CN100427955C - 元件介面装置 - Google Patents

Abstract

本发明是关于一种元件介面装置，其是一种向被测试元件施加测试被测试元件的测试信号的同时，接收从被测试元件输出的输出信号的元件介面装置，该元件介面装置包括针式电子基板、基板侧连接器(是一种设置在上述针式电子基板端部的基板侧的连接器，具有多个基板侧芯线以及基板侧遮护板)、保持上述被测试元件的插口、插口侧连接器(具有多个插口侧芯线以及插口侧遮护板)、与在插口以及上述针式电子基板之间传递传送信号的电缆元件，电缆元件具有基板嵌合连接器、插口嵌合连接器以及多个传送电缆。

Description

元件介面装置

技术领域

本发明涉及一种元件介面装置，特别是涉及一种关于向被测试的元件施加用于测试被测试元件的测试信号的同时，接收从被测试元件输出的输出信号的元件介面装置。

背景技术

测试电子元件的测试装置通过比较电子元件的输出信号与期待值，来判定电子元件的良否。测试装置例如利用设置在测试头上的针式电子转换器向电子元件进行信号的输入输出。

近年来，伴随着电子元件的操作速度的高速化，对测试装置的速度要求也越来越高，但是，由于要求高精度，进行高速测试的测试装置有时价格很高。因此，以前由于测试装置的价格的影响，电子元件的测试成本增加，导致电子元件的价格很难降低。

由此可见，上述现有的测试装置在结构与使用上，显然仍存在有不便与缺陷，而亟待加以进一步改进。为了解决测试装置存在的问题，相关厂商莫不费尽心思来谋求解决之道，但长久以来一直未见适用的设计被发展完成，而一般产品又没有适切的结构能够解决上述问题，此显然是相关业者急欲解决的问题。

有鉴于上述现有的测试装置存在的缺陷，本发明人基于从事此类产品设计制造多年丰富的实务经验及专业知识，并配合学理的运用，积极加以研究创新，以期创设一种新型结构的元件介面装置，能够改进一般现有的测试装置，使其更具有实用性。经过不断的研究、设计，并经反复试作样品及改进后，终于创设出确具实用价值的本发明。

发明内容

本发明的目的在于，克服现有的技术存在的缺陷，而提供一种新的元件介面装置，所要解决的技术问题是使其提高测试装置的速度和精度，降低电子元件的成本，从而更加适用。

本发明的目的及解决其技术问题是采用以下技术方案来实现的。依据本发明提出的一种元件介面装置，向一被测试元件施加测试该被测试元件的测试信号，并且接收从该被测试元件输出的输出信号，该元件介面装置包括：一针式电子基板，设有输出该测试信号的驱动器、以及取样该输出信号的比较器；一基板侧连接器，设置在该针式电子基板端部，设有传送作为该测试信号与该输出信号中的至少一种信号的传送信号的一条或多条基板侧芯线，以及包围一条或多条基板侧芯线而设置的基板侧遮护板；一插座，保持该被测试元件，并且与该被测试元件的端子接触；一插座侧连接器，设置在该插座上，设有经过该插座而与该被测试元件之间传送该传送信号的插座侧芯线与包围该插座侧芯线的各条而设置的插座侧遮护板；以及一电缆单元，在该插座以及该针式电子基板之间传送该传送信号，其中该电缆单元更包括：一基板嵌合连接器，与该基板侧连接器相嵌合；一插座嵌合连接器，与该插座侧连接器相嵌合；以及至少一条或多条传送电缆，在该基板嵌合连接器与该插座嵌合连接器之间传送该传送信号，该传送电缆分别包括：一传送线，通过电性地连接一条或多条基板侧芯线与该插座侧芯线，在一条或多条基板侧芯线与该插座侧芯线之间传送该传送信号；以及一电缆遮护板，电性地连接该基板侧遮护板以及该插座侧遮护板且包围在该传送线周围。

本发明的目的及解决其技术问题还可采用以下技术措施进一步实现。

前述的元件介面装置，其中所述的基板侧连接器设有所述多条基板侧芯线、以及包围所述多条基板侧芯线而设置的该基板侧遮护板，上述的插座保持该被测试元件，并且与该被测试元件的各个端子接触，上述的插座侧连接器具有所述多条的插座侧芯线，以及包围所述插座侧芯线的各条而设置的该插座侧遮护板，上述的电缆单元包括一条或多条传送电缆。

前述的元件介面装置，其更包括在与该插座相对的预先规定的位置上保持该插座嵌合连接器的一连接器保持部位，该插座侧连接器在预先规定的位置上，与该插座嵌合连接器嵌合在一起。

前述的元件介面装置，其更包括：一母板，包含该电缆单元以及该连接器保持部位；以及一拆装部位，具有该插座以及该插座侧连接器并且根据是否使该插座侧连接器与该插座嵌合连接器嵌合在一起，来对于该母板进行机械拆装。

前述的元件介面装置，该拆装部位，对应于该测试元件的种类而形成，在对应的该种类的该被测试元件被测试时，可以安装在该母板上。

前述的元件介面装置，其更包括设有该针式电子基板以及该基板侧连接器的测试头，其中该母板可以根据是否使上述该基板侧连接器与该基板嵌合连接器相互嵌合，对于该测试头进行机械地拆装。

前述的元件介面装置，其中该基板侧连接器包括分别包围在基板侧芯线的各条周围的、且在该基板侧连接器中相互电性独立的多个基板侧遮护板，各一条或多条传送电缆中的该电缆遮护板在该基板嵌合连接器与该插座嵌合连接器之间相互电性独立，与各个基板侧遮护板分别电性连接。

前述的元件介面装置，其中该基板嵌合连接器更包括：多条传送芯线，分别与在各条传送电缆中的该传送电线连接；以及多个传送遮护板，在该基板嵌合连接器中相互电性独立地包围在各条传送芯线的周围，且分别连接各个电缆遮护板与各个基板侧遮护板。

前述的元件介面装置，其中该针式电子基板具有传送该传送信号的一信号配线、以及接地的多条接地配线，该基板侧芯线由导体拉伸为线状而制成；该基板侧遮护板在该基板侧芯线的轴的方向延伸，包围该基板侧芯线，以这样的方式由与该基板侧芯线电子绝缘的导体所制成，该基板侧连接器更包括：一信号电极，从该基板侧芯线中沿轴向延伸而形成，与该基板侧芯线及该信号配线连接；以及多个接地电极，从该基板侧遮护板中沿轴向延伸，夹住该信号电极并相互对向形成，连接该基板侧遮护板及接地配线。

前述的元件介面装置，其中该插座侧连接器，设有分别包围在插座侧芯线周围的且在该插座侧连接器内相互电性独立的插座侧遮护板，各传送电缆中的该电缆遮护板在该基板嵌合连接器与该插座嵌合连接器中相互电性独立，与各插座侧遮护板分别电性连接。

前述的元件介面装置，其中该基板嵌合连接器更包括：多条传送芯线，与各传送电缆中的该传送电线分别连接；以及多个传送遮护板，在该插座嵌合连接器内相互电性独立地包围在传送芯线周围，且分别连接电缆遮护板和插座侧遮护板。

前述的元件介面装置，其中该插座设有传送该传送信号的一信号配线及接地的多个接地配线，该插座侧芯线由导体拉伸为线状而制成，该插座侧遮护板在该插座芯线的轴的方向上延伸，且由与该插座侧芯线电性绝缘的导体制成，包围着该插座侧芯线，该插座侧连接器包括：一信号电极，从该插座侧芯线沿轴向延伸而形成，与该插座侧芯线及该信号配线连接；个接地电极，从该插座侧遮护板沿轴向延伸，夹住该信号电极并相互对向形成，与该插座侧遮护板及各接地配线连接。

前述的元件介面装置，其中该基板嵌合连接器包括：一传送芯线，与该传送电缆中的该传送线相连接，以及一传送遮护板，在该插座嵌合连接器中包围在该传送芯线的周围，且与该电缆遮护板及该基板侧遮护板连接；其中该基板侧连接器与该基板嵌合连接器连接时，与该基板侧芯线和该传送芯线连接之前，该基板侧遮护板与该传送遮护板先进行接触。

