CH402216A - Verfahren und Einrichtung zur Herstellung von Profilfräsungen mittels eines Ladungsträgerstrahls - Google Patents

Verfahren und Einrichtung zur Herstellung von Profilfräsungen mittels eines Ladungsträgerstrahls

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CH402216A
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CH
Switzerland
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deflection
profile
charge carrier
carrier beam
dependent
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CH905461A
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Wolfgang Dr Opitz
Fritz Dipl Ing Schleich
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United Aircraft Corp
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    • H01J37/00Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
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    • H01J37/04Arrangements of electrodes and associated parts for generating or controlling the discharge, e.g. electron-optical arrangement or ion-optical arrangement
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