CN100390954C - 平板夹持装置 - Google Patents

Abstract

本发明涉及一种夹持装置，尤其是一种可以在制造LCD、PDP或有机EL等平板显示器时固定玻璃基板之类的平板以及在各工序之间移动时有效地支持基板的夹持装置。本发明的平板夹持装置可以夹持基板(12)，基板(12)位于可控升降的底座(10)上面，夹持板(20)在底座上方进行水平运动，在夹持板(20)的底面形成多个孔(22)，再铺设可以密封这些孔的多个弹性膜(24)或弹性板，在弹性膜(24)或弹性板的底面固定粘接膜(26)，弹性膜调节装置使上述弹性膜往下膨胀，弹性板调节装置则可以使弹性板上下运动并弯曲突出。本发明的结构简单，可以在真空中使用，减少耗电量，还可以发挥轻易夹持较大面积平板的效果。

Description

平板夹持装置

技术领域

本发明涉及平板(flat panel)夹持装置，尤其是一种可以在制造LCD、PDP或有机EL等平板显示器时固定玻璃基板之类的平板以及在各工序之间移动时有效地支持基板的夹持装置。

背景技术

一般来说，平板显示器主要包括液晶显示器(LCD)、PDP及有机EL(Organic Electroluminescence)。LCD需要额外的光源，并且在亮度、对比度、视角及大面积化上存在着技术限制，因此人们最近对有机EL的研究颇为活跃。有机EL可以由低电压驱动，能够自我发光、轻而薄、视野广阔、响应敏捷。

上述平板显示器是针对由玻璃等物质所构成的基板进行沉积等一系列的工序后制成的。该平板被基板夹持器(holder)固定后需要通过各种类型的沉积工序，这时，基板夹持器需要支持基板的沉积面并使其朝下。该夹持工作对沉积工序的精度起着重要的影响，例如，基板应该在夹持状态下维持良好的平面度。此外，为了提高作业性与缩短作业时间，基板的装卸应简单明了。

现有的平板夹持方法，以使用真空吸盘(vacuum chuck)或静电吸盘(electrostatic chuck)的方法最为普遍。

真空吸盘是一种把吸盘靠在平板后面并从平板背面吸入吸盘里的空气，利用两者之间的气压差夹持平板的方法。这种方法不能适用于大部分时间都在真空状态下进行的沉积等工序，而且其结构也嫌复杂。也就是说，由于灰尘、水蒸气及氧气等杂质是导致平板显示器不良率上升的主要原因，因此需要在真空状态进行作业，然而真空吸盘在这种真空设备上是不起作用的。

另外，静电吸盘是一种利用静电力吸附(粘附)平板的方法，它让电流通过平板背面使其生成电场(electric field)，然后利用电场使由玻璃等材料构成的平板带电(electrify)，进而利用它的静电力(electrostatic force)吸附(粘附)平板。这种方法可以在真空状态下使用，却包含着下列缺点：为了吸附面积较大的平板，静电吸盘需要维持较大的电场，因此它的耗电量很大；为了在各种类型的沉积工序中持续供应电流而需要使用复杂的机械装置；电流在基板形成了电场，该电场对需要沉积到平板上的物质(例如化学物质等沉积物)造成影响并进而降低其性能。

尤其是，为了分离基板而停止电流供应时，由于无法立即消除带电平板里的电荷(charge)，使分离作业遭遇困难。

发明内容

本发明针对上述现有技术的缺点提出了结构简单并可以在真空中使用的平板夹持装置。

本发明提供的平板夹持装置可以减少耗电量，并且在维持良好平面度的情况下轻易地夹持面积较大的平板。

为了实现上述目的，本发明所提供的平板夹持装置可以夹持基板，基板位于可控升降的底座上面，夹持板在底座上方进行水平运动，在夹持板的底面形成多个孔，再铺设可以密封这些孔的多个弹性膜或弹性板，在弹性膜或弹性板的底面固定粘接膜，弹性膜调节装置使上述弹性膜往下膨胀，弹性板调节装置则可以使弹性板上下运动并弯曲突出。

上述弹性膜调节装置把上述各孔连接到一个出口上，通过对出口的空气供应量以弹性膜为边界维持上下两边的压力差。

在其它实施例中，位于升降板的上述弹性膜调节装置可以在夹持板的上方进行垂直运动，升降板中朝下的多个孔里伸出多个延长管并分别插入上述夹持板底面形成的孔内，延长管的底面则被独立的弹性膜密封。上述各延长管连接到一个出口上，通过对出口的空气供应量以弹性膜为边界维持夹持板上下两边的压力差。

