控灭菌或净化槽内过氧化氢的浓度是重要的，以确保足够的杀菌剂浓度维持够久，进而发挥消毒净化槽内物体的效果。

要确保过氧化氢流到汽化器(vaporizer)，目前所知的作法是使用压力开关测量汽化器注入管之中过氧化氢溶液的静压差(static head pressure)大小。有些系统利用天平装置去测量实际注入汽化器里的灭菌剂重量。在使用压力开关的系统中，静压差会因为去活化槽真空的产生而减少，此真空会使压力开关产生“无杀菌剂”的假警告。至于使用天平装置测量灭菌剂流量，无法保证灭菌剂真的有注入汽化器里。管线破裂，或是天平与汽化器之间的管子没接好，都会使人误信净化槽内有灭菌剂存在。再者，任何在汽化器之前的系统装置，如先前提到的压力开关或天平装置，都无法侦测或确保灭菌剂有送入灭菌槽中。

一般所知，也有以化学或生物指示剂的方法来侦测槽内气相过氧化氢(vaporized hydrogen peroxide，VHP)存在。然而，生物指示剂必须培养数天才能知道检测的结果，而化学指示剂通常提供一目测的指示(通常是颜色变化)，因此，当指示剂没有显示出代表灭菌剂存在的阳性指示时，操作者需要去介入停止灭菌净化循环的运作。另一化学与生物指示剂的缺点是，它们只能指示气相过氧化氢(VHP)的存在，但无法得知它的量。

已有人提出使用红外线传感器(IR，infrared sensor)去测定实际的气相过氧化氢浓度。红外线传感器价格高、脆弱、体积又大，要准确地测量气相过氧化氢(VHP)浓度并不容易。这类传感器需要定期的校准，而当用于高浓度的气相过氧化氢(VHP)测量时，似乎也需要定期的灯泡替换。在这方面，灭菌过程中能够实时地测量浓度是所希望的。

本发明克服了这类的问题，并提供了一种用于侦测灭菌净化槽内气相过氧化氢浓度的系统。

发明内容

根据本发明的较佳实施例，其中提供了一个气态净化系统来净化所界定的区域，此系统包含：一界定区域的槽体；一产生器，可从过氧化氢水溶液生成气相过氧化氢；一闭合回路循环系统(闭路循环系统，closed loopcirculating system)，用来供应气相过氧化氢到所述区域去；一分解器(destroyer)，用来分解除去气相过氧化氢；多个(数个，至少两个)连接到分解器的传感器，可操作来感测分解器间的温度变化并提供电子讯号指示；一控制器，可藉由传感器所提供的电子讯号判定区域内气相过氧化氢的存在。

根据本发明的另一方面，其中提供了一种用来净化一区域的净化系统。该系统包含一产生器用来生成气相过氧化氢，以及一闭合回路系统用来供应气相过氧化氢到区域。一分解器用来将气相过氧化氢分解成水与氧气。多个传感器侦测分解器前后系统内的温度，一控制器根据传感器提供的数据来判定区域内气相过氧化氢的存在。

根据本发明的另一方面，其中提供了一个方法来判定区域内气相过氧化氢的存在，其包含下列步骤：

提供一个可密封区域，该区域包含了一进口端与一出口端、以及一闭合回路管线(闭路管线，closed loop conduit)，该闭合回路管线一端流体连接(fluidly connect)至所述区域进口端，另一端流体连接至所述区域出口端；

再循环一载气流，使其沿着闭路管线流进、流经、流出所述区域。

将气相过氧化氢从所述区域进气口端的再循环载气的上游输入再循环载气流；

消除从所述区域出气口端下游处第一位置流出的气相过氧化氢；

监控所述第一位置之前与之后的载气温度；

依据所述第一位置前后的载气温度来判定气相过氧化氢的存在。

又根据本发明的另一方面，提供了一个气相净化的方法，该方法使用了一可密封的槽体或区域，该槽体或区域具有一个进口端与一个出口端，并有一闭路管线连接进口端至出口端。此净化方法包含下述步骤：

