CN100522615C - 供应液体材料到基底上的方法、小滴喷射设备、电光设备及电子设备 - Google Patents

供应液体材料到基底上的方法、小滴喷射设备、电光设备及电子设备 Download PDF

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Abstract

本发明披露了一种将液体材料以小滴形式供给基底上的方法，所述方法包括以下步骤：准备基底；在基底上形成多个分部，所述多个分部的每个都适于成为颜色元素；以及在使基底相对于小滴喷射装置相互移动期间，经由小滴喷射装置喷射一个或多个小滴，所述小滴喷射装置具有一个或多个喷嘴，所述液体材料通过所述喷嘴供给所述多个分部的每个上。在喷射步骤中，将第一小滴通过所述小滴喷射装置的喷嘴喷射到基底的预定分部上，然后在已经落在预定分部上的第一小滴变干之前将一个或多个后续小滴喷射到预定分部上，并且一个或多个后续小滴中每个的总量小于第一小滴的总量。

Description

供应液体材料到基底上的方法、小滴喷射设备、电光设备及电子设备
技术领域
本申请涉及供应液体材料到基底上的方法、小滴喷射设备、具有多种颜色元素的基底、电光设备以及电子设备。
背景技术
使用喷墨设备供应例如墨水等液体材料到上面形成多个分部(partition)的基底的每个分部上的方法是已知的。每个分部将成为像素(颜色元素)。例如，使用喷墨设备形成以矩阵形式排列在矩阵型显示器上的滤色器基板或发射部分的滤色器元素的方法是已知的。在这样的方法中，由于有必要使喷射到每个分部(换言之，每个像素)的墨滴在每个分部上均匀变宽，所以可将多个墨滴应用于同一分部(换言之，每个像素)。在此情形下，作为易于使墨水在每个像素上变宽的方法，日本公开专利申请No.2001-133622披露了这样一种方法，其中在已经喷射的第一墨滴变干之前(换言之，在第一墨滴保持液体形式期间)第二墨滴从喷墨头喷射到预定分部，由此第一和第二墨滴以液体形式互相混合。
然而，在本申请中披露的所述方法中，利用第二墨滴与先前已经应用于一个像素的第一墨滴碰撞的冲击力(impact)，第二墨滴易于喷洒到任何邻近的另一颜色像素。因此，存在可能出现第一和第二墨水颜色混合的问题。
发明内容
因此，本发明的一个目的是提供一种供应液体材料到基底上的方法、小滴喷射设备、具有多种颜色元素的基底、电光设备以及电子设备，其能以高制造效率制造具有多种颜色元素的无混色和丢色的高质量基底。
为了获得上述目的，在本发明的一方面，本发明旨在提供一种供应液体材料到基底上的方法。将液体材料以小滴形式供给基底上的方法包括以下步骤：
准备基底；
在基底上形成多个分部，所述多个分部的每个都适于成为颜色元素；以及
在使基底相对于小滴喷射装置相互移动期间，经由小滴喷射装置喷射一个或多个小滴，所述小滴喷射装置具有一个或多个喷嘴，所述液体材料通过所述喷嘴供给所述多个分部的每个上，
在此情形下，在喷射步骤中，将第一小滴通过所述小滴喷射装置的喷嘴喷射到基底的预定分部上，然后在已经落在预定分部上的第一小滴变干之前将一个或多个后续小滴喷射到预定分部上，且一个或多个后续小滴的总量小于第一小滴的总量。
因此，可能的是，为了在基底(基板)上形成颜色元素，快速并稳妥地供应所必需的液体材料量给将成为颜色元素的每个分部。并且，可能遍布每个分部均匀地散布或加宽所供应的液体材料。这使得可能确定地防止丢色发生。此外，可能限制随后的墨滴到达分部上时液体材料喷洒，因此可能有效防止喷洒的液体材料抵达任何邻近分部。这使得可能确定地防止颜色混合发生。为此，可能以高制造效率制造具有多种颜色元素的高质量基底(或基板)。
在根据本发明的制造具有多种颜色元素的基底的方法中，优选的是，在喷射步骤中，小滴喷射装置喷射第一和随后的墨滴，使得一个随后的墨滴的量小于一个第一墨滴的量。
因此，可能在随后的墨滴到达分部上时更确定地防止液体材料喷洒在任何邻近分部上，且使得可能更确定地防止颜色混合发生。
在根据本发明的制造具有多种颜色元素的基底的方法中，优选的是，小滴喷射装置包括：一个或多个空腔，分别与一个或多个喷嘴连通；以及驱动元件，根据具有驱动电压波形且应用于驱动元件的驱动信号改变装在空腔内的液体材料的液体压力，以喷射小滴。在此情形下，在喷射步骤中，通过改变待应用于驱动元件的驱动电压波形，调整将喷射的一个小滴的量。
这使得可能更精确地调整一个小滴的量。
在根据本发明的制造具有多种颜色元素的基底的方法中，优选的是，喷嘴包括多个喷嘴，且喷射步骤包括以下步骤：
通过多个喷嘴中的一些同时使第一小滴喷喷射到一个预定分部上；及
通过所述多个喷嘴中的一些将后续小滴喷射到一个预定分部上，这些喷嘴的数量小于第一小滴通过喷嘴喷射的喷嘴数量。
因此，可能限制随后的墨滴到达分部上时液体材料喷洒在任何邻近分部上，这使得可能确定地防止颜色混合发生。
在根据本发明的制造具有多种颜色元素的基底的方法中，优选的是，在喷射步骤中，将一个或多个后续小滴中每个的总量设定为第一小滴总量的30％到70％。
因此，可能限制随后的墨滴到达分部上时液体材料喷洒在任何邻近分部上，这使得可能确定地防止颜色混合发生。此外，可能进一步提高制造效率。
在根据本发明的制造具有多种颜色元素的基底的方法中，优选的是，在喷射步骤中，将后续小滴的飞行速度设定为小于第一小滴的飞行速度。
因此，可能限制随后的墨滴到达分部上时液体材料喷洒在任何邻近分部上，这使得可能确定地防止颜色混合发生。
在根据本发明的制造具有多种颜色元素的基底的方法中，优选的是，在喷射步骤中，喷射后续小滴到预定分部上，使得后续小滴将到达的位置与前一小滴已经到达所述预定分部上的位置不同。
这使得可能更确定和更均匀地遍布每个分部散布或加宽所供应的液体材料。
在根据本发明的制造具有多种颜色元素的基底的方法中，优选的是，已经落在预定分部上的小滴最初形成点，并且在喷射步骤中，将所述后续小滴喷射到预定分部上，使得由所述后续小滴形成的点与由先前已经落在预定分部上的小滴形成的点部分重叠。
这使得可能更确定和更均匀地遍布每个分部散布或加宽所供应的液体材料。
在本发明的另一方面，本发明旨在提供一种用于将液体喷射到上面形成多个分部的基底上的液滴喷射设备。多个分部的每个都适于变成颜色元素。所述设备包括：
小滴喷射装置，用于喷射小滴到基底上，所述小滴喷射装置包括一个或多个喷嘴，其中小滴将通过所述喷嘴喷射；
移动装置，用于使基底相对于小滴喷射装置相互移动；以及
控制单元，用于控制小滴喷射装置和移动装置的操作，使得在使基底相对于小滴喷射装置相互移动期间小滴喷射装置喷射小滴到基底上。
在此情形下，控制单元控制小滴喷射装置，使得第一小滴通过小滴喷射装置的喷嘴喷射到基底的预定分部上，然后在已经落在预定分部上的第一小滴变干之前将一个或多个后续小滴喷射到预定分部上，使得一个或多个后续小滴中每个的总量小于第一小滴的总量。
这样，为了在基底(基板)上形成颜色元素，快速并稳妥地供应所必需的液体材料量给将成为颜色元素的每个分部。并且，可能遍布每个分部均匀地散布或加宽所供应的液体材料。这使得可能确定地防止丢色发生。此外，可能限制随后的墨滴到达分部上时液体材料喷洒，因此可能有效防止喷洒的液体材料抵达任何邻近分部。这使得可能确定地防止颜色混合发生。为此，可能以高制造效率制造具有多种颜色元素的高质量基底(或基板)。
在根据本发明的小滴喷射设备中，优选的是，小滴喷射装置喷射第一和随后的墨滴，使得一个随后的墨滴的量小于一个第一墨滴的量。
在根据本发明的小滴喷射设备中，优选的是，小滴喷射装置将一个或多个后续小滴中每个的量设定为第一小滴总量的30％到70％。
在根据本发明的小滴喷射设备中，优选的是，小滴喷射装置包括：一个或多个空腔，分别与一个或多个喷嘴连通；以及驱动元件，根据具有驱动电压波形且从控制单元应用到驱动元件的驱动信号改变装在空腔内的液体材料的液体压力，以喷射小滴。在此情形下，通过改变待应用于驱动元件的驱动电压波形，调整将喷射的一个小滴的量。