在其它实施例中，位于升降板的上述弹性膜调节装置可以在夹持板的上方进行垂直运动，升降板中朝下的多个孔里伸出多个延长管并分别插入上述夹持板底面形成的孔内，上述延长管里则插入电磁阀并根据电气信号使弹性膜膨胀。

上述每个电磁阀采用了由用于粘附基板的外部电磁阀与用于分离基板的内部电磁阀组成的双重结构。

上述弹性膜使用了软质合成树脂，它的延伸率高，与每个孔的形状相同，在孔的边缘进行粘接(Bonding)结合。

上述粘接膜的中央部位是非粘接部，它可以使分离动作变得简单。

上述弹性膜与粘接膜可以是4角以上的多角形或长方形。

另一方面，本发明的平板夹持装置可以夹持位于可控升降的底座上面的基板，它也可以由下列主要单元组成：在底座上方可以水平运动，其内部的多个孔里分别有对向挡肩的夹持板；其两端是可以挂在上述挡肩上的挡片，其底面在弯曲进入夹持板底面内部的突入位置和弯曲突出于夹持板底面的突出位置之间进行弹性变形的弹性板；粘接在弹性板的底面，维持着粘接力并可以粘附基板的粘接膜；在夹持板的上方进行垂直与水平运动，从底面突出的多个动作棒可以分别插入上述孔的粘接板；在夹持板的上方进行垂直与水平运动却不与上述粘接板冲突，而且从底面突出的多个动作销可以分别插入上述孔的分离板。

在上述挡片与挡肩之间安装弹簧可以得到更好的效果。

另一方面，本发明的平板夹持装置可以夹持位于可控升降的底座上面的基板，它也可以由下列主要单元组成：在基板上面均匀分布的磁性物体；在上述磁性物体的上方自由移动，其底面安装了与上述磁性板对应的永久磁铁，整个表面上有多个贯通孔的夹持板；位于夹持板上方的分离板，分离板底面有多个可以插入上述贯通孔并与基板的上边干涉的动作销。

上述磁性板利用可以在真空中使用的粘接剂粘接到基板上，或者通过可以在真空中使用并覆盖磁性板且固定于基板的单面粘膜(Film)粘接到基板上。

附图说明

图1是本发明平板夹持装置的第一实施例的结构剖面图。

图2是本发明第一实施例的夹持板结构的底面图。

图3是本发明第一实施例的动作状态图。

图4是本发明第一实施例的基板夹持动作状态图。

图5是本发明第一实施例的基板分离动作局部放大剖面图。

图6是本发明第二实施例的结构剖面图。

图7是本发明第二实施例的动作状态图。

图8是本发明第二实施例的基板分离动作局部放大剖面图。

图9是本发明第三实施例的结构剖面图。

图10是本发明第三实施例的动作状态图。

图11是本发明第三实施例的基板分离动作局部放大剖面图。

图12是本发明第四实施例的弹性膜结构的立体图。

图13是本发明第四实施例的弹性膜与夹持板的结合状态剖面图。

图14是本发明第四实施例的基板粘接动作剖面图。

图15是本发明第四实施例的基板分离动作剖面图。

图16是本发明第五实施例的结构剖面图。

图17是本发明第五实施例中磁性板布置状态的基板平面图。

图18a是本发明第五实施例中磁性板吸附的局部放大剖面图。

图18b是本发明第五实施例中磁性板的其它吸附例的局部放大剖面图。

图19a～图19c是本发明第五实施例的动作剖面图。

<图形主要符号的说明>

10：底座        12：平板

20：夹持板      22：孔

24：弹性膜      26：粘接膜

26a：非粘接部   28：出口

30：调节阀      40，50：升降板

42，52：延长管  44：出口

54：外部电磁阀  56：内部电磁阀

56a：动作杆     80：磁性板

具体实施方式

下面结合附图和适当的实施例对本发明的平板夹持装置做进一步的说明。

图1～图5是本发明的平板夹持装置的第一实施例的例图。图里的底座10是由额外的控制装置来控制其升降的，它可以支承从外部进入的基板12。底座10不仅支承置于其上的基板12，还可把基板举到后述的工作位置，上面安装着空气袋(未图示)等物以便保护基板。这时，如果需要保护基板下面的图样，可以使夹持板的弹性膜朝上，当基板进入夹持板的上面后加以固定，旋转180度后再输送到下一个工序即可。

