ATE493268T1 - Verfahren zum bestimmen der oberflächengüte eines trägers und zugehörige maschine zur transformation des trägers - Google Patents

Verfahren zum bestimmen der oberflächengüte eines trägers und zugehörige maschine zur transformation des trägers

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    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
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    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
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    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
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