CN101013272B

CN101013272B - 烘烤设备

Info

Publication number: CN101013272B
Application number: CN2007100075900A
Authority: CN
Inventors: 朱益新
Original assignee: AU Optronics Corp
Current assignee: AU Optronics Corp
Priority date: 2007-02-08
Filing date: 2007-02-08
Publication date: 2010-06-09
Anticipated expiration: 2027-02-08
Also published as: CN101013272A

Abstract

本发明公开了一种烘烤设备，包含；烘烤机；及内盖，置于烘烤机中，包括：顶板；及多个侧板，位于顶板的侧边，用以支撑顶板，并且与烘烤机形成容置空间。借以将内盖罩覆于基板上方，使基板表面的光刻胶挥发后囤积于内盖，而使用者可自烘烤机内取出内盖并快速清理光刻胶挥发物。

Description

烘烤设备

技术领域

本发明涉及一种烘烤设备，尤其涉及一种可快速保养的烘烤设备。

背景技术

一般制造薄膜晶体管液晶显示器(TFT-LCD)时，必须先在干净的玻璃基板上制作薄膜晶体管的图案，其工艺相当类似一般半导体的制造流程。首先要沉积薄膜，如介电薄膜或金属膜；然后进入黄光工艺(photo process)喷上光刻胶液，再配合光罩进行曝光，接着送至显影机(developer)，以显影液去除不需要的光刻胶后，使光刻胶层定型；最后再用蚀刻将露出的薄膜去除，并于蚀刻后去除留下的光刻胶，依此，逐层堆栈出所要制作的线路与元件。其中，光刻胶液将先置于玻璃基板的中心处，通过旋转方式往外扩散，续将玻璃基板放置于烘烤机内加热，即称之为[软烤]。之后，进行曝光工艺，将一光罩上的图案定义于光刻胶层上。最后，将显影液由基板一端涂布至另一端，进行一显影工艺，使光刻胶层显像。光刻胶成像之后，再次进到烘烤机内加热，进一步去除光刻胶中的溶剂含量，称为[硬烤]。

如图1]与图2]所示，由于烘烤工艺进行中，因玻璃基板A1表面的部份光刻胶会随溶剂一起挥发，而导致烘烤机A2内部囤积光刻胶挥发物。为了清理烘烤机A2内部所囤积的光刻胶挥发物，维护人员必须进入烘烤机A2内才能进行保养作业，然而烘烤机A2内温度高，且空间狭小，不但维护人员不易挤入，且于狭小的烘烤机A2内施力困难，因而增加保养烘烤机A2的困难度，此外，维护人员于烘烤机A2内进行保养作业时，也容易造成置放玻璃基板A1的表面的污染或刮伤。另外，烘烤机A2的保养动作属于高架作业，使得烘烤机A2的保养作业具有高危险性。

因此，如何改良烘烤机的结构，以便于维护人员清理烘烤机内部所囤积的光刻胶挥发物，借此提升保养作业的效率，缩短保养时程，并降低烘烤机时保养时的高危险性，进而避免维护人员于保养作业时污染或刮伤玻璃基板，为本案的发明人以及从事此相关行业的技术领域者想改善的课题。

发明内容

本发明所要解决的技术问题在于提出一种烘烤设备，可快速清理囤积于内盖的光刻胶挥发物。

为实现上述目的，本发明所提供的烘烤设备，包含：烘烤机；及内盖，置于烘烤机中，包括：顶板；及多个侧板，位于顶板的侧边，用以支撑顶板，并且与烘烤机形成容置空间。

本发明也提出一种烘烤设备，包含：烘烤机；基板，置于烘烤机中；及内盖，设置于烘烤机内，以区隔基板与烘烤机的内缘表面。

当基板于烘烤机内进行烘烤操作时，将内盖罩覆于基板上方，使基板表面的光刻胶挥发后囤积于内盖，而使用者于烘烤操作完成后取出内盖，即可快速清理囤积于内盖的光刻胶挥发物。

