CH638762A5 - PROCESS FOR CONTINUOUSLY COATING A SUBSTRATE, PRODUCT RESULTING FROM THIS PROCESS AND APPARATUS FOR ITS IMPLEMENTATION. - Google Patents
PROCESS FOR CONTINUOUSLY COATING A SUBSTRATE, PRODUCT RESULTING FROM THIS PROCESS AND APPARATUS FOR ITS IMPLEMENTATION. Download PDFInfo
- Publication number
- CH638762A5 CH638762A5 CH213079A CH213079A CH638762A5 CH 638762 A5 CH638762 A5 CH 638762A5 CH 213079 A CH213079 A CH 213079A CH 213079 A CH213079 A CH 213079A CH 638762 A5 CH638762 A5 CH 638762A5
- Authority
- CH
- Switzerland
- Prior art keywords
- substrate
- glass
- film
- gas
- reaction
- Prior art date
Links
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C17/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
- C03C17/34—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions
- C03C17/3411—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions with at least two coatings of inorganic materials
- C03C17/3429—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions with at least two coatings of inorganic materials at least one of the coatings being a non-oxide coating
- C03C17/3435—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions with at least two coatings of inorganic materials at least one of the coatings being a non-oxide coating comprising a nitride, oxynitride, boronitride or carbonitride
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C17/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C17/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
- C03C17/001—General methods for coating; Devices therefor
- C03C17/002—General methods for coating; Devices therefor for flat glass, e.g. float glass
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C17/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
- C03C17/22—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with other inorganic material
- C03C17/23—Oxides
- C03C17/245—Oxides by deposition from the vapour phase
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C17/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
- C03C17/34—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions
- C03C17/3411—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions with at least two coatings of inorganic materials
- C03C17/3417—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions with at least two coatings of inorganic materials all coatings being oxide coatings
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
- C23C16/22—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the deposition of inorganic material, other than metallic material
- C23C16/30—Deposition of compounds, mixtures or solid solutions, e.g. borides, carbides, nitrides
- C23C16/40—Oxides
- C23C16/401—Oxides containing silicon
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
- C23C16/44—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating
- C23C16/54—Apparatus specially adapted for continuous coating
- C23C16/545—Apparatus specially adapted for continuous coating for coating elongated substrates
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C2217/00—Coatings on glass
- C03C2217/20—Materials for coating a single layer on glass
- C03C2217/21—Oxides
- C03C2217/211—SnO2
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C2217/00—Coatings on glass
- C03C2217/20—Materials for coating a single layer on glass
- C03C2217/21—Oxides
- C03C2217/229—Non-specific enumeration
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C2218/00—Methods for coating glass
- C03C2218/10—Deposition methods
- C03C2218/15—Deposition methods from the vapour phase
- C03C2218/152—Deposition methods from the vapour phase by cvd
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C2218/00—Methods for coating glass
- C03C2218/30—Aspects of methods for coating glass not covered above
- C03C2218/36—Underside coating of a glass sheet
Description
La présente invention se rapporte à des structures en verre portant un mince revêtement inorganique (par exemple un revêtement d'oxyde d'étain destiné à augmenter la réflexcion des rayons infrarouges), structures qui ont un meilleur aspect du fait de la diminution des irisations qui, comme l'on sait, sont associées à ces minces revêtements, ainsi qu'à des procédés pour réaliser de telles structures. The present invention relates to glass structures having a thin inorganic coating (for example a coating of tin oxide intended to increase the reflection of infrared rays), structures which have a better appearance due to the reduction in iridescence which , as is known, are associated with these thin coatings, as well as with methods for producing such structures.
Le verre et les autres matières transparentes peuvent être couvertes de pellicules semi-conductrices transparentes, par exemple en oxyde d'étain, en oxyde d'indium ou en stannate de cadmium, afin de réfléchir les rayons infrarouges. Ces pellicules sont utiles pour produire des fenêtres ayant un meilleur coefficient d'isolation (moins bonnes conductrices de la chaleur), par exemple pour des fours, Glass and other transparent materials can be covered with transparent semiconductor films, for example tin oxide, indium oxide or cadmium stannate, in order to reflect infrared rays. These films are useful for producing windows with a better insulation coefficient (less good conductors of heat), for example for ovens,
pour des fenêtres de constructions, etc. Des revêtements faits de ces matières ont aussi la propriété de conduire l'électricité et sont utilisés comme résistances chauffantes pour chauffer les vitres des véhicules afin d'éliminer la buée ou le givre. for building windows, etc. Coatings made of these materials also have the property of conducting electricity and are used as heating resistors to heat the windows of vehicles in order to eliminate fogging or frost.
L'un des défauts de ces fenêtres couchées est qu'elles présentent des colorations d'interférence (iridescences) par réflexion et, dans une moindre mesure, par transparence. Cette iridescence est un frein sérieux à une large utilisation de ces fenêtres couchées (voir par exemple «American Institute of Physics Conference Proceeding» N° 25. New York, 1975, page 288). One of the drawbacks of these coated windows is that they exhibit interference colors (iridescences) by reflection and, to a lesser extent, by transparency. This iridescence is a serious obstacle to the widespread use of these coated windows (see for example “American Institute of Physics Conference Proceeding” No. 25. New York, 1975, page 288).
Dans certains cas, par exemple quand le verre est relativement sombre (ayant, par exemple, une transmittance ou un coefficient de transmission inférieur à 25%), cette iridescence est masquée et peut être tolérée. Par contre, dans la plupart des applications architecturales pour des murs et des fenêtres, les irisations qui, normalement, sont associées aux revêtements dont l'épaisseur est inférieure à environ 0,75 |i sont inacceptables du point de vue esthétique pour la plupart des personnes (voir, par exemple, le brevet américain N» 3710074 de Stewart). In some cases, for example when the glass is relatively dark (having, for example, a transmittance or a transmission coefficient of less than 25%), this iridescence is masked and can be tolerated. On the other hand, in most architectural applications for walls and windows, the iridescence which normally is associated with coatings whose thickness is less than about 0.75 | i is unacceptable from an esthetic point of view for most people (see, for example, US Patent No. 3710074 to Stewart).
L'iridescence, c'est-à-dire les colorations irisées, est un phénomène général Hé aux pellicules transpacentes dont l'épaisseur se situe entre environ 0,1 et 1 |i et, en particulier, à celles dont l'épaisseur est inférieure à environ 0,85 |i. Malheureusement, c'est précisément cette gamme d'épaisseurs qui a une grande importance pratique dans la plupart des applications industrielles. Les revêtements semiconducteurs, dont l'épaisseur est inférieure à environ 1 |i, ne présentent pas de coloration d'interférence, mais des revêtements aussi minces réfléchissent nettement moins bien les rayons infrarouges et sont aussi nettement moins bons conducteurs de l'électricité. Iridescence, that is to say iridescent coloring, is a general phenomenon Hey with transparent films whose thickness is between approximately 0.1 and 1 | i and, in particular, those whose thickness is less than about 0.85 | i. Unfortunately, it is precisely this range of thicknesses that is of great practical importance in most industrial applications. Semiconductor coatings, the thickness of which is less than about 1 | i, do not exhibit interference coloring, but such thin coatings reflect infrared rays much less well and are also significantly less good conductors of electricity.
Les revêtements dont l'épaisseur est supérieure à environ 1 n ne présentent également pas d'iridescence ou d'irisation visible à la lumière du jour, mais ils coûtent beaucoup plus cher à produire puisqu'ils nécessitent de grandes quantités de matières de revêtement, et que le temps nécessaire pour les déposer est également plus long. De plus, les pellicules dont l'épaisseur dépasse 1 |i ont tendance à produire un voile qui résulte de la diffusion de la lumière par les irrégularités de surface, lesquelles sont plus grandes sur de telles pellicules. De plus, ces pellicules ont davantage tendance à se fissurer sous l'action des contraintes thermiques à cause des différences des coefficients de dilatation thermiques. Coatings with a thickness greater than about 1 n also do not exhibit iridescence or iridescence visible in daylight, but they are much more expensive to produce since they require large quantities of coating materials, and that the time required to deposit them is also longer. In addition, films with a thickness greater than 1 µi tend to produce a haze which results from the scattering of light by surface irregularities, which are larger on such films. In addition, these films have a greater tendency to crack under the action of thermal stresses due to the differences in thermal expansion coefficients.
Le résultat de ces contraintes techniques et économiques est que presque toute la production industrielle actuelle de ces verres couchés comporte des pellicules dont l'épaisseur se situe entre environ 0,1 et 0,3 (i et qui présente des colorations iridescentes prononcées. Actuellement, ces verres couchés ne sont presque pas utilisés dans l'architecture, malgré qu'il en résulterait des économies du fait de la conservation de l'énergie. C'est ainsi, par exemple, que les pertes de chaleur par les radiations infrarouges traversant les zones vitrées d'un immeuble chauffé peuvent représenter approximativement la moitié de la totalité des pertes de chaleur dans le cas de verres non couchés. Toutefois, la présence de colorations irisées sur ces verres couchés est la principale raison pour laquelle ceux-ci ne sont pas utilisés. The result of these technical and economic constraints is that almost all of the current industrial production of these coated glasses comprises films of which the thickness is between approximately 0.1 and 0.3 (i and which exhibits pronounced iridescent coloring. these coated glasses are almost not used in architecture, although this would result in savings due to the conservation of energy. For example, heat losses by infrared radiation passing through glazed areas of a heated building can account for approximately half of all heat loss in the case of uncoated glasses, however the presence of iridescent color on these coated glasses is the main reason why they are not used.
