AU8336698A - Coordinate measuring instrument with feeler and optic sensor for measuring the position of the feeler - Google Patents
Coordinate measuring instrument with feeler and optic sensor for measuring the position of the feelerInfo
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|---|---|---|---|---|
| EP0988505B1 (de) * | 1997-06-12 | 2002-01-09 | Werth Messtechnik GmbH | Koordinatenmessgerät mit biegeelastischer Tasterverlängerung und optischem Sensor |
| GB9907644D0 (en) * | 1999-04-06 | 1999-05-26 | Renishaw Plc | Surface sensing device with optical sensor |
| JP2004509345A (ja) * | 2000-09-20 | 2004-03-25 | ベルス・メステヒニーク・ゲーエムベーハー | 構造の光学的触感式測定を実行するための装置と方法 |
| DE10108774A1 (de) | 2001-02-23 | 2002-09-05 | Zeiss Carl | Koordinatenmessgerät zum Antasten eines Werkstücks, Tastkopf für ein Koordinatenmessgerät und Verfahren zum Betrieb eines Koordinatenmessgerätes |
| US20030048448A1 (en) * | 2001-03-19 | 2003-03-13 | Fleming Timothy J. | Automated apparatus for testing optical filters |
| US6983547B2 (en) * | 2001-03-19 | 2006-01-10 | Veeco Instruments Inc. | Goniometer |
| US7065892B2 (en) * | 2001-03-19 | 2006-06-27 | Veeco Instruments Inc. | Method and apparatus for calibrating a vision system to a parts handling device |
| JP2004535580A (ja) * | 2001-07-16 | 2004-11-25 | ベルス・メステヒニーク・ゲーエムベーハー | 表面特性の測定方法及び座標測定装置 |
| JP2003065748A (ja) * | 2001-08-29 | 2003-03-05 | Mitsutoyo Corp | 測定装置 |
| DE10159568A1 (de) * | 2001-12-04 | 2003-06-12 | Zf Batavia Llc | Verfahren zur Überprüfung der Fertigungsqualität von Schubgliedern in Schubgliederbändern |
| US20060007449A1 (en) | 2002-12-13 | 2006-01-12 | Ralf Christoph | Method for measuring a contour of a workpiece by scanning |
| DE10342689B3 (de) * | 2003-09-16 | 2005-05-25 | Bundesrepublik Deutschland, vertr. d. d. Bundesministerium für Wirtschaft und Arbeit, dieses vertr. d. d. Präsidenten der Physikalisch-Technischen Bundesanstalt | Verfahren zur Herstellung von Prüfkörpern für die Überprüfung von Messgeräten für Mikro-Bohrungen |
| DE102004022314A1 (de) * | 2004-05-04 | 2005-12-22 | Werth Messtechnik Gmbh | Koordinatenmessgerät sowie Verfahren zum Messen von Strukturen mittels eines Koordinatenmessgerätes |
| DE102004022750B4 (de) * | 2004-05-07 | 2007-04-19 | Bundesrepublik Deutschland, vertr. d. d. Bundesministerium für Wirtschaft und Technologie, dieses vertr. d. d. Präsidenten der Physikalisch-Technischen Bundesanstalt | Verfahren zur Herstellung eines Mikro-Prüfkörpers |
| DE202004011364U1 (de) * | 2004-07-20 | 2004-09-09 | Klingelnberg Gmbh | Vorrichtung zum Erkennen eines an einem Messgerät verwendeten Messkopfes |
| EP2224204B1 (de) | 2004-12-16 | 2021-05-26 | Werth Messtechnik GmbH | Verfahren zum Messen von Werkstückgeometrien mit einem Koordinatenmessgerät |
| US7130725B2 (en) * | 2004-12-17 | 2006-10-31 | The United States Of America As Represented By The Administrator Of The National Aeronautics And Space Administration | Method for correcting control surface angle measurements in single viewpoint photogrammetry |
| DE102005011258A1 (de) * | 2005-03-11 | 2006-09-14 | Forschungszentrum Karlsruhe Gmbh | Verfahren und Vorrichtung zur Messung von Strukturen eines Objekts |
| JP4705792B2 (ja) * | 2005-03-17 | 2011-06-22 | 株式会社ミツトヨ | 軸間角度補正方法 |
| JP2008536146A (ja) * | 2005-04-11 | 2008-09-04 | ファロ テクノロジーズ インコーポレーテッド | 3次元座標測定デバイス |
