JP2006047803A - カラーフィルタの成膜方法および成膜装置、電気光学装置および電子機器の製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】 画素領域内の白抜けを低減すると共に、同一色の色層の膜厚を略均一にすることができるカラーフィルタの成膜方法、この成膜方法を用いた成膜装置、電気光学装置および電子機器の製造方法を提供すること。
【解決手段】 同一方向に配置された同一色となる複数の画素領域２と、この複数の画素領域２を区画する撥液性の隔壁部１とに、液滴吐出ヘッド１３のノズル２１から等間隔で着色インクを液滴４として吐出する。着弾した着色インクは相互に濡れ広がって合体し、帯状のインク層５を形成する。この後にインク層５の溶媒成分を蒸発させれば、着色インクは画素領域２内に収容され、着色インク中の固形分が隅々まで行き渡った色層８が成膜される。
【選択図】 図５

Description

本発明は、インクジェット方式によるカラーフィルタの成膜方法および成膜装置、電気光学装置および電子機器の製造方法に関する。

インクジェット方式を用いて製造されたカラーフィルタは、基板上に隔壁部によって仕切られた複数の画素領域が形成され、各画素領域に色層が形成されてなる。例えば特許文献１には、この種のカラーフィルタを製造する方法（成膜方法）が開示されており、複数の画素領域を仕切る隔壁部を形成する工程と、該隔壁部により仕切られた画素領域にインクジェット法によりインクを吐出して乾燥させ、色層を形成する工程とを備え、該各画素領域に形成する色層の膜厚を色毎に異ならせる方法が用いられている。

上記のカラーフィルタの製造方法は、色毎の色層の膜厚の差の内、特定の一つの色の色層の膜厚と、特定の他の色の色層の膜厚との差異を０．３μｍ以上として、使用者の好みに合わせた色調のカラーフィルタを提供しようとするものである。

特開２００３−１０７２３１号公報

上記のような従来のカラーフィルタの成膜方法では、着弾したインクが画素領域内に濡れ広がる際に、画素領域のコーナー部付近に隔壁部を形成したときの残渣が残っている場合、インクの濡れ性が低下して均一に色層ができない不具合があった。インクが濡れない部分は、所謂白抜け状態となって光抜けが生じ、カラーフィルタの色調やコントラストに影響を及ぼすことがわかっている。

また、カラーフィルタを構成する画素領域は、通常Ｒ（レッド）、Ｇ（グリーン）、Ｂ（ブルー）の少なくとも３色の色層を有しており、３つの色層により表示画素１つを構成している。このようなカラーフィルタを用いて所定の表示画素数を有する電気光学装置である液晶表示装置等を製造する場合、上記従来のカラーフィルタの成膜方法にあるとおり使用者の好みに合わせた色調を得ようとするには、複数の画素領域に形成された同一色の色層内においても均一な膜厚となるように成膜しないと色調のムラが発生する惧れがある。

本発明は、上記のような課題を考慮してなされたものであって、画素領域内の白抜けを低減すると共に、同一色の色層の膜厚を略均一にすることができるカラーフィルタの成膜方法、この成膜方法を用いた成膜装置、電気光学装置および電子機器の製造方法を提供することを目的とする。

本発明のカラーフィルタの成膜方法は、基板上の画素領域に色層を形成してなるカラーフィルタの成膜方法であって、画素領域を区画する撥液性の隔壁部を基板上に形成する隔壁形成工程と、画素領域に色材が分散された機能液を液滴として吐出する吐出工程とを備え、吐出工程は、同一方向に配置された複数の画素領域と、複数の画素領域を区画する隔壁部とに着弾するように機能液を吐出することを特徴とする。

この方法によれば、隔壁形成工程では、画素領域を区画する撥液性の隔壁部を形成し、吐出工程では、色材が分散された機能液を液滴として、同一方向に配置された複数の画素領域と、複数の画素領域を区画する隔壁部とに着弾するように吐出する。したがって、撥液性の隔壁部に着弾した機能液は、隔壁部から画素領域に侵入するように濡れ、画素領域内に着弾して濡れ広がった機能液と合体して画素領域内をムラなく覆う機能液層を成膜することができる。また同一方向に配置された複数の画素領域と、この画素領域を区画する隔壁部にそれぞれ機能液が着弾することによって、同一方向に機能液が濡れ広がって合体した機能液層を成膜することができる。このようにして成膜された機能液層を乾燥させて機能液中の溶媒成分を除去すれば、画素領域内および複数の画素領域においても膜厚のムラが少ないカラーフィルタを成膜することができる。

この場合、上記吐出工程では、機能液を略等間隔で吐出することを特徴とする。この構成によれば、機能液は略等間隔で吐出されるため、同一方向に機能液がムラ無く着弾し、より膜厚のムラが少ないカラーフィルタを成膜することができる。

また上記吐出工程では、機能液を画素領域の隅に位置する隔壁部に着弾するように吐出することが好ましい。この方法によれば、画素領域内に着弾した機能液の一部が隔壁部に到達して前進接触角が低下し、画素領域の隅まで濡れ広がらない場合でも、隅に位置する撥液性を有する隔壁部に着弾した機能液が、画素領域内に侵入するように濡れるため、画素領域の隅まで確実に機能液を行き渡らせることができる。

また上記吐出工程では、同一方向に配置された同一色層となる複数の画素領域と当該画素領域を区画する隔壁部との境界部に着弾するように機能液を液滴として吐出してもよい。

この方法によれば、上記吐出工程では、同一方向に配置された同一色層となる複数の画素領域と、この画素領域を区画する撥液性の隔壁部との境界部に着弾するように機能液が液滴として吐出される。境界部に着弾した液滴は境界部に沿って濡れ広がって行くため境界部で機能液の濡れ広がり不足が発生することを防止することができる。ゆえに画素領域の隅々まで機能液が行き渡ったカラーフィルタを成膜することができる。

また上記吐出工程では、画素領域に吐出される液滴の着弾密度に対して隔壁部に吐出される液滴の着弾密度を変えて機能液を吐出することを特徴とする。尚、「液滴の着弾密度」とは、単位面積当たりに着弾した液滴の体積の割合を指す。

この方法によれば、吐出工程では、隔壁部に吐出される液滴の着弾密度を変えて機能液を吐出する。すなわち、画素領域と隔壁部とに着弾した機能液の濡れ広がり状態を隔壁部に吐出される液滴の着弾密度を変えることにより制御することができる。また、隔壁部に吐出される液滴の着弾密度のみを変えて対応すればよいため、吐出されるすべての液滴の着弾密度を変える場合に比べ、無駄を抑えより少ない機能液量で、複数の画素領域全体に機能液を行き渡らせることができる。

また上記吐出工程は、画素領域に吐出される液滴の体積に対して隔壁部に吐出される少なくとも１つの液滴の体積が異なるように機能液を吐出することにより、着弾密度を変えてもよい。または、画素領域に着弾する液滴の数と隔壁部に着弾する液滴の数とが単位面積当たりで異なるように機能液を吐出することにより、着弾密度を変えてもよい。

この方法によれば、上記吐出工程おいて、画素領域に吐出される液滴の体積に対して隔壁部に吐出される少なくとも１つの液滴の体積が異なるように機能液を吐出する方法、または画素領域に着弾する液滴の数と隔壁部に着弾する液滴の数とが単位面積当たりで異なるように機能液を吐出する方法のいずれかを用いれば、隔壁部に吐出される液滴の着弾密度を変えることができる。これによって、画素領域と隔壁部とに着弾した機能液が濡れ広がる状態をよりムラが少ない状態に制御することができる。