La demande de brevet américain N° 784542 décrit des moyens pour diminuer cette iridescence ou ces irisations, au point qu'elles deviennent pratiquement invisibles, au moyen d'une ou de plusieurs couches supplémentaires superposées à la couche principale, incluant un revêtement à gradient. La présente invention vise principalement à apporter des moyens perfectionnés pour former une telle couche anti-iridescence à gradient. American patent application No. 784542 describes means for reducing this iridescence or these iridescence, to the point that they become practically invisible, by means of one or more additional layers superimposed on the main layer, including a gradient coating. The main object of the present invention is to provide improved means for forming such a gradient anti-iridescence layer.
En conséquence, l'un des buts de la présente invention est de fournir des moyens pour éliminer les irisations visibles des minces pellicules semi-conductrices appliquées sur un substrat transparent, tout en conservant les propriétés désirables de transparence à la lumière visible, de réflexion des rayons infrarouges et de conductibilité électrique de ce substrat. Consequently, one of the aims of the present invention is to provide means for eliminating the visible iridescence of thin semiconductor films applied to a transparent substrate, while retaining the desirable properties of transparency in visible light, of reflection of infrared rays and electrical conductivity of this substrate.
Un autre but de la présente invention est d'atteindre les objectifs ci-dessus: Another object of the present invention is to achieve the above objectives:
sans augmenter sensiblement les coûts de production comparativement à l'utilisation de pellicules iridescentes ordinaires; without significantly increasing production costs compared to the use of ordinary iridescent films;
par un procédé qui est continu et parfaitement compatible avec les procédures de fabridation modernes de l'industrie du verre; by a process which is continuous and perfectly compatible with modern manufacturing procedures in the glass industry;
par des produits qui sont extrêmement durables et résistants à la lumière, à l'abrasion mécanique et à l'action des agents chimiques; by products that are extremely durable and resistant to light, mechanical abrasion and the action of chemical agents;
en utilisant des matières qui sont suffisamment abondantes et facilement disponibles pour permettre une large diffusion. using materials which are sufficiently abundant and readily available to allow wide dissemination.
L'invention se propose également d'apporter des moyens pour diminuer la quantité totale de lumière réfléchie par la surface couchée du substrat, en augmentant ainsi la transparence totale de ce dernier. The invention also proposes to provide means for reducing the total amount of light reflected by the coated surface of the substrate, thereby increasing the total transparency of the latter.
A cet effet, l'invention est définie comme il est dit aux revendications 1, 22 et 27. To this end, the invention is defined as it is said in claims 1, 22 and 27.
Dans une forme de réalisation préférée de l'invention, on utilise une pellicule composée de couches se fondant en continu l'une dans l'autre pour former une couche dégradée dont l'indice de réfraction varie, de préférence, par une transition douce, à mesure qu'on traverse la couche en s'éloignant du substrat vers le revêtement semiconducteur, à partir d'une certaine valeur à la surface du substrat adaptée à l'indice de réfraction de celui-ci, à une autre valeur adaptée à l'indice de la pellicule semi-conductrice surjacente, à un point voisin de cette pellicule. In a preferred embodiment of the invention, a film is used which is composed of layers which merge continuously into one another to form a degraded layer, the refractive index of which varies preferably by a smooth transition, as the layer is passed away from the substrate towards the semiconductor coating, from a certain value on the surface of the substrate adapted to the refractive index thereof, to another value adapted to the index of the overlying semiconductor film, at a point close to this film.
Il semble utile, en raison du caractère subjectif de la perception des couleurs, d'exposer les procédés et les hypothèses qui ont été utilisés pour évaluer l'invention. On conçoit que l'application d'une grande partie de la théorie discutée ci-après a un caractère rétrospec5 It seems useful, due to the subjective nature of color perception, to set out the methods and hypotheses which were used to evaluate the invention. It can be seen that the application of a large part of the theory discussed below is retrospec5
10 10
15 15
20 20
25 25
30 30
35 35
40 40
45 45
50 50
55 55
60 60
65 65
638 762 638,762
4 4
tif, car les informations nécessaires ont été produites ou apportées rétrospectivement, c'est-à-dire après avoir eu connaissance de l'invention. Les remarques qui suivent s'appliquent à l'utilisation de verres comme substrat. tif, because the necessary information was produced or provided retrospectively, that is to say after knowing the invention. The following remarks apply to the use of glasses as a substrate.
Pour effectuer une évaluation quantitative appropriée des diverses structures possibles permettant de supprimer les irisations, on a calculé les intensités de ces couleurs en utilisant des données optiques et des données relatives à la perception des couleurs. Dans l'exposé qui va suivre, on suppose que les couches des pellicules sont planes, qu'elle ont une épaisseur uniforme et que chaque couche a un indice de réfraction uniforme. Les changements des indices de réfraction sont considérés comme étant abrupts aux interfaces planes entre les pellicules ou les couches adjacentes. Un indice de réfraction à variation continue peut être considéré comme une succession d'un très grand nombre de très minces couches ayant des indices de réfraction étroitement rapprochés. On a utilisé des indices de réfraction réels, correspondant à des pertes négligeables par absorption dans les couches. Les coefficients de réflexion ont été évalués pour des ondes planes à incidence normale d'une lumière non polarisée. To make an appropriate quantitative assessment of the various possible structures for suppressing iridescence, the intensities of these colors were calculated using optical data and data relating to color perception. In the following description, it is assumed that the layers of the films are planar, that they have a uniform thickness and that each layer has a uniform refractive index. Changes in refractive indices are considered to be abrupt at the plane interfaces between the films or adjacent layers. A continuously varying refractive index can be thought of as a succession of a very large number of very thin layers having closely related refractive indices. Real refraction indices were used, corresponding to negligible absorption losses in the layers. The reflection coefficients were evaluated for plane waves with normal incidence of non-polarized light.
En utilisant les hypothèses ci-dessus, on a calculé les amplitudes de réflexion et de transmission de chaque interface à l'aide des formules de Fresnel. Ensuite, on a additionné ces amplitudes en tenant compte des différences de phases produites par la propagation de la lumière à travers les couches considérées. Les résultats ont été trouvés équivalents à la formule d'Airy (voir par exemple «Optics of Thin Films», par Knittl, Wiley and Sons, New York 1976) relative aux réflexions multiples et aux interférences dans les pellicules minces, lorsque cette formule a été appliquée aux mêmes cas. Using the above assumptions, the reflection and transmission amplitudes of each interface were calculated using Fresnel formulas. Then, these amplitudes were added taking into account the phase differences produced by the propagation of light through the layers considered. The results were found to be equivalent to Airy's formula (see for example "Optics of Thin Films", by Knittl, Wiley and Sons, New York 1976) relating to multiple reflections and interference in thin films, when this formula has been applied to the same cases.
On a observé que l'intensité calculée de la lumière réfléchie varie avec la longueur d'onde et qu'elle est plus forte pour certaines couleurs que pour d'autres. Pour calculer la lumière réfléchie vue par un observateur, il convient auparavent de spécifier la distribution spectrale de la lumière incidente. A cette fin, on peut utiliser la norme d'éclairage de la Commission internationale de l'éclairage C, qui correspond approximativement à un éclairage normal par la lumière du jour. La distribution spectrale de la lumière réfléchie est le produit du coefficient de réflexion calculé et du spectre de l'éclairage C. On calcule ensuite la teinte et la saturation de la couleur, telle qu'elle est vue par réflexion par un observateur humain à partir de ce spectre réfléchi, en utilisant des échelles de couleurs uniformes qui sont connues dans la technique. Une échelle utile à cette fin est celle décrite par Hunter dans «Food Technology», volume 21, pages 100-105, 1967. Cette échelle a été utilisée pour développer la relation qui va être décrite maintenant. It has been observed that the calculated intensity of the reflected light varies with the wavelength and that it is stronger for certain colors than for others. To calculate the reflected light seen by an observer, it is advisable beforehand to specify the spectral distribution of the incident light. For this purpose, it is possible to use the lighting standard of the International Lighting Commission C, which corresponds approximately to normal lighting by daylight. The spectral distribution of the reflected light is the product of the calculated reflection coefficient and the lighting spectrum C. We then calculate the hue and saturation of the color, as seen by reflection by a human observer from of this reflected spectrum, using uniform color scales which are known in the art. A useful scale for this purpose is that described by Hunter in "Food Technology", volume 21, pages 100-105, 1967. This scale has been used to develop the relationship which will now be described.