夹持板20在底座10上方沿着轨道(未图示)做水平运动。夹持板20的形状与四边形相似，它沿着轨道进入位于底座10上方的工作位置，也就是基板12的夹持位置后等待，完成了对基板12的夹持工作后，再沿着轨道移动到下一个工序。

夹持板20的底面有多个具有一定深度的孔22。这些孔22以矩阵的方式均匀分布，每个孔22都连接到位于夹持板20侧面的单一出口28上。

上述每个孔22的末端固定着具有一定弹性的弹性膜24。弹性膜24的边缘被粘接(Bonding)到孔22的入口处并维持着良好的结合状态。该弹性膜24由硅膜等延伸率卓越的材料所组成，它的延伸率与弹性复原力至少可以在任何直径的圆形平面形态延伸到同一直径的半球形后，一旦外力解除即可恢复原来的形态，也就是原先的圆形平面形态。

弹性膜24的底面固定着粘接膜26。粘接膜26的一侧由粘接剂固定在弹性膜24上，另一侧则维持着一定的粘接力。

如图2所示，上述弹性膜24与粘接膜26都是圆形。上述粘接膜26对玻璃之类的材料维持着良好的粘接力，分离时不会在基板面上留下粘性物质。此外，粘性物质可以长时间保持粘接力而呈现半永久性。由于人们对这种粘性物质是耳熟能详的，因此省略了对它的详细说明。

本发明包括了通过上述夹持板20的出口28控制空气量的调节装置30。该调节装置30通过对空气流量的控制以弹性膜24为边界使上下两边产生压力差并进而导致弹性膜变形。

下面针对具有上述结构的本发明的平板夹持装置说明其动作状态。

首先，如图1所示，在底座10下降的情况下，夹持板20来到其上方的工作位置，也就是基板12的夹持位置。这时，只要基板12被输送到底座10上面，底座10就被图中没有显示的驱动装置驱动而上升。

如图3所示，这时调节装置30就会开放夹持板20的出口28。随着出口28被开放，孔22里流入外部空气并造成压力上升，进而驱使弹性膜24膨胀并突出于夹持板20的底面。这时，上述孔里的压力是大气压。由于本发明是安装到真空室里使用的，因此当孔连接到外部的大气压时，相对地使孔内部对其外部(真空部)维持了较高的压力，进而使弹性膜24突出。

因此，朝下突出的弹性膜24将接触到已上升的底座10上的基板12上边，结果就是与弹性膜24底面的粘接膜26接触。底座10的上升动作将在基板12接触到夹持板20的底面之前完成，粘接膜26则由大气压充分地施加压力。

这时，如图4所示，解除夹持板20内的大气压，底座10则回到下降的位置。基板12将继续被粘接膜26粘接到夹持板20，并且沿着未图示的轨道被输送到下一个工序，例如进行荫罩(Shadow Mask)夹持等工序。

下面针对完成沉积工序后使基板12脱离夹持板20的过程加以说明。图5局部放大了执行分离动作的主要单元。完成了沉积工作后，基板12就被输送到分离工序并停止，然后控制阀30被打开并使大气压进入孔22内。弹性膜24将随着孔内压力上升而膨胀，并使基板12逐渐脱离粘接膜26。也就是说，弹性膜24将被压力推压并呈半球状突出，每个粘接部将从边缘起逐渐脱离，等到弹性膜24充分膨胀后将只剩下中央部位粘接在粘接膜上。粘接膜将丧失维持基板12的力量，基板将脱离并回到下面的其它底座上。

另一方面，图6～图8显示了本发明的平板夹持装置的弹性膜调节装置的第二实施例。本实施例中独立的夹持板可以减少输送负荷。

夹持板20的上方有垂直运动的升降板40。升降板40包含了朝下的多个孔，从这些孔里伸出了多个延长管42并分别插入上述夹持板20的孔22内，延长管42的底面安装了其它弹性膜，这些部件构成了一体。每个延长管42连接到位于升降板40侧面的单一出口44上。调节装置30控制了流经上述升降板40出口44的空气量。该调节装置通过对空气量的调节，以延长管的独立弹性膜46为边界使上下两边产生压力差并进而导致下面夹持板20的弹性膜24变形。

