ATE488345T1 - Vorrichtung und verfahren zum reinigen eines gesägten waferblocks - Google Patents

Vorrichtung und verfahren zum reinigen eines gesägten waferblocks

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ATE488345T1
ATE488345T1 AT06829352T AT06829352T ATE488345T1 AT E488345 T1 ATE488345 T1 AT E488345T1 AT 06829352 T AT06829352 T AT 06829352T AT 06829352 T AT06829352 T AT 06829352T AT E488345 T1 ATE488345 T1 AT E488345T1
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AT
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cleaning
wafer block
outlet port
sawn
basin
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Application number
AT06829352T
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Wolfgang Stangl
Hans-Juergen Stangl
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Stangl Semiconductor Equipment Ag
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    • B28—WORKING CEMENT, CLAY, OR STONE
    • B28D—WORKING STONE OR STONE-LIKE MATERIALS
    • B28D5/00—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor
    • B28D5/0058—Accessories specially adapted for use with machines for fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material
    • B28D5/0076—Accessories specially adapted for use with machines for fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material for removing dust, e.g. by spraying liquids; for lubricating, cooling or cleaning tool or work

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