Des résultats et des calculs, pour chaque combinaison d'indices de réfraction et d'épaisseur des couches, sont deux nombres a et b. a représente une teinte rouge (si positive) ou verte (si négative), tandis que b décrit une teinte jaune (si positive) ou bleue (si négative). Ces résultats sont utiles pour contrôler les calculs par rapport à des couleurs observables d'échantillons, y compris ceux de l'invention. Un seul nombre c représente la saturation de couleur. c=(a2 + b3)'/2. Cet indice de saturation de couleur c est directement en rapport avec l'aptitude de l'œil à détecter des colorations irisées gênantes. Quand l'indice de saturation est au-dessous d'un certain seuil, on est incapable de voir une couleur dans la lumière réfléchie. La valeur numérique de ce seuil d'observabilité dépend de l'échelle de couleurs uniformes particulière utilisée, ainsi que des conditions de vision et du niveau d'éclairage (voir, par exemple, R.S. Hunter, «The Measure-ment of Appearance», Wiley and Sons, New York 1975, pour un recensement des échelles de couleurs numériques). Results and calculations, for each combination of refractive index and layer thickness, are two numbers a and b. a represents a red (if positive) or green (if negative) hue, while b describes a yellow (if positive) or blue (if negative) hue. These results are useful for checking the calculations with respect to observable colors of samples, including those of the invention. A single number c represents the color saturation. c = (a2 + b3) '/ 2. This color saturation index c is directly related to the ability of the eye to detect annoying iridescent colors. When the saturation index is below a certain threshold, we are unable to see a color in the reflected light. The numerical value of this observability threshold depends on the particular uniform color scale used, as well as on the conditions of vision and the level of lighting (see, for example, RS Hunter, "The Measure-ment of Appearance", Wiley and Sons, New York 1975, for a census of digital color scales).
Afin d'établir une base de comparaison pour les structures, on a exécuté une première série de calculs en se fondant sur une couche semi-conductrice unique appliquée sur du verre. Pour l'indice de réfraction de la couche semi-conductrice, on a pris 2, ce qui correspond approximativement aux pellicules d'oxyde d'étain, d'oxyde d'indium ou de stannate de cadmium. On a utilisé 1,52 pour le substrat de verre; cela est une valeur typique des verres à vitres industriels. Les indices de saturation des couleurs calculés ont été portés sur la fig. 1 en fonction de l'épaisseur de la pellicule semi-conductrice. On a trouvé que la saturation de couleur était élevée dans la lumière réfléchie par les pellicules dont l'épaisseur se situe entre 0,1 et 0,5 |i. Pour les pellicules dont l'épaisseur est supérieure à 0,5 |i, la saturation de couleur décroît avec l'épaisseur. Ces résultats sont en accord avec les observations qualitatives sur des films réels. Les oscillations prononcées sont dues.aux variations de sensibilité de l'œil pour les différentes longueurs d'onde spectrales. Chacune des pointes correspond à une couleur particulière, marquée sur la courbe (R=rouge, Y = jaune, G=vert, B=bleu). In order to establish a basis of comparison for the structures, a first series of calculations was performed based on a single semiconductor layer applied to glass. For the refractive index of the semiconductor layer, we took 2, which corresponds approximately to the films of tin oxide, indium oxide or cadmium stannate. 1.52 was used for the glass substrate; this is a typical value of industrial window glass. The calculated color saturation indices have been plotted in FIG. 1 depending on the thickness of the semiconductor film. Color saturation has been found to be high in the light reflected from films having a thickness of between 0.1 and 0.5 µm. For films greater than 0.5 µm in thickness, color saturation decreases with thickness. These results are in agreement with the qualitative observations on real films. The pronounced oscillations are due to variations in the sensitivity of the eye for the different spectral wavelengths. Each of the points corresponds to a particular color, marked on the curve (R = red, Y = yellow, G = green, B = blue).
En utilisant ces résultats, le minimum observable de la saturation de couleur a été établi par l'expérience suivante: on a déposé des pellicules d'oxyde d'étain ayant une épaisseur continuellement variable, épaisseur s'élevant jusqu'à environ 1,5 jj, sur des plaques de verre, par oxydation d'une vapeur de tétraméthylétain. Le profil des épaisseur a été établi, par une variation de la température d'environ 450° C à 500° C, le long de la surface du verre. On a ensuite mesuré le profil d'épaisseur en observant les franges d'interférence sous une lumière monochromatique. Observées sous une lumière du jour diffusée, les pellicules ont présenté des couleurs d'interférence aux positions correctes indiquées sur la fig. 1. Les parties des pellicules, dont l'épaisseur était supérieure à 0,85 p., ne présentaient pas de couleurs d'interférence observables dans la lumière du jour diffusée. La pointe verte, que le calcul situe à une épaisseur de 0,88 n, n'était pas visible. En conséquence, le seuil d'observabilité se situe au-dessus de 8 de ces unités de couleur. De même, la pointe bleue que le calcul situe à 0,03 n n'était pas visible, de sorte que le seuil est au-dessus de 11 unités de couleur, qui est la valeur calculée pour cette pointe. Toutefois, une faible pointe rouge était visible à 0,81 |i sous de bonnes conditions d'observation, par exemple en utilisant un fond noir de velours et en l'absence d'objets colorés réfléchis dans le champ de vision, de sorte que le seuil est situé au-dessous des 13 unités de couleur calculées pour cette couleur. On tire de ces études la conclusion que le seuil d'observation des couleurs réfléchies est compris entre 11 et 13 unités de couleur sur cette échelle et c'est la raison pour laquelle la titulaire a adopté une valeur de 12 unités pour représenter le seuil d'observabilité des couleurs réfléchies en opérant à la lumière du jour. En d'autres termes, une saturation de couleur supérieure à 12 unités apparaît comme une iridescence visiblement colorée, tandis qu'une saturation de couleur inférieure à 12 unités apparaît comme une coloration neutre. Using these results, the minimum observable color saturation was established by the following experiment: tin oxide films were deposited with continuously variable thickness, thickness up to about 1.5 dd, on glass plates, by oxidation of a tetramethyltin vapor. The thickness profile was established by varying the temperature from about 450 ° C to 500 ° C along the surface of the glass. The thickness profile was then measured by observing the interference fringes under monochromatic light. Observed under diffused daylight, the films presented interference colors at the correct positions indicated in fig. 1. The parts of the films, the thickness of which was greater than 0.85%, did not show any observable interference colors in the scattered daylight. The green tip, which the calculation locates at a thickness of 0.88 n, was not visible. Consequently, the observability threshold is above 8 of these color units. Likewise, the blue tip that the calculation locates at 0.03 was not visible, so the threshold is above 11 color units, which is the value calculated for this tip. However, a faint red tip was visible at 0.81 µi under good observation conditions, for example using a black velvet background and in the absence of colored objects reflected in the field of vision, so that the threshold is located below the 13 color units calculated for this color. These studies conclude that the observation threshold for reflected colors is between 11 and 13 units of color on this scale and that is why the licensee adopted a value of 12 units to represent the threshold of observability of the colors reflected by operating in daylight. In other words, a color saturation greater than 12 units appears as a visibly colored iridescence, while a color saturation less than 12 units appears as a neutral coloration.
On présume qu'il n'y a pratiquement pas d'objections à commercialiser des produits dont les valeurs de saturation de couleur sont égales ou inférieures à 13. Toutefois, il est bien préférable que cette valeur soit égale ou inférieure à 12 et, comme il est expliqué plus en détail ci-après, il ne semble pas qu'il y ait une raison pratique supposant à ce que les produits les plus avantageux selon l'invention, par exemple ceux caractérisés par des surfaces complètement incolores, c'est-à-dire au-dessous d'environ 8, ne puissent pas être fabriqués dans des conditions économiques. It is assumed that there are practically no objections to marketing products whose color saturation values are equal to or less than 13. However, it is much preferable that this value is equal to or less than 12 and, as it is explained in more detail below, it does not seem that there is a practical reason supposing that the most advantageous products according to the invention, for example those characterized by completely colorless surfaces, ie ie below about 8, cannot be produced under economic conditions.
Une valeur égale ou inférieure à 12 indique une réflexion qui ne déforme pas les couleurs d'une image réfléchie de façon observable. Cette valeur de seuil de 12 unités a été prise comme une norme quantitative avec laquelle on peut évaluer le succès ou l'échec des diverses sortes de multicouches, pour supprimer les irisations. A value of 12 or less indicates a reflection that does not distort the colors of an observably reflected image. This threshold value of 12 units has been taken as a quantitative standard with which the success or failure of various kinds of multilayers can be assessed in order to suppress iridescence.
Les revêtements dont l'épaisseur est égale ou supérieure à 0,85 (i ont des valeurs de saturation de couleur inférieures à ce seuil de 12, comme on le voit sur la fig. 1. Les expériences confirment que ces revêtements relativement épais ne présentent pas d'irisations gênantes à la lumière du jour. Coatings with a thickness of 0.85 (i or more) have color saturation values below this threshold of 12, as shown in Fig. 1. Experiments confirm that these relatively thick coatings do no annoying iridescence in daylight.
On a découvert qu'entre le substrat de verre et la couche semi-conductrice pouvait être formée une pellicule intermédiaire ayant une composition dégradée, c'est-à-dire variant graduellement d'une pellicule de silice à une pellicule d'oxyde d'étain. Une telle pellicule peut être considérée comme composée d'un très grand nombre de couches intermédiaires. On a calculé la saturation des couleurs réfléchies pour un grand nombre de profils d'indices de réfraction compris entre l'indice de réfraction du verre n = 1,52 et celui des re5 It has been discovered that between the glass substrate and the semiconductor layer can be formed an intermediate film having a degraded composition, i.e. varying gradually from a silica film to an oxide film. tin. Such a film can be considered to be composed of a very large number of intermediate layers. The saturation of the reflected colors has been calculated for a large number of refractive index profiles between the refractive index of glass n = 1.52 and that of re5
10 10
15 15
20 20
25 25
30 30
35 35
40 40
45 45
50 50
55 55
60 60
65 65
5 5
638 762 638,762
vêtements semi-conducteurs n = 2. Pour des couches de transition, dont l'épaisseur est supérieure à environ 0,15 (i, l'indice de saturation de couleur calculé est généralement inférieur à 12, c'est-à-dire neutre pour l'œil et pour des transitions supérieures à environ 0,3 n, la couleur est toujours indècelable. La forme exacte du profil des indices de réfraction n'a que très peu d'effet sur ces résultats, à condition que la variation soit graduelle le long de la couche dégradée. semiconductor clothing n = 2. For transition layers, the thickness of which is greater than approximately 0.15 (i, the calculated color saturation index is generally less than 12, that is to say neutral for the eye and for transitions greater than approximately 0.3 n, the color is always undetectable. The exact shape of the profile of the refractive indices has very little effect on these results, provided that the variation is gradual along the degraded layer.