上記のように着弾密度を変える場合において、上記吐出工程では、画素領域に吐出される液滴の着弾密度に対して隔壁部に吐出される液滴の着弾密度が高くなるように機能液を吐出することが好ましい。この方法によれば、より多くの機能液が隔壁部から画素領域に侵入するように濡れるため、画素領域の隔壁部付近に隔壁部を形成した際の残渣が存在して、着弾した液滴が濡れ広がるのを阻害する場合でも画素領域内の成膜ムラを低減することができる。

本発明のカラーフィルタの成膜装置は、基板上に形成された隔壁部によって区画された画素領域に色材が分散された機能液を液滴として吐出して画素領域に色層を形成してなるカラーフィルタの成膜装置であって、機能液を液滴として吐出する液滴吐出部と、液滴吐出部と基板とを相対移動させる走査手段と、同一方向に配置された同一色層となる複数の画素領域と、当該画素領域を区画する前記隔壁部とに液滴が着弾するように液滴吐出部を制御する吐出制御部とを備えたことを特徴とする。

この構成によれば、吐出制御部は、同一方向に配置された同一色層となる複数の画素領域と、この複数の画素領域を区画する隔壁部とに液滴が着弾するように液滴吐出部を制御するため、基板上の複数の画素領域と隔壁部とに機能液を液滴として吐出して同一方向に配置された同一色層となる複数の画素領域に濡れ広がった機能液からなる色層を成膜することができる。また画素領域のみに機能液を液滴として着弾させる場合に比べて、高い着弾精度を必要とせずに簡単な液滴の吐出制御でカラーフィルタを成膜することができる。

上記走査手段は、同一方向に配置された同一色層となる複数の画素領域と、当該画素領域を区画する隔壁部とに液滴が着弾するように液滴吐出部と基板とを前記同一方向と直交する方向に相対移動させることが好ましい。

この構成によれば、走査手段は、同一色層となる複数の画素領域が配置された方向（前記同一方向）と直交する方向に液滴吐出部と基板とを相対移動させるため、前記同一方向と同じ方向に液滴吐出部と基板とを相対移動させる場合に比べて、当該画素領域と隔壁部とに効率よく液滴を吐出することができる。

また上記吐出制御部は、機能液を液滴として略等間隔で吐出させると共に、画素領域に吐出される液滴の着弾密度に対して隔壁部に吐出される液滴の着弾密度を変えて機能液の液滴を吐出させるように液滴吐出部を制御することが好ましい。

この構成によれば、吐出制御部は、機能液を液滴として略等間隔で吐出させると共に、隔壁部に吐出される液滴の着弾密度を変えるように液滴吐出部を制御するため、わずかでも隔壁部に着弾した液滴は画素領域内に流れ込み隅々まで機能液が行き渡った成膜ムラの少ないカラーフィルタを製造することができる。

本発明の電気光学装置の製造方法は、上記発明のカラーフィルタの製造方法を用いて製造されたカラーフィルタを組み込むことを特徴とする。この方法によれば、成膜ムラによる白抜けの不具合が少なく、同一色層の膜厚ムラの少ないカラーフィルタを組み込むため、色調ムラやコントラストムラが少ない高い表示品質を有する電気光学装置を提供することができる。

本発明の電子機器の製造方法は、上記発明の電気光学装置の製造方法を用いて製造された電気光学装置を組み込むことを特徴とする。この方法によれば、色調ムラやコントラストムラが少ない高い表示品質を有する電気光学装置を組み込むため、見映えのよい高品質な画質で画像などの情報を確認することができる電子機器を提供することができる。

まず本発明の一実施形態であるカラーフィルタの成膜装置について図１〜図４に基づいて説明する。図１は、カラーフィルタの成膜装置の要部構造を示す概略斜視図である。図１に示すように本実施形態のカラーフィルタの成膜装置１０は、基板Ｗ上に形成された隔壁部によって区画された画素領域に色材が分散された機能液を液滴として吐出して画素領域に色層を形成するものである。成膜装置１０は、色材が分散された機能液としてのインク１９を保持するインクタンク１１と、チューブ１８と、チューブ１８を介してインクタンク１１からインク１９が供給される吐出走査部１２と、を備えている。吐出走査部１２は、複数の液滴吐出ヘッド１３（図２参照）を保持するキャリッジ１７と、キャリッジ１７の位置を制御する第１位置制御部１４と、基板（ワーク）Ｗを保持するステージ１５と、ステージ１５の位置を制御する第２位置制御部１６と、吐出制御部２０と、を備えている。インクタンク１１と液滴吐出ヘッド１３とはチューブ１８で連結されており、インクタンク１１から複数の液滴吐出ヘッド１３のそれぞれにインク１９が圧縮空気によって供給される。

液滴吐出部としての液滴吐出ヘッド１３は、基板Ｗ上に略等間隔でインク１９を液滴として吐出する。走査手段としての第１位置制御部１４（Ｘ軸方向）および第２位置制御部１６（Ｙ軸方向）は、液滴吐出ヘッド１３と基板Ｗとを相対移動させる。吐出制御部２０は、同一方向に配置された同一色層となる複数の画素領域と、この複数の画素領域を区画する隔壁部とに液滴を着弾させると共に、画素領域に吐出される液滴の着弾密度に対して隔壁部に吐出される液滴の着弾密度を変えるように液滴吐出ヘッド１３と第１位置制御部１４および第２位置制御部１６とを制御する。

第１位置制御部１４は、吐出制御部２０からの信号に応じて、キャリッジ１７をＸ軸方向、およびＸ軸方向に直交するＺ軸方向に沿って移動させる。さらに、第１位置制御部１４は、Ｚ軸に平行な軸の回りでキャリッジ１７を回転させる機能も有する。本実施例では、Ｚ軸方向は、鉛直方向（つまり重力加速度の方向）に平行な方向である。

第２位置制御部１６は、吐出制御部２０からの信号に応じて、Ｘ軸方向およびＺ軸方向の双方に直交するＹ軸方向に沿ってステージ１５を移動させる。さらに、第２位置制御部１６は、Ｚ軸に平行な軸の回りでステージ１５を回転させる機能も有している。

ステージ１５は、Ｘ軸方向とＹ軸方向との双方に平行な平面を有する。また、ステージ１５は、基板Ｗをその平面上に固定、または保持できるように構成されている。

図２は、液滴吐出ヘッドの構造を示す概略図である。同図（ａ）は、液滴吐出ヘッドの構造を示す概略斜視図、同図（ｂ）は、液滴吐出ヘッドの構造を示す概略断面図である。

図２（ａ）に示すように液滴吐出ヘッド１３は、圧電素子２４を有する振動板２５と、複数のノズル２１を有するノズルプレート２６と、ノズル２１に連通する吐出室２２を構成するリザーバプレート２３とからなる３層構造の所謂ピエゾ方式インクジェットヘッドである。

ノズルプレート２６には、等間隔で穿孔された複数のノズル２１が設けられている。この場合、１つの液滴吐出ヘッド１３には、例えばおよそ１４０μｍピッチで１８０個のノズル２１が１列に配設されている。

リザーバプレート２３には、振動板２５に形成されたインク供給孔２９を介してインクタンク１１から供給されるインク１９が充填されるインクキャビティ２７が設けられている。またインクキャビティ２７に充填されたインク１９は、供給口２８を通じて各吐出室２２に供給される。

図２（ｂ）に示すように振動板２５には、それぞれの吐出室２２に対応して、圧電素子（ピエゾ）２４が配設されている。圧電素子２４は、圧電体２４ｃと、圧電体２４ｃを挟む１対の電極２４ａ，２４ｂとからなり、この１対の電極２４ａ，２４ｂとの間に駆動電圧を与えることで振動板２５が変形し、吐出室２２に充填されたインク１９を加圧してノズル２１からインク１９を液滴として吐出する。