在根据本发明的小滴喷射设备中，优选的是，喷嘴包括多个喷嘴，且每次小滴喷射装置通过多个喷嘴中的一些将第一小滴喷射到一个预定分部上，然后通过所述多个喷嘴中的一些将后续小滴喷射到一个预定分部上，这些喷嘴的数量小于第一小滴通过喷嘴喷射的喷嘴数量。
在根据本发明的小滴喷射设备中，优选的是，控制单元将一个或多个后续小滴中每个的飞行速度设定为小于第一小滴的飞行速度。
在根据本发明的小滴喷射设备中，优选的是，移动装置使基底相对于小滴喷射装置相互移动，使得后续小滴将到达的位置与第一小滴已经到达的位置不同。
在根据本发明的小滴喷射设备中，优选的是，已经由小滴喷射装置喷射并落在预定分部上的小滴形成最初形成点，并且小滴喷射装置将后续小滴喷射到预定分部上，使得由后续小滴形成的点与由先前已经落在预定分部上的小滴形成的点部分重叠。
在本发明的再一方面，本发明旨在提供一种具有多种颜色元素的基底。本发明的基底是使用上述方法制造的。
在本发明的又一方面，本发明旨在提供一种电光设备。本发明的电光设备包括上述具有多种颜色元素的基底。
这使得可能以高制造效率提供设置有具有多种颜色元素的高质量基底(或基板)的光电设备。
在本发明的又一方面，本发明旨在提供一种电子设备。本发明的电子设备包括上述电光设备。
这使得可能提供设置有本发明的光电设备的电子设备。
附图说明
根据以下参考附图进行的本发明的优选实施例的详细描述，本发明的上述和其它目的、特性和优点将变得更加显然。
图1是本发明的第一实施例中的小滴喷射设备的透视图。
图2是从图1中所示小滴喷射设备的平台(stage)侧观看的小滴喷射装置的图示。
图3是图1中所示小滴喷射设备的小滴喷射头的底面图示。
图4(a)和4(b)分别是图1中所示小滴喷射设备的小滴喷射头的横截面透视图和横截面图。
图5是图1中所示小滴喷射设备的控制单元的框图。
图6(a)是头驱动单元的示意图。
图6(b)是示出用于头驱动单元的驱动信号、选择信号和喷射信号的时间图。
图7是用于说明本发明的第一实施例中的小滴供应方法的图示。
图8是用于说明本发明的第一实施例中的小滴供应方法的图示。
图9是用于说明本发明的第二实施例中的小滴供应方法的图示。
图10是用于说明本发明的第三实施例中的小滴供应方法的图示。
图11是示出基底的示意图，其中小滴由本发明的第二实施例中的小滴供应设备供应到基底上。
图12是示意图，示出设置有本发明第二实施例中的小滴喷射设备的制造设备。
图13是本发明的第二实施例中的小滴供应设备的透视图。
图14是示意图，示出通过本发明的第二实施例中的小滴喷射设备供应液体材料到基底上的方法。
图15是示出基底的示意图，其中本发明的第三实施例中的小滴喷射设备供应小滴到基底上。
图16是示意图，示出设置有本发明第三实施例中的小滴喷射设备的制造设备。
图17是本发明的第三实施例中的小滴供应设备的透视图。
图18是示意图，示出通过本发明的第三实施例中的小滴喷射设备供应液体材料到基底上的方法。
图19是透视图，示出应用本发明的电子设备的移动式(或膝上型)个人计算机的结构。
图20是透视图，示出应用本发明的电子设备的便携式电话(包括个人便携电话系统)的结构。
图21是透视图，示出应用本发明的电子设备的数码相机的结构。
具体实施方式
现在将参看附图详细描述供应液体材料到基底上的方法、小滴喷射设备、具有多种颜色元素的基底、电光设备以及电子设备。
<小滴喷射设备的第一实施例>
(小滴喷射设备的整体结构)
图1是本发明的第一实施例中的小滴喷射设备100的透视图。如图1中所示，小滴喷射设备100包括用于储存液体材料111的罐101、管110和其中液体材料111从罐101经由管110供应的喷射扫描单元102。喷射扫描单元102设置有其中多个小滴喷射头114安装在托架105上的小滴喷射装置103、控制小滴喷射装置103的位置的第一位置控制装置104、用于保持基底10A的平台106(将在后面描述)、控制平台106的位置的第二位置控制装置108以及用于控制小滴喷射装置103、第一位置控制装置104和第二位置控制装置108的控制单元112。移动装置由第一和第二位置控制装置104、108构成。罐101经由管110连接至多个小滴喷射头114。使用压缩空气将液体材料111供给多个小滴喷射头114的每个。
第一位置控制装置104根据来自控制单元112的信号沿X轴方向和/或垂直于X轴方向的Z轴方向移动小滴喷射装置103。并且，第一位置控制装置104具有绕平行于Z轴的轴转动小滴喷射装置103的功能。应指出，在本实施例中，Z轴方向是平行于垂直方向的方向(换言之，重力加速度的方向)。第二位置控制装置108根据来自控制单元112的信号沿既垂直于X轴方向又垂直于Z轴方向的Y轴方向移动平台106。并且，第二位置控制装置108具有绕平行于Z轴的轴转动平台106的功能。
平台106具有既平行于X轴方向又平行于Z轴方向的平面。并且，平台106构造为使得可将具有多个分部的基底固定或保持在平台106上，其中将液体材料111供给分部。
如上所述，小滴喷射装置103通过第一位置控制装置104移动到X轴方向。另一方面，平台106通过第二位置控制装置108移动到Y轴方向。因此，通过第一位置控制装置104和第二位置控制装置108可改变小滴喷射头114关于平台106的相互位置。
控制单元112构造为从外部信息处理设备接收喷射数据。所述喷射数据表示液体材料111将喷射至的相互位置。就此而言，后面将描述控制单元112的详细结构和功能。
(小滴喷射装置)
图2是从图1中所示小滴喷射设备100的平台106侧观看的小滴喷射装置103的图示。如图2中所示，小滴喷射装置103包括每个都具有大体相同结构的多个小滴喷射头114和用于保持这些小滴喷射头114的托架105。在本实施例中，包含在小滴喷射装置103中的小滴喷射头114的数目为八个。每个小滴喷射头114都具有上面设置多个喷嘴118(后面描述)的底面。每个小滴喷射头114的底面的形状都是具有两个长侧和两个短侧的多边形。保持在小滴喷射装置103中的每个小滴喷射头114的底面都面对平台106侧，并且每个小滴喷射头114的长侧方向和短侧方向分别平行于X轴方向和Y轴方向。
(小滴喷射头)
图3是图1中所示小滴喷射设备100的小滴喷射头114的底面图示。小滴喷射头114具有在X轴方向上排列的多个喷嘴118。多个喷嘴118排列为使得小滴喷射头114在X轴方向上的喷嘴间距HXP约为70μm。就此而言，“小滴喷射头114在X轴方向上的喷嘴间距HXP”相应于通过沿Y方向投影X轴上的小滴喷射头114的所有喷嘴118而获得的相邻喷嘴图像之间的间距。
在本实施例中，小滴喷射头114中的多个喷嘴118构成均在X轴方向上延伸的喷嘴排116A和喷嘴排116B。喷嘴排116A和喷嘴排116B以平行方式设置，以便彼此隔开预定距离。在喷嘴排116A和喷嘴排116B的每个中，九十个喷嘴118在X轴方向上以预定距离排列。在本实施例中，所述预定距离为约140μm。换言之，喷嘴排116A的喷嘴间距LNP和喷嘴排116B的喷嘴间距LNP约为140μm。
喷嘴排116B的位置离开X轴的正向位置(即图3中的右方方向)关于喷嘴排116A的位置的喷嘴间距LNP的一半长度(即，70μm)。为此，小滴喷射头114在X方向上的喷嘴间距HXP是喷嘴排116A或116B的喷嘴间距的一半长度(即，70μm)。因此，小滴喷射头114在X方向上的喷嘴的线密度是喷嘴排116A或116B的喷嘴的线密度的两倍。就此而言，“X方向上的喷嘴的线密度”相应于通过沿Y轴方向投影X轴上的多个喷嘴获得的每单位长度上的喷嘴图像数目。