前述的元件介面装置，其中该插座嵌合连接器包括：一传送芯线，与该传送电缆中的该传送电线连接；以及一传送遮护板，在该插座嵌合连接器中包围在该传送芯线周围，且连接该电缆遮护板与该基板侧遮护板，该插座侧连接器与该插座嵌合连接器连接时，在该基板侧芯线和该传送芯线连接之前，该插座侧遮护板与该传送遮护板先进行接触。

本发明与现有技术相比具有明显的优点和有益效果。由以上技术方案可知，为了达到前述发明目的，本发明的主要技术内容如下：

本发明的第1实施例提供一种向被测试元件施加用于测试被测试元件的试验信号的同时，接收从被测试元件中输出的输出信号的元件介面装置。此装置包括针式电子基板(具有输出测试信号的驱动器、以及采样输出信号的比较器)、基板侧连接器(是一种设置在针式电子基板端部的基板侧的连接器，设有传送作为测试信号以及输出信号中的至少一种信号的基板侧芯线以及包围基板侧芯线而设置的基板侧遮护板)、插座(在保持被测试元件的同时，与被测试元件的端子接触)、插座侧连接器(是一种设置在上述插座上的插座侧连接器，设有经过插座在与被测试元件之间传递传送信号的插座侧芯线、以及包围在插座侧各条芯线而设置的插座侧遮护板)与在插座以及针式电子基板之间传递传送信号的电缆元件。此电缆元件设有与基板侧连接器嵌合的基板嵌合连接器、与插座侧连接器嵌合的插座嵌合连接器、以及在基板嵌合连接器和插座嵌合连接器之间传递传送信号的传送电缆。各条传送电缆包括传送线(经由电性地连接基板侧芯线与插座侧芯线，在基板侧芯线与插座侧芯线之间传递传送信号)、电缆遮护板(电性地连接基板侧遮护板以及插座侧遮护板，并包围在传送线周围)。

基板侧连接器设有多个基板侧芯线以及包围多个各条基板侧芯线而设置的基板侧遮护板。插座在保持被测试装置的同时，与被测试装置的各个端子接触。上述插座侧连接器具有多个上述插座侧芯线，以及包围上述多个各条插座侧芯线而设置的插座侧遮护板。而且，电缆元件可以具有多个传送电缆。

本发明的元件介面装置还具有在与插座相对的预先规定的位置上，保持插座嵌合连接器的连接器保持部位。插座侧连接器可以在预先规定的位置上，与插座嵌合连接器嵌合在一起。

本发明的元件介面装置还可以包括包含电缆元件与连接器保持部位的母板以及具有插座与插座侧连接器的拆装部位(对于母板，可以根据是否使插座侧连接器与插座嵌合连接器嵌合在一起，以进行机械拆装)。

拆装部位是与测试元件的种类相对应而形成。对应于上述种类的被测试元件进行测试时，拆装部位可以安装在母板上。

因为准备了设有针式电子基板以及基板侧连接器的测试头，母板可以根据是否使基板侧连接器与基板嵌合连接器相互嵌合，而相对于测试头进行机械地拆装。

基板侧连接器设有分别包围在各条基板侧芯线路周围，且在基板侧连接器中，相互电性独立的多个基板侧遮护板。各条传送电缆中的电缆遮护板可以在基板嵌合连接器与插座嵌合连接器之间相互电性独立且分别与各个基板侧遮护板电性地连接。

基板嵌合连接器可以设有多个传送芯线(分别与在的各条传送电缆中的传送电线连接)以及多个传送遮护板(在基板嵌合连接器中相互电性独立地包围在各条传送芯线的周围，且分别连接各个电缆遮护板与各个基板遮护板)。

针式电子基板设有传递传送信号的信号配线以及接地的多个接地配线。还可以设有信号电极以及多个接地电极。基板侧芯线是按照导体线状延伸形成的。而且，基板侧遮护板在基板侧芯线的轴方向延伸。另外，为了包围基板侧芯线，基板侧遮护板由与基板侧芯线电子绝缘的导体形成。基板侧连接器从基板侧芯线中延伸形成。基板侧芯线、信号配线与信号电极相连接。接地电极从基板侧遮护板中延伸出来，且包围信号电极而对应形成。接地电极与基板侧遮护板以及各条接地配线连接。

插座侧连接器，设有分别包围在各条插座侧芯线周围，且在插座侧连接器中相互电性独立的多个插座侧遮护板。在各条传送电缆中的电缆遮护板可以在基板嵌合连接器与插座嵌合连接器之间相互电性独立，并与各个插座侧遮护板分别电性地连接。

插座嵌合连接器可以设有传送芯线(与各条传送电缆中的传送线分别连接)、多个传送遮护板(在插座嵌合连接器中相互电性独立地分别包围在各条传送芯线周围，且与各个电缆遮护板和各个插座侧遮护板分别连接)。

插座设有传递传送信号的信号配线、以及接地的多个接地配线，也可以设有信号电极与多个接地电极。插座侧芯线系利用导体拉伸成线状制成的。插座侧遮护板在插座侧芯线的轴方向延伸，利用与插座侧芯线电子绝缘的导体制成以包围插座侧芯线。插座侧连接器从插座侧芯线中延伸出来而形成。插座侧芯线和信号配线与信号电极进行连接。接地电极从插座侧遮护板中延伸出来，且包围信号电极而对应形成。接地电极，与插座侧遮护板以及各条接地配线连接。

基板嵌合连接器设有传送芯线(与传送电缆中的传送电线连接)以及传送遮护板(在插座嵌合连接器内包围在传送芯线周围，且连接电缆遮护板和基板侧遮护板)。当基板侧连接器与基板嵌合连接器连接时，在基板侧芯线与传送芯线连接之前，基板侧遮护板与传送遮护板可以先进行接触。

插座嵌合连接器设有传送芯线(与传送电缆中的传送线连接)以及传送遮护板(在插座嵌合连接器中包围在传送芯线周围，且连接电缆遮护板与插座嵌合连接器)。当插座侧连接器与插座嵌合连接器连接时，在基板侧芯线与传送芯线连接之前，插座侧遮护板与传送遮护板可以先进行接触。

下面，通过发明的实施方式来说明本发明，但以下的实施方式并非限定涉及权利要求的范围的发明，另外并不限于实施方式中所说明的特征的组合全部对发明的解决方法而言是必须的。