再循环(re-circulating)一载气流，使其通过闭路管线进入、经过与排出上述槽体；

供应气相过氧化氢至再循环中的载气流里；

于流出出口端下游处的第一位置，除去气相过氧化氢；

于该第一位置的前后监控载气温度；

藉由第一位置的前后的载气温度估计区域内气相过氧化氢的浓度。

又根据本发明的另一部分，提供了一封闭回路，流经气相的净化系统，该回路包括：

一可密封的槽体，其上有一进口端与一出口端。

一闭路管线系统，其一端流体连接至所述进口端，另一端流体连接至所述出口端。

一送风机连接至上述的管线系统，是用以再循环载气，使其流进、流经与流出上述槽体。

一汽化器，是用来传输气相过氧化氢进入进气口端上游处的载气流。

一分解器，配置于出气口端的下游处，用以将气相过氧化氢转化成水与氧气。

多个传感器，配置于上述分解器的上游端与下游端，用来侦测温度。

一个处理器，用以监控上述分解器间的温度变化，并藉由该温度变化判定槽体内气相过氧化氢的浓度。

本发明的优点之一，是能作为一个判定密封槽内气相过氧化氢浓度的系统。

本发明的另一优点，即作为上面提到的传感器，可在去活化循环的过程中，判定气相过氧化氢的浓度。

本发明的另一优点，即作为上面提到的传感器，不需要操作者的介入。

随后较佳实施例的描述，伴随着附图与所附的权利要求，本发明的优点将愈加明显。

附图说明

本发明在某些部分与配置会以物理的方式呈现，其较佳实施例在说明书中会有详细的描述与图示。

图1为气相过氧化氢去活化系统的示意图。

具体实施方式

参照附图，其中的展示只为了说明，而非局限本发明的较佳实施例。图1为一气相过氧化氢灭菌系统10，用以说明本发明的较佳实施例。系统10包含多个机件，其机件可操作来判定过氧化氢这种双成分、气相灭菌剂的存在和/或浓度，这点之后将以特别的案例加以描述。当然，本发明也希望在其它测定多成分、气相的灭菌剂浓度方面，能找到有利的应用。

附图所示实施例中，系统10包含了：

一个隔离器或空间22，其界定了一个内部的灭菌腔体或区域24。将要灭菌或净化的物品是要配置在隔离器(isolator，空间22)里；

一个汽化器32(vaporizer，这里也称为产生器)，藉由供气管线42连接到灭菌净化槽(即区域24)或是隔离器(即空间22)。供气管线42界定了一气相过氧化氢(VHP)通往槽体(即区域24)的进气口44。汽化器32经由一馈入管路(feed line)54连接至一液态灭菌剂供应槽52。

一常规的天平装置56，连结着灭菌剂供应槽52，用来测量实际供应至汽化槽32内的灭菌剂质量。

一个马达64所驱动的泵62被用来传送计量过的液态灭菌剂到汽化器32，在此灭菌剂会以惯用的方法汽化。在另一实施例中，提供一个含编码器(未标示)的泵62，用来监控被计量至汽化器32的灭菌剂。假如泵62上附有编码器，就不需要上述的天平装置56。假如不使用天平，便在馈入管路中配置一压力开关72，指示杀菌剂的存在与否。压力开关72可操作来提供一电子讯号，以免馈入管路54内部不存在着因灭菌剂所产生的静压差。

隔离器(或空间)22和汽化器32是闭合回路系统的一部分，此系统还包括一回流管线将隔离器(或空间)22(与灭菌净化槽或区域24)连接至汽化器32。回流管线46从灭菌槽定义了一VHP回流48。在隔离器(或空间)22与汽化器32间的回流管线46有配置一个由马达84驱动的送风器82。送风器82可运作来循环闭路系统中的灭菌剂与空气。如图1所示，第一滤网92与催化分解器94(catalytic destroyer)配置在送风器82与隔离器(或空间)22之间的回流管线中。第一滤网92最好使用高效率滤网(HEPA filter)来移除流经系统10的污染物。就一般所惯知的，催化分解器94可运作来除去流经此处的过氧化氢(H₂O₂)，将其转换成水与氧气。在送风器82与汽化器32之间的回流管线46中，配置有一空气干燥机112、第二滤网114和一个加热器116。空气干燥机112可操作来移除闭路系统中空气里的水分。经送风机82吹送流经回流管线46的空气，可藉由第二滤网114的运作来过滤。加热器116则可运作来加热经由送风机82吹送流经回流管线46的空气。在这部分，空气在进入汽化器32之前会先被加热。