应指出，包含在小滴喷射头114中的喷嘴排的数目不限于2条。小滴喷射头114可包括M条喷嘴排。在此情形下，“M”为1或更大的自然数。以喷嘴间距HXP的长度的M倍为间距在M条喷嘴排的每条中设置多个喷嘴118。并且，在M为2或更大的自然数的情况下，对于M条喷嘴排中的一条喷嘴排，其它(M-1)条喷嘴排离X轴方向喷嘴间距HXP的长度的i倍且不相交。在此情形下，“i”是从1到M-1的自然数。
由于喷嘴排116A或116B的每个都是由90个喷嘴118构造的，所以每个小滴喷射头114具有180个喷嘴118。在此情形下，将喷嘴排116A的两端的每5个喷嘴设定为“暂停喷嘴”。以此方式，也将喷嘴排116B的两端的每5个喷嘴设定为“暂停喷嘴(suspension nozzle)”。液体材料111的小滴不会通过这20个暂停喷嘴喷射。因此，在每个小滴喷射头114中的180个喷嘴118中的160个喷嘴118的每个都充当用于使液体材料111以小滴形式喷射的喷嘴。
如图2中所示，多个小滴喷射头114沿X轴方向在小滴喷射装置103上排成两行。考虑到暂停喷嘴，小滴喷射头114的一行和小滴喷射头114的另一行排列为使得从Y轴方向看它们部分重叠。因此，小滴喷射装置103构造为使得用于喷射液体材料111的喷嘴118在基底10A的短侧的长度上沿X轴方向以喷嘴间距HXP连续。尽管小滴喷射头114设置为覆盖本实施例的小滴喷射装置103中的基底10A的整个短侧(在X轴方向上的基底10A的长度)，但本发明中的小滴喷射装置可覆盖基底10A的短侧的部分。
图4(a)和4(b)分别是图1中所示小滴喷射设备100的小滴喷射头114的横截面透视图和横截面图。如图4(a)和4(b)中所示，每个小滴喷射头114构成喷墨头。更具体地，每个小滴喷射头114设置有隔板126和喷嘴板128。贮液器129位于隔板126和喷嘴板128之间。贮液器129装有从罐101经由进墨口131供给的液体材料111。
多个分隔壁122位于隔板126和喷嘴板128之间。空腔120由隔板126、喷嘴板128和一对分隔壁122限定。由于空腔120是根据一个喷嘴118设置的，所以空腔120的数目与喷嘴118的数目相同。液体材料111经由设置在这对分隔壁122之间的供墨口130供给空腔120。
作为驱动元件的振动器124根据每个空腔120设置在隔板126上。振动器124改变装在空腔120内的液体材料111的液体压力，且包括压电元件124C、一对电极124A和124B，其中压电元件124C夹在电极124A和124B之间。通过在这对电极124A和124B之间施加驱动电压信号，压电元件124C变形，改变装在空腔120内的液体材料111的液体压力，从而使液体材料111以小滴形式通过相应喷嘴118喷射。调整每个喷嘴118的形状，以便通过每个喷嘴118在Z轴方向上喷射液体材料111。
就此而言，“液体材料”是指具有足以通过喷嘴118喷射的粘度的材料。在此情形下，材料可以是水基或油基的。所述材料仅需具有通过喷嘴118可喷射的流度(粘度)。即使可将固体材料粉碎成所述材料，所述材料整体上可以是流体。
图1中所示的控制单元112可构造为施加驱动电压信号到多个彼此独立的振动器124的每个。换言之，可根据来自与每个喷嘴118关联的控制单元112的驱动电压信号控制通过每个喷嘴118喷射的液体材料111的体积。在此情形下，控制单元112可以从0p1到42p1(皮升)可变地设定待通过每个喷嘴118喷射的液体材料111的体积。并且，控制单元112可以将每个喷嘴118设定为在扫描操作期间执行喷射操作，或不执行喷射操作。
在本发明的说明书中，将包括一个喷嘴118、相应于一个喷嘴118的一个空腔120和相应于一个空腔120的一个振动器124的部分称为“喷射部分127”。在此情形下，一个小滴喷射头114所具有的喷射部分127的数目与喷嘴118的数目相同。喷射部分127可具有这样的结构，其中，通过电热转换元件利用液体材料的热膨胀(薄膜沸腾)喷射液体材料。
在本发明中，小滴喷射装置103中的喷嘴间距HXP不限于上述，也可以是任意大小。并且，除了图2中所示的结构外，小滴喷射装置103可构造为使得多个小滴喷射头114在Y轴方向上重叠。在此情形下，可能在X方向上缩短整个小滴喷射装置103的喷嘴间距(喷嘴排密度)，并且这使得可能以较高的分辨率(resolution)将小滴供给基底10A上。
(控制单元)
接着，现在将描述控制单元112的构造。图5是图1中所示小滴喷射设备100的控制单元112的框图。如图5中所示，控制单元112设置有输入缓冲存储器200、存储单元202、处理单元204、扫描驱动单元206和头驱动单元208。处理单元204连接至输入缓冲存储器200、存储单元202、扫描驱动单元206和头驱动单元208的每个。并且，扫描驱动单元206电连接至第一位置控制单元104和第二位置控制单元108。类似地，头驱动单元208电连接至多个小滴喷射头114的每个。
输入缓冲存储器200接收用于从外部信息处理设备喷射液体材料111的小滴的喷射数据。喷射数据包括表示每个喷嘴118关于基底上的所有分部中的每个分部的相互位置的数据、表示供应液体材料111到所有分部直到所供给的液体材料的厚度变成理想厚度所需要的相互扫描的次数的数据、指定一些喷嘴118为ON喷嘴118A的数据和指定其它喷嘴118为OFF喷嘴118B的数据。输入缓冲存储器200输出喷射数据到处理单元204，接着处理单元204将喷射数据存储在存储单元202中。在此点上，图5中的存储单元202是RAM(随机存取存储器)。
处理单元204根据存储在存储单元202中的喷射数据输出表示每个喷嘴118关于基底上的所有分部的每个的相互位置的数据到扫描驱动单元206。扫描驱动单元206分别输出与相互位置数据和喷射周期(ejectioncycle)EP(后面将参看图6描述)一致的驱动电压信号给第一位置控制单元104和第二位置控制单元108。结果，小滴喷射头114(换言之，小滴喷射装置103)相互扫描分部。另一方面，处理单元204根据存储在存储单元202中的喷射数据和喷射周期EP输出用于在每个喷射时间(ejectiontiming)中指定每个喷嘴118的ON/OFF的选择信号SC给头驱动单元208。接着头驱动单元208根据选择信号SC输出喷射液体材料111所需要的喷射信号给小滴喷射头114。结果，液体材料111以小滴形式通过小滴喷射头114中的相应喷嘴118喷射。
控制单元112可以是设置有CPU(中央处理单元)、ROM(只读存储器)、RAM等的计算机。在此情形下，可使用计算机可执行的软件程序实现上述控制单元112的操作。另一方面，控制单元112可用专用电路(换言之，硬件)实现。
接着，将描述控制单元112中的头驱动单元208的构造和功能。图6(a)是头驱动单元208的示意图。图6(b)是示出用于头驱动单元的驱动信号、选择信号和喷射信号的时间图。如图6(a)中所示，头驱动单元208包括一个驱动信号发生器203和多个模拟开关AS。如图6(b)中所示，驱动信号发生器203产生驱动信号DS。驱动信号DS的电势相对于参考电势L临时改变。更具体地，驱动信号DS包括利用喷射周期EP重复的多个喷射波形P。就此而言，喷射波形P相应于施加在相应振动器124中的这对电极124A和124B之间的驱动电压波形，以通过一个喷嘴118喷射一个小滴。
将驱动信号DS供给每个模拟开关AS的输入终端。每个模拟开关AS是根据每个喷射部分127设置的。即，模拟开关AS的数目等于喷射部分127的数目(换言之，喷嘴118的数目)。