Une large gamme de matières transparentes peut être choisie pour fabriquer des produits satisfaisant aux critères précédents en formant des sous-couches anti-irisation. C'est ainsi que divers oxydes et nitrures métalliques et leurs mélanges ont les propriétés optiques correctes de transparence et les indices de réfraction voulus. Le tableau A ci-après énumère quelques mélanges qui ont les indices de réfraction voulus compris entre ceux du verre et ceux d'une pellicule d'oxyde d'étain ou d'indium. Les pourcentages en poids nécessaires peuvent être obtenus à partir des indices de réfraction, A wide range of transparent materials can be chosen to manufacture products meeting the above criteria by forming anti-iridescence undercoats. Thus, various metal oxides and nitrides and their mixtures have the correct optical properties of transparency and the desired refractive indices. Table A below lists some mixtures which have the desired refractive indices between those of glass and those of a tin or indium oxide film. The necessary weight percentages can be obtained from the refractive indices,
mesurés en fonction des courbes de composition, ou bien peuvent être calculés à partir de la loi usuelle Lorentz-Lorentz se rapportant aux indices de réfraction des mélanges (Z. Knittl, «Optics of Thin Films», Wiley and Sons, New York, 1976, page 473), en utilisant les indices de réfraction mesurés de pellicules pures. Cette loi de mixtion donne généralement des interpolations suffisamment précises pour les travaux optiques, bien que les indices de réfraction ainsi calculés soient parfois légèrement inférieurs aux valeurs mesurées. Les indices de réfraction des pellicules varient aussi légèrement avec les procédés de dépôt et les conditions opératoires. measured according to the composition curves, or can be calculated from the usual Lorentz-Lorentz law relating to the refractive indices of mixtures (Z. Knittl, "Optics of Thin Films", Wiley and Sons, New York, 1976 , page 473), using the measured refractive indices of pure dandruff. This mixing law generally gives sufficiently precise interpolations for optical work, although the refractive indices thus calculated are sometimes slightly lower than the measured values. The refractive indices of the films also vary slightly with the deposition methods and the operating conditions.
La fig. 3 montre une courbe typique de variations des indices de réfraction en fonction de la composition pour le cas important des mélanges de bioxyde de silicium et de bioxyde d'étain. Fig. 3 shows a typical curve of variations in the refractive indices as a function of the composition for the important case of mixtures of silicon dioxide and tin dioxide.
Tableau A Ce tableau indique quelques combinaisons de composés donnant des mélanges transparents, dont les indices de réfraction sont compris entre 1,5 et 2. Table A This table indicates some combinations of compounds giving transparent mixtures, the refractive indices of which are between 1.5 and 2.
Si02 Sn02 Si02 Sn02
Si02 Si3N4 Si02 Si3N4
Si02 Ti02 Si02 Ti02
SiOz ln203 SiOz ln203
Si02 Cd2Sn04 Si02 Cd2Sn04
Les pellicules peuvent être formées par une évaporation simultanée sous vide des substances appropriées composant un mélange approprié. Pour couvrir de grandes surfaces, par exemple une vitre de fenêtre, la déposition d'une vapeur chimique CVD à la pression atmosphérique normale est un procédé plus pratique et moins coûteux. Toutefois, le procédé CVD exige des composants volatils appropriés pour former chaque matière. Le bioxyde de silicium peut être déposé par le procédé CVD à partir de certains gaz tels que le silane, le SiH4, le diméthylsilane (CH3)2SiH2, etc. Certains liquides qui sont suffisamment volatils à la température ambiante conviennent presque aussi bien que les gaz; c'est ainsi que dans le procédé CVD, le tétraméthylétain constitue une source pour les composés d'étain, tandis que le (C2H5)2SiH2 et le SiCl4 sont des liquides volatils constituant des sources pour le silicium. The films can be formed by simultaneous evaporation under vacuum of the appropriate substances making up a suitable mixture. To cover large areas, for example a window pane, the deposition of CVD chemical vapor at normal atmospheric pressure is a more practical and less expensive process. However, the CVD process requires suitable volatile components to form each material. The silicon dioxide can be deposited by the CVD process from certain gases such as silane, SiH4, dimethylsilane (CH3) 2SiH2, etc. Some liquids that are sufficiently volatile at room temperature are almost as good as gases; Thus in the CVD process, tetramethyltin constitutes a source for the tin compounds, while (C2H5) 2SiH2 and SiCl4 are volatile liquids constituting sources for silicon.
Une couche à gradation continue, composée d'un mélange de silicium et d'oxyde d'étain, peut être formée au cours d'un procédé de revêtement CVD continu sur un ruban continu de verre par la nouvelle procédure suivante: on fait circuler un mélange gazeux suivant une direction parallèle à la direction de translation du verre, sous (ou au-dessus) du ruban de verre chaud, comme représenté, par exemple, sur la fig. 4. Le mélange gazeux contient un composé de silicium oxydable, un composant d'étain oxydable et de l'oxygène ou un autre gaz oxydant. On choisit les composés pour que le composé de silicium soit oxydé un peu plus rapidement que le composé d'étain, de sorte que l'oxyde qui se dépose sur le verre à l'endroit où le mélange gazeux frappe initialement la surface chaude du verre soit principalement composé de bioxyde de silicium avec seulement un petit pourcentage de bioxyde d'étain. On règle les proportions des composés de silicium et d'étain, constituant la phase de vapeur, de façon que la matière initialement déposée ait un indice de réfraction qui est étroitement voisin de celui du verre lui-même. Ensuite, pendant que continue le contact avec la surface du verre, la proportion de l'oxyde d'étain augmente dans la pellicule déposée jusqu'à ce que, à la fin de la région où se fait le dépôt, le composé de silicium soit presque complètement épuisé dans le mélange gazeux, de sorte que le dépôt qui s'y forme est composé d'oxyde d'étain presque pur. Etant donné que le verre avance aussi en continu de la région (initiale) de dépôt relativement riche en silicium à une région (finale) relativement riche en étain, il est clair que le verre reçoit un revêtement ayant un indice de réfraction dégradé qui varie en continu le long de l'épaisseur du revêtement, en partant de la surface du verre avec un indice adapté à celui du verre pour se terminer, à sa surface extérieure, par un indice adapté à celui de l'oxyde d'étain. Les régions de dépôt suivantes, indiquées sur la fig. 3, peuvent alors être utilisées pour former d'autres couches d'oxyde d'étain pur ou des couches d'oxyde d'étain dopé, par exemple, avec du fluor. A continuously graded layer, composed of a mixture of silicon and tin oxide, can be formed during a continuous CVD coating process on a continuous glass ribbon by the following new procedure: a gas mixture in a direction parallel to the direction of translation of the glass, under (or above) the strip of hot glass, as shown, for example, in FIG. 4. The gas mixture contains an oxidizable silicon compound, an oxidizable tin component and oxygen or another oxidizing gas. The compounds are chosen so that the silicon compound is oxidized a little faster than the tin compound, so that the oxide which is deposited on the glass at the place where the gaseous mixture initially strikes the hot surface of the glass is mainly composed of silicon dioxide with only a small percentage of tin dioxide. The proportions of the silicon and tin compounds, constituting the vapor phase, are adjusted so that the material initially deposited has a refractive index which is closely similar to that of the glass itself. Then, while the contact with the glass surface continues, the proportion of tin oxide increases in the deposited film until, at the end of the region where the deposit is made, the silicon compound is almost completely exhausted in the gas mixture, so that the deposit formed there is composed of almost pure tin oxide. Since the glass also advances continuously from the (initial) deposit region relatively rich in silicon to a (final) region relatively rich in tin, it is clear that the glass receives a coating having a degraded refractive index which varies in continuous along the thickness of the coating, starting from the surface of the glass with an index adapted to that of glass and ending, at its outer surface, with an index adapted to that of tin oxide. The following deposition regions, shown in fig. 3, can then be used to form other layers of pure tin oxide or layers of tin oxide doped, for example, with fluorine.
Un mélange gazeux approprié à cette fin comprend, de préférence, les composés de silicium oxydables suivants: le 1,1,2,2-tétra-diméthylsilane (HMe2SiSiMe2H); le 1,1,2-triméthylsilane H2MeSi-SiMe2H, et/ou le 1,2-diméthylsilane (H2MeSiSiMeH2) ainsi que du tétraméthylétain (Me4Sn). On a constaté que la pellicule déposée initialement est riche en silicium et a un indice de réfraction voisin de celui du verre, tandis que la dernière partie du dépôt se compose d'oxyde d'étain presque pur. A gas mixture suitable for this purpose preferably comprises the following oxidizable silicon compounds: 1,1,2,2-tetra-dimethylsilane (HMe2SiSiMe2H); 1,1,2-trimethylsilane H2MeSi-SiMe2H, and / or 1,2-dimethylsilane (H2MeSiSiMeH2) as well as tetramethyltin (Me4Sn). It was found that the film initially deposited is rich in silicon and has a refractive index close to that of glass, while the last part of the deposit consists of almost pure tin oxide.