第一温度传感器122被配置在回流管线46的上游处，也就是配置在催化分解器94之前。如图所示，第一温度传感器122被配置在第一滤网92与催化分解器94之间。第二温度传感器124被配置在回流管线46中的下游位置，也就是配置在催化分解器94之后。如图所示，第二温度传感器124被配置在送风器82与催化分解器94之间。一个气流传感器126被配置在送风机82与催化分解器94之间的回流管线46里。一个相对湿度传感器132被配置在回流管线46中的下游位置处，也就是在催化分解器94之后。相对湿度传感器132最好放置在与第二温度传感器124同样的位置。温度传感器122与124可操作来感测流经回流管线46中，催化分解器94之前(也就是上游入口)与之后(也就是下游出口)位置的载气温度。气流传感器126可运作来感测流经回流管线46的载气流。回流管线至少要在流经催化分解器区域是绝缘的，如图中示意，绝缘体128包附着催化分解器94与部分的回流管线46。

如图1所示，第一温度传感器122、第二温度传感器124和气流传感器126提供电子讯号到系统控制器132。系统控制器132是一系统微处理器或微控制器，设定来控制系统10的运作。如图1所示，控制器132也连接着马达64、马达84、压力开关72和天平装置56。

本发明现在将更进一步描述系统10的运作。一个典型的灭菌净化循环包含一干燥阶段、一调节阶段、一净化阶段与一通气阶段(aeration phase)。在进行灭菌净化循环之前，关于灭菌溶液中过氧化氢比率的数据会被加入，也就是输入控制器132里。就像上面注明的，在较佳实施例中使用的35％过氧化氢与65％水的灭菌溶液。然而，使用其它浓度的过氧化氢与水也是可行的。

隔离器(或空间)22、供气管线42与回流管线46定义了一闭路回线(closed loop conduit circuit)。当灭菌净化循环刚启动时，控制器132令送风马达84驱动送风器82，使得载气在闭路回线中循环。在干燥步骤的阶段，汽化器32并不运作。空气干燥机112移除闭路系统内循环中的空气水分，也就是说，经由供气管线42、回流管线46与灭菌净化槽(或区域24)或隔离器(或空间22)，如图1中的箭头所示。当空气被干燥到一足够低的湿度等级，干燥步骤便完成了。

随后调节阶段(conditioning phase)由作动的汽化器32与供应灭菌剂的马达64启动，以提供灭菌剂到汽化器32里。在本发明的较佳实施例中，灭菌剂是一成分约35％过氧化氢与65％水的过氧化氢水溶液。不同过氧化氢比例的灭菌溶液也是可以采用的。如一般所惯知的方式，汽化器32中的液态灭菌剂被汽化产生气相过氧化氢(VHP)和水蒸气。汽化后的灭菌剂被导入闭路回线，藉由载气经供气管线42传输进入隔离器(或空间22)内的灭菌净化槽(或区域24)。在调节步骤期间，VHP以很高的速率注入灭菌净化槽(或区域24)，使过氧化氢能在短时间内达到想要的水平。在调节步骤期间，送风器82使空气持续在闭路系统里循环。当VHP从汽化器32进入槽内(或区域24)时，VHP也同时被抽出槽体(或区域24)并流经催化分解器94，在那里被VHP被分解成水与氧气。

调节阶段完成后，净化阶段开始。在净化阶段期间，灭菌剂注入汽化器32与灭菌净化槽(或区域24)的速度被减缓以维持希望的过氧化氢浓度水平。净化阶段最好在过氧化氢保持一定的期望浓度水平下进行一段预定的时间，这段时间必须足够让灭菌剂与灭菌净化槽(或区域24)内的对象作用，以达到灭菌或净化效果。

