BE839598A - Werkwijze en inrichting voor het door kathodeverstuiving op een drager aanbrengen van een laag materiaal - Google Patents

Werkwijze en inrichting voor het door kathodeverstuiving op een drager aanbrengen van een laag materiaal

Info

Publication number
BE839598A
BE839598A BE165190A BE165190A BE839598A BE 839598 A BE839598 A BE 839598A BE 165190 A BE165190 A BE 165190A BE 165190 A BE165190 A BE 165190A BE 839598 A BE839598 A BE 839598A
Authority
BE
Belgium
Prior art keywords
applying
layer
cathode spraying
cathode
spraying
Prior art date
Application number
BE165190A
Other languages
English (en)
Dutch (nl)
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed filed Critical
Publication of BE839598A publication Critical patent/BE839598A/xx

Links

Classifications

    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/228—Gas flow assisted PVD deposition
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/34—Sputtering
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/56—Apparatus specially adapted for continuous coating; Arrangements for maintaining the vacuum, e.g. vacuum locks
    • C23C14/562—Apparatus specially adapted for continuous coating; Arrangements for maintaining the vacuum, e.g. vacuum locks for coating elongated substrates
BE165190A 1975-03-20 1976-03-16 Werkwijze en inrichting voor het door kathodeverstuiving op een drager aanbrengen van een laag materiaal BE839598A (nl)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US05/560,352 US3976555A (en) 1975-03-20 1975-03-20 Method and apparatus for supplying background gas in a sputtering chamber

Publications (1)

Publication Number Publication Date
BE839598A true BE839598A (nl) 1976-09-16

Family

ID=24237439

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
BE165190A BE839598A (nl) 1975-03-20 1976-03-16 Werkwijze en inrichting voor het door kathodeverstuiving op een drager aanbrengen van een laag materiaal

Country Status (10)

Country Link
US (1) US3976555A (xx)
JP (1) JPS5912744B2 (xx)
BE (1) BE839598A (xx)
CA (1) CA1066663A (xx)
CH (1) CH612998A5 (xx)
DE (1) DE2610444C2 (xx)
FR (1) FR2304683A1 (xx)
GB (1) GB1541039A (xx)
IT (1) IT1058018B (xx)
NL (1) NL7602706A (xx)

Families Citing this family (24)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2527184C3 (de) * 1975-06-18 1981-07-02 Philips Patentverwaltung Gmbh, 2000 Hamburg Vorrichtung zur Herstellung von Targets für Kathodenzerstäubung
AU507748B2 (en) * 1976-06-10 1980-02-28 University Of Sydney, The Reactive sputtering
US4298444A (en) * 1978-10-11 1981-11-03 Heat Mirror Associates Method for multilayer thin film deposition
US4204942A (en) * 1978-10-11 1980-05-27 Heat Mirror Associates Apparatus for multilayer thin film deposition
US4270999A (en) * 1979-09-28 1981-06-02 International Business Machines Corporation Method and apparatus for gas feed control in a dry etching process
US4294678A (en) * 1979-11-28 1981-10-13 Coulter Systems Corporation Apparatus and method for preventing contamination of sputtering targets
US4309261A (en) * 1980-07-03 1982-01-05 University Of Sydney Method of and apparatus for reactively sputtering a graded surface coating onto a substrate
JPS57111031A (en) * 1980-12-27 1982-07-10 Clarion Co Ltd Sputtering device
CA1155798A (en) * 1981-03-30 1983-10-25 Shmuel Maniv Reactive deposition method and apparatus
DE3129327C2 (de) * 1981-07-24 1985-09-12 Flachglas AG, 8510 Fürth Vorrichtung zum Aufbringen dünner Schichten durch Kathodenzerstäubung
US4491509A (en) * 1984-03-09 1985-01-01 At&T Technologies, Inc. Methods of and apparatus for sputtering material onto a substrate
DE3735162A1 (de) * 1986-10-17 1988-04-28 Hitachi Ltd Aufdampfvorrichtung
NL8602759A (nl) * 1986-10-31 1988-05-16 Bekaert Sa Nv Werkwijze en inrichting voor het behandelen van een langwerpig substraat, dat van een deklaag voorzien is; alsmede volgens die werkwijze behandelde substraten en met deze substraten versterkte voorwerpen uit polymeermateriaal.
US5219668A (en) * 1986-10-31 1993-06-15 N.V. Bekaert S.A. Process and apparatus for the treatment of coated, elongated substrate, as well as substrates thus treated and articles of polymeric material reinforced with these substrates
US4885070A (en) * 1988-02-12 1989-12-05 Leybold Aktiengesellschaft Method and apparatus for the application of materials
US4849087A (en) * 1988-02-11 1989-07-18 Southwall Technologies Apparatus for obtaining transverse uniformity during thin film deposition on extended substrate
US5252194A (en) * 1990-01-26 1993-10-12 Varian Associates, Inc. Rotating sputtering apparatus for selected erosion
US5656138A (en) * 1991-06-18 1997-08-12 The Optical Corporation Of America Very high vacuum magnetron sputtering method and apparatus for precision optical coatings
US6258217B1 (en) 1999-09-29 2001-07-10 Plasma-Therm, Inc. Rotating magnet array and sputter source
US6898043B2 (en) * 2002-05-20 2005-05-24 Seagate Technology Llc Dual stage enclosure for servo track writer utilizing low-density gas
SE527180C2 (sv) * 2003-08-12 2006-01-17 Sandvik Intellectual Property Rakel- eller schaberblad med nötningsbeständigt skikt samt metod för tillverkning därav
US7141145B2 (en) * 2003-10-02 2006-11-28 Seagate Technology Llc Gas injection for uniform composition reactively sputter-deposited thin films
US20070224350A1 (en) * 2006-03-21 2007-09-27 Sandvik Intellectual Property Ab Edge coating in continuous deposition line
EP2762609B1 (en) * 2013-01-31 2019-04-17 Applied Materials, Inc. Apparatus and method for depositing at least two layers on a substrate