下面说明第二实施例的动作。如图6所示，夹持板20进入工作位置，基板12置于底座10上面时，底座10上升，升降板40也同时下降。这时，底座10被输送到夹持板20的底面后停止，延长管42插入夹持板20的孔22内并使粘接膜26粘接到基板12。在这种情形下的动作是与本发明的第一实施例相同的。完成了对基板12的粘接工作后，底座10下降，升降板40上升，回到原先的位置。基板12将继续维持被粘接膜26粘接到夹持板20的状态(未图示)，并且被输送到下一个工序。第二实施例中，使基板脱离夹持板的分离工序除了需要上述位于夹持位置上的升降板以外，还需要结构相同的另一个升降板。也就是说，如图8所示，在分离过程中必须有另一个升降板40才能使基板分离。

在本发明第二实施例中是通过升降板40的升降来控制弹性膜的，因此在工序之间移动时，只有较轻的夹持板20需要被输送工具(未图示)输送，从而降低了移动负荷。尤其是解决了第一实施例中因为空气供应线与夹持板一起移动而可预见的问题。

图9～图11显示了本发明的平板夹持装置的弹性膜调节装置第三实施例。它维持了降低输送负荷的结构，但是把弹性膜调节装置改为利用电气力量进行控制。

夹持板20的上方有垂直运动的升降板50。升降板50包含了朝下的多个孔，从这些孔里伸出了多个延长管42并分别插入上述夹持板20的孔22内，这些部件构成了一体。电磁阀插入这些孔22内，并根据电气信号而使弹性膜24膨胀。上述每个电磁阀采取了由用于粘接基板的外部电磁阀54与用于分离基板的内部电磁阀56组成的双重结构。

下面说明本发明第三实施例的动作。如图9所示，夹持板20进入工作位置，基板12置于底座10上面时，底座10上升，升降板40也同时下降。这时如图10所示，升降板50下降并使延长管52插入孔22内，与此同时，和第一实施例一样支承了基板12的底座10开始上升。在这种情况下，只要收到基板夹持信号，外部电磁阀54就开始动作，它将往下突出并使弹性膜24朝下膨胀。外部电磁阀54动作时，内部电磁阀56将一起移动。这时，弹性膜24将突出到较低的位置，使基板12与粘接膜26互相紧密加压并粘接。

粘接完毕后，升降板50上升，底座10则下降回到原先的位置，只剩下夹持板20和基板一起被输送到下一个工序。

另一方面，需要分离基板12时，内部电磁阀56收到分离信号后就开始动作。这时，外部电磁阀54固定在延长管52内，只有内部电磁阀56突出。因此如图11所示，动作杆56a将推压弹性膜24的中央部位使弹性膜呈逆圆锥形膨胀，进而使基板12脱离。

和第二实施例一样，本发明的第三实施例可以减轻夹持板20的重量并降低移动负荷，而且由于它利用电气控制弹性膜，因此不像第一及第二实施例一样需要供应空气的装置，可以使结构简单化，作业空间清洁化，有效地降低了不良率。

另一方面，本发明在上述的每个实施例中，在粘接膜26的中央部位形成没有粘接力的非粘接部26a将更为有效。也就是说，如图2一样形成非粘接部26a，就可以在分离过程中如图5、图8及图11所示，当弹性膜充分膨胀后，只有粘接膜26的中央部位与基板12接触。但是，由于中央部位是没有粘接膜的非粘接部26a，基板无法继续粘附在粘接膜26上。因此，非粘接部26a可以有效地防止弹性膜24充分膨胀却无法使基板脱离的情况。

图12～图15是本发明第四实施例的相关图形。图12是弹性板的立体结构图，图13是该弹性板与夹持板的结合状态图。本实施例中，在夹持板20均匀分布着四边形的多个孔22，每个孔22的内墙上有一双对向的挡肩22a。弹性板60是金属材料，它的两端是挂在上述挡肩22a的挡片62。该弹性板60的底面在弯曲进入夹持板底面内部的突入位置和弯曲突出于夹持板底面的突出位置之间进行弹性变形。这时，在突入位置的形状几乎是水平，可以把它视为曲率半径非常大的圆弧。粘接膜26粘接(Bonding)到上述弹性板60的底面。如果在粘接膜26形成一条穿越弹性板两端的挡片62之间的中央位置的带形非粘接部26a，将能使效果更为显著。

