CN105321842B - 涂胶设备及其框架 - Google Patents
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Abstract
本发明提供了一种涂胶设备及其框架,所述框架的侧壁、顶面和底面分别由多条横梁和纵梁拼接而成,所述横梁和纵梁相互垂直,所述设备框架内具有用于支撑烘烤机的支撑架,所述框架的侧壁上具有用于装入所述烘烤机的安装开口,该安装开口的底边位置与所述支撑架的位置相对,该安装开口底边位置处的横梁是至少部分可拆卸的。本发明可以通过外部的起重设备将烘烤机放置在支撑架上,安装更加方便、省力、省时。
Description
技术领域
本发明涉及半导体加工设备,尤其涉及一种涂胶设备及其框架。
背景技术
在半导体工艺中,光刻是一种重要的工艺。在光刻工艺中,需要采用涂胶设备(coater)进行光刻胶的涂布,后续还需要对光刻胶进行烘、曝光、显影等操作。为了提高设备集成度,现有技术中的涂胶设备往往集成有烘烤机(bake)。
目前的烘烤机的壳体通常是封闭的,其中设置有支撑架用于支撑烘烤机。在设备总装时,需要通过人力将烘烤机抬起后放置在封闭壳体内的支撑架上。但是,烘烤机的重量通常是非常大的,例如可以达到数百公斤,这就使得烘烤机的安装过程比较费时、费力。
发明内容
本发明要解决的技术问题是提供一种涂胶设备及其框架,可以通过外部的起重设备将烘烤机放置在支撑架上,安装更加方便、省力、省时。
为解决上述技术问题,本发明提供了一种涂胶设备的框架,所述框架的侧壁、顶面和底面分别由多条横梁和纵梁拼接而成,所述横梁和纵梁相互垂直,所述设备框架内具有用于支撑烘烤机的支撑架,其中,所述框架的侧壁上具有用于装入所述烘烤机的安装开口,该安装开口的底边位置与所述支撑架的位置相对,该安装开口底边位置处的横梁是至少部分可拆卸的。
根据本发明的一个实施例,所述支撑架的数量为多个,每一支撑架对应一个安装开口。
根据本发明的一个实施例,所述横梁的可拆卸部分与其他部分之间的连接方式为螺接、键连接、卡扣连接中的一种。
本发明还提供了一种涂胶设备,包括:
框架,所述框架的侧壁、顶面和底面分别由多条横梁和纵梁拼接而成,所述横梁和纵梁相互垂直,所述设备框架内具有支撑架;
烘烤机,设置在所述支承架上;
其中,所述框架的侧壁上具有用于装入所述烘烤机的安装开口,该安装开口的底边位置与所述支撑架的位置相对,该安装开口底边位置处的横梁是至少部分可拆卸的。
根据本发明的一个实施例,所述横梁的可拆卸部分与其他部分之间的连接方式为螺接、键连接、卡扣连接中的一种。
与现有技术相比,本发明具有以下优点:
本发明实施例的涂胶设备的框架为开放的框架式结构,采用多条横梁和纵梁拼接而成,其侧壁具有安装开口,该安装开口的底边位置与支撑架的位置相对,并且该开口底边位置处的横梁至少部分可拆卸。在安装烘烤机时,可以将可拆卸的部分拆卸下来,利用铲车等外部起重设备直接将烘烤机放置在支撑架上,无需人力,更加省时、省力。
附图说明
图1是本发明实施例的涂胶设备的框架的立体结构示意图;
图2是本发明实施例的涂胶设备的框架改换另一视角的立体结构示意图;
图3是本发明实施例的涂胶设备的立体结构示意图;
图4是本发明实施例的涂胶设备的改换另一视角的立体结构示意图。
具体实施方式
下面结合具体实施例和附图对本发明作进一步说明,但不应以此限制本发明的保护范围。
参考图1和图2,本实施例的涂胶设备的框架10是一种“笼状”的开放式结构,底面、顶面以及侧壁都采用多条横梁和纵梁拼接而成,其中,横梁和纵梁相互垂直。横梁和纵梁可以采用各种适当的材料,例如可以是钢梁、铝合金梁等承重能力较强的材料。各条横梁和纵梁之间的连接方式可以是焊接等常用的固定方式。
框架10内部设置有用于支撑烘烤机的支撑架11。根据集成的烘烤机的数量的不同,支撑架11的数量可以不同,但总体而言,支撑架11的数量与烘烤机的数量相等,也就是一台烘烤机设置在一个支撑架11上。支撑架11也可以采用横梁和纵梁来构建,也就是支撑架11的材料和加工过程可以和框架10的底面、顶面以及侧面相同,以简化制造工艺,降低成本。
