"QUEIMADOR PARA UM PROCESSO DE DEPOSIÇÃO EM FASE VAPOR"
Esta invenção refere-se a um queimador para um processo de deposição química em fase vapor, em particular para um processo de deposição química em fase vapor para a manufatura de uma preforma de vidro, adequada para estirar uma fibra óptica.
Dois processos típicos para produzir uma preforma de vidro, adequados para estirar uma fibra óptica, são a OVD (Deposição em fase Vapor Externa) e a VAD (Deposição Axial em Fase-Vapor). Nestas técnicas, um queimador é usado para gerar uma chama e para ejetar uma ou mais substâncias que reagem na chama para formar fuligem de sílica (e sendo, portanto, chamadas "precursoras de sílica"), que é/são depositada(s) em um mandril rotativo.
Os queimadores convencionais para manufaturar preformas ópticas compreendem uma pluralidade de dutos coaxiais, terminando em bicos correspondentes, em que os gases são ejetados. Durante o processo, o queimador é alimentado com um precursor de sílica (tal como S1CI4, opcionalmente junto com materiais dopantes, tais como GeCl4), gases de combustão (p. ex., oxigênio e hidrogênio ou metano) e, opcionalmente, algum gás inerte (p. ex., nitrogênio, argônio ou hélio). Tipicamente, o material precursor de vidro é alimentado através do duto central. Os gases combustíveis compreendem um gás combustível contendo hidrogênio e um gás auxiliar, tipicamente oxigênio, que auxilia o gás combustível a gerar uma chama. Na corrente de gás assim composta, H2O é produzido como resultado da reação de combustão.
Quando o precursor de sílica é S1CI4, síntese de sílica é conseguida através de dois diferentes processos físico-químicos: um processo principal de hidrólise difusa entre o precursor e o produto de combustão (H2O), pela reação de SiCl4 + 2H20 SiO2 + 4HC1, e um processo secundário de oxidação pré-misturada, ativa em temperaturas muito elevadas (usualmente maiores do que 1000 ˚C), pela reação SiCl4+02 → SiO2 + 2Cl2. Um precursor de sílica alternativa é OMTCS (octametilciclotetrassiloxano) e oxidação pré-misturada é, neste caso, o único processo envolvido na síntese de sílica.
Identificou-se, por testes experimentais e simulações numéricas, dois fenômenos físicos que podem limitar a completa transformação do precursor e, como resultado, o rendimento do processo: penetração de H2O dentro da corrente de SiCl4 (ou de O2 dentro da corrente de OMTCS) e penetração de calor dentro da corrente de precursor e formação de fuligem. Penetração de calor reduzida resulta, em particular, em um reduzido aquecimento de partícula e em um efeito termoforético reduzido.
A presença destes dois fenômenos é problemática quando uma alta taxa de deposição é requerida. De fato, embora um caminho fácil de aumentar a vazão de reagente, sem excessivamente aumentar sua velocidade de saída, seja aumentar a seção transversal do bico de reagente (e, portanto, as dimensões do queimador), os intensos fluxos produzidos por tal queimador frustraria os fenômenos acima descritos, resultando em processos de baixa eficiência.
Dois queimadores de um tipo convencional são descritos na US 3.565.346 e US 5.922.100.
A US 3.565.346 descreve um queimador tendo um bico circular central para o tetracloreto de silício vaporizado, uma abertura de estojo anular circundando o bico central para a saída de um gás contendo oxigênio e uma pluralidade de aberturas, simetricamente dispostas em torno do estojo anular, em uma configuração cilíndrica, para ejetar um gás combustível.
A US 5.922.100 descreve um queimador tendo um bico circular central para OMCTS+O2, uma abertura anular circundando o bico central para ejetar N2, dois anéis de orifícios em torno da abertura anular, para ejetar O2 e um anel externo de orifícios, para ejetar CH4 + O2.
Foi observado que estes dois tipos de queimador podem prover bons desempenhos somente com vazões de reagente relativamente baixas.
JP04-228440 propõe um queimador de multi-chamas de alto rendimento, tendo o orifício de ejeção de precursor de formato elíptico ou retangular, capaz de melhorar a produção de deposição até 65%, com relação a queimadores tendo o orifício de ejeção de precursor de formato circular.