Les liaisons Si-H des composés de silicium décrits ci-dessus sont extrêmement utiles dans le procédé puisque des composés ne comportant pas de telles liaisons, comme le têtramèthylsilane Me4Si ou l'hexaméthylsilane Me3SiSiMe3, s'oxydent plus lentement que le tétraméthylétain, de sorte que le dépôt initial se compose principalement d'oxyde d'étain alors que la dernière partie du dépôt est principalement formée de bioxyde de silicium. Dans un tel cas, c'est-à-dire quand on utilise des composés tels que Me4Si, on peut faire circuler le gaz et le verre dans des directions opposées pour obtenir la gradation désirée des indices de réfraction, à condition que le gaz circule plus vite que le verre. Toutefois, le mode de réalisation préféré consiste à utiliser des composés de silicium plus facilement oxydables et à les faire circuler dans la même direction que le verre. The Si-H bonds of the silicon compounds described above are extremely useful in the process since compounds without such bonds, such as tetramethylsilane Me4Si or hexamethylsilane Me3SiSiMe3, oxidize more slowly than tetramethyltin, so that the initial deposit is mainly composed of tin oxide while the last part of the deposit is mainly formed of silicon dioxide. In such a case, that is to say when using compounds such as Me4Si, it is possible to circulate the gas and the glass in opposite directions to obtain the desired gradation of the refractive indices, provided that the gas circulates faster than glass. However, the preferred embodiment is to use more easily oxidizable silicon compounds and to circulate them in the same direction as glass.
Il est également utile, lorsqu'on forme des revêtements dont la composition varie de façon monotone avec la distance du substrat, que les composés de silicium aient une liaison Si-Si en même temps que la liaison Si-H. C'est ainsi, par exemple, qu'un composé contenant des liaisons Si-H, mais n'ayant pas de liaisons Si-Si tel que le diméthylsilane Me2SiH2, associé au tétraméthylétain, produit initialement un dépôt d'oxyde d'étain presque pur, lequel devient riche en silicium à un stade intermédiaire pour, finalement, devenir riche en étain à un stade encore plus tardif de la procédure de dépôt. Bien que ne désirant pas être liée par une théorie quelconque, la titulaire présume que la combinaison des liaisons Si-Si-H facilite l'oxydation rapide par une décomposition thermique initiale dans laquelle se produit une migration de l'hydrogène vers le silicium voisin, selon la formule HMe2Si-SiMe2H->Me2SiH2+Me2Si. Le diméthylsilène Me2Si réactif est alors rapidement oxydé, libérant des radicaux libres tels que des hydroxyles (OH), qui, ensuite, soustrait rapidement l'hydrogène des liaisons Si-H, créant ainsi des radicaux silène plus réactifs, en formant une réaction en chaînes. Le tétraméthylétain est moins réactif pour ces radicaux et, de ce fait, il n'intervient que dans les stades ultérieurs de l'oxydation. Le Me2SiH2 manque dans l'étape initiale rapide de décomposition et, de ce fait, ne peut pas commencer l'oxydation avant qu'une certaine quantité de tétraméthylétain se soit décomposée pour former des radicaux (CH3, OH, O, etc.) qui, alors, attaquent préférentiellement le Me2SiH2 à des stades intermédiaires, jusqu'à ce que le Me2SiH2 soit épuisé, après quoi l'oxydation du tétraméthylétain redevient dominante. It is also useful, when forming coatings whose composition varies monotonically with the distance from the substrate, that the silicon compounds have an Si-Si bond at the same time as the Si-H bond. Thus, for example, a compound containing Si-H bonds, but having no Si-Si bonds such as dimethylsilane Me2SiH2, associated with tetramethyltin, initially produces a deposit of tin oxide almost pure, which becomes rich in silicon at an intermediate stage and ultimately becomes rich in tin at an even later stage in the deposition procedure. Although not wishing to be bound by any theory, the licensee assumes that the combination of Si-Si-H bonds facilitates rapid oxidation by an initial thermal decomposition in which migration of hydrogen to neighboring silicon occurs, according to the formula HMe2Si-SiMe2H-> Me2SiH2 + Me2Si. The reactive dimethylsilene Me2Si is then rapidly oxidized, releasing free radicals such as hydroxyls (OH), which then quickly subtracts hydrogen from the Si-H bonds, thus creating more reactive silene radicals, forming a chain reaction . Tetramethyltin is less reactive for these radicals and, therefore, occurs only in the later stages of oxidation. Me2SiH2 is lacking in the initial rapid decomposition stage and, therefore, cannot begin oxidation before a certain amount of tetramethyltin has decomposed to form radicals (CH3, OH, O, etc.) which , then, preferentially attack Me2SiH2 at intermediate stages, until the Me2SiH2 is exhausted, after which the oxidation of tetramethyltin becomes dominant again.
Il est préférable que le composé de disilane contienne, au moins, deux groupes méthyle, puisque les disilanes qui ne comportent qu'un seul groupe ou pas de groupes méthyle sont spontanément inflammables dans l'air et, par conséquent, doivent être préalablement mélangés à un gaz inerte tel que l'azote. It is preferable that the disilane compound contains at least two methyl groups, since disilanes which have only one or no methyl groups are spontaneously flammable in air and, therefore, must be premixed with an inert gas such as nitrogen.
5 5
10 10
15 15
20 20
25 25
30 30
35 35
40 40
45 45
50 50
55 55
60 60
65 65
638 762 638,762
6 6
D'autres radicaux hydrocarbonés, tels que les groupes êthyle, propyle, etc., peuvent remplacer le méthyle dans les composés ci-dessus, mais des radicaux méthyle sont plus volatils et sont préférables. Other hydrocarbon radicals, such as ethyl, propyl, etc., can replace methyl in the above compounds, but methyl radicals are more volatile and are preferable.
Les polysilanes supérieurs partiellement alkylatés, tels que les tri-silanes ou les tétrasilanes polyalkyle substitués, opèrent d'une manière analogue aux disilanes. Toutefois, les polysilanes supérieurs sont plus difficiles à synthétiser et sont moins volatils que les disilanes, lesquels, de ce fait, sont préférables. Partially alkylated higher polysilanes, such as tri-silanes or substituted polyalkyl tetrasilanes, operate in a manner analogous to disilanes. However, higher polysilanes are more difficult to synthesize and are less volatile than disilanes, which are therefore preferable.
Lorsque le dépôt initial des pellicules de silice et d'oxyde d'étain contient moins d'environ 40% d'oxyde d'étain, il ne se forme que peu ou pas de voile à l'interface entre le substrat de verre et le revêtement qu'il couvre. Si, pour une raison quelconque, on désire que le gradient commence au-dessus d'environ 30% d'oxyde d'étain, il est préférable que le verre soit couvert d'une couche antivoile, par exemple de bioxyde de silicium. Cette couche antivoile peut être très mince, par exemple, de l'ordre de 25 à 100 A. When the initial deposit of the silica and tin oxide films contains less than about 40% of tin oxide, little or no haze is formed at the interface between the glass substrate and the coating it covers. If, for any reason, it is desired that the gradient starts above about 30% tin oxide, it is preferable that the glass is covered with an anti-veil layer, for example silicon dioxide. This anti-veil layer can be very thin, for example, of the order of 25 to 100 A.
Les caractéristiques et avantages de l'invention ressortiront de la description qui va suivre, donnée uniquement à titre d'exemple en référence au dessin annexé, dans lequel: The characteristics and advantages of the invention will emerge from the description which follows, given solely by way of example with reference to the appended drawing, in which:
— la fig. 1 est un graphique représentant la variation de l'intensité de couleur calculée de diverses couleurs en fonction de l'épaisseur de la pellicule semi-conductrice; - fig. 1 is a graph showing the variation of the calculated color intensity of various colors as a function of the thickness of the semiconductor film;
— la fig. 2 représente schématiquement et en coupe un verre comportant une couche non irisée, conforme à l'invention, avec une couche intermédiaire, anti-irisation ayant une composition variant en continu conformément à l'invention; - fig. 2 schematically shows in section a glass comprising a non-iridescent layer, in accordance with the invention, with an intermediate, anti-iridescence layer having a composition varying continuously in accordance with the invention;
— la fig. 3 est un graphique représentant une courbe de variations typique idéalisée des indices de réfraction et qui montre la transition graduelle entre une couche composée à 100% de Si02 et une couche formée à 100% de Sn02; - fig. 3 is a graph representing a typical idealized variation curve of the refractive indices and which shows the gradual transition between a layer composed of 100% of Si02 and a layer formed of 100% of Sn02;
— la fig. 4 est une vue schématique en coupe d'un nouvel appareil pour la mise en œuvre du procédé de l'invention; - fig. 4 is a schematic sectional view of a new device for implementing the method of the invention;
— la fig. 5 est un diagramme représentant les mesures expérimentales de la composition chimique d'une zone dégradée silice-oxyde d'étain préparée conformément à l'invention, et - fig. 5 is a diagram representing the experimental measurements of the chemical composition of a degraded silica-tin oxide zone prepared in accordance with the invention, and
— la fig. 6 est un graphique représentant une variation observée de l'indice de réfraction du dépôt initial de Si02 — Sn02 formé à la surface d'un verre en fonction de la composition du gaz. - fig. 6 is a graph representing an observed variation in the refractive index of the initial deposit of Si02 - Sn02 formed on the surface of a glass as a function of the composition of the gas.