附图说明

图1是与本发明的一个实施例相关的测试装置500的结构图。

图2是元件介面部位510的详细结构图。

图3是共通母板506以及品种对应部位508的斜视图。

图4是说明品种对应部位508及测试头504与共通母插件506的连接方法的概念图。

图5是连接器710、连接器702、以及电缆元件708的详细结构。

图6是测试模组604的结构。

图7(a)～图7(c)是插头连接器100的结构。

图8是插头信号端子10的详细结构。

图9(a)～图9(c)是插头芯线用遮护板14以及插头接地电极18的详细结构。

图10(a)～图10(b)是插头侧基板200的详细结构的一例的图。

图11是插头连接器1001的B-B截面图。

图12(a)～图12(b)是插座连接器300的结构。

图13(a)～图13(b)是插座连接器300的结构。

图14(a)～图14(c)是插座式信号芯线22以及插座式芯线用遮护板24的详细结构。

图15(a)～图15(b)是插座侧骨架60的详细结构。

图16(a)～图16(c)是插座连接器300的结构。

图17是插头信号端子10与插座信号端子20嵌合状态的截面图。

图18(a)～图18(b)是插头信号端子30的结构的其他事例。

10：插头信号端子      11：突起           12：插头信号芯线

14：插头芯线用遮护板  15：棘爪           16：插头信号电极

17：绝缘材料          18：插头接地电极   19：圆周状延伸部位

20：插座信号端子      22：插座信号芯线   23：半圆部位

24：插座芯线用遮护板  26：插座信号电极   28：插座接地电极

29：半圆状延伸部位    30：插头信号端子   32：插头信号芯线

34：第1遮护板         36：突出部位       37：第2遮护板

50：插头侧的骨架      52：定位部件       54：通孔

56：侧面           58：凸起部位           60：插座侧骨架

62：定位孔         64：收纳部位           66：骨架通孔

68：铆钉           100：插头连接器        200：插头侧基板

202：基板信号线    204：基板接地线        250：插座侧基板

252：基板通孔      260：插座侧基板        262：基板通孔

300：插座连接器    400：同轴电缆          500：测试装置

502：主机架        504：测试头            506：共通母板

508：种类对应部位  510：元件介面部位      602：筐体

604：测试模组      606：保持台            608：连接器保持部位

610：插座保持部位  612：插座              614：连接器

702：连接器        704：连接器            706：电缆

708：电缆元件      710：连接器            722：信号端子

724：信号端子      726：信号端子          728：信号端子

732：芯线          734：遮护板            736：芯线

738：遮护板        740：芯线              742：遮护板

744：芯线          746：遮护板            750：被测试元件

752：端子          754：传送线            756：遮护板

802：驱动器接脚    804：I/O接脚           806：开关

808：开关          810：驱动器            812：电阻

814：比较器        816：接脚控制部位

具体实施方式

下面，通过发明的实施方式来说明本发明，但以下的实施方式并非设定涉及权利要求的范围的发明，另外并不限于实施方式中所说明的特征的组合全部对发明的解决方法而言是必须的。

请参阅图1所示，其是与本发明相关的一个实施形态的测试装置500的结构的一实施例。本实施例的目的在于提供低成本的、可以对于被测试元件750进行高速且高精度信号输出的测试装置。测试装置500包括元件介面部位510以及主机架502。元件介面部位510包括测试头504、共通母板506以及种类对应部位508。

例如，测试头504根据主机架502的指示，产生测试被测试元件750的测试信号，输出至共通母板506。而且，测试头504经过共通母板506接收被测试元件750的输出信号。测试头504例如检测此输出信号的值，并向主机架502施加。而且，被测试元件750是测试对象的电子元件(DUT)。

共通母板506是母板的一实施例，把从测试头504接收的测试信号供给至种类对应部位508。而且，共通母板506经由种类对应部位508接收被测试元件750的输出信号，并供给至测试头504。在本实施例中，对于作为测试装置500的测试物件的多个种类的被测试元件750来说，共同使用共通母板506。

种类对应部位508裁制固定被测试元件750。而且，种类对应部位508会向被测试元件750供给从共通母板506接收的测试信号。而且，种类对应部位508会接收被测试元件750的输出信号，并供给至共通母板506。据此，元件介面部位510会固定被测试元件750，并向被测试元件750进行信号的输入输出。

而且，在本实施例中，与被测试元件750的种类相对应形成的种类对应部位508，根据被测试元件750的种类而更换使用。当测试相对应种类的被测试元件750的情况下，种类对应部位508还可以安装在共通母板上。而且，种类对应部位508是装卸部位的一实施例。根据本实施例，通过更换种类对应部位508，可以测试多种类的被测试元件750。

主机架502实施例如是工作站等，经由向测试头504施加控制信号，使测试头504输出测试信号。而且，主机架502会从测试头504接收被测试元件750的输出信号值。例如，通过与期待值进行比较，判定被测试元件750的良否。主机架502据此来管理对于被测试元件750的测试。根据本实施例，可以适当地测试被测试元件750。而且，在其他事例中，测试头504可以判定被测试元件750的良否。此时，主机架502可以从测试头504接收到判断良否的结果。

请参阅图2所示，其是元件介面部位510详细结构的一实施例。在本实施例中，测试头504设有筐体602以及多个测试模组604。筐体602例如是由金属构成的机架，其内部收容且保持着多个测试模组604。

测试模组604可以拆装地保持在筐体内。在本实施例中，测试模组604是针式电子基板，根据主机架502的指示，生成应该向被测试元件750(参照图1)施加的测试信号，并将此测试信号输出至共通母板506。而且，测试模组604从共通母板506接收被测试元件750的输出信号，并检测此值。测试模组604可以向主机架502供给检测的值。

而且，在其他事例中，多个测试模组604中的一部分例如可以具有模式发生器的功能。此时，具有针式电子基板功能的测试模组604可以根据从具有模式发生器功能的测试模组604接收的信号，输出测试信号。

共通母板506设有多个连接器保持部位608、多个连接器614以及多个保持台606。各个连接器保持部位608裁置在保持台606上表面，固定且保持连接器614。当种类对应部位508与共通母板506连按时，连接器614与种类对应部位508电性地连接。

保持台606经由设置在测试头504上，其下面与测试模组604电性地连接。而且，保持台606在上表面裁置且固定了连接器保持部位608。此时，保持台606与连接器614电性地连接。因此，当共通母板506与测试头504连接时，保持台606与测试模组604、连接器614电性地连接。据此，共通母板506与测试头504、种类对应部位508电性地连接。

种类对应部位508设有多个插座612以及多个插座保持部位610。各个插座612保持着被测试元件750。而且，插座612经由与连接器614电性地连接，而与连接器614、被测试元件750电性地连接。

各个插座保持部位610固定且保持插座612。而且，插座保持部位610经由被裁置在连接器保持部位608上，使其与插座612以及连接器614连接。

根据本实施例，可以适当地连接被测试元件750与测试头504。元件介面部位510向被测试元件750施加测试信号的同时，可以接收从被测试元件750输出的输出信号。根据本实施例，可以适当地测试被测试元件750。

请参阅图3所示，其是共通母板506及种类对应部位508的斜视图的一实施例。在本实施例中，共通母板506被分割为两个，具有两个保持台606a、b，以及两个连接器保持部位608a、b。据此，一个保持台606及连接器保持部位608的重量会减轻，提高共通母板506的操作性。而且，在本实施例中，连接器保持部位608例如在与插座612相对的、预先规定的位置上把连接器614排列成列状并保持。

种类对应部位508设有4个插座保持部位610a～610d。2个插座保持部位610a、610b设置在连接器保持部位608a上，而2个插座保持部位610c、610d设置在连接器保持部位608b上。

插座保持部位610保持各个插座612。各个插座保持部位610可以如插座保持部位610a与插座保持部位610b一般，保持不同数量的插座612。

在这里，在本实施例中，插座保持部位610在应该与连接器614相对的位置上保持插座612。此时，经由预先规定与连接器614位置对应的插座612的位置，例如即使根据种类，被测试元件750(如图1所示)的端子排列等发生变化，也可以共同使用共通母板506。

而且，近年来，伴随着应用的多样化，电子元件的种类也多样化。此时，如果按照被测试元件750的种类变更测试头504与被测试元件750之间的连接，被测试元件750的测试成本会增加。但是，根据本实施例，经由依据被测试元件750的种类而更换种类对应部位508，可以测试多个种类的被测试元件750，因此，可以降低测试装置500的成本。而且，据此可以降低被测试元件750的成本。

请参阅图4所示，其是说明种类对应部位508以及测试头504与其通母板506的连接方法的概念图。而且，除了以下的说明点外，在图4中附带与图2或者图3中相同的符号的结构，具有与图2或者图3中的结构同一或者同样的功能，所以省略说明。

在本实施例中，种类对应部位508设有插座保持部位610(如图2所示)、插座612以及连接器710。插座612保持被测试元件750，并且与被测试元件750的各个端子接触。而且，经由在下面保持连接器710，插座612与连接器740连接。在其他事例中，插座612例如可以经由印刷基板与连接器710连接。

连接器710是设置在插座612上的插座侧的连接器的一实施例，包含多个信号端子728。连接器710可以采用包含1个信号端子728的结构来代替它。各个信号端子728经过设置在插座612上的配线，与被测试元件750的端子752电性地连接。连接器710可以经由通过印刷基板与插座612连接而设置在插座612上。

如图2所示，测试头504设有筐体602、测试模组604以及连接器702。连接器702是设置在测试模组604端部的基板侧连接器的一实施例，包含多个信号端子722。连接器702可以采用包含1个信号端子722的结构代替它。信号端子722例如与设置在测试头604上的驱动器或者比较器电性地连接。