EP-A-0978487 revela um queimador para deposição de sílica tendo passagens com uma seção transversal convexa, conforme definido abaixo.
Atacou-se o problema de prover um queimador capaz de melhorar os fenômenos acima, de penetração de H2O dentro da corrente de SiC1"4 (ou de O2 dentro da corrente de OMTCS) e de penetração de calor dentro da corrente de precursor e formação fuligem, de modo a aumentar o rendimento do processo.
Verificou-se que, fornecendo um orifício de saída de precursor de seção transversal "côncava", a superfície de contato entre o precursor e o reagente, permitindo sua transformação em fuligem de vidro, é aumentada; como resultado, ambos ditos fenômenos são aperfeiçoados e o rendimento do processo é aumentado.
Para fins da presente invenção, formato "côncavo" significa qualquer formato geométrico planar que não seja "convexo", em que um formato geométrico planar é "convexo" se contiver todos os segmentos de linha conectando qualquer par de suas pontas. Assim, por exemplo, uma estrela é um formato côncavo, enquanto um círculo e um retângulo são formatos convexos.
O reagente é preferivelmente H2O, quando o precursor for SiC1"4, e O2 quando o precursor for OMCTS. Esta invenção, portanto, refere-se a um queimador para um processo de deposição, tendo um bico central para ejetar um material precursor de vidro, em que o bico central tem um orifício de saída tendo uma seção transversal côncava.
Preferivelmente, a dita seção transversal tem uma simetria em torno de um plano axial.
O queimador preferivelmente compreende pelo menos uma coroa de bicos circundando dito bico central, para ejetar um reagente de chama. O queimador também preferivelmente compreende um bico circular entre dito bico central e dita coroa de bicos, para ejetar um gás de blindagem interna.
A seção transversal do orifício de saída do bico central pode vantajosamente ter primeiros setores angulares de dimensões radiais mínimas e segundos setores angulares, de dimensões radiais máximas.
A pelo menos uma coroa de bicos pode compreender um primeiro conjunto de bicos nas mesmas posições angulares de ditos segundos setores angulares e um segundo conjunto de bicos nas mesmas posições angulares de ditos primeiros setores angulares.
Além disso, o queimador preferivelmente compreende um primeiro conjunto de orifícios saindo de dito primeiro conjunto de bicos e um segundo conjunto de orifícios saindo de dito segundo conjunto de bicos, os orifícios do primeiro conjunto sendo inclinado em um primeiro ângulo com relação a um eixo geométrico central de dito queimador e os orifícios do segundo conjunto sendo inclinados em um segundo ângulo com relação a dito eixo geométrico central, dito segundo ângulo sendo maior do que dito primeiro ângulo.
Preferivelmente, o queimador tem um duto central saindo de dito bico central, para a passagem de dito material precursor de vidro e compreende um membro central, posicionado dentro do duto central, para forçar o material precursor de vidro em direção ao limite externo de dito bico central.
O membro central pode ter pelo menos uma parte ampliada, que substancialmente se encaixa com as paredes externas de dito duto central.
Em um seu segundo aspecto, a presente invenção refere-se a um processo de deposição química em fase vapor, compreendendo ejetar uma corrente e material precursor de vidro tendo uma seção transversal côncava.
Vantajosamente, o processo pode ainda compreender produzir uma chama em torno de dita corrente de material precursor de vidro e ejetar um gás de blindagem interna entre dita corrente de material precursor de vidro e dita chama.
Preferivelmente, a corrente de material precursor de vidro tem um eixo geométrico central, dita seção transversal tem primeiras zonas angulares de extensão radial máxima, alternadas com segundas zonas angulares de extensão radial mínima, e a etapa de produzir uma chama compreende ejetar gases combustíveis ao longo de uma primeira direção, com relação a dito eixo geométrico das primeiras posições angulares, correspondendo a ditas primeiras zonas angulares e ao longo de uma segunda direção, com relação a dito eixo geométrico das segundas posições angulares, correspondendo a ditas segundas zonas angulares, dito segundo ângulo sendo maior do que dito primeiro ângulo.