消毒阶段完成后，控制器132会关掉汽化器32，藉此中断气相过氧化氢(VHP)流至灭菌净化槽(或区域24)。

之后，通气步骤开始，使得过氧化氢下降至一可接受的临界水平(约1ppm)。在这步骤，最好让送风器82继续着空气与灭菌剂在闭路系统里的循环，使得残留的气相过氧化氢能被催化分解器94消除。

通过上述个别运作的过程，在回流管线46中，第一与第二温度传感器122与124监控着催化分解器94上游处与下游处位置的温度，提供电子讯号给控制器132，以反映回流管线46内的温度。

根据本发明，控制器132被设定来藉由第一传感器122与第二传感器124的温度数据测定灭菌净化槽内VHP的存在与浓度。关于这方面，在系统10运作的期间，空气与杀菌剂就像上面的描述一样流经闭路系统。当VHP离开灭菌净化槽(或区域24)后，过氧化氢(H₂O₂)在催化分解器94内被分解成水与氧气，如下面的方程式所示：

2H₂O₂→2H₂O+O₂

此反应是放热反应，过氧化氢会放出1233BTU/lbm(2.868KJ/g)的热量。系统10内产生的热量取决于流经分解器94的过氧化氢浓度。假设所有反应中产生的热量都传入气体流之中(要达到如此效果，分解器94要达到温度的稳定态，这要靠分解器94良好绝缘，才能降低从分解器94腔壁散出的热损失)，过氧化物的浓度可以经由气体经过分解器94所增加的温度计算出来。

因此，在调节与净化的阶段期间，所有感测到的第一传感器122与第二传感器124之间的温度差，都是由被导入汽化器32的气相过氧化氢与水气分解所产生。控制器132被设定来监控温度变化和计算预估的过氧化氢浓度。因为送风机82不断地循环闭路系统里的空气与灭菌剂，那么以回流管线46温度所计算出来的过氧化氢浓度，将可代表通过催化分解器94之前，灭菌净化槽里头的过氧化氢总量。

本发明假设过氧化物分解所产生的热量变化速率

与系统内空气流吸收的热量变化速率

相同。换句话说，

(1) - - - {\overset{\cdot}{Q}}_{P} = {\overset{\cdot}{Q}}_{A}

一般认为，过氧化物分解所排出的热量可由下列的方程式表示：

(2) - - - {\overset{\cdot}{Q}}_{P} = C_{H} \cdot H \cdot F

[以(BTU/min)或(KJ/min)单位表示]

其中：

C_H＝空气流里过氧化氢的浓度

[以(lbm/ft³)或(gram/liter)单位表示]

F＝空气流动速度

[以(standard ft³/min)或(standard liter/min)单位表示]

H＝过氧化物分解的放热反应热量，

等于1233BTU/lbm或(2.868KJ/gram)单位

一般认为，空气流所吸收的热量

可用下列的方程式表示：

(3) - - - {\overset{\cdot}{Q}}_{A} = {\overset{\cdot}{m}}_{A} {\cdot C}_{P} \cdot ΔT

[以(BTU/min)或(KJ/min)单位表示]

其中：

ΔT＝经过分解器的气体温度变化[以()或(℃)单位表示]

C_P＝水气的比热

流过的气体质量

等于气体流动速率(F)乘以标准空气密度(ρ)。标准空气密度(ρ)大约是0.075lbm/ft³或1.201g/liter。

一般认为，水气的比热(C_P)可用下列的方程式表示：

(4)C_P＝(0.24+0.45ω)BTU/lbm-[(0.001+0.00188ω)KJ/kg-℃]

其中：

ω＝空气流的湿度比(等于水的质量除以干燥空气的质量)

湿度比是使用温度T与在催化分解器94之后位置所量的相对湿度RH来计算，如图中所示。

下面的方程式是用来将相对湿度RH转换成绝对湿度(absolutehumidity)：

(5)RH＝{1+0.622/ω_s}/{1+1+0.622/ω}

其中：

RH＝相对湿度

ω_s＝饱和湿度比(等于水的质量除以空气的质量)

ω＝当时温度与RH条件下的湿度比

解开方程式可得到ω：

(6) - - - ω = \frac{(0.622) (RH) (ω_{s})}{ω_{s} + 0.622 - (RH) (ω_{s})}

饱和湿度比可以由下列式子计算出来：

(7) - - - ω_{s} = 0.622 \frac{P_{ω, s}}{P - P_{ω, s}}

其中：

P_ω，s＝以下所给的水蒸气压[以(psi)或(kpascal)单位表示]