夹持板的上方有可以水平垂直运动的粘接板70，粘接板70的底面突出形成了可以对整个上述弹性板60施加压力的多个动作棒70a。还有可以水平垂直运动的分离板72，分离板72的一侧则有多个动作销72a突出并与弹性板60的非粘接部26a对应。粘接板70与分离板72可以在每个夹持板的上方进行水平与垂直运动，因此需要注意避免移动时互相干涉。

另一方面，在上述挡片62与挡肩22a之间安装了多个弹簧64。每个弹簧维持固定状态，并且在自由状态下支持弹性板60使其底面位于夹持板底面之上。

下面说明具有上述结构的本发明第四实施例的动作。如图14所示，底座上升时，粘接板70也会同时下降并使动作棒70a推压弹性板60，弹簧64被压缩导致弹性板60底部突出于孔22外并与基板12上边接触。在这种情形下，即使底座下降，粘接板70上升，基板12也会维持被粘接膜26粘接到弹性板60的状态，基板12的重量则使弹簧64无法恢复初始状态，导致弹性板60无法进入内侧并维持基板的粘接状态。粘接板70在这种情形下上升并脱离夹持板20，夹持板则被输送到沉积工序位置并完成沉积工作。需要把完成了沉积工序的基板分离时，把完成沉积的基板输送到初始位置，然后如图15所示，驱动分离板72下降，动作销72a将推压弹性板60的中央部位，也就是非粘接部26a，弹性板60将朝下弯曲突出并将基板12推离弹性板60。

在本发明的第四实施例中，在实际夹持基板的弹性板60与输送基板12的夹持板20之间安装弹簧64，可以尽量减少由于夹持板移动时产生的机械振动等原因所造成的基板12颤抖，进而降低基板中途脱离的可能性。

本发明还允许把上述第四实施例中说明的夹持板结构与第三实施例中说明的升降板结构加以复合，进而通过电磁阀的动作控制弹性板60。也就是说，基板的夹持是通过外部电磁阀的动作完成的，而基板的分离则是通过内部电磁阀的动作完成的。由合成树脂(橡胶)制成的弹性膜保证了动作的可靠性。

另一方面，图16～图18是本发明第五实施例的相关图形。下面说明了利用磁性板夹持基板的装置。图16图示了整个结构。

磁性板80固定在基板12上面，夹持板90在它的上方进行上下运动，分离板100在夹持板90的上方进行上下运动。

如图17所示，磁性板80均匀排列在基板12上面。如图18a所示，每个磁性板80由粘接剂82固定到基板。上述磁性板80的形态与个数不限于图16中的图示而采取多样化的形态与个数，例如，即使只使用一个粘接板也可以。把磁性板80粘附到基板12的方法也有很多种。除了上述粘接剂82以外，还可以利用在真空中不会气化的高粘性液体粘接基板与粘接板；或者先把单面粘膜(Film)粘接到基板后利用上述液体粘接粘膜(Film)与基板；或者如图18b所示，磁性板80可以在真空中使用，利用分离时没有残留物的单面粘膜(Film)84覆盖磁性板进行粘接。

使用上述液体时，可以在工序完毕后利用液体清除装置清除液体，或者拿掉涂上了液体的单面粘膜(Film)即可。

在夹持板90的底面安装了与上述磁性板80对应的多个永久磁铁92。夹持板90的整个面上均匀地分布着贯通孔94。贯通孔92的理想位置是每个永久磁铁92之间的中间位置。

分离板100上具有可以通过上述夹持板90的贯通孔92插入并与基板上面干涉的多个动作销102。为了避免动作销102接触基板12时对基板造成损伤，最好使用特氟纶(teflon)等材料制作。具有上述结构的本发明第五实施例，如图19a所示，当底座10上升后，磁性板80在指定的位置被永久磁铁92吸住，基板12也被夹持板90支承。这时底座10下降就会变成如图19b的状态，基板12跟着夹持板90被输送到沉积位置后进行沉积工序。需要把完成了沉积工序的基板分离时，把完成沉积的基板输送到初始位置，然后如图19c所示驱动分离板100下降，动作销102将插入夹持板90的贯通孔94并在指定位置推压基板12的上边，磁性板80被推离永久磁铁92，基板12则回到预先在指定位置等待的底座10上面。完成了所有工序后，磁性板80将脱离基板。