Vantajosamente, a corrente de material precursor de vidro pode ter sua velocidade máxima em uma região anular em torno de um eixo geométrico central.
Mais detalhes podem ser encontrados na seguinte descrição, que se refere às figuras anexas listadas aqui:
• A Figura 1 mostra a face de um queimador de acordo com a presente invenção;
• A Figura 2 é uma vista ampliada da parte central da face do queimador da Figura 1;
• A Figura 3 é uma seção transversal longitudinal do queimador da presente invenção de acordo com a linha III-III da Figura 1;
• A Figura 4 é uma vista explodida do queimador da presente invenção, de seção transversal como na Figura 3; e
• As Figuras 5a e 5b mostram o perfil de velocidade de corrente precursora, na ausência e na presença de um pino central atuando como um membro de controle de fluxo, respectivamente.
A Figura 1 ilustra a face de um queimador 1 acordo com a presente invenção, particularmente adequado para um processo OVD. O queimador 1 está apto para ejetar uma corrente de material precursor de vidro (resumidamente referido como "precursor" a seguir) e para gerar uma chama para aquecer uniformemente dita corrente, assim fazendo com que o precursor reaja. Como resultado, uma corrente de partículas de vidro de fuligem fina é formada. As partículas de fuligem podem ser depositadas em uma haste rotativa, para formar uma preforma de vidro, também conhecida na técnica.
O queimador 1 tem, em sua face dianteira, um bico central 10, um bico anular 20 circundando o bico central IOe quatro coroas concêntricas de bicos 31, 32, 41, 42, circundando o bico circular 20. Um eixo geométrico central do queimador 1 é indicado por 5.
O queimador 1 pode, por exemplo, ejetar os seguintes gases:
- Bico central 10: SiCl4 + O2 (precursor);
- Bico circular 20: O2 (blindagem interna);
- Par interno de coroas de bicos 31, 32: CH4 + O2 (chama);
- Par externo de coroas de bicos 41, 42: O2 (blindagem externa).
De acordo com a presente invenção, o bico central 10 tem um orifício de saída tendo uma seção transversal de formato "côncavo" (como anteriormente definido), por exemplo, como o ilustrado na Figura 1.
Com referência à Figura 2, o orifício de saída do bico central 10 preferivelmente tem uma região central circular 1Oa e uma pluralidade de regiões radiais 1Ob estendendo-se da região central 10a. As regiões radiais 10b são preferivelmente uniformemente espaçadas e podem ser em número par ou ímpar (oito no presente caso). O orifício de saída do bico central 10 é preferivelmente simétrico com relação a um plano axial, isto é, a um plano contendo o eixo geométrico 5 (tal como plano III-III da Figura 1), tal como em um formato estrela de cinco pontas, e possivelmente simétrico com relação ao eixo geométrico 5, tal como em um formato estrela de seis pontas.
Na forma de realização particular aqui ilustrada, cada região radial 10b é delimitada por duas paredes laterais convergentes em direção ao eixo geométrico 5 (em particular, situando-se nos respectivos planos radiais) e por uma parede extrema situando-se em uma mesma circunferência que as paredes extremas das outras regiões radiais, próximo do limite interno do bico anular 20.
O formato particular da Figura 2 permite aumentar o perímetro externo da corrente precursora em mais do que 160%, com relação a um bico tendo a mesma área de seção transversal, porém formato circular. Como resultado, a área da corrente precursora exposta à chama é aumentada e o número de Reynolds (definido a seguir) e a turbulência de corrente são diminuídos.
As regiões radiais podem ter diferentes formatos daquele ilustrado na Figura 2, por exemplo, podem ser triangulares, tal como em um formato semelhante a estrela.
