BE787829A - Procede pour regler l'exposition d'un echantillon a un faisceaud'ions - Google Patents

Procede pour regler l'exposition d'un echantillon a un faisceaud'ions

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BE787829A
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adjusting
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ion
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BE787829A
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A U Mac Rae
R A Moline
K A Pickar
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Western Electric Co
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    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/30—Electron-beam or ion-beam tubes for localised treatment of objects
    • H01J37/304—Controlling tubes by information coming from the objects or from the beam, e.g. correction signals

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  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
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  • Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
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