根据第五实施例，可以在工序之间移动时只输送基板12，因此即使是面积较大的基板也能轻易地夹持及输送。

另一方面，本发明虽然对上述各种实施例进行了说明，但是也可以互相置换各实施例中可互换的组成单元而形成另一种形态的实施例，因此本发明的技术范围应该包括可以由上述实施例经过置换与简单替代等操作而衍生出来的实施形态。例如，下面的说明也可以构成本发明的一个实施例。使夹持板的粘接膜部位朝上，基板进入夹持板的上方，然后利用基板重量使粘接膜与基板粘接，再把夹持板旋转180度即可完成对基板的夹持。

如上述，本发明所提供的平板夹持装置上排列着涂上了用于重复粘接的粘接剂的弹性隔离膜，使得本发明的平板夹持装置不仅结构简单，可以在真空中使用，减少耗电量，还可以发挥轻易夹持较大面积平板的效果。

Claims (14)

1.一种平板夹持装置，可以夹持位于可控升降的底座上边的平板，夹持板在底座上方进行水平运动，在夹持板的底面形成多个孔，再铺设可以密封这些孔的多个弹性膜，在弹性膜的底面形成粘接膜，弹性膜调节装置使上述弹性膜往下膨胀。

2.根据权利要求1所述的平板夹持装置，其特征是：

上述弹性膜调节装置把上述各孔连接到一个出口上，通过对出口的空气供应量以弹性膜为边界维持上下两边的压力差。

3.根据权利要求1所述的平板夹持装置，其特征是：

位于升降板的上述弹性膜调节装置可以在夹持板的上方进行垂直运动，升降板中朝下的多个孔里伸出多个延长管并分别插入上述夹持板底面形成的孔内，延长管的底面则被独立的弹性膜密封，上述各延长管连接到一个出口上，通过对出口的空气供应量以弹性膜为边界维持夹持板上下两边的压力差。

4.根据权利要求1所述的平板夹持装置，其特征是：

位于升降板的上述弹性膜调节装置可以在夹持板的上方进行垂直运动，升降板中朝下的多个孔里伸出多个延长管并分别插入上述夹持板底面形成的孔内，上述延长管里则插入电磁阀并根据电气信号使弹性膜膨胀。

5.根据权利要求4所述的平板夹持装置，其特征是：

上述的每个电磁阀采用了由用于粘接基板的外部电磁阀与用于分离基板的内部电磁阀组成的双重结构。

6.根据权利要求1到权利要求5中的一项所述的平板夹持装置，其特征是：

上述弹性膜使用了软质合成树脂，它的延伸率高，与每个孔的形状相同，在孔的边缘进行粘接结合。

7.根据权利要求6所述的平板夹持装置，其特征是：

上述粘接膜的中央部位是非粘接部。

8.根据权利要求7所述的平板夹持装置，其特征是：

上述弹性膜与粘接膜可以是4角以上的多角形或长方形。

9.根据权利要求8所述的平板夹持装置，其特征是：

上述非粘接部是位于中央部位且从长度方向延伸的带形。

10.一种平板夹持装置，可以夹持位于可控升降的底座上边的平板，其主要组成单元为：

在底座上方可以水平运动，其内部的多个孔里分别有对向挡肩的夹持板；

两端是可以挂在上述挡肩上的挡片，其底面在弯曲进入夹持板底面内部的突入位置和弯曲突出于夹持板底面的突出位置之间进行弹性变形的弹性板；

粘接在弹性板的底面，维持着粘接力并可以粘附基板的粘接膜；

在夹持板的上方进行垂直与水平运动，从底面突出的多个动作棒可以分别插入上述孔的粘接板；

在夹持板的上方进行垂直与水平运动却不与上述粘接板冲突，而且从底面突出的多个动作销可以分别插入上述孔的分离板。

11.根据权利要求10所述的平板夹持装置，其特征是：

在上述挡片与挡肩之间安装了弹簧。

12.一种平板夹持装置，可以夹持位于可控升降的底座上边的平板，其主要组成单元为：

在基板上面均匀分布的多个磁性物体；

在上述磁性物体的上方自由移动，其底面安装了与上述磁性物体对应的永久磁铁，整个表面上有多个贯通孔的夹持板；

位于夹持板上方的分离板，分离板底面有多个可以插入上述贯通孔并与基板的上边干涉的动作销。

13.根据权利要求12所述的平板夹持装置，其特征是：

上述磁性物体利用可以在真空中使用的粘接剂粘接到基板上。

14.根据权利要求12所述的平板夹持装置，其特征是：

通过可以在真空中使用并覆盖磁性物体且固定于基板的单面粘膜粘接到基板上。

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