O queimador 1 pode também compreender vantajosamente um pino central 70, cujo escopo é regular a distribuição de gás no bico central 10, como mais tarde descrito. Com referência às Figuras 3 e 4, o queimador 1 preferivelmente compreende um bloco traseiro 2, um bloco dianteiro 3 e uma placa coletora (ou bloco intermediário) 4 interposta entre o bloco traseiro 2 e o bloco dianteiro 3. Estas três peças são preferivelmente feitas de metal (por exemplo, alumínio) e são liberavelmente acopladas entre si, por exemplo, por cavilhas (não mostrados). O bloco traseiro 2 é um bloco receptor de gás, conectado a um sistema de alimentação de reagente (não mostrado), para receber os gases necessários. O bloco dianteiro 3 define um bloco de ejeção de gás e tem a pluralidade de bicos de saída anteriormente descrita.
Preferivelmente, os blocos 2, 3 e 4 têm uma seção transversal substancialmente circular e são substancialmente coaxiais com o eixo geométrico 5. Além disso, os blocos 2, 3 e 4 são preferivelmente feitos de metal, material precursor de vidro de alumínio, que pode ser facilmente usinado; entretanto, outros metais adequados para ser usinados, como aço inoxidável (p. ex., aço inoxidável 303) podem alternativamente ser usados.
Para cada bloco, as partes traseira e dianteira serão identificadas coerentemente com a definição acima de bloco traseiro e bloco dianteiro.
O queimador 1 define internamente uma pluralidade de passagens de gás estendendo-se do bloco traseiro 2 para os bicos do bloco dianteiro 3. Em particular, o queimador 1 tem quatro passagens 100 - 400 adequadas para transportar os respectivos fluxos de gás. Entro do bloco traseiro 2 e da placa coletora 4 a primeira passagem 100 é um duto retilíneo e cilíndrico central, coaxial com o eixo geométrico 5, enquanto dentro o bloco dianteiro 3 é definido por um duto 101, tendo um formato de seção transversal como orifício de saída do bico 10. O duto 101 é delimitado pela superfície interna de uma parede central 102, cuja superfície externa delimita internamente a passagem 201. A superfície interna da parede 102 é sulcada, a fim de mostrar dita seção transversal particular. Nas Figuras 3 e 4, somente a primeira parte das passagens 100 e 200 é ilustrada, a primeira parte das passagens 300 e 400 sendo em posições angulares não cruzadas pelo plano III-III da Figura 1, porém sendo similar àquela da passagem 200.
O furo de entrada das passagens 100-400 é alargado e rosqueado para permitir acoplamento dos acessórios de tubo do sistema de alimentação de reagentes ao bloco traseiro 2.
O bloco traseiro 2 é preferivelmente um corpo inteiriçamente formado de formato substancialmente cilíndrico, tendo como sua base um flange radial 500 para acoplar em um bloco de fixação de queimador (não mostrado). Para esta finalidade, o flange radial 500 tem furos não rosqueados 510, para passagem de cavilhas de acoplamento (não mostrados).
A placa coletora 4 é preferivelmente um corpo com formato de disco, com o mesmo diâmetro externo do bloco traseiro 2, tendo a função de estabilizar a pressão de gás e prover fluxos uniformes de gás no bloco dianteiro 102. Para este fim, as passagens 100 - 400 têm uma placa coletora interna de dimensão mínima, predeterminada 4, a fim de regular a pressão de gás escoando ali. Dentro da placa coletora 4, as passagens 200 - 400 são definidas por respectivas coroas de orifícios, coaxiais com o eixo geométrico 5.
Tanto o bloco traseiro 2 como a placa coletora 4 podem ter, nas respectivas superfícies dianteiras, sulcos anulares 6, adequados para alojar os respectivos anéis-O, usados para evitar vazamento de gás entre as diferentes passagens do queimador 1 ou em direção à parte externa do queimador 1.
Preferivelmente, o bloco dianteiro 3 tem um formato tronco- cônico e compreende, em sua base, um flange circular 710, tendo substancialmente o mesmo diâmetro externo da placa coletora 4 e bloco traseiro 2. O queimador 1 é provido com furos 7 passando através de um flange circular 710 do bloco dianteiro, da parte externa da placa coletora 4 e da parte dianteira e externa do bloco traseiro 2 (onde eles são rosqueados), para permitir acoplamento das três peças por cavilhas.