共通母板506设有保持台606、连接器保持部位608、连接器614、连接器704以及电缆706。保持台606在下面保持连接器704。而且，连接器614、连接器704以及电缆706构成了电缆元件708。电缆元件708也可以采用具备连接器614、连接器704以及一根电缆706的结构来代替它。

连接器614是插座嵌合连接器的一实施例，当共通母板506与种类对应部位508连接时，与连接器710嵌合在一起。据此，相对于共通母板，种类对应部位508根据是否使连接器710与连接器614嵌合在一起，而可以进行机械性地拆装。因此，根据本实施例，可以按照被测试元件750种类的变更，而更换种类对应部位508，在需要的最小更换范围内，可以测试各种种类的被测试元件750。

连接器704是基板嵌合连接器的一实施例，当共通母板506与测试头504连接时，与连接器702嵌合在一起。据此，共通母板506根据是否使连接器702与连接器704嵌合在一起，相对于测试头504，而可以进行机械性地拆装。

而且，多个电缆706是传送电缆的一实施例，通过连接器704与连接器614的连接，在连接器704与连接器614之间传送应该传送的信号。传送信号例如是测试信号以及被测试元件750的输出信号中的至少一方的信号。

据此，电缆元件708在插座612及测试模组604之间传送信号。因此，根据本实施例，可以在测试模组604与被测试元件750之间适当地传递传送信号。

在这里，如果利用焊接，电性地连接种类对应部位508与共通母板506，按照被测试元件750的种类，更换种类对应部位508是很困难的。但是，根据本实施例，由于种类对应部位508与共通母板506经由连接器710与连接器614而相连接，可以适当地安装种类对应部位508，并可以更换。而且，连接器710在设置连接器614的预先规定的位置上与连接器614嵌合。此时，即使在被测试元件750的种类不同的情况下，也可以共通使用共通母板506。据此，如图1所示，测试装置500可以适当地测试多种种类的被测试元件750。

而且，如果用焊接把电缆706的一端或者另一端与种类对应部位508或者共通母板506连接，在焊接的部位，有时会产生例如阻抗等不匹配的问题，而不能正确地传送信号。但是，根据本实施例，电缆706经由连接器614以及连接器704而与种类对应部位508以及测试头504连接。所以，根据本例，通过在连接器614及连接器704中使阻抗匹配，可以适切地传送信号。而且，通过使用连接器614及连接器704，可以对多个电缆706进行高密度地配线。

测试头504可以与测试模组604对应，而设有多个连接器702。而且，共通母板506可以与连接器702对应，设有多个电缆元件708。种类对应部位508可以与电缆元件708对应，设有多个连接器710。

此外，连接器710、614、704、702还可以具有50Ω左右的阻抗。连接器710、614、704、702相对于100ps左右的周期的信号，具有3％以下的反射率是较为理想的。连接器710与连接器614具有可以进行5000次以上的拆装的耐久性是较为理想的。连接器704与连接器702具有可以进行2500以上的拆装的耐久性是较为理想的。

信号端子728、726、724、722可以设置为例如0.45mm2以上的信号密度的密度。信号端子728与信号端子726的连接电阻、以及信号端子724与信号端子722的连接电阻在85MΩ以下是很理想的。电缆706具有49～51Ω左右的阻抗，对于3GHz左右的信号，具有-2dB/m以下的衰减量的特性是很理想的。

此时，例如，可以适当地传送2.133Gbps以上的高速信号。而且，可以对电缆706进行与焊接时相比1.5倍以上的高密度地配线。根据本实施例，可以适当地测试被测试元件750。

请参阅图5所示，其是连接器710、连接器702以及电缆元件708的详细结构。而且，除了以下的说明点外，在图5中附带与图4中相同符号的结构，具有与图4同一或者相同的功能，所以省略说明。

在本实施例中，连接器710设有多个信号端子728。各个信号端子728是同轴端子，包含芯线744及遮护板746。如图4所示，芯线744是插座侧芯线的一实施例，与被插座612保持的被测试元件750的端子752电性地连接。据此，芯线744经过插座612，在与被测试元件750之间传送信号。遮护板746是插座侧遮护板的一实施例，被设置包围在芯线744周围。此时，与信号端子728对应的各个遮护板746在连接器710中相互电性独立，分别包围着与相同信号端子728对应的芯线744的周围。

连接器702设有多个信号端子722。各个信号端子722是同轴端子，包含芯线732及遮护板734。芯线732是基板侧芯线的一实施例，与测试模组604电性地连接。据此，芯线732在测试模组604之间传送信号。遮护板734是基板侧遮护板的一实施例，被设置包围在芯线732的周围。此时，与信号端子722相对应的各个遮护板734在连接器702中相互电性独立地分别包围在与相同信号端子722相对应的芯线732的周围。遮护板734例如与测试模组604连接，在测试模组604内接地。

电缆元件708设有多个连接器614、704以及多个电缆706。连接器614设有多个信号端子726。各个信号端子726为同轴端子，包含芯线740及遮护板742。芯线740为传送芯线的一实施例，当连接器710与连接器614嵌合时，与芯线744连接，在与芯线744之间传送传递信号。遮护板742是传送遮护板的一实施例，被设置包围在芯线744的周围。此时，与信号端子726相对应的各个遮护板742在连接器614中相互电性独立地分别包围在与相同的信号端子726相对应的芯线的周围。当连接器710与连接器614嵌合时，遮护板742与遮护板746连接。

连接器704设有多个信号端子724。各个信号端子724为同轴端子，包含芯线736与遮护板738。芯线736是传送芯线的一实施例，当连接器704与连接器702嵌合时，与芯线732连接，并在与芯线732之间传送信号。遮护板738是传送遮护板的一实施例，被设置包围在芯线736周围。此时，与信号端子724相对应的各个遮护板738在连接器704中相互电性独立且分别包围在与相同的信号端子724相对应的芯线736周围。当连接器704与连接器702嵌合时，遮护板738与遮护板734连接。

电缆706与信号端子726、信号端子724连接。而且，各条电缆706具有传送线754及遮护板756。

传送线754的一端及另外一端与芯线740及芯线736连接。因此，当各个连接器614及连接器704分别与各个连接器710及连接器702嵌合时，传送线754与芯线744及芯线732电性地连接。据此，传送线754在芯线744与芯线732之间传送信号。

遮护板756是电缆遮护板的一实施例。在各条电缆706中，各个遮护板756在连接器706与连接器704之间相互电性独立并包围在相同电缆706中的传送线754之周围。而且，遮护板756的一端及另一端与遮护板742及遮护板738连接。因此，当各个连接器614及连接器704分别与各个连接器710及连接器702嵌合时，遮护板756与遮护板734电性地连接。

如上所述，在电缆元件708中，在各个信号端子726中的芯线740分别与各条电缆706中的传送线754连接。而且，在各个信号端子724中的芯线736分别与各条电缆706中的传送线754连接。

而且，各个信号端子726中的遮护板742分别与各条电缆706中的遮护板756与各个遮护板746连接。各个信号端子724中的遮护板738分别与各个遮护板756以及各个遮护板734连接。

据此，如图1所示，本实施例中的测试装置500在测试模组604与端子752之间，在保持同轴结构的同时传送信号。因此，根据本实施例，在测试模组604与被测试元件750之间，可以高精度地传送信号。而且，据此可以高精度地进行被测试元件750的测试。

并且，在本实施例中，信号端子728及信号端子726的一端为阳型端子，另一端为阴型端子。而且，信号端子724及信号端子722的一端为阳型端子，另一端为阴型端子。根据本实施例，可以适当地连接测试模组604与被测试元件750。

请参阅图6所示，其是测试模组604的结构的一实施例与电缆706及插座612。而且，除了以下的说明点外，在图6中，附带与图4或者图5中相同的符号的结构，具有与图4或者图5中的结构同一的或者相同的功能，所以省略说明。在本实施例中，测试模组604设有驱动器接脚802、I/O接脚804、以及接脚控制部位816。测试模组604可以具有多个驱动器接脚802以及/或者多个I/O接脚804。