有关本发明的实施例及其功效，兹配合图式说明如下。

附图说明

图1为现有技术的烘烤机的示意图；

图2为现有技术的烘烤机保养时的示意图；

图3为本发明第一实施例的内盖的示意图；

图4为本发明第一实施例的结构示意图；

图5为本发明第一实施例进行保养的示意图(一)；

图6为本发明第一实施例进行保养的示意图(二)；

图7为本发明第二实施例的内盖的示意图；

图8为本发明第三实施例的内盖的示意图。

其中，附图标记：

10：烘烤机 11：定位元件

100：容置空间 20：内盖

200：覆盖构件 21：顶板

22：侧板 221：边条

23：塑料薄膜 24：把手

30：基板 A1：玻璃基板

A2：烘烤机

具体实施方式

如图3]与图4]所示，为本发明的第一实施例。

烘烤设备包含：烘烤机10、内盖20。

烘烤机10，用以对基板30进行烘烤操作，其中烘烤机10可为软烤(Pre-bake)机或硬烤(Post-bake)机。

内盖20，设置有一顶板21，并于顶板21相对应的二侧边分别设置侧板22，用以支撑顶板21，并与烘烤机10形成容置空间100，且容置空间100内设有多定位元件11。而每一侧板22的边缘也可设置多条边条221，用以避免侧板22直接接触烘烤机10的内缘下表面。此外，顶板21上也可设置把手24，以便使用者取放内盖20。且本发明还包含塑料薄膜23，贴附于顶板21与侧板22的内缘表面，使基板30表面的光刻胶挥发后囤积于内盖20内缘表面的塑料薄膜23上。

上述说明的内盖20由塑料材质所制成，也可由金属材质所制成，其中金属为选自不锈钢、铝所组成的群组，而边条221为铁氟龙所制成。再者，顶板21与侧板22可以一体成形方式构成内盖20，也可视实际设计需要而分开成形再组合。

如图5]与图6]所示，当基板30进行烘烤操作时，先将基板30置于烘烤机10内，通过定位元件11固定基板30，即以内盖20罩覆于基板30上，使基板30位于容置空间100内，即可使用烘烤机10进行烘烤。烘烤操作进行时，基板30表面的光刻胶挥发，并于挥发后囤积于内盖20的内缘表面。当烘烤机10保养时，使用者经由把手24将内盖20取出，即可清理囤积于内盖20的内缘表面的光刻胶挥发物，并以清洁工具(如：拖把、清洁布)擦拭烘烤机10用以置放基板30的下表面，达到清洁保养烘烤机10的目的。

本发明可供使用者将内盖20由烘烤机10内取出，并置于地面清理光刻胶挥发物，不但不需等待烘烤机10降温而缩短保养时间，并避免现有技术的烘烤机10的高架操作所产生的高危险性。另外，内盖20置于地面可让使用者便于擦拭囤积于内盖20的光刻胶挥发物，解决使用者不易挤入烘烤机10且于烘烤机10内施力困难的问题，也可避免使用者因挤入烘烤机10而污染或刮伤基板30的问题。此外，每次烘烤操作前，使用者均可事先准备好干净的内盖20，借以加快保养烘烤机10的操作程序，进而缩短保养时程并提升保养操作的效率。

依据本发明所揭露的结构，还包含塑料薄膜23，贴附于顶板21与侧板22的内缘表面，使基板30表面的光刻胶挥发后囤积于内盖20内缘表面的塑料薄膜23上。当烘烤机10保养时，使用者将内盖20取出，即可清理囤积于塑料薄膜23的光刻胶挥发物，也可自内盖20上撕下已囤积光刻胶挥发物的塑料薄膜23，再重新贴上干净的塑料薄膜23。

如图7]所示，为本发明的第二实施例。

在本实施例中，内盖20设置有一顶板21，并于顶板21三侧边分别设置侧板22，用以支撑顶板21。而每一侧板22的边缘也可设置多条边条221，用以避免侧板22直接接触烘烤机10的内缘下表面。此外，顶板21上也可设置把手24，以便使用者取放内盖20。

如图8]所示，为本发明的第三实施例。

内盖20可包含多个覆盖构件200，其中一覆盖构件200于顶板21三侧边分别设置侧板22，而其余的覆盖构件200于顶板21相对应的二侧边分别设置侧板22。再迭置多个覆盖构件200而使各个覆盖构件200部分成交迭，以罩覆于基板30上。