或者,支撑架11也可以采用专用的支架结构,将该专用的支架结构固定安装在框架10内部,例如可以和侧壁的多条横梁、纵梁相固定,以保持足够的支撑能力。
框架10的侧壁上具有用于装入烘烤机的安装开口12。框架10制成后,烘烤机就从该安装开口12装入框架10内部并放置在支撑架11上。安装开口12的尺寸需要大于烘烤机的尺寸,以使得烘烤机能够通过该安装开口12装入框架10内部。
安装开口12可以在加工框架10的侧壁时预留,例如,在焊接多条横梁和纵梁时预留足够大小的开口作为安装开口。或者,安装开口12也可以在框架10的侧壁加工完成后,再在侧壁上打开一个开口。
安装开口12的数量与支撑架11的数量相等,每一个支撑架11对应一个安装开口12,相应地也就对应一台烘烤机。以图1和图2所示为例,该实例中包含2个支撑架11,2个安装开口12。
安装开口12的底边位置与支撑架11的位置相对,二者基本在同一水平面内。该安装开口12的底边位置处保留一横梁13,而且该横梁13至少是部分可拆卸的。进一步而言,该安装开口12的底边位置处的横梁13可以全部或者部分被拆卸下来,然后可以根据需要再装回。
横梁13的可拆卸部分与其他部分之间的连接方式可以是螺接、键连接、卡口连接等适当的可拆卸连接方式。
参考图3和图4,图3和图4示出了本实施例的涂胶设备20的立体结构,其在图1和图2所示框架的基础上,还包括了烘烤机21。该烘烤机21设置在支撑架11上。
结合图1至图4,在安装烘烤机21时,可以将安装开口12底边位置处的横梁13的可拆卸部分拆除;然后将烘烤机21采用铲车等外部起重设备直接架设到支撑架11上;最后再将横梁13的可拆卸部分装回,完成烘烤机21的安装过程。整个安装过程无需人力将烘烤机21抬起,更加省时、省力。其中,图3和图4示出了横梁13的可拆卸部分被卸下时的状态,图1和图2示出了横梁13的可拆卸部分被装回后的状态。
由上,横梁13的可拆卸部分拆除后,使得支撑架11为一开放式结构,对外并无遮挡,从而使得铲车的使用成为可能。
本发明虽然以较佳实施例公开如上,但其并不是用来限定本发明,任何本领域技术人员在不脱离本发明的精神和范围内,都可以做出可能的变动和修改,因此本发明的保护范围应当以本发明权利要求所界定的范围为准。
Claims (5)
1.一种涂胶设备的框架,所述框架的侧壁、顶面和底面分别由多条横梁和纵梁拼接而成,所述横梁和纵梁相互垂直,所述设备框架内具有用于支撑烘烤机的支撑架,其特征在于,
所述框架的侧壁上具有用于装入所述烘烤机的安装开口,该安装开口的底边位置与所述支撑架的位置相对,该安装开口底边位置处的横梁是至少部分可拆卸的。
2.根据权利要求1所述的框架,其特征在于,所述支撑架的数量为多个,每一支撑架对应一个安装开口。
3.根据权利要求1所述的框架,其特征在于,所述横梁的可拆卸部分与其他部分之间的连接方式为螺接、键连接、卡扣连接中的一种。
4.一种涂胶设备,其特征在于,包括:
框架,所述框架的侧壁、顶面和底面分别由多条横梁和纵梁拼接而成,所述横梁和纵梁相互垂直,所述设备框架内具有支撑架;
烘烤机,设置在所述支撑架上;
其中,所述框架的侧壁上具有用于装入所述烘烤机的安装开口,该安装开口的底边位置与所述支撑架的位置相对,该安装开口底边位置处的横梁是至少部分可拆卸的。
5.根据权利要求4所述的涂胶设备,其特征在于,所述横梁的可拆卸部分与其他部分之间的连接方式为螺接、键连接、卡扣连接中的一种。
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CN101013272A (zh) * | 2007-02-08 | 2007-08-08 | 友达光电股份有限公司 | 烘烤设备 |
CN103762954A (zh) * | 2013-11-11 | 2014-04-30 | 马志刚 | 表面贴装陶瓷封装石英晶体谐振器加工设备 |
CN105321829A (zh) * | 2014-07-29 | 2016-02-10 | 盛美半导体设备(上海)有限公司 | 一种晶圆涂胶设备 |
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