Family Cites Families (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3418229A (en) * 1965-06-30 1968-12-24 Weston Instruments Inc Method of forming films of compounds having at least two anions by cathode sputtering
GB1365492A (en) * 1971-02-05 1974-09-04 Triplex Safety Glass Co Metal oxide films
FR2132033B1 (xx) * 1971-04-02 1975-10-24 Delog Detag Flachglas Ag
US3856654A (en) * 1971-08-26 1974-12-24 Western Electric Co Apparatus for feeding and coating masses of workpieces in a controlled atmosphere
GB1419496A (en) * 1971-12-29 1975-12-31 Lucas Industries Ltd Sputtering apparatus
US3855612A (en) * 1972-01-03 1974-12-17 Signetics Corp Schottky barrier diode semiconductor structure and method
US3748253A (en) * 1972-01-24 1973-07-24 Gte Automatic Electric Lab Inc Apparatus with labyrinth heat exchanger for the sputtering depositionof thin films
US3793167A (en) * 1972-06-01 1974-02-19 Globe Amerada Glass Co Apparatus for manufacturing metal-coated glass
GB1443827A (en) * 1973-04-27 1976-07-28 Triplex Safety Glass Co Reactive sputtering apparatus and cathode units therefor

Also Published As

Publication number Publication date
FR2304683A1 (fr) 1976-10-15
CA1066663A (en) 1979-11-20
JPS5912744B2 (ja) 1984-03-26
IT1058018B (it) 1982-04-10
CH612998A5 (xx) 1979-08-31
JPS51139580A (en) 1976-12-01
DE2610444C2 (de) 1983-03-31
FR2304683B1 (xx) 1980-07-18
GB1541039A (en) 1979-02-21
NL7602706A (nl) 1976-09-22
US3976555A (en) 1976-08-24
DE2610444A1 (de) 1976-10-07

Similar Documents

Publication Publication Date Title
BE839598A (nl) Werkwijze en inrichting voor het door kathodeverstuiving op een drager aanbrengen van een laag materiaal
NL184368C (nl) Werkwijze voor het aanbrengen van een antistatische laag op een substraat.
NL7602156A (nl) Werkwijze en inrichting voor het met een dunne laag van gepolymeriseerd materiaal bedekken van een substraat door het gelijktijdig toepassen van glimontlading-polymerisatie en sputteren.
NL7800945A (nl) Werkwijze voor het op een ijzeren ondermateriaal op- brengen van een hechtende bekleding.
BE844863A (nl) Werkwijze en inrichting voor het terugwinnen van gebruikt asfaltmateriaal
NL7611952A (nl) Werkwijze voor het selektief galvaniseren van een gebied van een oppervlak.
NL7810960A (nl) Werkwijze en inrichting voor het aanbrengen van vloei- stof op een materiaalbaan.
AR209369A1 (es) Metodo y aparato para el recubrimiento de vidrio
NL7602566A (nl) Werkwijze voor het vormen van een patroon in een laag.
NL7712371A (nl) Werkwijze en apparaat voor het bevestigen van inrichtingen op een substraat.
NL7608300A (nl) Werkwijze en inrichting voor het op een materiaal opbrengen van een patroon.
BE838521A (nl) Werkwijze en inrichting voor het bevochtigen van baanvormig materiaal
NL169521C (nl) Werkwijze voor het aanbrengen van een reflexie verminderend lagenstelsel op substraten uit organisch materiaal.
NL7608397A (nl) Werkwijze voor het aanbrengen van een polyurethanlaag op een substraat.
NL172978B (nl) Afdichtende bekleding voor een ondergrond en werkwijze voor het aanbrengen van een zodanige bekleding.
NL7601586A (nl) Werkwijze voor het behandelen van een put.
NL7900982A (nl) Werkwijze en inrichting voor het aanbrengen en vast- houden van een begingedeelte van een filmband.
BE840416A (nl) Werkwijze voor het verbeteren van de hechting fotografisch lagen op materiaal banen door middel van een corona behandeling
NL175107C (nl) Werkwijze voor het aanbrengen van een laag van een positief werkende elektronenresist en werkwijze ter vervaardiging van een resistpatroon.
NL7802589A (nl) Inrichting voor het door een scherm heen aan- brengen van een laag deegachtig materiaal op een drager.
BE840047A (nl) Werkwijze voor het vervaardigen van een buis-vormige collageen kunstdarm en kunstdarm vervaardigd door toepassing van deze werkwijze
NL7600199A (nl) Werkwijze en inrichting voor het behandelen van een materiaal dat vezels van thermoplastisch materiaal bevat.
NL184114C (nl) Werkwijze voor het hechten van urethanmengsels aan rubber en werkwijze voor het opnieuw voorzien van een rubberband met een deklaag van urethanmateriaal.
NL7614369A (nl) Werkwijze voor het vervaardigen van een houder en inrichting voor het uitvoeren van deze werk- wijze.
NL7512188A (nl) Werkwijze voor het aanbrengen van luminescerend materiaal op een glazen drager.

Legal Events

Date Code Title Description
RE Patent lapsed

Owner name: STORK COLORPROOFING B.V.

Effective date: 19920331