図３は、吐出制御部および吐出制御部に関連する各部との電気的な構成を示すブロック図である。図３に示すように吐出制御部２０は、インク１９の吐出データを外部情報処理装置から受け取る入力バッファメモリ２０１と、入力バッファメモリ２０１に一時的に記憶された吐出データを記憶手段（ＲＡＭ）２０２に展開して関連する各部に制御信号を送る処理部２０３を備えている。また処理部２０３からの制御信号を受けて第１位置制御部１４と第２位置制御部１６とに位置制御信号を送る走査駆動部２０４と、同じく処理部２０３からの制御信号を受けて液滴吐出ヘッド１３に駆動電圧パルスを送るヘッド駆動部２０５とを備えている。

入力バッファメモリ２０１は、外部情報処理装置からインク１９の液滴の吐出を行うための吐出データを受け取る。吐出データは、基板Ｗ上の被吐出部の相対位置を表すデータと、被吐出部にインク１９の液滴をどのような着弾密度で吐出するかを示すデータと、液滴吐出ヘッド１３のノズル列の内どのノズル２１を駆動（ＯＮ−ＯＦＦ）するかを指定するデータと、を含んでいる。この場合、被吐出部とは、同一方向に配置された同一色となる複数の画素領域と、この複数の画素領域を区画する隔壁部である。

処理部２０３は、記憶手段２０２に格納された吐出データの中から被吐出部に関する位置の制御信号を走査駆動部２０４に送る。走査駆動部２０４は、この制御信号を受けて第１位置制御部１４に位置制御信号を送って液滴吐出ヘッド１３を副走査方向であるＸ軸方向に移動させる。また第２位置制御部１６に位置制御信号を送って基板Ｗが保持されたステージ１５を主走査方向であるＹ軸方向に移動させる。これによって基板Ｗの所望の位置に液滴吐出ヘッド１３からインク１９の液滴が吐出されるように液滴吐出ヘッド１３と基板Ｗとを相対移動させる。

また処理部２０３は、記憶手段２０２に格納された吐出データの中から被吐出部にインク１９の液滴をどのような着弾密度で吐出するかを示すデータを、ノズル２１毎の４ビットの吐出ビットマップデータに変換してヘッド駆動部２０５に送る。また、液滴吐出ヘッド１３のノズル列の内どのノズル２１を駆動（ＯＮ−ＯＦＦ）するかを指定するデータに基づいて、後述するヘッド駆動部２０５が発生する駆動信号の４つのパルスの内どのパルスを検出して発信するかの「タイミング検出信号」であるラッチ（ＬＡＴ）信号とチャンネル（ＣＨ）信号をヘッド駆動部２０５に送る。ヘッド駆動部２０５は、これらの制御信号を受けて液滴吐出ヘッド１３に適正な駆動電圧パルスを送って、ノズル２１からインク１９の液滴を吐出させる。

図４は、ヘッド駆動部が液滴吐出ヘッドに送る駆動信号（パルス）を示すタイムチャートである。吐出制御部２０は、ヘッド駆動部２０５が発生する駆動信号の４つのパルスの内のいずれか、または２つを選択する制御信号をヘッド駆動部２０５に送ることによって、液滴吐出ヘッド１３から異なる着弾径の液滴を吐出させる。

図４に示すように、ヘッド駆動部２０５は、第１〜第４パルスを１周期とする吐出周期の駆動信号を発生することができる。第１パルスは、基準の電圧をＶｍとして最大駆動電圧Ｖｐと極性の異なる最小駆動電圧ＶＬとの間で振幅する矩形状の駆動信号である。同様にして第２パルスは基準電圧Ｖｍと最大駆動電圧Ｖｐとの間で振幅する駆動信号、第３パルスは第１パルスと同じ駆動信号、第４パルスは基準電圧Ｖｍと中間電圧Ｖｎとの間で振幅する駆動信号である。このように電圧波形の異なる駆動信号を圧電素子２４に印加することによって、圧電素子２４が接合した振動板２５の撓み量が変化し、吐出室２２に充填されたインク１９への加圧力が変化して、吐出される液滴の量を変えることができる。

吐出制御部２０は、吐出データに基づいて小ドットの着弾径の液滴を吐出させる場合は、４ビットからなるビットマップデータを（０１００）とし、所望のノズル２１に駆動信号（パルス）の印加を促すラッチ信号をヘッド駆動部２０５へ送る。ヘッド駆動部２０５は、ビットマップデータ（０１００）により選択された第２パルスを所望のノズル２１に対応する圧電素子２４に印加する。同様にしてビットマップデータを（１０００）とすれば第１パルスを選択して中ドットの着弾径の液滴が吐出される。そしてビットマップデータを（１０１０）とし第１パルスと第３パルスとを選択して、ラッチ信号で第１パルスを印加して中ドットとなる液滴を吐出させた後に、同じノズル２１から同じ位置で再びチャンネル信号によって第３パルスを印加することによって中ドットを２回重ね打ちした大ドットとする。またビットマップデータを（０００１）とすれば第４パルスを選択する。第４パルスを圧電素子２４に印加しても液滴は吐出されない（無ドット）。第４パルスは、ノズル２１内のインク１９のメニスカスを微振動させる程度に圧電素子２４が接合した振動板２５がインク１９を加圧するように中間電圧Ｖｎが設定されている。したがって、インク１９を吐出しないノズル２１を選択して第４パルスを対応する圧電素子２４に印加すれば、該当するノズル２１のインク１９のメニスカスを微振動させてノズル２１の目詰まりを防ぐことができる。

上記のように、各駆動パルス（駆動信号）毎に１ビットのデータを割り当てて吐出データを構成すれば、各ビットの値によって所望の駆動パルスのみを選択することができる。この各駆動パルス毎に割り当てられる１ビットのデータが「パルス選択信号」となる。尚、第４パルスを省略する場合は、無ドットを（０００）、小ドットを（０１０）、中ドットを（１００）、中ドット２発による大ドットを（１０１）のように、３ビットの吐出データに翻訳すればよい。

次に上記の成膜装置１０を用いたカラーフィルタの成膜方法およびカラーフィルタについて図５〜図７に基づいて説明する。図５は、本実施形態のカラーフィルタの成膜方法およびカラーフィルタを示す概略図である。図５（ａ）は、吐出された液滴の着弾状態を示す概略平面図、同図（ｂ）は、着弾した液滴が濡れ広がった状態を示す概略平面図、同図（ｃ）は、同図（ｂ）を立体的に現した概略斜視図、同図（ｄ）は、乾燥後の色層を示す概略平面図である。同図（ｅ）は、カラーフィルタの概略断面図である。尚、わかりやすく説明するために、実際の寸法とは異なる縮尺で図示している。

図５に示すように本実施形態のカラーフィルタの成膜方法は、基板Ｗ上に形成された画素領域２に色材が分散された機能液（インク１９）を液滴として吐出して画素領域２に色層８を形成する方法である。そして画素領域２を区画する撥液性の隔壁部１を基板上に形成する隔壁形成工程と、インク１９を液滴として吐出する吐出工程とを備え、吐出工程は、同一方向に配置された同一色層となる複数の画素領域２と、複数の画素領域２を区画する隔壁部１とに着弾するようにインク１９を液滴として吐出する。

図５（ａ）に示すように本実施形態のカラーフィルタＡは、矩形状の画素領域２が基板Ｗ上に平面視格子状に配列されている。そして色層８としては、少なくともＲ（レッド）、Ｇ（グリーン）、Ｂ（ブルー）の３色の色層が同一方向に並列するように形成されてなる所謂ストライプ方式のカラーフィルタである。

（隔壁形成工程）
基板Ｗ上に撥液性を有する感光性樹脂を高さおよそ２〜３μｍとなるようにコーティングして感光性樹脂膜を形成する。そしてフォトリソ方式で所望の画素領域２を区画できるように露光・現像して隔壁部１を形成する。隔壁部１は、透明でもよいが好ましくは遮光性を有する黒色がよく黒色感光性樹脂材料としては、例えば撥液性を発現させるヘキサフルオロポリプロピレン等のフッ素樹脂と、ネガ型の透明アクリル系感光性樹脂（フォトレジスト）と、カーボンブラック等の黒色の無機顔料または黒色の有機顔料とを含むものなどである。