驱动器接脚802包含驱动器810、电阻812以及多个开关806、808。驱动器810根据接脚控制部位816的指示，输出测试信号。在本实施例中，驱动器810经过开关806以及电缆706a，向被测试元件750的端子752a施加测试信号。端子752a可以为被测试元件750的输入端子。

开关806设置在驱动器810的输出端与连接器702之间，切换是否向电缆706a输出驱动器810的输出。开关806例如经由根据接脚控制部位816的指示开启及闭合，来规定向被测试元件750施加测试信号的时间。据此，驱动器接脚802向被测试元件750例如供给与测试信号相应的测试模式。

开关808经过电缆706b，与端子752a连接。据此，开关808经过电缆706a、b接收驱动器810输出的测试信号。而且，开关808会向一端接地的电阻812的另一端施加接收的信号。据此，驱动器接脚802通过DTL(Dual Transmission Line)配线与端子752a连接。此时，经由使在端子752a中反射的测试信号降低，可以高精度地传送测试信号。而且，据此可以高精度地控制施加测试信号的时间。此外，开关808例如与开关806同步，根据接脚控制部位816的指示进行开启及闭合。

I/O接脚804包含驱动器810、电阻812、多个开关806、808以及比较器814。在I/O接脚804中，各个开关806及开关808经过各条电缆706c、d，与被测试元件750的端子752b连接。端子752b可以为被测试元件750的输入输出端子。驱动器810经由开关806及电缆706c，向端子752b施加测试信号。

而且，比较器814经过电缆706d及开关808接收被测试元件750而向端子752b输出的输出信号，并取样此输出信号。而且，比较器814向接脚控制部位816施加取样后的值。据此，I/O接脚804会检测被测试元件750的输出信号。

而且，例如，当驱动器810输出测试信号以及比较器814取样被测试元件750的输出信号等情况下，开关808会开启。关于上述以外的情况，在I/O接脚804中的驱动器810、电阻812以及开关806、808，可以具有与驱动器接脚802中的驱动器810、电阻812、以及开关806、808同一或者相同的功能。

接脚控制部位816例如根据主机架502的指示，使驱动器810输出测试信号。而且，接脚控制部位816接收比较器814取样后的值并向主机架502供给。根据本实施例，对于被测试元件750，可以适当地进行信号的输入、输出。

而且，近年来随着电子元件的操作速度逐渐高速化，传送线路也要求高性能。根据本实施例，如图5所示，经由使用连接器702、704、614、710，可以高密度地安装电缆706，所以会节省配线数，可以用DTL配线连接驱动器接脚802以及/或者I/O接脚804与被测试元件750。此时，可以使端子752上的反射降低，适当地供给测试信号。因此，根据本实施例，可以高精度地测试被测试元件750。

请参阅图7所示，其作为连接器702(如图5所示)一实施例的插头连接器100的结构。插头连接器100，一端与插座侧的连接器连接，另一端通过安装在插头侧基板200的一边，由此在插座侧的连接器与插头侧基板200之间，中转电子信号。而且，如图5所示在本实施例中，插座侧的连接器为连接器704；而且，插座侧基板200为测试模组604。

插头侧基板200设有传送信号的多个基板信号线202以及接地的基板接地线204。基板信号线202是传送信号的信号配线的一实施例，而基板接地线204是接地配线的一实施例。而且，插头连接器100包括插头侧骨架50及多个插头信号端子10。在本实施例中，如图5所示，插头信号端子10作为信号端子722之用。

请参阅图7(a)～图7(c)所示，其表示从与插头侧基板200的表面垂直方向观察的插头连接器100。图7(b)表示从与作为插座侧连接器的接合面的连接器接合面垂直方向观察的插头连接器100。在本图中，插头侧骨架50a与插头侧骨架50b两个重迭。图7(c)表示从在图7(b)中箭头所示A方向观察的插头侧骨架50a。

插头侧骨架50把在与连接器接合面近似平行方向上形成的近似长方形的面作为上表面，在与该上表面近似垂直的方向，延伸长度略短于插头信号端子10的长度而形成的。插头侧骨架50设有多个通孔、两个定位部件52、两个侧面56、以及多个凸起部位58。

通孔54在与插头侧骨架50的上表面近似垂直，并面向上表面的内面方向上贯通、形成近似圆筒状。各个插头信号端子10分别插入通孔54中。据此，插头侧骨架50保持着多个信号端子。

而且，通孔54在插头侧骨架50的上表面，在预先规定的方向上，按照略等间隔呈列状配置。这些通孔54形成了相互平行的两列--第1列与第2列。据此，插头侧骨架50把各个信号端子10中的至少一部分排列在相互平行的第1列与第2列上并予以保持。

进而，通孔54形成在连接形成于第1列上的相邻的两个通孔54的线段的各自的近似中心的线段的近似垂直2等分线上，配置了第2列中的一个通孔54的近似中心点配置的梳齿配置。据此，插头侧骨架50经由在相互平行的第1列与第2列上排列的梳齿配置，而对信号端子10在两列上进行排列并保持。而且，在本图中，插头侧骨架50在第1列与第2列的各自的两端分别保持数个插头信号端子10。

在插头侧骨架50中，在插头信号端子10的轴的方向及排列方向上分别平行地形成两个侧面56。侧面56包含多个凸起部位58。多个凸起部位58在保持插头信号端子10的各自位置，与侧面56垂直的方向上，分别突出，包围插头信号端子10且在插头信号端子10的轴的方向上延伸而成。据此，侧面56成为具有凹凸的波状。在相邻的凸起部位58的间隙中形成的凹陷，收纳了在其他插头侧骨架50上所形成的凸起部位58的突起。而且，凸起部位58与凹陷部位可以形成为台状、矩形状或者曲面状等。

进而，在本实施例中，插头侧骨架50在第1列及第2列上分别并列保持数量相同的信号端子10。据此，两个插头侧骨架50分别使在各个侧面56上形成的波状凹凸结构，由此就可以适当地相互重合。

两个定位部件52为了分别与配置在第1列及第2列的各自一端上的插头信号端子10相邻，并夹持插头信号端子10进行对置，而在与插头信号端子10一起成为梳齿配置的位置上，从插头侧的骨架50的表面向插头信号端子10的轴的方向突出设置。据此，规定了与插头连接器100连接的插座侧连接器的位置。

而且，为了在数量相等排列的梳齿配置的两列的各自两端上相对配置两个定位部件52，定位部件52要与上表面的近似中心点相对，成为近似对称。据此，两个定位部件52可以与插头连接器100及插座侧的连接器稳定连接。而且，插头侧骨架50可以具备两个以上的定位部件。

而且，如图5所示：插头连接器100可以作为连接器710之用；此时，插头连接器100与连接器614连接；而且，插头信号端子10作为信号端子728之用。如图4所示，插座612可以与基板信号线202及基板接地线204一样，设有信号配线及接地配线。

请参阅图8所示，其是插头信号端子10的详细结构的一实施例。插头信号端子10具有插头信号芯线12、插头芯线用遮护板14、绝缘部件17、插头信号电极16、两个插头接地电极18以及圆周状延伸部位19。在本实施例中，如图5所示，插头信号芯线12及插头芯线用遮护板14作为芯线732及遮护板734之用；插头信号芯线12及插头芯线用遮护板14可以作为芯线744及遮护板746之用。

插头信号芯线12例如利用金属等导体，拉伸为线状而制成的。插头芯线用遮护板14与通孔54(如图7所示)大致相同的内径而形成圆筒状。利用与插头信号芯线12绝缘的导体制成了长于插头信号芯线的插头芯线用遮护板14，在插头信号芯线12的轴的方向延伸包围插头信号芯线12。

绝缘部件17例如是树脂等绝缘体，填充在插头芯线用遮护板14与插头信号芯线12之间的缝隙中。据此，插头芯线用遮护板14与插头信号芯线12电子绝缘。

插头信号电极16与插头信号芯线12的轴的方向近似平行，从插头信号芯线12延伸而成的。而且，两个插头接地电极18从插头芯线用遮护板14沿着轴的方向延伸，包围插头信号电极16相互对向形成。