Em sua primeira parte dentro do bloco dianteiro 3, as passagens 200, 300 e 400 são dutos anulares, convergindo para o eixo geométrico 5. Em seguida, enquanto a passagem 200 continua como um duto circular 201 em torno da passagem central 100 e termina no bico circular 20, as passagens 300 e 400 dividem-se cada uma em duas coroas de orifícios 301, 302 e 401 e 402, que terminam no primeiro par de coroas de bico 31, 32 e no segundo par de coroas de bico 41, 42, respectivamente.
Preferivelmente, os orifícios da coroa interna, isto é, aqueles indicados por 301 e terminando nos bicos 31, são em um número que é duas vezes o número das regiões radiais 10b do bico central 10. Além disso, os orifícios 301 são angularmente dispostos de modo que, como mostrado na Figura 2, metade dos bicos 31, indicados por 31a, é alinhada com as regiões radiais 10b e a outra metade de bicos 31, indicada por 31b, é interposta entre duas regiões radiais 10b.
Vantajosamente, a inclinação dos orifícios 301 depende da posição dos correspondentes bicos com relação às regiões radiais 10b. Em particular, esses orifícios 301, terminando em um bico 31b, têm uma inclinação com relação ao eixo geométrico central 5 maior do que os orifícios 301, terminando em um bico 31a, de modo a terem uma potência de penetração mais elevada do gás de chama (tal como CH4+O2) para dentro da corrente de gás precursor. Os ângulos formados pelos orifícios 301 com eixo geométrico 5 serão selecionados de acordo com o formato do bico central 10. Portanto, um primeiro conjunto de orifícios 301, terminando nos bicos 31a, estender-se-ão ao longo de direções formando um primeiro ângulo com o eixo geométrico 5 e um segundo conjunto de orifícios 301 terminando nos bicos 31b, estender-se-ão ao longo de direções formando um segundo ângulo com o eixo geométrico 5. O primeiro ângulo é preferivelmente compreendido entre 13° e 19° e o segundo ângulo é preferivelmente compreendido entre 17° e 23°.
Como mostrado na Figura 4, o pino central 70 é um membro semelhante a haste reta, com duas partes alargadas 70a, 70b tendo substancialmente o mesmo diâmetro da região central IOa da seção transversal do orifício de saída do bico central 10. As partes alargadas 70a, 70b se encaixam substancialmente com as paredes externas da região central 10a e sua função é aquela de manter o pino 70 em uma posição centrada. As partes alargadas também contribuem no forçamento do precursor para escoar para dentro das regiões radiais 10b.
O pino 70 é também provido, em sua extremidade traseira, de uma pluralidade de extensões radiais 70c, conformadas de modo a permitir a passagem do gás em seus interstícios. Por exemplo, a extremidade traseira do pino 70 pode compreender três extensões formando um triângulo com lados côncavos. A extremidade traseira do pino 70 é posicionada, quando o queimador está montado, em contato com uma borda 410 da placa coletora 4. O pino central 70 tem o escopo de forçar o precursor a corretamente distribuir-se sobre a parte externa do bico central 10, assim provocando uma diminuição da turbulência e da espessura da corrente precursora a ser penetrada por H2O, O2 ou outro reagente. As Figuras 5a e 5b mostram, respectivamente, o perfil de velocidade da corrente precursora na saída do queimador, na ausência e na presença do pino 70. Pode ser apreciado que, na presença do pino 70, a corrente é anular e a velocidade é mais elevada.
O formato côncavo da seção transversal do orifício de saída do bico central 10 fornece, com relação ao formato convexo tradicional, um aumento de superfície de corrente precursora, exposta aos gases de chama. Isto resulta em uma série de efeitos que melhoram a taxa de deposição. Um primeiro efeito é um aumento da quantidade de precursor transformado em partículas de fuligem de vidro, através de uma melhor difusão, dentro da corrente precursora, do reagente responsável por sua síntese (H2O,O2 etc.).
Um segundo efeito é o aumento da penetração dentro da corrente precursora do calor gerado pela chama. O aumento de temperatura na zona de reação de precursor provê diversos benefícios. Primeiro, a cinética da reação de síntese da sílica é mais rápida, uma vez que as constantes da cinética de reação aumentam com o aumento da temperatura. Além disso, uma temperatura mais elevada das partículas de fuligem é conseguida, que resulta em uma coalescência mais elevada, devido à melhorada fluidez das partículas, e em um efeito termoforético melhorado, devido a um mais elevado gradiente térmico, entre a corrente de partículas e a preforma. Uma taxa de deposição mais elevada é assim conseguida.