尚、基板ＷにまずＣｒ（クロム）、Ｃｒ₂Ｏ₃（酸化クロム）等の遮光性を有する薄膜状の遮光層あるいはＡｌ（アルミ）またはＡｌ合金等の光反射性の薄膜状の遮光層を例えば０．１〜０．１５μｍの厚みに膜付けして、画素領域２に光が入射するようにフォトリソ方式でエッチングして開口する。そしてこの遮光層の上に画素領域２を囲むように隔壁部１を形成してもよい。

（吐出工程）
上記のようにして隔壁部１が形成された基板Ｗを成膜装置１０のステージ１５に真空吸着等の方法で保持する。そしてレッド（Ｒ）に着色したインク１９が貯留されたインクタンク１１からチューブ１８を経由してキャリッジ１７に装着された液滴吐出ヘッド１３に供給する。これによってインクキャビティ２７と吐出室２２にインク１９が充填される。

次に図５（ａ）に示すように同一方向に配置された同一色となる画素領域２に対して液滴吐出ヘッド１３のノズル列が平行して対向するように液滴吐出ヘッド１３と基板Ｗとを相対移動させる。このとき液滴吐出ヘッド１３は第１位置制御部１４によってキャリッジ１７をＸ軸方向に移動することによって位置決めされる。また基板Ｗは第２位置制御部１６によってステージ１５をＹ軸方向に移動することによって位置決めされる。この位置決めのための位置制御は、吐出制御部２０の処理部２０３が吐出データを基に制御信号を走査駆動部２０４に送り、走査駆動部２０４から位置制御信号を第１位置制御部１４および第２位置制御部１６に送ることによって行われる。尚、図中の矢印は、基板Ｗの主走査方向を示している。すなわち、同一色となる複数の画素領域２は配列した方向と直交する方向に液滴吐出ヘッド１３は相対移動する。

そして、処理部２０３が吐出データを基にビットマップデータとしたパルス選択信号とタイミング検出信号とをヘッド駆動部２０５に送って、液滴吐出ヘッド１３のノズル２１から等間隔で液滴４を同一方向に配置された同一色となる複数の画素領域２と、この複数の画素領域２を区画する隔壁部１とに吐出する。

着弾した液滴４は濡れ広がると共に互いに合体して図５（ｂ）に示す帯状のインク層５が形成される。図５（ｃ）に示すようにインク層５は、隔壁部１が撥液性を有していることから表面張力により隔壁部１の高さよりも十分に盛り上がった状態となる。

（乾燥工程）
次にインク層５を加熱乾燥して、インク１９中の溶媒成分を除去する。乾燥処理は、例えば基板Ｗを加熱するホットプレート、電気炉などによる処理の他、ランプアニールによって行うこともできる。この乾燥処理によって溶媒が蒸発してゆき、図５（ｄ）に示すように隔壁部１は撥液性を有しているため、インク層５が形成されていた領域３からインク１９が各画素領域２内に収容され、溶媒の蒸発が終了すると固形分の色材がくまなく画素領域２内に行き渡った色層８（８Ｒ）が均一な膜厚で形成される。

同様にして、グリーン（Ｇ）に着色したインク１９が充填された液滴吐出ヘッド１３から液滴４を吐出する吐出工程および乾燥工程と、ブルー（Ｂ）に着色したインク１９が充填された液滴吐出ヘッド１３から液滴４を吐出する吐出工程および乾燥工程とを繰り返して行う。これにより図５（ｅ）に示すようなカラーフィルタＡの色層８Ｒ，８Ｇ，８Ｂが形成される。

そしてこれらの色層８Ｒ，８Ｇ，８Ｂを保護すると共に、その表面を平坦化するためにオーバーコート層（保護層）９を形成する。オーバーコート層９は、透明な樹脂をスピンコート法、ロールコート法、リッピング法またはインクジェット法などの塗布方法を用いて形成すればよい。

この場合、基板Ｗとしては、透明なガラス基板またはプラスチック製の樹脂板やフィルムを用いることができる。

またインクジェット法により吐出される着色インクとしては、例えばポリウレタンオリゴマーあるいはポリメチルメタクリレートオリゴマーに色材としての無機顔料を分散させる。その後に低沸点溶媒としてシクロヘキサノン及び酢酸ブチルと、高沸点溶媒としてブチルカルビトールアセテートとを加え、さらに非イオン系界面活性剤を分散剤として添加して、粘度を所定の範囲に調整した着色インクを用いることができる。

次に吐出工程におけるインク１９の液滴の他の吐出パターンについて図６および図７に基づいて説明する。図６（ａ）〜（ｅ）は、画素領域と隔壁部とに吐出する液滴の吐出パターンを示す概略平面図である。

図６（ａ）または（ｂ）は、隔壁部に吐出される液滴の体積を変えた吐出パターンを示す概略平面図である。この吐出パターンは、図６（ａ）または（ｂ）に示すように画素領域２に吐出される液滴４に対して、隔壁部１上に吐出される少なくとも１つの液滴４ａ（または４ｂ）の量（体積）が異なるように吐出するものである。同図（ａ）は例えば吐出制御部２０の処理部２０３からヘッド駆動部２０５にパルス選択信号としてビットマップデータ（１０１０）を送り、大ドットの吐出を行う。同図（ｂ）は同様にしてビットマップデータ（１０００）を送り、中ドットの吐出を行う。このようにすれば隔壁部１上またはその近傍に着弾する液滴４ａまたは４ｂの量（体積）を増やすことができる。

図６（ｃ）は、隔壁部上に着弾する液滴の着弾数を変えた吐出パターンを示す概略平面図である。この吐出パターンは、図６（ｃ）に示すように画素領域２に着弾する液滴４の数と隔壁部１に着弾する液滴４の数とが単位面積当たりで異なるように吐出するものである。まず隔壁部１上に液滴４が着弾するように液滴吐出ヘッド１３と基板Ｗとが対向する位置で液滴４を吐出する。そして先に示した図５（ａ）と同様にして同一方向に配置された同一色となる複数の画素領域２と、この複数の画素領域２を区画する隔壁部１に液滴４を等間隔で吐出する。さらに基板Ｗを主走査方向に移動して前段と同様に隔壁部１上に液滴４が着弾するように吐出する。このようにすれば、隣り合う同一色層となる画素領域２を隔てる隔壁部１上に液滴４を数多く着弾させることができる。

図６（ｄ）および（ｅ）は、画素領域の隅（コーナー部）に位置する隔壁部に着弾するように吐出する吐出パターンを示す概略平面図である。まず画素領域２のコーナー部に位置する隔壁部１ａに液滴４を吐出する。続いて同一方向に配置された同一色となる複数の画素領域２と、この複数の画素領域２を区画する隔壁部１に液滴４を等間隔で吐出する。さらに基板Ｗを主走査方向に移動して前段と同様に画素領域２のコーナー部に位置する隔壁部１ａに液滴４が着弾するように吐出する。このようにすれば、画素領域２のコーナー部に位置する隔壁部１ａにより多くの液滴４を着弾させることができる。また隔壁部１ａに着弾した液滴４は、画素領域２のコーナー部を埋めるように濡れ広がる。

以上のように隔壁部１に吐出される液滴の着弾密度を高くすることによって、画素領域２の隔壁部１の近傍に液滴が濡れ広がることを阻害する要因（例えば撥液性を有する隔壁部１の残渣が存在する場合など）があっても、それを補う液滴を隔壁部１に吐出して色層８を成膜することができる。尚、隔壁部１に吐出される液滴の着弾密度は、必ずしも高くしなくてもよい。わずかでも隔壁部１に液滴４が着弾すれば、着弾した液滴４は隔壁部１から画素領域２内に侵入して塗れ広がるため、膜厚ムラによる白抜け等の不具合を低減することができる。