La fig. 4 représente une section d'une machine pour produire un verre flotté. La structure de la machine elle-même n'a pas été représentée pour plus de clarté. Le verre chaud 10, dont la température est d'environ 500-600 C, est entraîné dans la machine sur des rouleaux 12, 14 et 16. Entre les rouleaux 12 et 14 est disposé un ensemble 18 comprenant un conduit d'arrivée de gaz 20 et un conduit de départ ou de sortie de gaz 22. Entre les conduits 22 et 20, dont il est séparé par une paroi d'échange de chaleur 24, s'étend un conduit 25 qui constitue un moyen pour transporter un fluide d'échange de chaleur qui, de son côté, constitue un moyen pour refroidir les gaz du conduit de sortie 22 et pour chauffer les gaz circulant dans le conduit 20. La température du fluide d'échange de chaleur est maintenue suffisamment basse pour qu'il ne se forme pas de revêtement à la surface du conduit d'entrée. Fig. 4 shows a section of a machine for producing a float glass. The structure of the machine itself has not been shown for clarity. The hot glass 10, the temperature of which is about 500-600 C, is driven into the machine on rollers 12, 14 and 16. Between the rollers 12 and 14 is arranged an assembly 18 comprising a gas inlet duct 20 and a gas outlet or outlet conduit 22. Between the conduits 22 and 20, from which it is separated by a heat exchange wall 24, extends a conduit 25 which constitutes a means for transporting a fluid heat exchange which, for its part, constitutes a means for cooling the gases of the outlet duct 22 and for heating the gases circulating in the duct 20. The temperature of the heat exchange fluid is kept low enough so that it does not no coating is formed on the surface of the inlet duct.
Le gaz qui circule dans le conduit d'entrée 20 traverse une fente 28 pour se diriger le long d'une zone de réaction formée par la surface 30 de l'ensemble 18 et par la surface inférieure de la feuille de verre 10. En atteignant une seconde fente 32, le reste du gaz est évacué par le conduit 22. Pendant le passage du gaz le long de la surface inférieure de la feuille de verre 10, un revêtement dégradé est formé par suite de l'épuissement sélectif de l'un de réactants aux différents points se situant le long de la zone de dépôt comprise entre les rouleaux 12 et 14. The gas which circulates in the inlet conduit 20 passes through a slot 28 to direct itself along a reaction zone formed by the surface 30 of the assembly 18 and by the lower surface of the glass sheet 10. Upon reaching a second slot 32, the rest of the gas is evacuated through the conduit 22. During the passage of the gas along the lower surface of the glass sheet 10, a degraded coating is formed as a result of the selective exhaustion of one of reactants at the different points located along the deposition zone between the rollers 12 and 14.
Dans l'appareil représenté sur la fig. 4, on utilise un second ensemble de conduits 38 pour compléter la formation du revêtement, par exemple en superposant un revêtement d'oxyde d'étain dopé par un fluorure sur le premier revêtement dégradé. Ici également, il est pratique que le gaz entre par une ouverture d'amont 28a et qu'il sorte par une ouverture d'aval 32a. In the apparatus shown in fig. 4, a second set of conduits 38 is used to complete the formation of the coating, for example by superimposing a coating of tin oxide doped with a fluoride on the first degraded coating. Here too, it is practical for the gas to enter through an upstream opening 28a and to exit through a downstream opening 32a.
Les conduits sont, de préférence, formés d'un alliage d'acier résistant à la corrosion et comprennent une chemise calorifuge. The conduits are preferably formed from a corrosion resistant steel alloy and include a heat insulating jacket.
Les exemples suivants, qui n'ont bien entendu aucun caractère limitatif, feront mieux comprendre les particularités de l'invention. The following examples, which of course have no limiting character, will make the particular features of the invention better understood.
Exemple I Example I
Un verre chauffé à environ 580° C est entraîné à la vitesse de 10 cm/s dans l'appareil représenté sur la fig. 4. On maintient la température du conduit d'arrivée du gaz à environ 300° C en faisant circuler de l'air convenablement chauffé ou refroidi dans le conduit de réglage de température. Dans la première région de dépôt atteinte par le verre, on introduit un mélange gazeux ayant la composition suivante (en moles%): A glass heated to about 580 ° C is entrained at the speed of 10 cm / s in the apparatus shown in fig. 4. The temperature of the gas inlet pipe is maintained at around 300 ° C. by circulating air suitably heated or cooled in the temperature control pipe. In the first deposition region reached by the glass, a gas mixture having the following composition (in mole%) is introduced:
1,1,2,2-Tétraméthyldisilane 0,7% 1,1,2,2-Tetramethyldisilane 0.7%
tétraméthylétain 1,4% tetramethyl tin 1.4%
bromotrifluorométhane 2% bromotrifluoromethane 2%
air sec le reste On alimente la seconde région de dépôt avec un mélange gazeux ayant la composition suivante (en moles%): dry air the rest The second deposition region is supplied with a gas mixture having the following composition (in mole%):
Tétraméthylétain 1,6% Tetramethyltin 1.6%
bromotrifluorométhane 3% bromotrifluoromethane 3%
air sec le reste dry air the rest
On règle les débits des mélanges gazeux de façon à obtenir une durée de contact moyenne entre un élément donné du mélange et la surface du verre d'environ 0,2 s. The flow rates of the gas mixtures are adjusted so as to obtain an average contact time between a given element of the mixture and the glass surface of approximately 0.2 s.
On obtient ainsi un verre couché qui, en réfléchissant la lumière du jour, présente une coloration neutre. Il a une réflectivité visible de 15% et ne présente pas de voile. La réflectivité en infrarouge est de 90% à une longueur d'onde de 10 jx. La résistance électrique résultante est de 5£22. Le revêtement a'une épaisseur d'environ 0,5 fi. A coated glass is thus obtained which, by reflecting the light of day, has a neutral coloring. It has a visible reflectivity of 15% and has no haze. The reflectivity in infrared is 90% at a wavelength of 10 jx. The resulting electrical resistance is 5 £ 22. The coating has a thickness of about 0.5 µm.
Exemple 2 Example 2
On répète la procédure de dépôt de l'exemple 1, la seule différence étant que le mélange gazeux, alimentant la première région de dépôt, a la composition suivante: The deposition procedure of Example 1 is repeated, the only difference being that the gaseous mixture supplying the first deposition region has the following composition:
1,2-Diméthyldisilane 0,4% 1,2-Dimethyldisilane 0.4%
1,1,2-triméthyIdisilane 0,3% 1,1,2-trimethyIdisilane 0.3%
1,1,2,2-tétraméthyldisilane environ 0,02% 1,1,2,2-tetramethyldisilane about 0.02%
tétraméthylétain 1,5% tetramethyl tin 1.5%
bromotrifluorométhane 2% bromotrifluoromethane 2%
air sec le reste dry air the rest
Les propriétés du produit résultant ne présentent aucune différence avec celles de l'exemple 1. The properties of the resulting product do not differ from those of Example 1.
On soumet des échantillons de ces verres couchés à une analyse chimique Auger pour déterminer la composition du revêtement, Samples of these coated glasses are subjected to an Auger chemical analysis to determine the composition of the coating,
ainsi qu'à un décapage par projection d'ions pour révéler sa composition chimique en fonction de l'épaisseur. La fig. 5 montre le profil de la composition chimique résultante du dépôt dans la région dans laquelle il varie. On voit que, près de la surface du verre, le dépôt se compose principalement de bioxyde de silicium, un atome de silicium sur huit environ étant remplacé par de l'étain. A mesure qu'on s'éloigne de la surface du verre, la concentration de l'étain augmente et celle du silicium décroît, de sorte que, à des distances supérieures à 18 (i de la surface du verre, le dépôt se compose principalement de bioxyde de silicium, un atome de silicium sur huit environ étant remplacé par de l'étain. A mesure qu'on s'éloigne de la surface du verre, la concentration de l'étain augmente et celle du silicium décroît, de sorte que, à des distances supérieures à 18 n de la surface du verre, le dépôt se compose d'oxyde d'étain avec environ 1,5% de l'oxygène remplacé par du fluor. En utilisant la fig. 3, on convertit le profil de composition silicium-étain en un profil de l'indice de réfraction en fonction de la distance, qui a aussi été tracé sur la fig. 5. Ces résultats confirment l'aptitude du procédé décrit à produire la variation désirée de l'indice de réfraction le long de l'épaisseur de la pellicule déposée. as well as an ion projection pickling to reveal its chemical composition as a function of thickness. Fig. 5 shows the profile of the chemical composition resulting from the deposition in the region in which it varies. It can be seen that, near the surface of the glass, the deposit consists mainly of silicon dioxide, about one in eight silicon atoms being replaced by tin. As one moves away from the surface of the glass, the concentration of tin increases and that of silicon decreases, so that, at distances greater than 18 (i from the surface of the glass, the deposit mainly consists of silicon dioxide, about one in eight silicon atoms being replaced by tin. As one moves away from the glass surface, the concentration of tin increases and that of silicon decreases, so that , at distances greater than 18 n from the glass surface, the deposit consists of tin oxide with approximately 1.5% of oxygen replaced by fluorine. Using Fig. 3, the profile is converted of silicon-tin composition in a profile of the refractive index as a function of the distance, which has also been plotted in Fig. 5. These results confirm the ability of the process described to produce the desired variation in the index of refraction along the thickness of the deposited film.