Um terceiro efeito é um consumo mais baixo de tanto os gases de chama como do precursor de vidro, devido à mais elevada eficiência de reação.
A particular seção transversal do orifício de saída do bico central 10 provê uma outra vantagem: uma redução da turbulência da corrente. Se a turbulência da corrente for demasiado alta, a camada de gás aderindo à superfície de preforma e fluindo sobre ela com movimento laminar, conhecida como "camada limite", tenderia a separar-se logo da preforma, resultando em uma redução da superfície de contato entre a corrente de partículas de fuligem e a própria preforma. Isto, naturalmente, provoca uma redução da eficiência do processo e um controle da turbulência de corrente é, portanto, muito importante.
A turbulência da corrente precursora é relacionada com o Número de Reynolds, definido como: <formula>formula see original document page 14</formula>
em que ρ é a massa específica do fluido, ν a velocidade do fluido, DH o diâmetro hidráulico definido como 4 (área de seção da corrente/perímetro de seção da corrente) e μ a viscosidade do fluido.
A seção transversal côncava do orifício de saída do bico central 10 provê baixos valores da relação área/perímetro e, portanto, baixos valores do Número de Reynolds. Pode ser verificado que o queimador 1 tem um Número de Reynolds que é de cerca de 66% mais baixo do que aquele de um queimador similar, tendo um bico central tendo um orifício de saída que tem uma seção transversal circular.
Um baixo valor do Número de Reynolds resulta em alta eficiência de deposição, uma vez que a corrente tem uma baixa turbulência e a camada limite da chama em torno da preforma tem uma larga extensão.
Por exemplo, pode ser apreciado que a geometria das segunda, terceira e quarta passagens 200, 300 e 400 não é básica e que o queimador 1 pode ser produzido com diferentes geometrias e números de passagens em torno da passagem central 100.
Exemplo
Comparou-se os desempenhos de um queimador de acordo com a presente invenção, em particular um queimador como nas Figuras 1 - 4, com aqueles de um queimador similar, tendo um bico central tendo um orifício de saída que tem uma seção transversal circular.
As Tabelas I e II informam as características dos dois queimadores, indicados como QUEIMADOR INV. (queimador da invenção) e QUEIMADOR COMP. (queimador comparativo). Os seguintes símbolos são usados:
ø1 = diâmetro interno;
ø0 = diâmetro externo;
øorif = diâmetro dos orifícios; N1C = número de orifícios da coroa interna; Noc = número de orifícios da coroa externa; a: inclinação dos orifícios com relação ao eixo geométrico 5; αIN: inclinação dos orifícios da coroa interna; aout: inclinação dos orifícios da coroa externa;
A10: seção transversal do bico 10; A70: seção
transversal do pino 70.
Tabela I - QUEIMADOR COMP.
<table>table see original document page 15</column></row><table>
Tabela II - QUEIMADOR INV.
<table>table see original document page 15</column></row><table>
10 As vazões de gás alimentadas aos queimadores são informadas
na Tabela III
Tabela III
<table>table see original document page 15</column></row><table>
A Tabela IV informa os resultados do experimento. Tabela IV <table>table see original document page 16</column></row><table>
A taxa de deposição e a eficiência foram calculadas de acordo com as seguintes relações:
<formula>formula see original document page 16</formula>
em que:
Q"prec = vazão do precursor (S1CI4, OMTCS, etc.) (g/min);
PM"prec = peso molecular do precursor;
PM"ox = peso molecular do óxido produzido (SiO2, GeO2 etc.);
v = relação de coeficientes estequiométricos do óxido e precursor.
A massa específica mais elevada da fuligem depositada resulta de uma temperatura mais elevada de partículas SiO2 depositadas na preforma. Pode ser observado que tanto a taxa de deposição como a eficiência do processo são melhoradas pelo uso do queimador da presente invenção.