図７（ａ）〜（ｃ）は、画素領域と隔壁部との境界部に着弾するように液滴を吐出する吐出パターンを示す概略平面図である。

図７（ａ）は、同一方向に配置された同一色となる複数の画素領域２の長辺方向に沿った画素領域２と隔壁部１との境界部に着弾するように等間隔で液滴４を吐出したものである。この場合、画素領域２の大きさに対して等間隔に吐出された液滴４の量が多くなって並行する他の色の画素領域２に侵入してしまう惧れがある。このような場合には、同図（ｂ）に示すように処理部２０３から吐出するノズル２１を間引くように選択（ＯＮ−ＯＦＦ）し、且つ境界部に互いに向かい合って着弾した液滴４が等間隔となるようにチドリ状に吐出する。このようにすれば、液滴の無駄な吐出を押えて均一な色層８を成膜することができる。さらに同図（ｃ）に示すように画素領域２のコーナー部に位置する隔壁部１により液量の多い液滴４ｂ（中ドット）を着弾させることも可能である。

図７（ａ）〜（ｃ）に示すようにこれらの吐出パターンは、液滴が画素領域２を区画する隔壁部１に沿って濡れ広がるように吐出したものである。これによって画素領域２の隔壁部１の近傍やコーナー部に液滴が濡れ広がることを阻害する要因（例えば撥液性を有する隔壁部１の残渣が存在する場合など）があっても、積極的に境界部に液滴を吐出して色層８を成膜することができる。

尚、当然のことながら液滴吐出ヘッド１３のノズル２１のピッチに対して隣り合う画素領域２を区画する隔壁部１のピッチは必ずしも整数倍とはならない。本発明では、吐出された液滴の一部が隔壁部１に掛かる、または隔壁部１の近傍に着弾すれば十分にその効果を奏する。さらに、液滴が隔壁部１に掛からない場所が低い割合で発生しても構わない。この場合でも、液滴が隔壁部１に掛かった箇所では、画素領域２の隅まで機能液が濡れ広がるので膜厚ムラによる白抜け等の不具合を低減できる。

次に上記カラーフィルタの成膜方法で成膜したカラーフィルタを組み込んだ電気光学装置の製造方法について図８〜図９に基づいて説明する。

図８は、電気光学装置としてのパッシブ型液晶表示装置の構造を示す概略断面図である。この実施形態の液晶表示装置１００に、液晶駆動用ＩＣ１２１、配線類１２２、光源（バックライト）１７０、支持体（図示略）などの付帯要素を装着することによって、最終製品としての透過型の液晶表示装置が構成される。

この本実施形態の液晶表示装置１００は、上記のカラーフィルタＡが組み込まれている。尚、本実施形態においてはカラーフィルタＡについて簡略的に説明することとする。図８は透過型の液晶表示装置１００の要部を示しており、この液晶表示装置１００は、カラーフィルタＡとしてのカラーフィルタ基板１０２とガラス基板等からなる対向基板１０１とをシール材１１０を介して対向配置し、その隙間にＳＴＮ（Super Twisted Nemtic）液晶等からなる液晶層１０３が封止された構造となっている。

カラーフィルタ基板１０２は、基板１１１と、基板１１１上に形成された遮光層１１２、隔壁部１１３並びに色層８と、これらの遮光層１１２、隔壁部１１３並びに色層８を覆う保護層（オーバーコート層）１１４とを具備して構成されている。色層８は、赤（Ｒ）の色層８Ｒ、緑（Ｇ）の色層８Ｇ、青（Ｂ）の色層８Ｂの各色からなる。保護層１１４の下（液晶層１０３側）には、複数の電極１０６がストライプ状に所定の間隔で形成され、さらにその下（液晶層１０３側）に配向膜１０９が形成されている。

同様に、対向基板１０１においてカラーフィルタ基板１０２との対向面には、カラーフィルタ基板１０２の電極１０６と直交する方向に延在する複数の電極１０５がストライプ状に所定の間隔で形成され、その上（液晶層１０３側）に配向膜１０７が形成されている。そして、電極１０５と電極１０６との交差位置（表示画素）に対応してカラーフィルタ基板１０２の各色層８が配置されている。また、対向基板１０１とカラーフィルタ基板１０２の外面側には図示しない偏光板がそれぞれ設置されている。また、基板間には、間隔（セルギャップという）を基板面内で一定に保持するためのスペーサ１０４が介在している。尚、電極１０５，１０６はＩＴＯ（Indium Tin Oxide）などの透明導電材料を平面視ストライプ状に所定の間隔で形成したものである。

尚、液晶表示装置１００は、カラーフィルタＡを上側（観測者側）に配置したものであるが、カラーフィルタＡを下側に配置することもできる。例えば、前述したように遮光層１１２を光反射性の遮光層とし、その一部が画素領域２に対応して部分的に開口するように形成する。そしてカラーフィルタＡを下側に配置して基板１１１の背後から光源１７０の光が入射した場合は、上記開口から光が透過して透過型として機能する。またその一方で基板１１１の上方から外光が入射して光反射性の遮光層部分で反射し色層８を反射光が通過する場合は、反射型として機能する。

図９は、電気光学装置としてのアクティブ型ＴＦＴ（Thin Film Transistor）液晶表示装置を示す概略分解斜視図である。この液晶表示装置４００に、液晶駆動用ＩＣ、配線類（いずれも図示省略）、バックライト３２０、支持体（図示省略）などの付帯要素を装着することによって、最終製品としての透過型液晶表示装置が構成される。この液晶表示装置４００は、上記カラーフィルタＡと同様の構造のカラーフィルタＦが組み込まれており、カラーフィルタＦを上側（観測者側）に配置したものである。尚、本実施形態においてはカラーフィルタＦについて簡略的に説明することとする。

この液晶表示装置４００は、互いに対向するように配置されたカラーフィルタＦ及び素子基板４０２と、これらの間に挟持された図示しない液晶層と、カラーフィルタＦの上面側（観測者側）に付設された偏光板４０３と、素子基板４０２の下面側に付設された図示略の偏光板とを主体として構成されている。

カラーフィルタＦは、例えば板厚３００μｍ（０．３ｍｍ）程度のガラス等からなる対向基板４０５を備え、この対向基板４０５の下側に、先のカラーフィルタＡと同様な構造の遮光層と隔壁部と色層８及び保護層（オーバーコート層）４０７が順次形成されたものである。また、このカラーフィルタＦの保護層４０７の下側に駆動用の電極（全面電極）４０８が形成されている。なお、実際の液晶表示装置４００においては電極４０８を覆って液晶層側に配向膜が設けられるが、図９では省略してあるとともに、反対側の素子基板４０２側の後述する画素電極４１１上にも配向膜が設けられるが、図９では省略し、配向膜の説明も省略する。

素子基板４０２上には絶縁層４１０が形成され、この絶縁層４１０の上には、ＴＦＴ型のスイッチング素子としての薄膜トランジスタＴと画素電極４１１が形成されている。素子基板４０２上に形成された絶縁層４１０上には、マトリクス状に走査線４１２と信号線４１３とが形成され、これら走査線４１２と信号線４１３とに囲まれた領域毎に画素電極４１１が設けられている。各画素電極４１１のコーナー部分と走査線４１２と信号線４１３との間の部分に薄膜トランジスタＴが組み込まれており、走査線４１２と信号線４１３に対する信号の印加によって薄膜トランジスタＴをオン・オフして画素電極４１１への通電制御を行うことができるように構成されている。また、対向側のカラーフィルタＦ側に形成された電極４０８はこの実施形態では画素電極形成領域全体をカバーする全面電極とされている。尚、ＴＦＴの配線回路や画素電極形状には様々なものがあり、本実施の形態では図９に示すものを例示したが、他の形状のＴＦＴを備えた液晶表示装置にも適用できるのは勿論である。