P＝大气压力[以(psi)或(kpascal)单位表示]

当温度高于32(0℃)，饱和时(psi)或(kpascal)的水蒸气压可以由下面的式子得到：

(8)P_ω，s＝K{exp(C8/(TF+460)+C9+(C10)(TF+460)+2(C11)(TF+460)+3(C12)(TF+460)+(C13)[log(TF+460)])

其中：

K＝1.0psi或6.894kpascal

TF＝蒸汽温度()或(℃*1.8-32)

C8＝10440.397

C9＝11.29465

C10＝0.027022355

C11＝0.00001289036

C12＝2.4780681E-09

C13＝6.5459673

用式(2)与式(3)替换式(1)可以得到下列的式子：

(9) - - - C_{H} \cdot H \cdot F = {\overset{\cdot}{m}}_{A} \cdot C_{P} \cdot ΔT

解开式(9)里的过氧化氢浓度(C_H)可以得到下列式子：

(10) - - - C_{H} = \frac{{\overset{\cdot}{m}}_{Air} {\cdot C}_{P} \cdot ΔT}{H \cdot F}

(lbm/ft³)或(gram/liter)

这边将以实例的方式说明上述的计算。

典型的VHP循环包含：一空气流约20scfm(566.4liters/min)；一过氧化物灭菌剂，其含有浓度约1mg/liter(6.243×10^-5lbm/ft3)，或(0.001g/liter)的过氧化氢；及浓度1.857mg/liter(1.159×10^-5lbm/ft³)或(0.001857g/liter)的水(以浓度35％ H₂O₂为基准)。该水的浓度在温度77(25℃)时相当于0.0036的湿度比。解开方程式(10)可以得到ΔT等于4.2(2.3℃)，此温度差在现今有用的温度测量装置的准确度范围内。

事实上，有些热能会经由热传导(conduction)与热对流(convection)从分解器流失，这样会影响ΔT的大小。为了弥补这点，可以使用已知的标准来校正，像是近红外线仪器(near IR instruments)，可测量过氧化氢来画出一校正曲线，用以弥补外在的热损失。

在大部分的例子里，小格局里的H₂O₂浓度因半衰期的减少并不会对过氧化氢的水平产生多大的影响。至于大的格局或空间，因为H₂O₂长时间的放置并与催化物质接触，H₂O₂因半衰期的减少就必须加以考虑了。

根据本发明的另一方面，控制器132可操作来监控回流管线46里的温度，以确保在调节过程中，温差以期望的速率上升，或者是保持净化过程的稳定。当控制器132判定温度差没有增加(在调节阶段期间)，或是净化过程温度差不稳定，控制器会指示错误讯息。例如，操作员可以得到可见的讯息指示，像是“灭菌剂用完”或“请检查漏气”，或是发出声响警告杀菌循环不正常。

控制器能藉由上述的方程式计算出灭菌净化槽或区域24内气相过氧化氢(VHP)的量。就像上面所指出的，在净化过程期间，因为气相过氧化氢(VHP)的量维持在一个不变、期望的水平，因此传感器122与124之间的温度差也应该要一定。随着净化步骤的完成，通气步骤会藉由送风器82在系统10内不断地循环空气与灭菌剂，来降低其内VHP的量，直到催化分解器94将VHP清除完毕。而最后空气干燥机112会移除系统10内的水分。

因此，藉由监控气相过氧化氢成分分离时的吸热过程，本发明提供了一简单却有效的方法来测定灭菌净化槽或区域24内气相过氧化氢的存在与浓度。

以上的描述是本发明的特别实施例。须注意的是本实施例仅用以做一说明，在不违背本发明的精神与范围下，凡熟悉此领域的技术人员对其可实行许多变更与修改，该修改与变更将被涵盖于本发明的权利要求及其等同范围内。