5 5
10 10
15 15
20 20
25 25
30 30
35 35
40 40
45 45
50 50
55 55
60 60
65 65
7 7
638 762 638,762
Exemple 3 Example 3
On applique, sur un substrat de verre, des revêtements d'oxyde d'étain ayant différentes épaisseurs (un premier revêtement, constitué par une pellicule ultra-mince de bioxyde de silicium ayant préalablement été appliqué sur le substrat afin de produire une surface antivoile amorphe). Tin oxide coatings of different thicknesses are applied to a glass substrate (a first coating, consisting of an ultra-thin film of silicon dioxide having previously been applied to the substrate in order to produce an amorphous anti-fog surface ).
Epaisseur Thickness
de l'oxyde oxide
Visibilité de l'iridescence d'étain Visibility of tin iridescence
0,3 n forte 0.3 n strong
0,6 n distincte, mais plus faible 0.6 n distinct, but lower
0,9 n simplement perceptible sauf en lumière fluorescente 0.9 n simply noticeable except in fluorescent light
1.3 |x faible, même à la lumière fluorescente 1.3 | x weak, even under fluorescent light
Les deux dernières matières ne se heurtent à aucune objection du point de vue esthétique pour être utilisées dans l'architecture, confirmant ainsi la justesse de l'échelle de saturation des couleurs utilisée pour évaluer la qualité des produits. The last two materials meet with no objection from an aesthetic point of view to be used in architecture, thus confirming the accuracy of the color saturation scale used to assess the quality of the products.
Pour obtenir un maximum d'efficacité dans la suppression des irisations, il est utile que l'indice de réfraction du dépôt initial soit étroitement voisin de celui du substrat de verre, de préférence à To obtain maximum efficiency in the removal of iridescence, it is useful that the refractive index of the initial deposit is close to that of the glass substrate, preferably at
±0,04 ou, mieux encore, à ±0,02 unité d'indice de réfraction. Pour obtenir une telle adaptation, on fait varier les paramètres de la procédure de dépôt, en particulier le rapport du nombre des atomes d'étain sur ceux de silicium dans le gaz d'entrée. Un exemple d'une 5 telle variation, représenté sur la fig. 6, montre la variation résultante de l'indice de réfraction d'un dépôt initial de tétraméthylétain et de mélanges de 1,1,2,2-tétraméthyldisilane, en fonction de la composition des gaz. Les autres paramètres de ces dépôts ont été les mêmes que dans l'exemple 1. La fig. 6 montre, par exemple, qu'un dépôt io initial, ayant un indice de réfraction de 1,52 (adapté aux indices de réfraction des verres à vitre usuels), est produit par un gaz contenant des nombres égaux d'atomes de silicium et d'étain. Une adaptation à un indice de 1,52 ±0,02 est obtenue quand la composition du gaz est maintenue entre 47 et 52% atomiques d'étain. Bien que ces nombres îs puissent être légèrement différents dans d'autres conditions de dépôt, par exemple pour d'autres températures ou d'autres composés, c'est une affaire de routine d'établir, par des expériences, des courbes d'étalonnage telles que celles de la fig. 6 pour obtenir une adaptation convenable des indices de réfraction du substrat et de la 20 composition de revêtement déposée initialement. ± 0.04 or, better still, ± 0.02 refractive index unit. To obtain such an adaptation, the parameters of the deposition procedure are varied, in particular the ratio of the number of tin atoms to those of silicon in the inlet gas. An example of such a variation, shown in FIG. 6, shows the resulting variation in the refractive index of an initial deposit of tetramethyl tin and mixtures of 1,1,2,2-tetramethyldisilane, as a function of the composition of the gases. The other parameters of these deposits were the same as in Example 1. FIG. 6 shows, for example, that an initial deposit, having a refractive index of 1.52 (adapted to the refractive indices of standard window glasses), is produced by a gas containing equal numbers of silicon atoms and of tin. An adaptation to an index of 1.52 ± 0.02 is obtained when the composition of the gas is maintained between 47 and 52 atomic% of tin. Although these numbers may be slightly different under other deposition conditions, for example for other temperatures or other compounds, it is a routine matter to establish, by experiments, calibration curves such as those in fig. 6 to obtain a suitable adaptation of the refractive indices of the substrate and of the coating composition initially deposited.
Il est à noter que la réflexion de la lumière par la surface des produits couchés de l'exemple 3 est d'environ 16 à 17%, c'est-à-dire supérieure d'environ 10% à celle des verres couchés des exemples 1 et 2 qui ne comporte pas de sous-couche dégradée conforme à l'inven-25 tion. It should be noted that the reflection of light by the surface of the coated products of Example 3 is approximately 16 to 17%, that is to say approximately 10% greater than that of the coated glasses of the examples. 1 and 2 which does not have a degraded undercoat according to the invention.
R R
3 feuilles dessins 3 sheets of drawings
Claims (32)
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US05/884,432 US4206252A (en) | 1977-04-04 | 1978-03-08 | Deposition method for coating glass and the like |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CH638762A5 true CH638762A5 (en) | 1983-10-14 |
Family
ID=25384616
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CH213079A CH638762A5 (en) | 1978-03-08 | 1979-03-05 | PROCESS FOR CONTINUOUSLY COATING A SUBSTRATE, PRODUCT RESULTING FROM THIS PROCESS AND APPARATUS FOR ITS IMPLEMENTATION. |
Country Status (19)
Country | Link |
---|---|
JP (2) | JPS54127424A (en) |
AR (1) | AR216975A1 (en) |
AU (1) | AU526605B2 (en) |
BE (1) | BE874614A (en) |
BR (1) | BR7901379A (en) |
CA (1) | CA1134214A (en) |
CH (1) | CH638762A5 (en) |
DE (1) | DE2908412C2 (en) |
DK (1) | DK94879A (en) |
ES (2) | ES478393A1 (en) |
FI (1) | FI790781A (en) |
FR (1) | FR2419335A1 (en) |
GB (1) | GB2015983B (en) |
IE (1) | IE48228B1 (en) |
IT (1) | IT1119685B (en) |
MX (1) | MX151883A (en) |
NL (1) | NL7901875A (en) |
NO (1) | NO145947C (en) |
SE (1) | SE445449B (en) |
Families Citing this family (29)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4291167A (en) | 1980-07-28 | 1981-09-22 | Nalco Chemical Company | Preparation of tetramethyldisilane from 1,2-tetramethyldichlorodisilane |
JPS57100942A (en) * | 1980-12-10 | 1982-06-23 | Asahi Glass Co Ltd | Substrate coated with silicon oxide |
US4386117A (en) * | 1981-11-20 | 1983-05-31 | Gordon Roy G | Coating process using alkoxy substituted silicon-bearing reactant |
JPS58112374A (en) * | 1981-12-25 | 1983-07-04 | Fuji Electric Corp Res & Dev Ltd | Manufacture of photovoltaic device |
JPS58112375A (en) * | 1981-12-25 | 1983-07-04 | Fuji Electric Corp Res & Dev Ltd | Manufacture of photovoltaic device |
US4595634A (en) * | 1983-08-01 | 1986-06-17 | Gordon Roy G | Coating process for making non-iridescent glass |
GB8624825D0 (en) * | 1986-10-16 | 1986-11-19 | Glaverbel | Vehicle windows |
US5221352A (en) * | 1989-06-19 | 1993-06-22 | Glaverbel | Apparatus for pyrolytically forming an oxide coating on a hot glass substrate |
US5122391A (en) * | 1991-03-13 | 1992-06-16 | Watkins-Johnson Company | Method for producing highly conductive and transparent films of tin and fluorine doped indium oxide by APCVD |
CH690511A5 (en) * | 1994-09-01 | 2000-09-29 | Balzers Hochvakuum | An optical component and method for manufacturing such. |
DE4433206A1 (en) * | 1994-09-17 | 1996-03-21 | Goldschmidt Ag Th | Process for the pyrolytic coating of glass, glass ceramic and enamel products |
FR2736632B1 (en) | 1995-07-12 | 1997-10-24 | Saint Gobain Vitrage | GLAZING PROVIDED WITH A CONDUCTIVE AND / OR LOW-EMISSIVE LAYER |
TW328971B (en) * | 1995-10-30 | 1998-04-01 | Dow Corning | Method for depositing Si-O containing coatings |
US5698262A (en) | 1996-05-06 | 1997-12-16 | Libbey-Owens-Ford Co. | Method for forming tin oxide coating on glass |
DE19624838A1 (en) * | 1996-06-21 | 1998-01-08 | Schueller Glasbeschichtung Gmb | Insulating anti-reflective coating and process for its production |