図１０（ａ）は、電気光学装置としてのプラズマ型表示装置の概略分解斜視図である。図１０（ａ）に示すようにこの表示装置５００は、上記カラーフィルタＡと同様の構造のカラーフィルタ５０５が組み込まれており、このカラーフィルタ５０５を観察側に配置して構成されている。表示装置５００は、互いに対向して配置されたガラス基板５０１とカラーフィルタ５０５と、これらの間に形成された放電表示部５１０とから概略構成される。放電表示部５１０は、複数の放電室５１６が縦横に整列形成されてなり、複数の放電室５１６のうち、３つの放電室５１６が対になって１表示画素を構成するように配置されている。従ってカラーフィルタ５０５の各色層８に対応するように各放電室５１６が配置される。

ガラス基板５０１の上面には所定の間隔でストライプ状にアドレス電極５１１が形成され、それらアドレス電極５１１とガラス基板５０１の上面とを覆うように誘電体層５１９が形成されている。更に誘電体層５１９上においてアドレス電極５１１，５１１間に位置して各アドレス電極５１１に沿うように隔壁５１５が複数形成されている。なお、隔壁５１５においてはその長手方向の所定位置においてアドレス電極５１１と直交する方向にも所定の間隔で仕切られており（図示略）、基本的にはアドレス電極５１１の幅方向左右両側に隣接する隔壁と、アドレス電極５１１と直交する方向に延設された隔壁により仕切られる長方形状の領域が形成されている。そして、これら長方形状の領域に対応するように放電室５１６が形成され、これら長方形状の領域が３つ対になって１画素が構成される。また、隔壁５１５で区画される長方形状の領域の内側には蛍光体５１７が形成されている。

次に、カラーフィルタ５０５側には、先のアドレス電極５１１と直交する方向に複数の表示電極５１２がストライプ状に所定の間隔で形成されている。またこれらを覆って誘電体層５１３が形成され、更にＭｇＯなどからなる保護膜５１４が形成されている。なお、カラーフィルタ５０５の構造であるが、先に説明したカラーフィルタＡに対して色層８の平面形状や面積については異なるが、色層８の膜厚の関係や配置関係、遮光層や隔壁部にて区画された構造については同様の構造とされているので詳しい説明を省略する。

図１０（ｂ）はプラズマ型表示装置の構造を示す要部概略断面図である。ガラス基板５０１とカラーフィルタ５０５が、アドレス電極５１１と表示電極５１２を互いに直交させるように対向させて相互に貼り合わされ、ガラス基板５０１と隔壁５１５とカラーフィルタ５０５側に形成されている保護膜５１４とで囲まれる空間部分を排気して希ガスを封入することで放電室５１６が形成されている。なお、カラーフィルタ５０５側に形成される表示電極５１２は各放電室５１６に対して２本ずつ配置するように形成されている。また、同図（ｂ）では、放電室５１６を挟んで対向されるアドレス電極５１１と表示電極５１２を図面で把握しやすいように平行に配置しているが、これらの電極は実際の装置では図１０（ａ）に示すように９０゜に交差するように配置されている。

また、アドレス電極５１１と表示電極５１２は図示省略の電源に接続され、各電極に通電することで必要な位置の放電表示部５１０において蛍光体を励起発光させて白色発光させ、この光がカラーフィルタ５０５を透過して着色され、この着色光が他の画素からの着色光と混合され、カラー画像が形成される。

次に本発明の電子機器の製造方法について図１１〜図１３に基づいて説明する。前述したカラーフィルタＡを備えたパッシブ型の液晶表示装置１００、カラーフィルタＦを備えたアクティブ型の液晶表示装置４００、カラーフィルタ５０５を備えたプラズマ型の表示装置５００等の電気光学装置１０００は、各種電子機器の表示部に用いることができる。図１１は、本発明の電気光学装置を組み込んだ電子機器としてのモバイル型（またはノート型）のパーソナルコンピュータの構成を示す斜視図である。この図において、パーソナルコンピュータ１１００は、キーボード１１０２を備えた本体部１１０４と、表示ユニット１１０６とにより構成され、表示ユニット１１０６は、本体部１１０４に対しヒンジ構造部を介して回動可能に支持されている。表示ユニット１１０６には、電気光学装置１０００が組み込まれている。

図１２は、本発明の電気光学装置を組み込んだ電子機器としての携帯電話機（ＰＨＳも含む）の構成を示す斜視図である。この図において、携帯電話機１２００は、複数の操作ボタン１２０２、受話口１２０４および送話口１２０６とともに、電気光学装置１０００が表示部に組み込まれている。

図１３は、本発明の電気光学装置を組み込んだ電子機器としてのディジタルスチルカメラの構成を示す斜視図である。なお、この図には、外部機器との接続についても簡易的に示されている。ここで、通常のカメラは、被写体の光像により銀塩写真フィルムを感光するのに対し、ディジタルスチルカメラ１３００は、被写体の光像をＣＣＤ（Charge Coupled Device）などの撮像素子により光電変換して撮像信号（画像信号）を生成する。

ディジタルスチルカメラ１３００におけるケース（ボディー）１３０２の背面には、電気光学装置１０００が表示部に組み込まれ、ＣＣＤによる撮像信号に基づいて表示を行う構成になっており、被写体を電子画像として表示するファインダとして機能する。ケースの内部には、回路基板１３０８が設置されている。この回路基板１３０８は、撮像信号を格納（記憶）し得るメモリが設置されている。

また、ケース１３０２の正面側（図示の構成では裏面側）には、光学レンズ（撮像光学系）やＣＣＤなどを含む受光ユニット１３０４が設けられている。撮影者が表示部に表示された被写体像を確認し、シャッタボタン１３０６を押下すると、その時点におけるＣＣＤの撮像信号が、回路基板１３０８のメモリに転送・格納される。

また、このディジタルスチルカメラ１３００においては、ケース１３０２の側面に、ビデオ信号出力端子１３１２と、データ通信用の入出力端子１３１４とが設けられている。そして、図示のように、ビデオ信号出力端子１３１２にはテレビモニタ１４３０が、デ−タ通信用の入出力端子１３１４にはパーソナルコンピュータ１４４０が、それぞれ必要に応じて接続される。さらに、所定の操作により、回路基板１３０８のメモリに格納された撮像信号が、テレビモニタ１４３０や、パーソナルコンピュータ１４４０に出力される構成になっている。

なお、上記電子機器は、上述したパーソナルコンピュータ（モバイル型パーソナルコンピュータ）、携帯電話機、ディジタルスチルカメラの他にも、例えば、テレビや、ビデオカメラ、ビューファインダ型、モニタ直視型のビデオテープレコーダ、ラップトップ型パーソナルコンピュータ、カーナビゲーション装置、ページャ、電子手帳（通信機能付も含む）、電子辞書、電卓、電子ゲーム機器、ワードプロセッサ、ワークステーション、テレビ電話、防犯用テレビモニタ、電子双眼鏡、ＰＯＳ端末、タッチパネルを備えた機器（例えば金融機関のキャッシュディスペンサー、自動券売機）、医療機器（例えば電子体温計、血圧計、血糖計、心電表示装置、超音波診断装置、内視鏡用表示装置）、魚群探知機、各種測定機器、計器類（例えば、車両、航空機、船舶の計器類）、フライトシュミレータ、その他各種モニタ類、プロジェクター等の投射型表示装置等に適用することができる。