处理单元204输出表示每个喷嘴118的ON/OFF的选择信号SC给每个模拟开关AS。就此而言，选择信号SC可成为关于每个模拟开关AS的高电平状态或低电平状态。响应于驱动信号DS和选择信号SC，每个模拟开关AS施加喷射信号ES给相应振动器124的电极124A。更具体地，在选择信号变成高电平状态的情形下，模拟开关AS转为ON，并将驱动信号DS作为喷射信号ES施加给电极124A。另一方面，在选择信号变成低电平状态的情形下，模拟开关AS转为OFF，且模拟开关AS输出给电极124A的喷射信号ES的电势变成参考电势L。当将驱动信号DS施加给振动器124的电极124A时，液体材料111通过相应于振动器124的喷嘴118喷射。就此而言，将参考电势L施加给每个振动器124的电极124B。
在图6(a)中所示的实例中，设定两个选择信号SC中每个的高电平时期和低电平时期，以使具有周期2EP的喷射波形P出现，其中所述周期2EP是两个喷射信号ES中每个的喷射周期EP的两倍。这样，液体材料111以小滴形式通过两个相应喷嘴118喷射，且周期为2EP。将共用驱动信号DS从共享驱动信号发生器203施加给相应于两个喷嘴118的振动器124的每个。为此，液体材料111大体上同时通过两个喷嘴118喷射。
通过使用上述构造，小滴喷射设备100执行喷射扫描操作，其中根据施加给控制单元112的喷射数据将液体材料111供给基底10A。
<供应液体材料的方法的实施例>
使用上述小滴喷射设备100执行根据本发明将液体材料以小滴形式供给基底上的方法。以下，将参看图7至图10描述本发明的方法的实施例。就此而言，尽管在以下说明中设想了制造用于液晶显示器的滤色器基板的情形，但如后面将描述的，本发明能应用于制造与滤色器基板不同的多种电光设备。
如图7中所示，每个都变成颜色元素(像素)的多个细长分部18R、18G和18B在基底10A上形成，以便与黑底14和围堰(bank)16分离。分部18R是成为颜色元素R(红色)的区域，分部18G是成为颜色元素G(绿色)的区域，且分部18B是成为颜色元素B(蓝色)的区域。
分部18R、18G和18B中每个都具有大体为矩形的形状。每个分部的纵向平行于Y轴方向，同时每个分部的横向平行于X轴方向。以线性形式设置的一组分部18R、18G和18B相应于滤色器基板的一个像素。许多组分部18R、18G和18B在基底10A上形成，以便以矩阵形式排列。即，将基底10A用于制造条形排列型滤色器基板。
小滴喷射设备100执行一个或多个喷射扫描操作，其中在通过驱动第二位置控制装置108使基底10A在Y轴方向上关于小滴喷射装置103相互移动期间，用于形成颜色元素的液体材料111以小滴形式通过喷嘴118喷射。在喷射扫描操作中，小滴喷射装置103和基底10A相互移动，以使小滴喷射装置103大体上遍及基底10A移动。
就此而言，尽管在以下说明中，将供应小滴到分部18R上的情形作为典型实例描述，但可以相同方式将小滴供应到分部18G或18B上。并且，尽管图7仅示出一个分部18R，但是小滴可以相同方式在一个喷射扫描操作中供应到所有分部18R上，其中小滴喷射头114通过所有分部18R上。
在根据本发明的供应小滴到基底上的方法中，液体材料111的第一小滴通过喷嘴118喷射到分部18R上。在此情形下，可喷射多个第一小滴。接着在已经到达分部18R上的第一小滴(液体材料111)变干(即，第一小滴保持液体状态)之前一次或多次将一个或多个后续小滴喷射到相同分部18R上。
在本发明中，由于这样供应到一个分部18R上的第一和后续小滴在它们处于液体状态中时组合，所以液体材料111可在分部18R各处均匀变宽。这使得可能确定地防止丢色发生。
并且，本发明的特征在于，第一小滴的总量小于一个或多个后续小滴中的每个小滴的总量。这样，本发明具有以下优点。
当一个或多个后续小滴落在分部18R上时，第一小滴(液体材料111)已经供给分部18R上。因此，在后续小滴落在分部18R上时的冲击力很大的情况下，到达的第一小滴即红色液体材料111可能作为喷雾喷洒到邻近的绿色分部18G或蓝色分部18B上。这样，发生混色，以改变分部的颜色，并且这导致滤色器基板质量很差。
与上述情形相比，在本发明中，由于后续小滴的量减少(换言之，将后续小滴的尺寸设定为较小)，所以可能减小后续小滴落在分部上时的冲击力。这使得可能防止到达的第一小滴(液体材料111)作为喷雾喷洒。即使液体材料111作为喷雾喷洒，也可能有效地防止喷雾到达临近分部18G或18B。因此，可能有效防止上述混色发生。
并且，由于将第一小滴的总量设定为比后续小滴的总量大，所以可能减少供应必需量的液体材料111到分部18R上所需要的小滴数量。这使得可能快速形成像素。因此，可能提高滤色器基板的制造效率。
另一方面，在第一和后续小滴数量全都减少的情形下，可能防止混色，但是供应必需量的液体材料111到分部18R上所需要的小滴数量往往增加。这使得制造效率降低。在本发明中，优选的是，为了获得防止混色的效果和提高制造效率的效果之间的高度平衡，将一个或多个后续小滴中每个的总量设定为第一小滴总量的30％到70％。
下面，将参看附图更具体地描述供应液体材料的方法。图7和8是用于说明本发明的第一实施例中的小滴供应方法(供应液体材料的方法)的图示。
在图7和8中所示的第一实施例中，一个第一小滴51通过喷嘴118喷射。四个后续小滴52、53、54和55接着依次通过相同喷嘴118喷射。如图7中所示，调节四个后续小滴52、53、54和55中每个的量，以使其小于第一小滴51的量。
通过改变待应用于振动器124的驱动电压波形(参看图6)，可能调节将通过喷嘴118喷射的小滴的量。尽管四个后续小滴52、53、54和55中每个的量在图7和8中所示的实例中彼此相同，但是它们也可以彼此不同。在此情形下，仅需使其小于第一小滴51的量。
并且，在本发明中，优选的是，将后续小滴52、53、54和55中每个的飞行速度(换言之，喷射速度)设定为小于第一小滴51的飞行速度。这使得可能进一步减少后续小滴52、53、54和55中每个到达分部上时的冲击力。因此，可能更确定地防止液体材料111喷洒。就此而言，通过改变待应用于振动器124的驱动电压波形，可能调节将第一和后续小滴51、52、53、54和55中每个的飞行速度。
此外，在本实施例中，在使基底10A在Y轴方向上关于喷嘴118相互移动期间，第一小滴51和后续小滴52、53、54和55依次通过同一个喷嘴118喷射。这样，如图8中所示，可能逐渐移动第一小滴51和后续小滴52、53、54和55的到达位置。这使得可能使液体材料111更均匀地遍及分部18R散布。
并且，在第一小滴51和后续小滴52、53、54和55落在分部18R上时形成的多个点沿Y轴方向(换言之，扫描方向)排列。如图8中所示，优选的是，第一和后续小滴供给分部上，使得这些点以预定空间彼此部分重叠。就此而言，“预定空间”是指这样的空间，在假定第一和后续小滴独立存在而不会使由先前落在分部18R上的小滴形成的一个点与其它小滴组合时使得第一和后续小滴彼此连接的空间。
由已经通过喷嘴118喷射并落在分部18R上的液体材料111的一个小滴形成的点的直径可根据液体材料111的一个小滴的体积、液体材料111与分部18R的地面的接触角(可湿度)等而改变。由于此原因，通过预先以实验或理论计算检查由已经落在分部18R上的液体材料111的一个小滴形成的点的直径，可能控制上述“预定空间”。
就此而言，尽管在图8中将由已经落在分部上的第一小滴51和后续小滴52、53、54和55形成的点描述为部分重叠，但应理解，多个小滴彼此整合，且事实上沿周缘散开。即，图8是示意图，以便易于理解根据本发明的供应小滴的方法，但不表示供应到分部18R上的液体材料111(与图9和10中相同)的实际散开方式。
就此而言，第一小滴51和后续小滴52、53、54和55也可不通过同一喷射扫描操作喷射，如果先前已经供给分部上的液体材料111没有变干，则它们可以通过多个喷射扫描操作喷射。