US6287990B1 (en) | 1998-02-11 | 2001-09-11 | Applied Materials, Inc. | CVD plasma assisted low dielectric constant films |
US6303523B2 (en) | 1998-02-11 | 2001-10-16 | Applied Materials, Inc. | Plasma processes for depositing low dielectric constant films |
US6054379A (en) | 1998-02-11 | 2000-04-25 | Applied Materials, Inc. | Method of depositing a low k dielectric with organo silane |
US6667553B2 (en) | 1998-05-29 | 2003-12-23 | Dow Corning Corporation | H:SiOC coated substrates |
US6159871A (en) | 1998-05-29 | 2000-12-12 | Dow Corning Corporation | Method for producing hydrogenated silicon oxycarbide films having low dielectric constant |
FR2787440B1 (en) * | 1998-12-21 | 2001-12-07 | Saint Gobain Vitrage | TRANSPARENT SUBSTRATE HAVING AN ANTI-REFLECTIVE COATING |
US6797388B1 (en) * | 1999-03-18 | 2004-09-28 | Ppg Industries Ohio, Inc. | Methods of making low haze coatings and the coatings and coated articles made thereby |
US6709721B2 (en) | 2001-03-28 | 2004-03-23 | Applied Materials Inc. | Purge heater design and process development for the improvement of low k film properties |
JP4924070B2 (en) * | 2007-02-06 | 2012-04-25 | ブラザー工業株式会社 | Printing device |
US8728634B2 (en) * | 2007-06-13 | 2014-05-20 | Ppg Industries Ohio, Inc. | Appliance transparency |
FR2956659B1 (en) | 2010-02-22 | 2014-10-10 | Saint Gobain | LAYER COATED VERTICAL SUBSTRATE WITH IMPROVED MECHANICAL STRENGTH |
FR2962852A1 (en) | 2010-07-19 | 2012-01-20 | Saint Gobain | TRANSPARENT ELECTRODE FOR HIGH-PERFORMANCE PHOTOVOLTAIC CELL |
RU2014117616A (en) * | 2011-09-30 | 2015-11-10 | Аркема Инк. | APPLICATION OF SILICON OXIDE BY CHEMICAL DEPOSITION FROM VAPOR PHASE AT ATMOSPHERIC PRESSURE |
FR2983350A1 (en) * | 2011-11-30 | 2013-05-31 | Saint Gobain | Transparent electrode for use in front face substrate of photovoltaic cell, has tin and silicon mixed oxide layer with specific thickness, and positioned between electroconducting layer and photovoltaic material |
Family Cites Families (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE841625C (en) * | 1942-02-01 | 1952-06-16 | Leitz Ernst Gmbh | Process for the production of reflection-reducing layers, e.g. B. on glass |
DE742463C (en) * | 1942-07-15 | 1944-01-18 | Jenaer Glaswerk Schott & Gen | Layer for changing the reflectivity from a plurality of alternately superimposed partial layers made of two substances with different refractive indices |
US2602032A (en) * | 1946-08-19 | 1952-07-01 | Libbey Owens Ford Glass Co | Electrically conducting surface and method for producing same |
US2617745A (en) * | 1951-12-19 | 1952-11-11 | Pittsburgh Plate Glass Co | Method of producing an electroconductive article |
US2962388A (en) * | 1954-03-12 | 1960-11-29 | Metallgesellschaft Ag | Process for the production of titanium carbide coatings |
GB1115884A (en) * | 1966-03-25 | 1968-05-29 | Standard Telephones Cables Ltd | Method for depositing on a substrate coherent solid layers |
FR1524729A (en) * | 1966-05-27 | 1968-05-10 | Dow Corning | Method and apparatus for the continuous production of semiconductor materials |
US3808035A (en) * | 1970-12-09 | 1974-04-30 | M Stelter | Deposition of single or multiple layers on substrates from dilute gas sweep to produce optical components, electro-optical components, and the like |
FR2210675B1 (en) * | 1972-12-15 | 1978-05-12 | Ppg Industries Inc | |
GB1507465A (en) * | 1974-06-14 | 1978-04-12 | Pilkington Brothers Ltd | Coating glass |
GB1507996A (en) * | 1975-06-11 | 1978-04-19 | Pilkington Brothers Ltd | Coating glass |
GB1524326A (en) * | 1976-04-13 | 1978-09-13 | Bfg Glassgroup | Coating of glass |
-
1979
- 1979-02-06 CA CA320,878A patent/CA1134214A/en not_active Expired
- 1979-02-07 AU AU44014/79A patent/AU526605B2/en not_active Expired
- 1979-02-07 IE IE235/79A patent/IE48228B1/en unknown
- 1979-02-19 MX MX176653A patent/MX151883A/en unknown
- 1979-02-28 AR AR275647A patent/AR216975A1/en active
- 1979-03-02 FR FR7905492A patent/FR2419335A1/en active Granted
- 1979-03-03 DE DE2908412A patent/DE2908412C2/en not_active Expired - Fee Related
- 1979-03-05 CH CH213079A patent/CH638762A5/en not_active IP Right Cessation
- 1979-03-05 BE BE0/193835A patent/BE874614A/en not_active IP Right Cessation
- 1979-03-07 SE SE7902052A patent/SE445449B/en not_active IP Right Cessation
- 1979-03-07 IT IT67488/79A patent/IT1119685B/en active
- 1979-03-07 FI FI790781A patent/FI790781A/en not_active Application Discontinuation
- 1979-03-07 GB GB7908105A patent/GB2015983B/en not_active Expired
- 1979-03-07 ES ES478393A patent/ES478393A1/en not_active Expired
- 1979-03-07 DK DK94879A patent/DK94879A/en not_active Application Discontinuation
- 1979-03-07 NO NO790762A patent/NO145947C/en unknown
- 1979-03-07 BR BR7901379A patent/BR7901379A/en unknown
- 1979-03-08 JP JP2723879A patent/JPS54127424A/en active Granted
- 1979-03-08 NL NL7901875A patent/NL7901875A/en not_active Application Discontinuation
- 1979-07-12 ES ES482440A patent/ES482440A1/en not_active Expired
-
1986
- 1986-12-09 JP JP61293328A patent/JPS62191448A/en active Granted
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
IT7967488A0 (en) | 1979-03-07 |
GB2015983A (en) | 1979-09-19 |
SE7902052L (en) | 1979-09-09 |
JPS54127424A (en) | 1979-10-03 |
JPH0157061B2 (en) | 1989-12-04 |
MX151883A (en) | 1985-04-23 |
BR7901379A (en) | 1979-10-02 |
JPS62191448A (en) | 1987-08-21 |
NL7901875A (en) | 1979-09-11 |
GB2015983B (en) | 1983-02-02 |
NO145947B (en) | 1982-03-22 |
AR216975A1 (en) | 1980-02-15 |
DE2908412A1 (en) | 1979-09-20 |
IE790235L (en) | 1979-09-08 |
ES482440A1 (en) | 1980-02-16 |
BE874614A (en) | 1979-09-05 |
FR2419335B1 (en) | 1985-03-22 |
JPS635343B2 (en) | 1988-02-03 |
AU526605B2 (en) | 1983-01-20 |
DE2908412C2 (en) | 1994-01-27 |
NO790762L (en) | 1979-09-11 |
IT1119685B (en) | 1986-03-10 |
FI790781A (en) | 1979-09-09 |
ES478393A1 (en) | 1980-01-16 |
SE445449B (en) | 1986-06-23 |
AU4401479A (en) | 1979-09-20 |
IE48228B1 (en) | 1984-11-14 |
DK94879A (en) | 1979-09-09 |
CA1134214A (en) | 1982-10-26 |
FR2419335A1 (en) | 1979-10-05 |
NO145947C (en) | 1982-06-30 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CH638762A5 (en) | PROCESS FOR CONTINUOUSLY COATING A SUBSTRATE, PRODUCT RESULTING FROM THIS PROCESS AND APPARATUS FOR ITS IMPLEMENTATION. | |
US4206252A (en) | Deposition method for coating glass and the like | |
EP0712815B1 (en) | Glazing provided with a thin coating and process for making it | |
FR2512967A1 (en) | NON-IRIDESCENT GLASS STRUCTURES | |
CA2806026C (en) | Multilayered glazing | |
US4440822A (en) | Non-iridescent glass structures | |
EP0650938B1 (en) | Transparent substrate coated with a metallic nitride layer | |
BE1005317A5 (en) | Method of forming a coating on glass. | |
CA2199622A1 (en) | Glazing including a conductive and/or low-emissive layer | |
FR2759362A1 (en) | TRANSPARENT SUBSTRATE EQUIPPED WITH AT LEAST ONE THIN LAYER BASED ON SILICON NITRIDE OR OXYNITRIDE AND ITS PROCESS FOR OBTAINING IT | |
FR2704545A1 (en) | Glazing provided with a functional conductive and / or low-emissive layer. | |
LU87645A1 (en) | SUBSTRATE HAVING A MULTI-LAYER COATING AND METHOD FOR DEPOSITING SUCH A COATING | |
EP0638527A1 (en) | Process for the deposition of a metallic nitride layer on a transparent substrate | |
FR3072957B1 (en) | SUBSTRATE PROVIDED WITH A STACK WITH THERMAL PROPERTIES | |
CH666254A5 (en) | METHOD FOR DEPOSITING A COATING TO FORM A NON-IRIDESCENT GLASS STRUCTURE. | |
LU88748A1 (en) | Substrate bearing a coating with high light transmission with low solar factor and having a neutral aspect in reflection | |
EP3386929B1 (en) | Process and plant for obtaining colored glazing | |
CH683182A5 (en) | A coated glass and its manufacturing process. | |
BE1010321A5 (en) | Glass solar protection and method for manufacturing a glass tel. | |
US4294193A (en) | Apparatus for vapor coating a moving glass substrate | |
BE1008681A3 (en) | Glass carrying pyrolytic coating. | |
FR2459785A2 (en) | HEAT-REFLECTING TITANIUM DIOXIDE COATED PANEL AND METHOD OF MANUFACTURING THE SAME | |
CH640205A5 (en) | Noniridescent coated glasses | |
CA1147139A (en) | Deposition method |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
PL | Patent ceased |