Claims

1.一种用于净化一界定区域的气相净化系统，该系统包含：

一界定区域的槽体；

一产生器，用来将含过氧化氢与水的溶液生成气相过氧化氢；

一闭合回路循环系统，用来供应所述气相过氧化氢至所述区域；

一分解器，用来分解所述气相过氧化氢；

多个与分解器连接的传感器，可用于操作感测所述分解器间的温度变化并提供电子讯号指示其相关讯息；及

一控制器，可用于根据所述传感器发出的电子讯号来判定所述区域中气相过氧化氢的存在。

2.如权利要求1所定义的气相净化系统，其中所述传感器包括：

第一温度传感器，配置在所述分解器之前；及

第二温度传感器，配置在所述分解器下游出口。

3.如权利要求1所定义的气相净化系统，其中所述控制器可用于根据所述传感器发出的电子讯号测定所述区域中气相过氧化氢的浓度。

4.如权利要求1所定义的气相净化系统，其中所述产生器为汽化器。

5.如权利要求1所定义的气相净化系统，该系统进一步包含：

一送风器，配置于所述闭合回路循环系统内，该送风器可操作来循环此闭合回路循环系统内的空气；

一干燥机，配置于所述分解器与产生器之间的闭合回路循环系统内，该干燥机可操作来移除该循环系统内的水分；及

一加热器，配置于所述闭合回路循环系统内产生器的上游端，用以加热流经该循环系统的空气。

6.在一用以净化一区域的净化系统中，该系统包含：

一产生器，用来产生气相过氧化氢；

一闭合回路系统，用来提供气相过氧化氢到所述区域；

一分解器，用以分解该气相过氧化氢；

多个传感器，用来侦测此系统内所述分解器前后位置的温度；及

一控制器，藉由所述传感器发出的数据来判定所述区域内气相过氧化氢的存在。

7.如权利要求6所定义的净化系统，其中所述控制器可操作来测定所述区域内的过氧化氢浓度。

8.如权利要求7所定义的净化系统，其中所述传感器是温度探测器。

9.一种用来判定区域内气相过氧化氢存在的方法，该方法包括步骤：

提供一可密封区域，该区域包含：一进口端与一出口端，以及一闭合回路管线，该管线一端流体连通至该区域的进口端，另一端流体连通至该区域的出口端；

再循环一载气流，使其流进、流经与流出所述区域并环绕闭合回路管线；

输送气相过氧化氢，使其进入区域进口的再循环载气流上游端；

在该区域出口下游端的第一位置消除气相过氧化氢；

监控此系统中所述第一位置前后的载气温度；及

藉由所述第一位置前后读取到的温度判定所述区域内气相过氧化氢的存在。

10.如权利要求9所定义的方法，其中所述载气是空气。

11.如权利要求9所定义的方法，其中所述消除步骤包含将过氧化氢催化分解成水与氧气。

12.一闭合回路，该闭合回路位于一可密封的槽体或区域，该槽体包含一进口端与一出口端，并有一闭合回路管线将出口端流体连通至进口端，气相净化的流经方法包含下列步骤：

再循环一载气流，使其流进、流经与流出该闭合回路管线；

供应气相过氧化氢至再循环中的载气流内；

在所述出口端下游处的第一位置将气相过氧化氢分解形成水与氧气；

监控所述第一位置前后其载气的温度；

藉由该第一位置前后其载气的温度来评估此区域气相过氧化氢的浓度。

13.一闭合回路，其流通方法如权利要求12所定义，其中所述载气是空气。

14.一闭合回路，其流通方法如权利要求12所定义，其中所述分解步骤包含将过氧化氢气体催化分解成水与氧气。

15.一闭合回路，流经气相净化系统，其包含：

一可密封槽体，该槽体包含一进口端与一出口端；

一闭合回路导管系统，其一端流体连通至所述进口端，另一端流体连通至所述出口端；

一连结至所述导管系统的送风器，用来再循环槽体内的载气流；

一汽化器，用来输送气相过氧化氢至所述进口端其载气流的上游处；

一分解器，配置在所述出口端下游处，其是用来将气相过氧化氢转换成水与氧；

多个传感器，配置在所述分解器的上下游处，用来侦测温度；及

一处理器，用来监控所述分解器间的温度变化，并藉由该温度变化来判定所述槽体内的气相过氧化氢浓度。