并且，在本发明中，通过重复以下步骤：供应液体材料111到分部18R上；以及利用烘干设备使所供应的液体材料111变干(预烘焙)，颜色元素材料可以堆叠形式形成。在此情形下，在本发明中，当液体材料111的小滴在变干后再次喷射到分部18R上时，在返回起始点后应用上述第一小滴和后续小滴之间的关系。变干后首先喷射到分部18R上的小滴相应于第一小滴。
图9是用于说明本发明的第二实施例中的小滴供应方法的图示。下面，将参看图9对第二实施例的供应小滴到基底上的方法进行描述；然而，主要描述上述第一实施例和第二实施例之间的差别，且省略对相似部分的描述。
在图9中所示的第二实施例中，将两个第二小滴61a、61b通过两个喷嘴118a、118b喷射到同一分部18R上一次。接着将两个后续小滴通过两个喷嘴118a、118b喷射到同一分部18R上五次。即，后续小滴包括第一后续小滴62a、62b、第二后续小滴63a、63b、第三后续小滴64a、64b、第四后续小滴65a、65b和第五后续小滴66a、66b。调节后续小滴62a、62b、63a、63b、64a、64b、65a、65b、66a和66b中每个的量，以使其小于第一小滴61a、61b中每个的量。
并且，以与上述第一实施例类似的方式，将第一和后续小滴供应到同一分部18R上，使得这些点通过预定空间彼此部分重叠。根据第二实施例中供应小滴到基底上的方法，可能获得类似于上述第一实施例的效果。
图10是用于说明本发明的第三实施例中的小滴供应方法的图示。下面，将参看图10对第三实施例的供应小滴到基底上的方法进行描述；然而，主要描述上述第一或第二实施例和第三实施例之间的差别，且省略对相似部分的描述。
在图10中所示的第三实施例中，将两个第二小滴71a、71b通过两个喷嘴118a、118b喷射到同一分部18R上一次。接着，使一个后续小滴交替通过两个喷嘴118a、118b中其中之一喷射到同一分部18R上五次。即，后续小滴包括通过喷嘴118a喷射的第一后续小滴72a、通过喷嘴118b喷射的第二后续小滴73b、通过喷嘴118a喷射的第三后续小滴74a、通过喷嘴118b喷射的第四后续小滴65b和通过喷嘴118a喷射的第五后续小滴76a。调节后续小滴72a、73b、74a、75b和76a中每个的量，以使其小于第一小滴71a、71b中每个的量。
以此方式，在第三实施例中，使第一小滴同时通过多个喷嘴喷射到同一分部上，且接着将后续小滴通过一个或一些喷嘴(少于所属多个喷嘴)喷射到同一分部上。因此，可将后续小滴中每个的量设定为与第一小滴中每个的量相同。
并且，以与上述第一或第二实施例类似的方式，将第一和后续小滴供应到同一分部18R上，使得这些点通过预定空间彼此部分重叠。根据第三实施例中供应小滴到基底上的方法，可能获得类似于上述第一实施例的效果。
<小滴喷射设备的第二实施例>
接着，现在将详细描述其中本发明的小滴喷射设备应用于滤色器基板的制造的实例。图11是示出基底10A的示意图，其中小滴由本发明的第二实施例中的小滴供应设备供应到基底10A上。
图11(a)和图11(b)中所示的基底10A是通过利用后面描述的制造设备1(参看图12)执行工艺而变成滤色器基板10的基板。基底10A具有以矩阵形式排列在其上的多个分部18R、18G和18B。
更具体地，基底10A包括：支撑基板12，具有透光性；多个细长分部18R、18G和18B，每个都变成形成在支撑基板12上的颜色元素(像素)，以与黑底14和围堰16分离。黑底14由具有光屏蔽效应的材料制成。黑底14和设置在黑底14上的围堰16以矩阵形式设置在支撑基板12上，从而多个透光部分即多个像素区由它们限定。
在像素区中，由支撑基板12、黑底14和围堰16限定的凹入部分分别相应于分部18R、18G和18B。分部18R是其中形成仅波长在红波长范围内的光透过的滤光层111FR的区域。分部18G是其中形成仅波长在绿波长范围内的光透过的滤光层111FG的区域。分部18B是其中形成仅波长在蓝波长范围内的光透过的滤光层111FB的区域。
图11(b)中所示基底10A位于既平行于X轴方向又平行于Y轴方向的虚平面上。基底10A中的分部18R、18G和18B以此顺序在X轴方向上周期性地排列。另一方面，分部18R在Y轴方向上以预定间隔排列，分部18G在Y轴方向上以预定间隔排列，且分部18B在Y轴方向上以预定间隔排列。就此而言，X轴方向垂直于Y轴方向。
分部18R的沿X轴方向的间隔LRY即间距约为560μm。所述间距LRY与分部18G的沿X轴方向的间隔LGY相同。并且，分部18R是具有长侧和短侧的矩形形状。更具体地，分部18R在X轴方向上的长度即其短侧的长度大体上为100μm，在Y轴方向上的长度即其长侧的长度大体上为300μm。分部18G和18B中每个都具有与分部18R相同的形状和尺寸。就此而言，在相邻分部和此分部之间的间隔的大小相应于屏幕尺寸约为40英寸的高清晰度电视中同色像素的间隔和尺寸。
图12是示意图，示出设置有本发明第二实施例中的小滴喷射设备100的制造设备1。图12中所示的制造设备1是用于供应相应的滤色器材料到图11中所示基底10A中的分部18R、18G和18B中每个的设备。更具体地，制造设备1包括：小滴喷射设备100R，用于使用上述供应小滴到基底上的方法供应滤色器材料111R到所有分部18R上；烘干设备150R，用于烘干供给分部18R上的滤色器材料111R；小滴喷射设备100G，用于使用上述供应小滴到基底上的方法供应滤色器材料111G到所有分部18G上；烘干设备150G，用于烘干供给分部18G上的滤色器材料111G；小滴喷射设备100B，用于使用上述供应小滴到基底上的方法供应滤色器材料111B到所有分部18B上；烘干设备150B，用于烘干供给分部18B上的滤色器材料111B；炉160，用于预加热(后烘焙)滤色器材料111R、111G和111B；小滴喷射设备100C，用于在这样后烘焙的滤色器材料111R、111G和111B上设置保护膜20；烘干设备150C，用于烘干保护膜20；以及硬化设备165，用于通过再加热硬化烘干的保护膜20。并且，制造设备1包括传送设备170，用于以小滴喷射设备100R、烘干设备150R、小滴喷射设备100G、烘干设备150G、小滴喷射设备100B、烘干设备150B、小滴喷射设备100C、烘干设备150C和硬化设备165的顺序传送基底10A。
图13是本发明的第二实施例中的小滴供应设备100R的透视图。如图13中所示，除了第二实施例中的小滴喷射设备100R包括代替罐101和管110的用于液体滤色器材料111R的罐101R和管110R外，小滴喷射设备100R的构造与第一实施例中的小滴喷射设备100R的构造大体相同。就此而言，与第一实施例中的小滴喷射设备100具有类似功能的小滴喷射设备100R用相同附图标记表示，且省略对其的重复描述。
类似地，除了第二实施例中的小滴喷射设备100G、100B和100C分别包括代替罐101和管110的用于液体滤色器材料111G、111B和111C的罐101G、101B和101C以及管110G、110B和110C外，小滴喷射设备100G的构造、小滴喷射设备100B的构造和小滴喷射设备100C的构造与第一实施例中的小滴喷射设备100的构造大体相同。就此而言，本实施例的液体滤色器材料111R、111G和111B是本发明的液体材料的一些实例。
接着，将描述小滴喷射设备100R的操作。小滴喷射设备100R喷射相同液体材料到以矩阵形式排列在基底10A上的多个分部18R上。就此而言，如将在第三实施例中描述的，基底10A可用用于电发光显示器的基板代替或用于等离子体显示器的后基板代替。另一方面，基底10A可用设置有电子发射元件的用于图像显示的基板代替。
在以下说明中，将描述使用制造设备1制造滤色器基板10的一系列工艺。