| GB0508388D0 (en) * | 2005-04-26 | 2005-06-01 | Renishaw Plc | Surface sensing device with optical sensor |
| US7185440B2 (en) * | 2005-07-18 | 2007-03-06 | Seagate Technology Llc | Sensing contact probe |
| DE102005037160B4 (de) * | 2005-08-06 | 2007-09-06 | SIOS Meßtechnik GmbH | Verfahren und Vorrichtung zur taktilen Erfassung |
| CN1329711C (zh) * | 2005-09-14 | 2007-08-01 | 哈尔滨工业大学 | 基于双光纤耦合的微小内腔体尺寸测量装置与方法 |
| DE102006001531A1 (de) | 2005-09-20 | 2007-03-22 | Werth Messtechnik Gmbh | Verfahren und Anordnung zur Messung von Strukturen eines Objekts |
| DE102005048134B3 (de) * | 2005-10-06 | 2007-02-08 | Benteler Automobiltechnik Gmbh | Vorrichtung und Verfahren zur optischen Vermessung und/oder Überprüfung von Schweißbaugruppen |
| DE102005051405B4 (de) * | 2005-10-27 | 2007-08-23 | Forschungszentrum Dresden - Rossendorf E.V. | Messsensor |
| DE102006002618B3 (de) * | 2006-01-19 | 2007-07-26 | Forschungszentrum Karlsruhe Gmbh | Vorrichtung zur Messung von Strukturen eines Objekts |
| DE102006002619B3 (de) * | 2006-01-19 | 2007-07-26 | Forschungszentrum Karlsruhe Gmbh | Vorrichtung zur Messung von Strukturen eines Objekts |
| US7667847B2 (en) * | 2006-09-21 | 2010-02-23 | The United States Of America As Represented By The Administrator Of The National Aeronautics And Space Administration | Photogrammetric system and method used in the characterization of a structure |
| WO2009038465A1 (en) * | 2007-09-17 | 2009-03-26 | Conoptica As | Rotating part position and change finding method and apparatus |
| DE102008037441A1 (de) | 2008-06-30 | 2009-12-31 | Werth Messtechnik Gmbh | Verfahren zum Messen der Geometrie eines Werkstücks |
| EP2194357A1 (de) * | 2008-12-03 | 2010-06-09 | Leica Geosystems AG | Optisches Sensorelement für eine Messmaschine, und messmaschinenseitiges Kupplungselement hierfür |
| DE102010037738A1 (de) | 2009-09-24 | 2011-04-07 | Werth Messtechnik Gmbh | Verfahren und Koordinatenmessgerät zur Bestimmung der Geometrie eines Messobjektes |
| EP2504658B1 (de) | 2009-11-26 | 2019-02-27 | Werth Messtechnik GmbH | Verfahren und anordnung zur taktil-optischen bestimmung der geometrie eines messobjektes |
| US8638453B2 (en) * | 2011-03-02 | 2014-01-28 | Envirosight Llc | Pipe diameter measurement device |
| CN107255462B (zh) * | 2011-07-08 | 2019-07-23 | 卡尔蔡司工业测量技术有限公司 | 在测量工件的坐标时的误差修正和/或避免 |
| DE102011079447A1 (de) | 2011-07-20 | 2013-01-24 | Robert Bosch Gmbh | Vorrichtung zur taktilen Formbestimmung |
| JP5946259B2 (ja) * | 2011-10-20 | 2016-07-06 | 東芝機械株式会社 | 測定装置、測定方法およびタッチプローブ |
| JP5857657B2 (ja) * | 2011-11-16 | 2016-02-10 | 株式会社リコー | 着脱ユニットおよびこれを備えた画像形成装置 |
| CN102589422B (zh) * | 2011-12-16 | 2014-10-15 | 哈尔滨工业大学 | 正交光路二维微焦准直与三维坐标传感器 |
| DE102011056805A1 (de) | 2011-12-21 | 2013-06-27 | Werth Messtechnik Gmbh | Verfahren zum opto-taktilen Messen eines Objektes sowie Koordinatenmessgerät |
| US20130168364A1 (en) * | 2011-12-29 | 2013-07-04 | Daniel J. Ketelaar | Go/no go ball feeler gauge for parts checking jigs and method |
| US9019511B2 (en) | 2012-02-27 | 2015-04-28 | Quality Vision International, Inc. | Optical probe for vision measurements |
| DE102013104490A1 (de) * | 2013-01-25 | 2014-07-31 | Werth Messtechnik Gmbh | Verfahren und Vorrichtung zur Bestimmung der Geometrie von Strukturen mittels Computertomografie |
| DE102014108353A1 (de) | 2013-06-13 | 2014-12-18 | Werth Messtechnik Gmbh | Verfahren und Vorrichtung zur Bestimmung von Geometrien an Messobjekten mittels eines kombinierten Sensorsystems |