圆周状延伸部位19在插头芯线用14的表面的一部分上以及在插头信号芯线12一端的附近，延伸为包围信号芯线12的圆周状，从包围信号芯线12的内面向着信号芯线12突出形成的。

请参阅图9(a)～图9(c)所示，其表示插头芯线用遮护板14及插头接地电极18的详细结构的一实施例。图9(a)表示从面向插头侧基板200(如图7所示)表面的方向观察时的插头芯线用遮护板14及插头接地电极18。图9(b)表示从A方向观察时的插头芯线用遮护板14及插头接地电极18。图9(c)表示从B方向观察时的插头芯线用遮护板14及插头接地电极18。插头芯线用遮护板14包含突起11及棘爪15。

突起11是从插头芯线用遮护板14的表面向该表面的外侧突出形成的。突起11在插入插头信号端子10(如图8所示)的通孔54(如图7所示)的内侧面，将插头信号端子10相对插头侧骨架50隔开。

棘爪15是从插头芯线用遮护板14的表面向表面的内侧延伸形成的，保持绝缘部件17(如图8所示)。据此，绝缘部件17会固定插头芯线12(如图8所示)。如此，在本实施例中，在与插头芯线用遮护板14绝缘的状态下，可以把插头信号端子10确实固定在插头侧骨架50上。

请参阅图10(a)～图10(b)所示，其表示的是插头侧基板200的详细结构的一实施例。图10(a)表示插头侧基板200的表面。图10(b)表示从与连接器接合面垂直方向观察时的插头侧基板200。

插头侧基板200是与插头信号端子10的轴的方向近似平行的、例如近似长方形的基板。在插头侧基板200的表面上设有多个基板信号线202a及多个基板接地线204a，在内面上设有多个基板信号线202b及多个基板接地线204b。各个基板信号线202相互电性独立设置，而各个基板接地线204则接地。

各个基本信号线202a和基板信号线202b配置在与插头信号端子10构成的梳齿排列相同的排列进行配置。据此，插头侧基板200适当地连接插头信号端子10。

请参阅图11所示，其表示利用图7(b)说明的插头连接器100的B-B截面图。第1列中的插头信号端子10的插头信号电极16a与第2列的插头信号端子10的插头信号电极16b包围插头侧基板200a并相对。据此，在第1列中的各个插头信号端子10的插头信号电极16a与在插头侧基板200a的表面形成的各个基板信号线202a(如图10(b)所示)接触，在第2列中的各个插头信号端子10的插头信号电极16b与插头侧基板200a的内面上形成的各条基板信号线202b(如图10(b)所示)接触。同样，在第1列中的插头接地电极18(如图8所示)与在基板表面形成的基板接地线204a(如图10(b)所示)接触，第2列中的接地电极18(如图8所示)与基板内面上形成的基板接地线204b(如图10(b)所示)接触。

如此，插头信号端子10分别与各条基板信号线202对应设置。而且，插头信号电极16与插头信号芯线12及与该插头信号端子10对应的基板信号线202电性地连接，插头接地电极18分别与插头芯线用遮护板14及基板接地线204电性地连接。据此，可以向插头侧基板200传送插头信号芯线12接收的信号。

请参阅图12(a)～图12(b)所示，其表示的是作为连接器702(如图5所示)其他事例的插座连接器300的结构。图12(a)表示从与连接器接合面垂直的方向观察时的插座连接器300。图12(b)表示从A方向观察时的插座连接器300。

插座连接器300为安装在插座侧基板250上的连接器，它包围插座连接器300，与和插座侧基板250相对的插头连接器100(如图7所示)连接。插座连接器300具备插座侧骨架60及多个插座信号端子20。

而且，在本实施例中，插头连接器100作为连接器704(如图5所示)之用。此时，插头连接器100例如代替插头侧基板200(如图7所示)，与多个电缆706(如图5所示)连接。而且，插座信号端子20作为信号端子722使用。插座侧基板250可以为测试模组604(如图5所示)。关于上述以外的情况，本实施例中的插头连接器100可以设有与图7～图9中说明的插头连接器100同一或者相同的功能。插头信号芯线12(如图8所示)以及插头芯线用遮护板14(如图8所示)可以代替插头侧基板200，与传送线754以及遮护板756(如图5所示)连接。

插座侧骨架60是由把与重迭配置的两个插头侧骨架50(如图7所示)上表面的形状几乎相同的面作为上表面，与上表面近似垂直，且延伸至与插座信号端子20近似长度而形成的。插座侧骨架60设有四个定位孔60、多个容纳部位64、四个骨架通孔66以及铆钉68。

定位孔62与插头连接器100上设置的4个定位部件52(如图7所示)相对应，从插座侧骨架60的上表面向上表面的内面，贯通插座侧骨架60而形成的。4个定位孔62与四个定位部件52相结合。据此，定位部件52及定位孔62可以正确规定相对于插头侧骨架50的插座侧骨架60的位置。

各个收纳部位64分别收纳插座信号端子20。而且，各个收纳部位64分别收纳插头信号芯线12与插头芯线用遮护板14中的一部分。据此，插座侧骨架60保持插座信号端子20。在本实施例中，各个收纳部位64与在各个被插头侧骨架50保持的插头信号端子10(如图7所示)相对位置上，在四列的梳齿配置分别保持插座信号端子20。

4个骨架通孔66在插座侧骨架60上包围梳齿配置的4列，每两个相对，从插座侧骨架60的上表面贯通至内面，设置为近似圆筒状。

铆钉68利用例如钢或者铝等材料，制成与骨架通孔66的内径近似同直径的圆筒状。铆钉68与插头连接器100相对的一端被收纳在骨架通孔66中，另一端从插座侧骨架60向插座侧基板250的方向插入骨架通孔66及插座侧基板250具有的基板通孔中，从插座侧基板250的内面突出。

在这里，基板通孔252被设置为在插座侧基板250上，与骨架通孔66相对应，从与插座侧骨架60相对的表面向内面贯通。

在铆钉68的拧紧操作中，与插头连接器相对的铆钉68的一端被配置在不从插座侧骨架60的上表面突出的位置，从插座侧基板250的内面突出的另一端例如通过铆接而被击溃。据此，铆钉68把插座侧骨架60固定在插座侧基板250上，不会影响相对的插头连接器100与铆钉68的一端。

而且，插座连接器300可以作为连接器710(如图5所示)之用。此时，插座信号端子20可以作为信号端子728(如图5所示)之用。

请参阅图13(a)～图13(b)所示，其表示的是插座连接器300的详细结构的一实施例。图13(a)表示图12(b)中的插座信号端子20的B-B截面图。图13(b)表示图13(a)中的C-C截面图。插座信号端子20具有插座信号芯线22、插座芯线用遮护板24、插座信号电极26、半圆周部位23、插座接地电极28以及半圆状延伸部位29。插座信号端子26及插座接地电极28，与插座侧基板250(如图12(b)所示)，例如表面上具有的基板信号线及基板接地线连接。

而且，插座信号芯线22、插座芯线用遮护板24及半圆状延伸部位29可以具有利用图8中说明的插头信号端子10中的插头信号芯线12及插头芯线用遮护板同一或者相同的功能。

半圆部位23是在插座芯线用遮护板24中形成的半圆状的遮护板。而且，半圆状延伸部位29对于形成圆周状延伸部位19，除了在半圆周部位23中形成半圆周状以外，具有与圆周状19相同的功能。

请参阅图14(a)～图14(c)所示，其表示的是插座信号芯线22及插座芯线用遮护板24详细结构的一实施例。图14(a)表示从与连接器接合面近似垂直的方向观察时的插座芯线用遮护板24。图14(b)表示从与图13(a)的C-C的截面图垂直的方向观察时的插座芯线22。图14(c)表示从同一方向观察时的插座芯线用遮护板24。

半圆部位23在插座芯线用遮护板24中，在插座接地电极28的近端部的附近形成，几乎半包围着插座信号芯线22。

插座信号电极26沿与插座信号端子20(如图12所示)的轴的方向近似垂直，从插座信号芯线22向插座芯线用遮护板24背离的方向延伸而形成。

两个插座接地电极28从插座芯线用遮护板24向与半圆部位23的圆弧方向面向弦方向的半月方向延伸，夹持插座信号电极26相互对置，与插座信号电极26的延伸方向分别近似平行而形成的。