以上、本発明のカラーフィルタの成膜方法および成膜装置、電気光学装置および電子機器の製造方法を図示の実施形態について説明したが、本発明は、これに限定されるものではない。カラーフィルタを構成する各部は、同様の機能を発揮し得る任意の構成のものと置換することができる。また、任意の構成物が付加されていてもよい。

本実施形態の効果は、以下のとおりである。
（１）本実施形態のカラーフィルタの成膜方法おいて、吐出工程は、同一方向に配置された同一色となる複数の画素領域２と、この複数の画素領域２を区画する隔壁部１とに着弾するようにインク１９を液滴として吐出する。したがって、撥液性の隔壁部１に着弾したインク１９は、隔壁部１から画素領域２に侵入するように濡れ、画素領域２内に着弾して濡れ広がったインク１９と合体して画素領域２内をムラなく覆うインク層５を成膜する。また同一色となる複数の画素領域２と、この画素領域２を区画する隔壁部１にそれぞれインク１９が着弾することによって、同一方向に同一色のインク１９が濡れ広がって合体したインク層５を成膜することができる。このようにして成膜されたインク層５を乾燥させてインク１９中の溶媒成分を除去すれば、同一色層８において膜厚のムラが少ないカラーフィルタＡを成膜することができる。
（２）吐出工程では、インク１９を等間隔で吐出するため、同一方向に同一色のインク１９がムラ無く着弾し、より膜厚のムラが少ないカラーフィルタＡを成膜することができる。
（３）吐出工程では、インク１９を画素領域２の隅（コーナー部）に位置する隔壁部１ａに着弾するように吐出する。したがって、画素領域２内に着弾したインク１９の一部が隔壁部１に到達して前進接触角が低下し、画素領域２のコーナー部まで濡れ広がらない場合でも、撥液性を有する隔壁部１ａに着弾したインク１９が、画素領域２内に侵入するように濡れるため、画素領域２の隅（コーナー部）まで確実にインク１９を行き渡らせることができる。
（４）吐出工程では、同一方向に配置された同一色となる複数の画素領域２と、この画素領域２を区画する撥液性の隔壁部１との境界部に着弾するようにインク１９が液滴として吐出される。境界部に着弾した液滴は境界部に沿って濡れ広がって行くため境界部でインク１９の濡れ広がり不足が発生することを防止することができる。ゆえに画素領域２の隅々までインク１９が行き渡ったカラーフィルタＡを成膜することができる。
（５）吐出工程では、隔壁部１に吐出される液滴の着弾密度を変えてインク１９を吐出する。液滴の着弾密度を変える方法としては、画素領域２に吐出される液滴４の体積に対して、隔壁部１に吐出される少なくとも１つの液滴４ａ（または４ｂ）の体積が多くなるように吐出する。または、隔壁部１に着弾する液滴４の数が単位面積当たりで多くなるように吐出する。これによれば、より多くのインク１９が隔壁部１から画素領域２に侵入するように濡れるため、画素領域２の隔壁部１付近に隔壁部１を形成した際の残渣が存在して、着弾した液滴４が濡れ広がるのを阻害する場合でも画素領域２内の成膜ムラを防止することができる。また、隔壁部１に吐出される液滴の着弾密度のみを変えて対応すればよいため、吐出されるすべての液滴４の着弾密度を変える場合に比べ、無駄を抑えより少ないインク１９の量で、複数の画素領域２にインク１９を行き渡らせることができる。
（６）カラーフィルタＡは、本実施形態のカラーフィルタの成膜方法を用いて成膜されているため、成膜ムラによる白抜け（濡れ不足）や、同一色層８の膜厚ムラの少ないカラーフィルタＡとすることができる。
（７）カラーフィルタの成膜装置１０において、第１位置制御部１４および第２位置制御部１６は、同一方向に配置された同一色となる複数の画素領域２と、この複数の画素領域２を区画する隔壁部１とにインク１９の液滴が着弾するように液滴吐出ヘッド１３と基板Ｗとを相対移動させる。そして、液滴吐出ヘッド１３は基板Ｗ上に等間隔でインク１９を液滴として吐出するため、インク１９を均一に吐出し、インク１９からなる複数の同一色層８を成膜することができる。また吐出制御部２０は、画素領域２に吐出される液滴の着弾密度に対して隔壁部１に吐出される液滴の着弾密度が高くなるように制御する。したがって、隔壁部１により多い量の液滴が着弾することにより、隔壁部１から画素領域２により多くのインク１９が流れ込み画素領域２の隅々までインク１９が行き渡った成膜ムラの少ないカラーフィルタＡを成膜することができる。また画素領域２のみにインク１９を着弾させようとする場合に比べて、高い着弾精度を必要とせず簡単な液滴の吐出制御とすることができる。
（８）カラーフィルタの成膜装置１０は、液滴吐出ヘッド１３のノズル列方向と同一色層となる複数の画素領域２が並んだ前記同一方向とが平行となるように液滴吐出ヘッド１３と基板Ｗとを相対移動させて液滴４を吐出するため、複数の画素領域２と隔壁部１とに効率よく液滴４を吐出することができる。
（９）電気光学装置１０００（パッシブ型の液晶表示装置１００、アクティブ型の液晶表示装置４００、プラズマ型の表示装置５００）は、成膜ムラによる白抜けの不具合が少なく、同一色層８の膜厚ムラの少ない本実施形態のカラーフィルタＡが組み込まれているため、色調ムラやコントラストムラが少ない高い表示品質を有する電気光学装置１０００とすることができる。
（１０）電子機器（パーソナルコンピュータ１１００、携帯電話機１２００、ディジタルスチルカメラ１３００）は、色調ムラやコントラストムラが少ない高い表示品質を有する電気光学装置１０００が組み込まれているため、見映えのよい高品質な画質で画像などの情報を確認することができる電子機器とすることができる。

本実施形態以外の変形例は、以下のとおりである。
（変形例１）カラーフィルタの成膜装置１０は、吐出されるインク１９の各色毎に対応した複数の液滴吐出ヘッド１３をキャリッジ１７に搭載すると共に、インクタンク１１も各色ごとのインク１９を貯留するように複数備えてもよい。これによれば、１台の成膜装置１０で、カラーフィルタを成膜するために必要なすべてのインク種を備えて成膜することができる。
（変形例２）液滴吐出ヘッド１３のノズル列は１列に限らない。例えば７０μｍピッチずらして２列となるようにもう一列ノズル列を増やしてもよい。これによれば、より精細な７０μｍのピッチで液滴を吐出することができる。
（変形例３）液滴吐出ヘッド１３のノズル２１は、等間隔に配置されていることに限定されない。液滴４を吐出する画素領域２と隔壁部１の位置に対応したノズル２１を選択して液滴４を吐出すれば、同一方向に同一色層となる複数の画素領域２に膜厚ムラを低減して色層８を成膜することができる。
（変形例４）液滴吐出ヘッド１３は、ピエゾ方式インクジェットヘッドに限定されない。振動板とこれに所定の間隔を置いて対向配置された電極とからなる電気機械変換素子を有する静電アクチュエータで吐出室２２に充填されたインク１９を加圧して液滴として吐出する静電方式インクジェットヘッドとしてもよい。あるいはインク１９と接する発熱体を有し、発熱体によって加熱されたインク１９に気泡を発生させ、この気泡によって吐出室２２に充填されたインク１９を加圧して液滴として吐出するいわゆるバブル方式インクジェットヘッドとしてもよい。
（変形例５）吐出工程において、ストライプ状に同一方向に配置された同一色となる複数の画素領域２に対して、液滴吐出ヘッド１３のノズル列を交差する方向として吐出してもよい。このようにすれば、同一色となる複数の画素領域２の複数列を同時に成膜することができる。また画素領域２の配列ピッチがどのような寸法のピッチでも隣り合う画素領域２を区画する隔壁部１に対向するように液滴吐出ヘッド１３と基板Ｗとを相対移動させ、確実に隔壁部１上に液滴４を吐出することができる。
（変形例６）画素領域２の形状は、平面視で、長方形をなしているのに限定されず、例えば、正方形、台形、平行四辺形（菱形）等のような四角形、六角形、小判形状等であってもよい。また、隔壁部１における画素領域２に臨む部分の形状は、例えば、サインカーブ、凸状、微細なアール（ｒ）等の波形であってもよい。
（変形例７）画素領域２の配列は、ストライプ状に限定されない。同一方向に同一色層となる画素領域２が配列しているものならば、モザイク状（斜め方向に同一色の画素領域が配列）であっても、本実施形態のカラーフィルタの成膜方法を用いて同一延長線上に液滴を吐出して成膜することが可能である。
（変形例８）画素領域２の配列は、ストライプ状に限定されない。同一方向に同一色層となる画素領域２が複数（２つ以上）並ぶ部分があればよい。