| WO2015082683A2 (de) | 2013-12-06 | 2015-06-11 | Werth Messtechnik Gmbh | Vorrichtung und verfahren zur messung von werkstücken |
| DE102014117978A1 (de) | 2013-12-06 | 2015-06-11 | Werth Messtechnik Gmbh | Vorrichtung und Verfahren zur Messung von Werkstücken |
| JP5946884B2 (ja) * | 2014-10-24 | 2016-07-06 | ファナック株式会社 | 対象物の位置を検出する位置検出システム |
| EP3230683B1 (de) | 2014-12-12 | 2019-10-02 | Werth Messtechnik GmbH | Koordinatenmessgerät und verfahren zur messung von merkmalen an werkstücken |
| DE102015121582A1 (de) | 2014-12-12 | 2016-06-16 | Werth Messtechnik Gmbh | Verfahren und Vorrichtung zur Messung von Merkmalen an Werkstücken |
| EP3147627B1 (de) | 2015-09-22 | 2023-04-26 | GF Machining Solutions AG | Optische messtaster-kalibration |
| ITUB20169908A1 (it) * | 2016-01-11 | 2017-07-11 | Torino Politecnico | Dispositivo tastatore, marker per dispositivo tastatore e sistema di misura per effettuare misure fotogrammetriche di oggetti di grandi dimensioni |
| JP6797639B2 (ja) * | 2016-11-02 | 2020-12-09 | 株式会社キーエンス | 画像測定装置 |
| JP6797638B2 (ja) * | 2016-11-02 | 2020-12-09 | 株式会社キーエンス | 画像測定装置 |
| US10006757B1 (en) * | 2017-06-16 | 2018-06-26 | Mitutoyo Corporation | Optical configuration for measurement device using emitter material configuration with quadrant photodetectors |
| US10323928B2 (en) * | 2017-06-16 | 2019-06-18 | Mitutoyo Corporation | Optical configuration for measurement device using emitter material configuration |
| WO2019067755A1 (en) | 2017-09-29 | 2019-04-04 | Mitutoyo Corporation | CONFIGURATION OF COMPACT MEASURING DEVICE FOR INTEGRATING COMPLEX CIRCUITS |
| CH715610A1 (fr) | 2018-12-04 | 2020-06-15 | Watch Out S A | Système et procédés de mesure du profil d'une pièce. |
| JP7337664B2 (ja) * | 2019-11-06 | 2023-09-04 | オークマ株式会社 | 工作機械における位置計測センサの補正値計測方法及び補正値計測システム |
| DE102021112120A1 (de) | 2021-05-10 | 2022-11-10 | Carl Mahr Holding Gmbh | Faseroptische Punktsonde und Distanzmesssystem mit einer faseroptischen Punktsonde |
| US12492889B2 (en) | 2021-07-29 | 2025-12-09 | Mitutoyo Corporation | Chromatic range sensor system including camera |
| DE102023117023A1 (de) | 2022-06-30 | 2024-01-04 | Werth Messtechnik Gmbh | Verfahren zum Betreiben eines Koordinatenmessgeräts und Vorrichtung zur Ausführung |
| DE102023104741A1 (de) | 2023-02-27 | 2024-08-29 | Physikalisch-Technische Bundesanstalt Braunschweig Und Berlin | Vorrichtung und Verfahren zur taktil-optischen Messung von Werkstücken |
Family Cites Families (30)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3180030A (en) * | 1961-02-23 | 1965-04-27 | Bendix Corp | Gage probe |
| DE2605772A1 (de) | 1976-02-13 | 1977-08-18 | Komeg Kontroll Technik Ingenie | Messmaschine zur kontrolle von werkstuecken beliebiger abmessungen |
| US4574199A (en) * | 1983-01-27 | 1986-03-04 | Diffracto Ltd. | Sensing location of an object |
| DD222391A1 (de) | 1984-03-01 | 1985-05-15 | Zeiss Jena Veb Carl | Verfahren und anordnung zur optischen kontrolle mechanischer messobjektabtastung |
| GB2180117B (en) | 1985-09-05 | 1989-09-06 | Ferranti Plc | Three-dimensional position measuring apparatus |
| GB8706790D0 (en) * | 1987-03-21 | 1987-04-23 | Renishaw Plc | Interferometer position measurement system |
| JPH0789045B2 (ja) | 1988-12-15 | 1995-09-27 | 富山県 | 三次元変位量測定器 |
| DE3920716C1 (enExample) * | 1989-06-24 | 1990-11-29 | Wild Leitz Gmbh, 6330 Wetzlar, De | |