而且，在收纳部位64(如图13所示)中，插座信号芯线22插入至插座芯线用遮护板24的内侧。插座信号芯线22与插座芯线用遮护板24利用在插座芯线用遮护板24的内侧填充的树脂等绝缘物进行电绝缘。

插座侧骨架60是利用例如树脂等物质制成的。而且，插座芯线用遮护板24被制成少一部分的半圆状。据此，插座芯线用遮护板24内侧的绝缘体与包围插座芯线用遮护板24外侧的插座侧骨架60的树脂在此欠缺的部位连接，成为一体。据此，可以很简单且便宜地制造出插座侧骨架60。

请参阅图15(a)～图15(b)所示，其表示的是插座侧骨架60的详细结构的一实施例。图15(a)表示从与插座侧基板250(如图12(b)所示)的表面近似垂直的方向观察时的插座侧骨架60。图15(b)更加详细地表示插座信号端子20。

多个插座信号端子20将各个插座信号电极26的延伸的方向朝向预先规定的排列方向，并沿该排列方向并列配置。在本实施例中，各个插座信号端子20将半月方向朝向排列方向分别进行配置。

此时，在各个插座信号端子20上且在插座信号端子20中半月方向上形成的开放空间，被在半月方向上相邻的其他半圆部位23几乎完全遮蔽。据此，在插座连接器300中，可以减轻例如来自相邻的插座信号端子20的串音等的杂音的影响。

请参阅图16(a)～图16(c)所示，其表示的是插座连接器300的结构的其他事例。图16(a)表示的是从与连接器接合面近似垂直的方向观察的插座连接器300。图16(b)表示的是从A方向观察时的插座连接器300。图16(c)表示的是从与插座侧基板260的表面近似垂直的方向观察时的插座侧骨架60。而且，附带与图12中相同符号的结构，具有与图12中的结构同一或者相同的功能，所以，除了以下的说明点以外，其余省略说明。

在配置为梳齿阵列的收纳部位64规定的位置形成了收纳铆钉68的四个骨架通孔66。在本实施例中，四个骨架通孔66被设置在可以在与连接器接合面相对的方向上与处于180度旋转状态的插头连接器100嵌合的位置上。

插座侧基板260在与插座侧骨架60上的骨架通孔66对应的位置上，具有从与插座侧骨架相对的表面向内面贯通而设置的基板通孔262。在本实施例中，利用插入至基板通孔262的铆钉68，确实固定插座侧骨架60与插座侧基板260。

请参阅图17所示，其表示的是插头信号端子10与插座信号端子20嵌合状态的截面图。插头信号端子10以及插座信号端子20可以设有例如与信号端子722及信号端子724(如图4所示)的一端以及另一端同一或者相同的功能。插头信号端子10及插座信号端子20可以设有与信号端子728及信号端子726(如图4所示)的一端及另一端同一或者相同的功能。

在本实施例中，插头信号端子10为阳型端子，包括插头信号芯线12及插头芯线用遮护板14。而且，插座信号端子20为设有与阳型端子嵌合的形状的阴型端子，设有插座信号芯线22及插座芯线用遮护板24。

当插头信号端子10插入插座信号端子20中时，插座信号芯线22在与插头信号芯线12外面接触的内面上，受到弹力作用而挤压外面。插座芯线用遮护板24在与插头芯线用遮护板14的外面接触的内面，受到弹力作用，挤压该外面。据此，插座信号芯线22及插座芯线用遮护板24与插头信号芯线12及插头芯线用遮护板14确实嵌合在一起。

在本实施例中，当插头连接器100与插座连接器300连接，结果插头式信号端子与插座式信号端子20连接时，与插头式信号芯线12和插座式信号芯线22的接触相比，插头芯线用遮护板14和插座芯线用遮护板24首先接触。

而且，随着插头芯线用遮护板14的前端插入至在插座芯线用遮护板24的内部上的预先规定的位置的期间中，借助于随着该前端进入至插座芯线用屏蔽层24之内而逐渐增加的弹力，插座式芯线用遮护板24会挤压插头式芯线用遮护板14的外表面。一旦插头式芯线用遮护板14的前端插入预先规定的位置，插座式芯线用遮护板24挤压插头式芯线用遮护板14的外表面的弹力会成为一个近似一定的值。插头芯线用遮护板14的前端插入预先规定的位置后，插头式信号芯线12会与插座式信号芯线22连接。

据此，在插座式芯线用遮护板24停止扩大后，插头式信号芯线12会插入插座式信号芯线22，例如可以降低插头式信号端子10插入插座式信号端子20的力量。而且，可以防止插头式信号芯线12的折断、弯曲等问题的产生。

而且，在本实施例中，与信号端子相比遮护板首先接触，由此就可以使插头信号端子10上所带的静电向地线传送来保护电子电路，以及在预先规定了电源接通顺序的DUT中，保护DUT。

如此，相对于插头式信号芯线12及插头式芯线用遮护板14，插座式信号芯线22及插座式芯线用遮护板24分别嵌合在一起。而且，插头式信号端子10与插座式信号端子20完全电子及物理连接。

而且在本实施例中，形成了插座式芯线用遮护板24，从AA截面面向BB截面，与插头式芯线用遮护板14之间的距离稍微扩大了一些。据此，插座式芯线用遮护板24具有弹力且可以移动。在此可移动的空间中，在插头式芯线用遮护板14与插座式芯线用遮护板24之间，会产生没有填充插座侧骨架60的树脂等绝缘物的缝隙。同样，在插头式信号芯线12与插座式信号芯线22之间，也会产生没有填充树脂等绝缘物的缝隙。因此，在AA截面至BB截面中的、插头式信号端子10与插座式信号端子20之间的嵌合面的阻抗值与其他填充了树脂等绝缘物的部位的嵌合面的阻抗值相比，会变大。

但是，在本实施例中，通过缩小插头式信号芯线12与插头式芯线用遮护板14之间的距离，图8中说明的圆周状延伸部位19的槽会向降低插头式信号端子10中的阻抗值的方向弥补。同样，通过缩小插座式信号芯线22与插座式芯线遮护板24之间的距离，图13中说明的半圆状延伸部位29的槽可以向降低插座式信号端子20中的阻抗值的方向弥补。据此，在本实施例中，可以降低由于阻抗值的不匹配而产生的信号的劣化。

而且，在本实施例中，插头式信号端子10为阳型端子，插座式信号端子20为阴型端子，在其他事例中，插头式信号芯线12及插头式芯线用遮护板14、与插座式信号芯线22及插座式芯线用遮护板24中的任何一方可以为阳型端子，而另一方为阴型端子。

请参阅图18(a)～图18(b)所示，其表示插头式信号端子30结构的其他事例。图18(a)表示插头式信号端子30结构的一实施例。图18(b)表示对于轴的方向进行90度旋转时的插头式信号端子30的结构的一实施例。在本实施例中，插头式信号端子30为插头侧的连接器，被插头侧的骨架保持。插头式信号端子30具备了插头式信号芯线32、第1遮护板34、突出部位36以及第2遮护板37。

在本实施例中，插头式信号端子30例如作为信号端子724或者信号端子726(如图4所示)之用。此时，作为连接器702或者连接器710(如图4所示)，例如，可以使用插座连接器300(如图12、图16所示)。

插头式信号芯线32是利用例如金属导体延伸为线状而制成的。在插头式信号芯线32中，与同轴电缆400相对的一端与同轴电缆400的中心导体电性地连接。而且，在本实施例中，同轴电缆400可以作为电缆706(如图5所示)使用。同轴电缆400的中心导体可以为传送线754(如图5所示)。

第1遮护板34从插头式信号芯线32的前端附近，在插头式信号芯线12的轴的方向上延伸，由与插头式信号芯线32电子绝缘的导体制成，并包围着插头式信号芯线32。第1遮护板34收纳在插头侧骨架所具有的与第1遮护板34几乎相同直径的通孔等中。