本実施形態および変形例から把握される技術的な思想は以下のとおりである。
（１）前記吐出工程では、同一方向に配置された同一色層となる複数の画素領域と、隣り合う前記画素領域を隔てる撥液性の隔壁部とに色材が分散された着色インクの液滴が等間隔で着弾するように吐出するカラーフィルタの成膜方法。
（２）（１）において吐出された液滴の少なくとも一部が隔壁部に着弾するカラーフィルタの成膜方法。
（３）前記吐出工程では、同一方向に配置された同一色層となる複数の画素領域と、隣り合う前記画素領域を隔てる撥液性の隔壁部との境界部に色材が分散された着色インクの液滴がチドリ（千鳥）配列で着弾するように吐出するカラーフィルタの成膜方法。

本実施形態のカラーフィルタの成膜装置の要部構造を示す概略斜視図。 （ａ）液滴吐出ヘッドの構造を示す概略斜視図、（ｂ）液滴吐出ヘッドの構造を示す概略断面図。 吐出制御部および吐出制御部に関連する各部との電気的な構成を示すブロック図。 ヘッド駆動部が液滴吐出ヘッドに送る駆動信号（パルス）を示すタイムチャート。 （ａ）〜（ｅ）カラーフィルタの成膜方法およびカラーフィルタを示す概略図。 （ａ）〜（ｅ）画素領域と隔壁部とに吐出する液滴の吐出パターンを示す概略平面図。 （ａ）〜（ｃ）画素領域と隔壁部との境界部に着弾するように液滴を吐出する吐出パターンを示す概略平面図。 電気光学装置としてのパッシブ型液晶表示装置の構造を示す概略断面図。 電気光学装置としてのアクティブ型ＴＦＴ液晶表示装置を示す概略分解斜視図。 （ａ）電気光学装置としてのプラズマ型表示装置を示す概略分解斜視図、（ｂ）電気光学装置としてのプラズマ型表示装置の構造を示す要部概略断面図。 電子機器としてのモバイル型（またはノート型）のパーソナルコンピュータの構成を示す斜視図。 電子機器としての携帯電話機（ＰＨＳも含む）の構成を示す斜視図。 電子機器としてのディジタルスチルカメラの構成を示す斜視図。

符号の説明

１…隔壁部、２…画素領域、４…液滴、８…色層、１０…カラーフィルタの成膜装置、１３…液滴吐出部としての液滴吐出ヘッド、１４…配置手段としての第１位置制御部、１６…配置手段としての第２位置制御部、１９…機能液としてのインク、２０…吐出制御部、１００…電気光学装置としてのパッシブ型の液晶表示装置、４００…電気光学装置としてのアクティブ型の液晶表示装置、５００…電気光学装置としてのプラズマ型の表示装置、５０５…カラーフィルタ、１０００…電気光学装置、１１００…電子機器としてのモバイル型（またはノート型）のパーソナルコンピュータ、１２００…電子機器としての携帯電話機、１３００…電子機器としてのディジタルスチルカメラ、Ａ…カラーフィルタ、Ｆ…カラーフィルタ。

Claims (13)

1. 基板上の画素領域に色層を形成してなるカラーフィルタの成膜方法であって、
   前記画素領域を区画する撥液性の隔壁部を前記基板上に形成する隔壁形成工程と、
   前記画素領域に色材が分散された機能液を液滴として吐出する吐出工程とを備え、
   前記吐出工程は、同一方向に配置された複数の前記画素領域と、前記複数の前記画素領域を区画する前記隔壁部とに着弾するように前記機能液を吐出することを特徴とするカラーフィルタの成膜方法。
2. 前記吐出工程では、前記機能液を略等間隔で吐出することを特徴とする請求項１に記載のカラーフィルタの成膜方法。
3. 前記吐出工程では、前記機能液を前記画素領域の隅に位置する前記隔壁部に着弾するように吐出することを特徴とする請求項１または２に記載のカラーフィルタの成膜方法。
4. 前記吐出工程では、同一方向に配置された同一色層となる複数の前記画素領域と当該画素領域を区画する前記隔壁部との境界部に着弾するように前記機能液を液滴として吐出することを特徴とする請求項１ないし３のいずれか一項に記載のカラーフィルタの成膜方法。
5. 前記吐出工程では、前記画素領域に吐出される液滴の着弾密度に対して前記隔壁部に吐出される液滴の着弾密度を変えて前記機能液を吐出することを特徴とする請求項１ないし４のいずれか一項に記載のカラーフィルタの成膜方法。
6. 前記吐出工程では、前記画素領域に吐出される液滴の体積に対して前記隔壁部に吐出される少なくとも１つの液滴の体積が異なるように前記機能液を吐出することにより、前記着弾密度を変えることを特徴とする請求項５に記載のカラーフィルタの成膜方法。
7. 前記吐出工程では、前記画素領域に着弾する液滴の数と前記隔壁部に着弾する液滴の数とが単位面積当たりで異なるように前記機能液を吐出することにより、前記着弾密度を変えることを特徴とする請求項５に記載のカラーフィルタの成膜方法。
8. 請求項５ないし７のいずれか一項において、前記吐出工程では、前記画素領域に吐出される液滴の着弾密度に対して前記隔壁部に吐出される液滴の着弾密度が高くなるように前記機能液を吐出することを特徴とするカラーフィルタの成膜方法。
9. 基板上に形成された隔壁部によって区画された画素領域に色材が分散された機能液を液滴として吐出して前記画素領域に色層を形成してなるカラーフィルタの成膜装置であって、
   前記機能液を液滴として吐出する液滴吐出部と、
   前記液滴吐出部と前記基板とを相対移動させる走査手段と、
   同一方向に配置された同一色層となる複数の前記画素領域と、当該画素領域を区画する前記隔壁部とに液滴が着弾するように前記液滴吐出部を制御する吐出制御部とを備えたことを特徴とするカラーフィルタの成膜装置。
10. 前記走査手段は、同一方向に配置された同一色層となる複数の前記画素領域と、当該画素領域を区画する前記隔壁部とに液滴が着弾するように前記液滴吐出部と前記基板とを前記同一方向と直交する方向に相対移動させることを特徴とする請求項９に記載のカラーフィルタの成膜装置。
11. 前記吐出制御部は、前記機能液を液滴として略等間隔で吐出させると共に、前記画素領域に吐出される液滴の着弾密度に対して前記隔壁部に吐出される液滴の着弾密度を変えて前記機能液の液滴を吐出させるように前記液滴吐出部を制御することを特徴とする請求項９または１０に記載のカラーフィルタの成膜装置。
12. 請求項１ないし８のいずれか一項に記載のカラーフィルタの製造方法を用いて製造されたカラーフィルタを組み込むことを特徴とする電気光学装置の製造方法。
13. 請求項１２に記載の電気光学装置の製造方法を用いて製造された電気光学装置を組み込むことを特徴とする電子機器の製造方法。
    

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