根据以下步骤制造图11中所示的基底10A。首先，利用溅射法或蒸发法在支撑基板12上形成金属薄膜。接着利用光刻法从金属薄膜形成呈网状图样的黑底14。可将金属铬或氧化铬作为用于黑底14的材料。就此而言，支撑基板12是对可见光(光波长)具有透光性的基板，例如玻璃基板等。随后，涂敷由负型干膜成分构成的抗蚀剂层，以便覆盖支撑基板12和黑底14。暴露抗蚀剂层，同时使得形成为矩阵图样的掩模薄膜(maskfilm)贴在抗蚀剂层上。接着，通过利用蚀刻工艺去除抗蚀剂层的不暴露部分，获得围堰16。这样，获得基底10A。
将由树脂黑(resin black)制成的围堰用于代替围堰16。在此情形下，不需要金属薄膜(换言之，黑底14)，并且围堰层由单层构成。
接着，在大气压力下利用氧等离子体工艺使得基底10A成为亲液的。凹入部分(像素区的部分)中的支撑基板12的表面、黑底14的表面和围堰16的表面中的每个表面通过此工艺有呈现亲液的趋势，其中这些表面中的每个表面都由支撑电极12、黑底14和围堰16限定。并且，接着对基底10A执行将CF4用作生产气体的等离子体工艺。通过使用CF4的等离子体工艺，使每个凹入部分中的围堰16的表面氟化，并且围堰16的表面通过此工艺有呈现非亲液的趋势。就此而言，通过使用CF4的等离子体工艺，已经呈现亲液的支撑基板12的表面和黑底14的表面稍微丧失亲液性。然而，即使这样，这些表面可保持亲液性。这样，使分别由支撑基板12、黑底14和围堰16限定的每个凹入部分的表面经受预定表面处理，由此每个凹入部分的表面变成分部18R、18G和18B中的任何一个。
就此而言，根据支撑基板12的材料、黑底14的材料和围堰16的材料，无需上述表面处理，每个凹入部分的表面可呈现理想的亲液性和非亲液性。在此情形下，表面不必经受上述表面处理。由支撑基板12、黑底14和围堰16限定的每个凹入部分的表面实际上变成分部18R、18G和18B。
上面形成多个分部18R、18G和18B的基底10A通过传送设备170传送到小滴喷射设备100R的平台106。如图14(a)中所示，在小滴喷射设备100R中，接着将滤色器材料111R通过小滴喷射头114喷射到所有分部18R上，使得在所有分部18R中的每个上形成一层滤色器材料111R。更具体地，小滴喷射设备100R使用上述供应小滴到基底上的方法将滤色器材料111R供应到分部18R上。在这层滤色器材料111R在基底10A的所有分部18R中的每个上形成的情形下，传送设备170将基底10A传送到烘干设备150R中。接着，通过使设置在分部18R上的滤色器材料111R经受完全烘干，在每个分部18R上获得过滤层111FR。
接着，传送设备170将基底10A传送到小滴喷射设备100G的平台106上。如图14(b)中所示，在小滴喷射设备100G中，接着将滤色器材料111G通过小滴喷射头114喷射到所有分部18G上，使得在所有分部18G中的每个上形成一层滤色器材料111G。更具体地，小滴喷射设备100G使用上述供应小滴到基底上的方法将滤色器材料111G供应到分部18G上。在这层滤色器材料111G在基底10A的所有分部18G中的每个上形成的情形下，传送设备170将基底10A传送到烘干设备150G中。接着，通过使设置在分部18G上的滤色器材料111G经受完全烘干，在每个分部18G上获得过滤层111FG。
接着，传送设备170将基底10A传送到小滴喷射设备100B的平台106上。如图14(c)中所示，在小滴喷射设备100B中，接着将滤色器材料111B通过小滴喷射头114喷射到所有分部18B上，使得在所有分部18B中的每个上形成一层滤色器材料111B。更具体地，小滴喷射设备100B使用上述供应小滴到基底上的方法将滤色器材料111B供应到分部18B上。在这层滤色器材料111B在基底10A的所有分部18B中的每个上形成的情形下，传送设备170将基底10A传送到烘干设备150B中。接着，通过使设置在分部18B上的滤色器材料111B经受完全烘干，在每个分部18B上获得过滤层111FB。
接着，传送设备170将基底10A传送到炉160中。炉160接着后烘焙(换言之，预加热)过滤层111FR、111FG和111FB。
接着，传送设备170将基底10A传送到小滴喷射设备100C的平台106上。在小滴喷射设备100C中，接着将液体保护材料通过小滴喷射头114喷射到基底10A上，使得在过滤层111FR、111FG、111FB和围堰16上形成一层液体保护材料即保护膜20。在保护膜20已经在过滤层111FR、111FG、111FB和围堰16上形成后，传送设备170将基底10A传送到烘干设备150c中。接着，在烘干设备150c完全烘干保护膜20后，硬化设备165加热保护膜20，以使其完全硬化，由此基底10A变成滤色器基板10(参看图14(d))。
<小滴喷射设备的第三实施例>
接着，将描述其中本发明的小滴喷射设备应用于电发光显示器的制造设备的实例。图15是示出基底30A的示意图，其中本发明的第三实施例中的小滴喷射设备200供应小滴到基底30A上。
图15(a)和15(b)中所示的基底30A是利用后面描述的制造设备2(参看图16)执行工艺变成电发光显示器30的基板。基底30A具有以矩阵形式排列在其上的多个分部38R、38G、38B。
更具体地，基底30A包括：支撑基板32；电路元件层34，在支撑基板32上形成；多个像素电极36，在电路元件层34上形成；以及多个围堰40，在多个像素电极36中的相邻电极之间形成。支撑基板12对可见光(光波长)具有透光性，例如玻璃基板等。多个像素电极36中的每个也对可见光(光波长)具有透光性，例如ITO(铟-锡氧化物)电极等。并且，多个像素电极36以矩阵形式排列在电路元件层34上，且每个像素电极36都限定一像素区。每个围堰40都具有网格状结构，且多个像素电极36的每个都用预定围堰40围绕。此外，围堰40由在电路元件层34上形成的无机围堰40A和位于无机围堰40A上的有机围堰40B构成。
电路元件层34设置有：多个扫描电极，每个都向支撑基板32上的预定方向延伸；绝缘膜42，形成为覆盖多个扫描电极；多个信号电极，设置在绝缘膜42上，每个都向垂直于预定方向的方向延伸，其中多个扫描电极的每个都向此预定方向延伸；多个开关元件44，设置在扫描电极和信号电极之间的交叉点附近；以及多个间层绝缘膜45，形成为覆盖多个开关电极44，例如聚酰亚胺等。每个开关元件44的门电极44G和源电极44S分别电连接至相应扫描电极和相应信号电极。多个像素电极36位于间层绝缘膜45上。多个通孔44V设置在相应于开关元件44的漏电极44D的部分处，且开关电极44分别经由通孔44V电连接至相应像素电极36。并且，开关电极44分别设置在相应于围堰44的部分处。换言之，当从垂直于示出图15(b)的纸面的方向观看时，多个开关元件44中的每个都设置为用相应围堰40覆盖。
每个都由像素电极36和相应围堰40限定的凹入部分(像素区的部分)分别相应于分部38R、38G和38B。分部38R是待形成发射波长在红波长范围内的发光层211FR的区域。分部38G是待形成发射波长在绿波长范围内的发光层211FG的区域。分部38B是待形成发射波长在蓝波长范围内的发光层211FR的区域。
图15(b)中所示基底30A既平行于X轴方向又平行于Y轴方向的虚平面上。基底30A中的分部38R、38G和38B以此顺序在X轴方向上周期性地排列。另一方面，分部38R在Y轴方向上以预定间隔排列，分部38G在Y轴方向上以预定间隔排列，且分部38B在Y轴方向上以预定间隔排列。就此而言，X轴方向垂直于Y轴方向。
分部38R的沿X轴方向的间隔LRY即间距约为560μm。所述间距LRY与分部38G的沿X轴方向的间隔LGY相同。并且，分部38R是具有长侧和短侧的矩形形状。更具体地，分部38R在X轴方向上的长度即其短侧的长度大体上为100μm，在Y轴方向上的长度即其长侧的长度大体上为300μm。分部38G和38B中的每个都具有与分部38R相同的形状和尺寸。就此而言，在相邻分部和分部之间的间隔大小相应于屏幕尺寸约为40英寸的高清晰度电视中同色像素的间隔和尺寸。