突出部位36在与插头式信号芯线32背离的方向上突出，并从第1遮护板34的终端延伸而形成的。据此，插头式信号端子30，在插头侧骨架的表面上被隔开。在本实施例中，插头侧的骨架是与例如图12或图15中说明的插座式信号端子20相对应地配置，保持插头式信号端子30。

第2遮护板37从前端在轴的方向上延伸，由与插头式信号芯线32电子绝缘的导体制成，包围着插头式信号芯线32。第2遮护板37的前端与第1遮护板34相对配置，在突出部位36的附近，插入至插头式信号芯线32与第1遮护板34之间。第2遮护板37的另一端与同轴电缆400相对配置。例如经由焊接等方法，使同轴电缆400的外部导体与第2遮护板37电性地连接。

如上所示，构成的插头侧连接器利用插头侧的骨架，可以适当地保持插头式信号端子30。而且，插头侧的连接器可以在应该嵌合的插座侧连接器与同轴电缆400之间适当地中继电子信号。

上面利用实施方式对本发明进行了说明，但本发明的技术性范围并不限定于上述实施方式中记载的范围。对本领域技术人员而言显而易见还可在上述实施方式上追加多种多样的变更或者改进。追加了这种变更或者改进的实施方式也包含在本发明的技术性范围内，根据权利要求的范围的记载将会明了。

从以上的说明可以得知，根据本发明，就能够适当地测试被测试器件。

Claims (14)

1、一种元件介面装置，向一被测试元件施加测试该被测试元件的测试信号，并且接收从该被测试元件输出的输出信号，其特征在于该元件介面装置包括：

一针式电子基板，设有输出该测试信号的驱动器、以及取样该输出信号的比较器；

一基板侧连接器，设置在该针式电子基板端部，设有传送作为该测试信号与该输出信号中的至少一种信号的传送信号的一条或多条基板侧芯线，以及包围一条或多条基板侧芯线而设置的基板侧遮护板；

一插座，保持该被测试元件，并且与该被测试元件的端子接触；

一插座侧连接器，设置在该插座上，设有经过该插座而与该被测试元件之间传送该传送信号的插座侧芯线与包围该插座侧芯线的各条而设置的插座侧遮护板；以及

一电缆单元，在该插座以及该针式电子基板之间传送该传送信号，

其中该电缆单元更包括：

一基板嵌合连接器，与该基板侧连接器相嵌合；

一插座嵌合连接器，与该插座侧连接器相嵌合；以及

一条或多条传送电缆，在该基板嵌合连接器与该插座嵌合连接器之间传送该传送信号，

该传送电缆分别包括：

一传送线，通过电性地连接一条或多条基板侧芯线与该插座侧芯线，在一条或多条基板侧芯线与该插座侧芯线之间传送该传送信号；以及

一电缆遮护板，电性地连接该基板侧遮护板以及该插座侧遮护板且包围在该传送线周围。

2、根据权利要求1所述的元件介面装置，其特征在于所述的基板侧连接器设有所述多条基板侧芯线、以及包围所述多条基板侧芯线而设置的该基板侧遮护板，

上述的插座保持该被测试元件，并且与该被测试元件的各个端子接触，

上述的插座侧连接器具有所述多条的插座侧芯线，以及包围所述插座侧芯线的各条而设置的该插座侧遮护板，

上述的电缆单元包括一条或多条传送电缆。

3、根据权利要求2所述的元件介面装置，其特征在于其更包括在与该插座相对的预先规定的位置上保持该插座嵌合连接器的一连接器保持部位，

该插座侧连接器在预先规定的位置上，与该插座嵌合连接器嵌合在一起。

4、根据权利要求3所述的元件介面装置，其特征在于其更包括：

一母板，包含该电缆单元以及该连接器保持部位；以及

一拆装部位，具有该插座以及该插座侧连接器并且根据是否使该插座侧连接器与该插座嵌合连接器嵌合在一起，来对于该母板进行机械拆装。

5、根据权利要求4所述的元件介面装置，其特征在于其中该拆装部位，对应于该测试元件的种类而形成，在对应的该种类的该被测试元件被测试时，安装在该母板上。

6、根据权利要求4所述的元件介面装置，其特征在于其更包括设有该针式电子基板以及该基板侧连接器的测试头，其中该母板可以根据是否使上述该基板侧连接器与该基板嵌合连接器相互嵌合，对于该测试头进行机械地拆装。

7、根据权利要求2所述的元件介面装置，其特征在于该基板侧连接器包括分别包围在基板侧芯线的各条的周围的、且在该基板侧连接器中相互电性独立的多个基板侧遮护板，

一条或多条传送电缆中的该电缆遮护板在该基板嵌合连接器与该插座嵌合连接器之间相互电性独立，与各个基板侧遮护板分别电性连接。

8、根据权利要求7所述的元件介面装置，其特征在于该基板嵌合连接器更包括：

多条传送芯线，分别与在各条传送电缆中的该传送电线连接；以及

多个传送遮护板，在该基板嵌合连接器中相互电性独立地包围在各条传送芯线的周围，且分别连接各个电缆遮护板与各个基板侧遮护板。

9、根据权利要求7所述的元件介面装置，其特征在于该针式电子基板具有传送该传送信号的一信号配线、以及接地的多条接地配线，

该基板侧芯线由导体拉伸为线状而制成；

该基板侧遮护板在该基板侧芯线的轴的方向延伸，包围该基板侧芯线，以这样的方式由与该基板侧芯线电子绝缘的导体所制成，

该基板侧连接器更包括：

一信号电极，从该基板侧芯线中沿轴向延伸而形成，与该基板侧芯线及该信号配线连接；以及

多个接地电极，从该基板侧遮护板中沿轴向延伸，夹住该信号电极并相互对向形成，连接该基板侧遮护板及接地配线。

10、根据权利要求2所述的元件介面装置，其特征在于该插座侧连接器，设有分别包围在插座侧芯线周围的且在该插座侧连接器内相互电性独立的插座侧遮护板，

各传送电缆中的该电缆遮护板在该基板嵌合连接器与该插座嵌合连接器中相互电性独立，与各插座侧遮护板分别电性连接。

11、根据权利要求10所述的元件介面装置，其特征在于该基板嵌合连接器更包括：

多条传送芯线，与各传送电缆中的该传送电线分别连接；以及

多个传送遮护板，在该插座嵌合连接器内相互电性独立地包围在传送芯线周围，且分别连接电缆遮护板和插座侧遮护板。

12、根据权利要求10所述的元件介面装置，其特征在于该插座设有传送该传送信号的一信号配线及接地的多个接地配线，

该插座侧芯线由导体拉伸为线状而制成，

该插座侧遮护板在该插座芯线的轴的方向上延伸，且由与该插座侧芯线电性绝缘的导体制成，包围着该插座侧芯线，

该插座侧连接器包括：

一信号电极，从该插座侧芯线沿轴向延伸而形成，与该插座侧芯线及该信号配线连接；

多个接地电极，从该插座侧遮护板沿轴向延伸，夹住该信号电极并相互对向形成，与该插座侧遮护板及各接地配线连接。

13、根据权利要求1所述的元件介面装置，其特征在于该基板嵌合连接器包括：

一传送芯线，与该传送电缆中的该传送线相连接，以及

一传送遮护板，在该插座嵌合连接器中包围在该传送芯线的周围，且与该电缆遮护板及该基板侧遮护板连接；其中

该基板侧连接器与该基板嵌合连接器连接时，与该基板侧芯线和该传送芯线连接之前，该基板侧遮护板与该传送遮护板先进行接触。

14、根据权利要求1所述的元件介面装置，其特征在于该插座嵌合连接器包括：

一传送芯线，与该传送电缆中的该传送电线连接；以及

一传送遮护板，在该插座嵌合连接器中包围在该传送芯线周围，且连接该电缆遮护板与该基板侧遮护板，

该插座侧连接器与该插座嵌合连接器连接时，在该基板侧芯线和该传送芯线连接之前，该插座侧遮护板与该传送遮护板先进行接触。

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