| DE4002043C2 (de) | 1990-01-24 | 1997-03-20 | Paul Hans Ulrich Prof Dipl Ing | Meßsystem zur Ermittlung geometrischer Bearbeitungsdaten an zu vermessenden Formen |
| US5251156A (en) * | 1990-08-25 | 1993-10-05 | Carl-Zeiss-Stiftung, Heidenheim/Brenz | Method and apparatus for non-contact measurement of object surfaces |
| US5125165A (en) * | 1990-11-28 | 1992-06-30 | Mitutoyo Corporation | Precision linear measuring device having an improved spindle mounting device |
| NO174025C (no) * | 1991-10-11 | 1994-03-02 | Metronor Sa | System for punktvis maaling av romlige koordinater |
| GB9201123D0 (en) * | 1992-01-20 | 1992-03-11 | Vernon Gauging Systems Limited | Gauging apparatus |
| DE4327250C5 (de) * | 1992-09-25 | 2008-11-20 | Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh | Verfahren zur Koordinatenmessung an Werkstücken |
| DE4312579A1 (de) | 1993-04-17 | 1994-10-20 | Matthias Schum | Meßmaschine |
| DE4325744C1 (de) * | 1993-07-31 | 1994-12-15 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Mehrkoordinaten-Tastkopf |
| DE4433917A1 (de) * | 1994-09-23 | 1996-03-28 | Zeiss Carl Fa | Verfahren zur Messung von Werkstücken mit einem handgeführten Koordinatenmeßgerät |
| DE59509004D1 (de) * | 1995-03-10 | 2001-03-08 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Mehrkoordinaten-Tastkopf mit gleichen Auslenkungen |
| DE19514815C2 (de) * | 1995-04-21 | 1997-02-13 | Gerlach Dieter | Meßeinrichtung mit einem auf einer Führungseinheit entlang eines Maßstabs verfahrbaren Meßkopf und mit einem Taster |
| US5825666A (en) | 1995-06-07 | 1998-10-20 | Freifeld; Daniel | Optical coordinate measuring machines and optical touch probes |
| JPH0926316A (ja) * | 1995-07-11 | 1997-01-28 | Mitsutoyo Corp | 非接触三次元変位検出装置 |
| JP3267116B2 (ja) * | 1995-09-19 | 2002-03-18 | ミノルタ株式会社 | 接触式センサおよび移動体 |
| JP3075981B2 (ja) * | 1996-04-05 | 2000-08-14 | 松下電器産業株式会社 | 形状測定装置 |
| NL1003175C2 (nl) * | 1996-05-21 | 1997-11-25 | Wilhelmus Petrus Van Vliet | Mechanisch tastsysteem voorzien van een contactloos meetsysteem dat 6 vrijheidsgraden kan meten voor gebruik in coördinaten meetmachines, gereedschapsmachines en robots, geschikt om met hoge snelheid geometrische eigenschappen van werkstukken te bepalen. |
| EP0988505B1 (de) * | 1997-06-12 | 2002-01-09 | Werth Messtechnik GmbH | Koordinatenmessgerät mit biegeelastischer Tasterverlängerung und optischem Sensor |
| US6021579A (en) * | 1998-04-01 | 2000-02-08 | Joseph M. Schimmels | Spatial parallel compliant mechanism |
| DE19816272C2 (de) * | 1998-04-11 | 2000-05-11 | Werth Messtechnik Gmbh | Verfahren und Anordnung zur Messung von Strukturen eines Objekts |
| DE19816270A1 (de) * | 1998-04-11 | 1999-10-21 | Werth Messtechnik Gmbh | Verfahren und Anordnung zur Erfassung der Geometrie von Gegenständen mittels eines Koordinatenmeßgeräts |
| US6240651B1 (en) * | 1998-06-17 | 2001-06-05 | Mycrona Gmbh | Coordinate measuring machine having a non-sensing probe |
| JP2000199710A (ja) * | 1999-01-06 | 2000-07-18 | Mitsutoyo Corp | タッチ信号プロ―ブの接触部位検出構造 |
-
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| Publication number | Publication date |
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| Publication | Publication Date | Title |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| MK6 | Application lapsed section 142(2)(f)/reg. 8.3(3) - pct applic. not entering national phase |