图16是示意图，示出设置有本发明第三实施例中的小滴喷射设备200R的制造设备2。图16中所示的制造设备2是用于供应相应的发光材料到图15中所示基底30A中的分部38R、38G和38B中每个的设备。制造设备2包括：小滴喷射设备200R，用于使用上述供应小滴到基底上的方法供应发光材料211R到所有分部38R上；烘干设备250R，用于烘干供给分部38R上的发光材料211R；小滴喷射设备200G，用于使用上述供应小滴到基底上的方法供应发光材料211G到所有分部38G上；烘干设备250G，用于烘干供给分部38G上的发光材料211G；小滴喷射设备200B，用于使用上述供应小滴到基底上的方法供应发光材料211B到所有分部38B上；烘干设备250B，用于烘干供给分部38B上的发光材料211B。并且，制造设备2包括传送设备270，用于以小滴喷射设备200R、烘干设备250R、小滴喷射设备200G、烘干设备250G、小滴喷射设备200B、烘干设备250B的顺序传送基底30A。
图17是本发明的第三实施例中的小滴供应设备200R的透视图。图17中所示的小滴供应设备200R包括：罐201R，用于储存液体发光材料211R；管210R；以及喷射扫描单元102，其中将液体发光材料211R从罐201R经由管210R供给喷射扫描单元102。由于喷射扫描单元102的结构与第一实施例(参看图1)中的喷射扫描单元102的结构相同，所以与喷射扫描单元102具有相似功能的喷射扫描单元102的部件(部分)用相同附图标记表示，且省略对其的重复描述。并且，除了小滴喷射设备200G和200B分别包括代替罐201R和管210R的用于液体发光材料211G和211B的罐201G以及管210G和110B外，小滴喷射设备200G的构造和小滴喷射设备200B的构造与小滴喷射设备200R的构造大体相同。就此而言，本实施例的发光液体材料211R、211G和211B是本发明的液体材料的一些实例。
接着，将对利用制造设备2制造电发光显示器30的方法进行说明。首先，使用已知薄膜形成技术和图样化技术制造图15中所示的基底30A。
接着，在大气压力下利用氧等离子体工艺使得基底30A成为亲液的。凹入部分(像素区的部分)中的像素电极36的表面、无机围堰40A的表面和有机围堰40B的表面中的每个表面通过此工艺有呈现亲液的趋势，其中这些表面中的每个表面都由像素电极36和围堰40限定。并且，接着对基底30A执行将CF4用作生产气体的等离子体工艺。通过使用CF4的等离子体工艺，使每个凹入部分中的有机围堰40B的表面氟化，并且有机围堰40B的表面通过此工艺有呈现非亲液的趋势。就此而言，通过使用CF4的等离子体工艺，已经呈现亲液的像素电极36的表面和无机围堰40A的表面稍微丧失亲液性。然而，即使这样，这些表面可保持亲液性。这样，使每个都由像素电极36、无机围堰40A和有机围堰40B限定的每个凹入部分的表面经受预定表面处理，由此每个凹入部分的表面变成分部38R、38G和38B中的任何一个。
就此而言，根据像素电极36的材料、无机围堰40A的材料和有机围堰40B的材料，无需上述表面处理，每个凹入部分的表面可呈现理想的亲液性和非亲液性。在此情形下，表面不必经受上述表面处理。由像素电极36、无机围堰40A和有机围堰40B限定的每个凹入部分的表面实际上变成分部38R、38G和38B。
就此而言，相应的孔传输层37R、37G和37B可在这样经受表面处理的多个像素电极36中的每个上形成。在孔传输层37R、37G和37B分别位于像素电极36和发光层211FR、211FG和211FB之间的情形下，可能提高电发光显示器的发光效率。在此情形下，每个都由孔传输层37R、37G和37B以及围堰40限定的凹入部分相应于分部38R、38G和38B。
就此而言，可能利用喷墨方法形成孔传输层37R、37G和37B。在此情形下，可将每个都包括孔传输层37R、37G和37B的每个的材料的溶液以预定量涂覆到每个像素区，且可通过烘干形成孔传输层37R、37G和37B。应指出，可使用拉伸(drawing)方法(换言之，根据本发明供应液滴到基底上的方法)形成孔传输层。
上面形成多个分部38R、38G和38B的基底30A通过传送设备270传送到小滴喷射设备200R的平台106。如图18(a)中所示，在小滴喷射设备200R中，接着将发光材料211R通过小滴喷射头114喷射到所有分部38R上，使得在所有分部38R中的每个上形成一层发光材料211R。更具体地，小滴喷射设备200R使用上述供应小滴到基底上的方法将发光材料211R供应到分部38R上。在这层发光材料211R在基底30A的所有分部38R中的每个上形成的情形下，传送设备270将基底30A传送到烘干设备250R中。接着，通过使设置在分部38R上的发光材料211R经受完全烘干，在每个分部38R上获得发光层211FR。
接着，传送设备270将基底30A传送到小滴喷射设备200G的平台106上。如图18(b)中所示，在小滴喷射设备200G中，接着将发光材料211G通过小滴喷射头114喷射到所有分部38G上，使得在所有分部38G中的每个上形成一层发光材料211G。更具体地，小滴喷射设备200G使用上述供应小滴到基底上的方法将发光材料211G供应到分部38G上。在这层发光材料211G在基底30A的所有分部38G中的每个上形成的情形下，传送设备270将基底30A传送到烘干设备250G中。接着，通过使设置在分部38G上的发光材料211G经受完全烘干，在每个分部38G上获得发光层211FG。
接着，传送设备270将基底30A传送到小滴喷射设备200B的平台106上。如图18(c)中所示，在小滴喷射设备200B中，接着将发光材料211B通过小滴喷射头114喷射到所有分部38B上，使得在所有分部38B中的每个上形成一层发光材料211B。更具体地，小滴喷射设备200B使用上述供应小滴到基底上的方法将发光材料211B供应到分部38B上。在这层发光材料211B在基底30A的所有分部38B中的每个上形成的情形下，传送设备270将基底30A传送到烘干设备250B中。接着，通过使设置在分部38B上的滤色器材料211B经受完全烘干，在每个分部38B上获得发光层211FB。
接着，如图18(d)中所示，反电极46形成为覆盖发光层211FR、211FG和211FB以及围堰40。每个反电极都充当阴极。随后，通过将密封基板48以其周缘部分连接到基底30A，获得图18(d)中所示的电发光显示器30。就此而言，惰性气体封装在密封基板48和基底30A之间。
在电发光显示器30中，从发光层211FR、211FG和211FB发射的光通过像素电极36、电路元件层34和支撑电极32发射到外部。将其中光以此方式通过电路元件层34发射的电发光显示器称为底部发射型显示器。
尽管已经基于附图中所示的实施例描述了将本发明应用于制造液晶显示器(滤色器基板)和制造电发光显示器的实例，但是应指出，本发明不限于这些实施例。例如，可能将本发明应用于制造等离子体显示器的背基板或设置有电子发射元件的图像显示器(也称为SED(表面传导电子发射显示器)或FED(场致发射显示器))。
<电子器件的实施例>
可将使用上述方法制造的图像显示器(电光设备)100作为多种类型的电子设备中每个的显示部分，所述图像显示器例如液晶显示器、电发光显示器、等离子体显示器或设置有电子发射元件的图像显示器等。
图19是透视图，示出应用本发明的电子设备的移动式(或膝上型)个人计算机的结构。参看图19，个人计算机1100设置有具有键盘1102的机身1104和显示单元1106。显示单元1106经由铰链部分可转动地支撑在机身1104上。在此个人计算机1100中，显示单元1106设置有上述图像显示器(电光装置)1000。
