CH641562A5 - Einrichtung zum kalibrieren eines vakuummeters. - Google Patents

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CH641562A5
CH641562A5 CH709379A CH709379A CH641562A5 CH 641562 A5 CH641562 A5 CH 641562A5 CH 709379 A CH709379 A CH 709379A CH 709379 A CH709379 A CH 709379A CH 641562 A5 CH641562 A5 CH 641562A5
Authority
CH
Switzerland
Prior art keywords
test chamber
gas
vacuum meter
pressure
calibration gas
Prior art date
Application number
CH709379A
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German (de)
English (en)
Inventor
Hermann Mennenga
Original Assignee
Balzers Hochvakuum
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Publication date
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    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01LMEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L27/00Testing or calibrating of apparatus for measuring fluid pressure
    • G01L27/002Calibrating, i.e. establishing true relation between transducer output value and value to be measured, zeroing, linearising or span error determination
    • G01L27/005Apparatus for calibrating pressure sensors

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  • General Physics & Mathematics (AREA)
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