本发明仅需一至二人即可取出内盖20并完成清洁保养操作，且使用者不需等待烘烤机10降温而缩短保养时间，并避免高架操作所产生的高危险性。另外，使用者也不需挤入狭小的烘烤机10内，不但简化清洁保养操作，并可避免使用者污染或刮伤烘烤机10用以置放基板30的表面的问题。

当然，本发明还可有其它多种实施例，在不背离本发明精神及其实质的情况下，熟悉本领域的普通技术人员当可根据本发明做出各种相应的改变和变形，但这些相应的改变和变形都应属于本发明所附的权利要求的保护范围。

Claims

1.一种烘烤设备，其特征在于，包含：

一烘烤机；及

一内盖，置于该烘烤机中，包括至少一构件：

一顶板；及

多个侧板，位于该顶板的侧边，用以支撑该顶板，并且与该烘烤机形成一容置空间；

其中，于烘烤结束后，内盖能够由烘烤机内取出。

2.根据权利要求1所述的烘烤设备，其特征在于，该侧板位于该顶板的三侧边。

3.根据权利要求1所述的烘烤设备，其特征在于，该侧板位于该顶板的二侧边。

4.根据权利要求1所述的烘烤设备，还包含：一塑料薄膜，贴附于该顶板与该侧板的内缘表面。

5.根据权利要求1所述的烘烤设备，还包含：多条边条，设置于该侧板的边缘，以避免该侧板直接接触该烘烤机的内缘下表面。

6.根据权利要求5所述的烘烤设备，其特征在于，该边条为铁氟龙所制成。

7.根据权利要求1所述的烘烤设备，还包含：一把手，设置于该顶板上方。

8.根据权利要求1所述的烘烤设备，其特征在于，该顶板与该侧板为一体成形。

9.根据权利要求1所述的烘烤设备，其特征在于，还包含：一基板，置于该容置空间内。

10.根据权利要求9所述的烘烤设备，其特征在于，还包含：一定位元件，用以固定该基板。

11.一种烘烤设备，其特征在于，包含：

一烘烤机；

一基板，置于该烘烤机中；及

一内盖，置于该烘烤机内，以区隔该基板与该烘烤机的内缘表面；

其中，于烘烤结束后，内盖能够由烘烤机内取出。

12.根据权利要求11所述的烘烤设备，其特征在于，该烘烤机为一软烤机。

13.根据权利要求11所述的烘烤设备，其特征在于，该烘烤机为一硬烤机。

14.根据权利要求11所述的烘烤设备，其特征在于，该烘烤机包含至少一定位元件，用以固定该基板。

15.根据权利要求11所述的烘烤设备，其特征在于，该内盖为金属所制成。

16.根据权利要求15所述的烘烤设备，其特征在于，该金属选自不锈钢或铝。

17.根据权利要求11所述的烘烤设备，其特征在于，该内盖为塑料所制成。

18.根据权利要求11所述的烘烤设备，其特征在于，该内盖包含多个覆盖构件。

19.根据权利要求18所述的烘烤设备，其特征在于，该覆盖构件部分成交迭。

20.根据权利要求18所述的烘烤设备，其特征在于，每一该覆盖构件包括：

一顶板，位于该基板的上方，用以区隔该基板与该烘烤机的内缘上表面；及

多个侧板，位于该顶板的侧边，用以支撑该顶板以避免接触该基板，并区隔该基板与该烘烤机的内缘侧表面。

21.根据权利要求20所述的烘烤设备，其特征在于，该顶板与该侧板为一体成形。

22.根据权利要求11所述的烘烤设备，其特征在于，还包含：一塑料薄膜，贴附于该内盖的内缘表面。

23.根据权利要求11所述的烘烤设备，其特征在于，该内盖包含：

24.根据权利要求23所述的烘烤设备，其特征在于，该侧板位于该顶板的三侧边。

25.根据权利要求23所述的烘烤设备，其特征在于，该侧板位于该顶板的二侧边。

26.根据权利要求23所述的烘烤设备，其特征在于，还包含：一边条，设置于该侧板的边缘，以避免该侧板直接接触该烘烤机的内缘下表面。

27.根据权利要求26所述的烘烤设备，其特征在于，该边条为铁氟龙所制成。

28.根据权利要求23所述的烘烤设备，其特征在于，该内盖还包含：一把手，设置于该顶板上方。

29.根据权利要求23所述的烘烤设备，其特征在于，该顶板与该侧板为一体成形。