图20是透视图，示出应用本发明的电子设备的便携式电话(包括个人便携电话系统)的结构。参看图20，便携式电话1200设置有多个按钮1202、耳机1204、话筒1206和显示部分。显示部分由上述图像显示器(电光装置)1000构成。
图21是透视图，示出应用本发明的电子设备的数码相机的结构。在此附图中，示意性地示出数码相机到其外部设备的连接。标准相机根据对象的光学图像曝光银盐照相胶片，同时通过用例如电荷耦合器件(CCD)等成像装置将对象的光学图像光电转换成成像信号，数码相机1300产生成像信号(图像信号)。
上述图像显示器10000作为显示部分设置在数码相机1300的壳体(机身)1302的背面上。响应CCD的成像信号，液晶显示器10显示图像，且用作用于将对象显示为电子图像的取景器。电路板1308放在壳体1302内。能储存成像信号的存储器放在电路板1308上。
并且，将包括光学透镜(成像光学系统)、CCD等的光接收单元1304设置在壳体1302的正面侧中。当摄影者确认显示在显示部分上的对象的图像并按下快门按钮1306时，此时的CCD成像信号传送到电路板1308的存储器，并储存在此存储器中。
并且，视频信号输出端子1312和用于数据通信的输入/输出端子1304设置在数码相机1300中的壳体1302的侧表面上。如图8中所示，如果需要，电视监控器1430和个人计算机1440分别连接到视频信号输出端子1312和用于数据通信的输入/输出端子1304。此外，利用预定操作，将储存在电路板1308的存储器中的成像信号输出到电视监控器1430和个人计算机1440。
就此而言，除了图19中所示个人计算机1100、图20中所示便携式电话1200和图21中所示数码相机1300外，本发明的电子设备可适当地用在(或应用于)例如电视、摄影机、取景器型或监控器直接观看型磁带录像机、膝上型个人计算机、汽车巡航装置、寻呼机、电脑记事本(包括具有通信功能的电脑记事本)、电子词典、袖珍计算器、电子游戏装置、文字处理机、工作站、电视电话、用于防止犯罪的电视监控器、电子双目镜、POS(销售点)终端、带有触板的设备(例如，金融机构中的自动柜员机、自动售票机)、医疗装置(例如电子体温计、血压计、血糖计、心电图显示装置、超声波诊断装置、内窥镜显示屏)、鱼探仪、各种测量装置、量规(例如用于车辆、飞机、轮船等的量规)、飞行模拟器、任何其它类型的监控器、例如投影机等投影型显示器等。
已经基于图中所示实施例描述了根据本发明的供应液体材料到基底上的方法、小滴喷射设备、具有多种颜色元素的基底、电光设备和电子设备，但应指出，本发明不限于这些实施例。小滴喷射设备、电子器件和电子设备的相应部分可用能以相同方式工作任意布置代替。并且，任何其它任意部件可添加到本发明的小滴喷射设备、电子器件和电子设备。

Claims (19)

1.一种将液体材料以小滴形式供给基底上的方法，所述方法包括以下步骤：
准备基底；
在所述基底上形成多个分部，所述多个分部的每个都适于成为颜色元素；以及
在使所述基底相对于小滴喷射装置相互移动期间，经由小滴喷射装置喷射一个或多个小滴，所述小滴喷射装置具有一个或多个喷嘴，所述液体材料通过所述喷嘴供给所述多个分部的每个上，
其中在喷射步骤中，将第一小滴通过所述小滴喷射装置的喷嘴喷射到所述基底的预定分部上，然后在已经落在预定分部上的第一小滴变干之前，将一个或多个后续小滴喷射到预定分部上，其中一个或多个后续小滴中每个的总量小于所述第一小滴的总量。
2.根据权利要求1所述的方法，其中在喷射步骤中，小滴喷射装置喷射第一和后续小滴，使得一个后续小滴的量小于一个第一小滴的量。
3.根据权利要求2所述的方法，其中小滴喷射装置包括：一个或多个空腔，分别与一个或多个喷嘴连通；以及驱动元件，根据具有驱动电压波形并施加于驱动元件的驱动信号，改变装在空腔内的液体材料的液体压力，以喷射小滴，以及
其中在喷射步骤中，通过改变将施加于驱动元件的驱动电压波形，调节将喷射的一个小滴的量。
4.根据权利要求1所述的方法，其中所述喷嘴包括多个喷嘴，以及
其中所述喷射步骤包括以下步骤：
通过多个喷嘴中的一些同时使第一小滴喷射到一个预定分部上；以及
通过所述多个喷嘴中的一些使后续小滴喷射到所述一个预定分部上，所述多个喷嘴中的所述一些喷嘴的数量小于已经喷射第一小滴的喷嘴的数量。
5.根据权利要求1所述的方法，其中在喷射步骤中，将所述一个或多个后续小滴中每个的总量设定为所述第一小滴总量的30％到70％。
6.根据权利要求1所述的方法，其中在喷射步骤中，将所述后续小滴的飞行速度设定为小于所述第一小滴的飞行速度。
7.根据权利要求1所述的方法，其中在喷射步骤中，将所述后续小滴喷射到预定分部上，使得所述后续小滴将到达的位置与前一小滴已经到达所述预定分部上的位置不同。
8.根据权利要求1所述的方法，其中已经落在所述预定分部上的小滴最初形成点，并且在喷射步骤中，将所述后续小滴喷射到所述预定分部上，使得由所述后续小滴形成的点与由先前已经落在所述预定分部上的小滴形成的点部分重叠。
9.一种小滴喷射设备，用于将小滴喷射到基底上，其中在所述基底上面形成多个分部，所述多个分部的每个都适于变成颜色元素，所述设备包括：
小滴喷射装置，用于喷射小滴到所述基底上，所述小滴喷射装置包括一个或多个喷嘴，其中小滴将通过所述喷嘴喷射；
移动装置，用于使所述基底相对于小滴喷射装置相互移动；以及
控制单元，用于控制所述小滴喷射装置和移动装置的操作，使得在使所述基底相对于小滴喷射装置相互移动期间小滴喷射装置喷射小滴到基底上，
其中控制单元控制所述小滴喷射装置，使得第一小滴通过小滴喷射装置的喷嘴喷射到基底的预定分部上，然后在已经落在预定分部上的第一小滴变干之前将一个或多个后续小滴喷射到所述预定分部上，使得一个或多个后续小滴中每个的总量小于所述第一小滴的总量。
10.根据权利要求9所述的设备，其中小滴喷射装置喷射第一和后续小滴，使得一个后续小滴的量小于一个第一小滴的量。
11.根据权利要求10所述的设备，其中小滴喷射装置将所述一个或多个后续小滴中每个的总量设定为所述第一小滴总量的30％到70％。
12.根据权利要求11所述的设备，其中小滴喷射装置包括：一个或多个空腔，分别与一个或多个喷嘴连通；以及驱动元件，根据具有驱动电压波形并从控制单元施加于驱动元件的驱动信号，改变装在空腔内的液体材料的液体压力，以喷射小滴，以及
其中通过改变将施加于驱动元件的驱动电压波形，调整将喷射的一个小滴的量。
13.根据权利要求9所述的设备，其中所述喷嘴包括多个喷嘴，以及
其中小滴喷射装置通过多个喷嘴中的一些同时使第一小滴喷射到一个预定分部上；然后通过所述多个喷嘴中的一些使后续小滴喷射到所述一个预定分部上，所述多个喷嘴中的所述一些喷嘴的数量小于第一小滴已经通过喷嘴喷射的喷嘴数量。
14.根据权利要求9所述的设备，其中控制单元将所述一个或多个后续小滴中每个的飞行速度设定为小于所述第一小滴的飞行速度。
15.根据权利要求9所述的方法，其中所述移动装置使基底相对于小滴喷射装置相互移动，使得所述后续小滴将到达的位置与所述第一小滴已经到达的位置不同。
16.根据权利要求15所述的方法，其中已经由小滴喷射装置喷射且落在预定分部上的小滴最初形成点，并且小滴喷射装置使所述后续小滴喷射到预定分部上，使得由所述后续小滴形成的点与由先前已经落在预定分部上的小滴形成的点部分重叠。
17.一种基底，具有使用由权利要求1限定的方法制造的多种颜色元素。
18.一种电光设备，包括由权利要求17限定的具有多种颜色元素的基底。
19.一种电子设备，包括由权利要求18限定的电光设备。
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